CN105358835A

CN105358835A - 真空泵

Info

Publication number: CN105358835A
Application number: CN201480040478.5A
Authority: CN
Inventors: 坂口祐幸
Original assignee: Edwards Japan Ltd
Current assignee: Edwards Japan Ltd
Priority date: 2013-07-31
Filing date: 2014-06-06
Publication date: 2016-02-24
Also published as: EP3029328B1; KR20160037837A; WO2015015902A1; JP6735058B2; KR102167208B1; EP3029328A4; US10954962B2; JP2015031153A; EP3029328A1; US20160160877A1

Abstract

提供能够不受到排出的气体流量的影响而只对出于防止生成物堆积的观点需要高温化的排气侧气体流路的固定零件集中地效率良好地加热、防止该加热所导致的排气侧气体流路上的生成物的堆积、以及谋求泵排气性能的提高的真空泵。真空泵具有可旋转地配置于泵座上的转子和将通过转子的旋转而吸入的气体引导至排气口的气体流路，而且，具备将构成气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和对这样绝热的固定零件加热的加热机构。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及具备可旋转地配置于泵座上的转子和将通过该转子的旋转吸入的气体排出的气体流路的真空泵。

背景技术

一直以来，作为这种真空泵，已知例如专利文献1所记载的复合分子泵。该文献1的复合分子泵构成为，通过转子(6、3a)的旋转来从吸气口(1a)吸入气体，将吸入的气体从排气口(1b)排出(参照该文献1的段落0024的记载)。

另外，参照该文献1的图1和图2，在该文献1所记载的复合分子泵中，在如前所述地将吸入的气体排出的气体流路中，上游侧气体流路由多个旋转叶片(2a)和固定叶片(2b)形成，下游侧气体流路由转子(3a)和定子(7a)形成为螺纹槽形状的流路。

而且，在该文献1所记载的复合分子泵中，作为防止如前所述地以定子(7a)作为固定零件而形成的下游侧气体流路上的生成物的堆积的机构，通过绝热件(支撑体9a、9b、9c)来将定子(7a)绝热，而且，利用来自转子(3a)的放射所导致的热和流动于下游侧气体流路的气体的摩擦所导致的热来加热定子(7a)(参照该文献1的段落0025和0026的记载)。

然而，在前述方式对定子(7a)的加热中，由于利用来自转子(3a)的放射所导致的热和流动于下游侧气体流路的气体的摩擦所导致的热，因而随着通过下游侧气体流路而排出的气体的流量，加热量变化，定子(7a)的温度变动是不可避免的。特别地，在该气体的流量小时，不能使定子(7a)的温度升温至既定的温度，存在不能有效地抑制下游侧气体流路上的生成物的堆积这一问题点。

专利文献1：日本专利第3098140号公报。

发明内容

发明要解决的课题

本发明是为了解决前述问题点而作出的，其目的是，提供如下的真空泵：不受到排出的气体的流量的影响，能够只对出于防止生成物堆积的观点而需要高温化的排气侧气体流路的固定零件集中地效率良好地稳定地进行加热，能够通过该加热来防止排气侧气体流路上的生成物的堆积，并且，能够谋求泵排气性能的提高。

用于解决课题的方案

为了达成前述目的，本发明的特征在于，在具备泵座、配置于所述泵座上的转子、围绕其轴心可旋转地支撑并旋转驱动所述转子的支撑和驱动机构、以及将通过所述转子的旋转而吸入的气体引导至排出口的气体流路的真空泵中，具备将构成所述气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和对通过所述绝热机构而绝热的所述固定零件加热的加热机构。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述排气侧气体流路是由所述转子的外周面和与其对置的螺纹槽泵定子形成的螺纹槽状的流路，所述固定零件是所述螺纹槽泵定子。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述排气侧气体流路是由配设于所述转子的外周面的旋转叶片和将由该旋转叶片赋予朝向所述气体流路的下游侧的运动量的气体分子向所述气体流路的下游侧引导的固定叶片形成的流路，所述固定零件是所述固定叶片。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述加热机构成为如下的构造：在所述固定零件设置有安装部，在该安装部埋入设置有加热器，由此，该加热器对所述固定零件加热。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述固定零件的所述安装部设置有密封机构，从而配设于大气侧。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述绝热机构是通过绝热空间和绝热隔离物而将所述固定零件绝热的构造。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述泵座成为如下的构造：至少分割成上基座部和下基座部，通过紧固机构将所分割的该上基座部和该下基座部接合，由此，所述上基座部和所述下基座部存在热传导。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述绝热空间是所述泵座与所述固定零件之间的间隙。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，所述绝热隔离物介于所述固定零件与位于其下部的所述泵座之间，而且将所述固定零件和所述泵座紧固，从而支撑所述固定零件。

在前述本发明中，也可以是其特征在于，在所述上基座部和下基座部的双方或任一方，设置有冷却机构。

发明的效果

在本发明中，如前所述，作为真空泵的具体构成，具备将构成所述气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和利用热传导来对通过所述绝热机构而绝热的所述固定零件直接加热的加热机构，因而起到以下的作用效果(1)(2)。

作用效果(1)依据本发明，由于加热机构对固定零件加热，因而那样的加热不受到排出的气体的流量的影响。另外，由于成为加热机构的加热对象的固定零件通过绝热机构而绝热，因而能够只对出于防止生成物堆积的观点而需要高温化的排气侧气体流路的固定零件集中地效率良好地稳定地加热，以及能够通过该加热而防止排气侧气体流路上的生成物的堆积。

作用效果(2)在本发明中，如前所述，由加热机构加热的固定零件通过绝热机构而绝热，因而除了该固定零件以外的零件不被该加热机构加热。因此，能够有效地防止欲防止加热机构的加热所导致的高温化和由此造成的强度下降的零件的高温化和由此造成的该零件的强度下降，例如，在气体流路整体中的吸气侧气体流路由旋转叶片和固定叶片构成为排出气体的流路的情况下，能够有效地防止该旋转叶片和固定叶片等零件的高温化和由此造成的该零件的强度下降，能够谋求泵排气性能的提高。

附图说明

图1是示出作为本发明的第1实施方式的真空泵的一部分的泵截面图。

图2是关于作为本发明的第1实施方式的真空泵所产生的热的传导方式和冷却管的设置场所等的说明图。

图3是图2的真空泵P1中的温度控制示例的说明图。

图4是图2的真空泵P1中的温度控制示例的说明图。

图5是图2的真空泵P1中的温度控制示例的说明图。

图6是图3的温度控制示例的实验结果的说明图。

图7是图4的温度控制示例的实验结果的说明图。

图8是图5的温度控制示例的实验结果的说明图。

图9是示出作为本发明的第2实施方式的真空泵的一部分的泵截面图。

图10是示出作为本发明的第3实施方式的真空泵的一部分的泵截面图。

具体实施方式

以下，参照附图，对用于实施本发明的最佳方式详细地进行说明。

<第1实施方式>

图1是示出作为本发明的第1实施方式的真空泵的一部分的泵截面图，该真空泵P1作为例如半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中的处理室或其他密闭室的气体排气机构等而利用。

在图1的真空泵P1中，外装壳1通过利用紧固机构D1将筒状的泵壳C和泵座B沿其筒轴方向一体地联接而成为有底的圆筒形状。

泵壳C的上端部侧(图1中的纸面上方)作为气体吸气口(省略图示)而开口，另外，在泵座B设置有气体排气口2。气体吸气口连接至例如半导体制造装置的处理室等成为高真空的未图示的密闭室，气体排气口2与未图示的辅助泵连通连接。

在泵壳C内的中央部，设置有圆筒状的定子列3。该定子列3竖立设置于泵座B上，在定子列3的外侧，设置有转子4，在定子列3的内侧，内置有作为支撑转子4的机构的磁力轴承或作为旋转驱动该转子4的机构的驱动电动机等未图示的各种电装零件。由于磁力轴承和驱动电动机是众所周知的，因而省略具体的详细说明。

在泵座B的上端部(具体而言，后述的上基座B1的上端部)，设置有固定叶片定位部5，该固定叶片定位部5在其上承载后述的最下级的固定叶片7A，由此，具有将该固定叶片7A沿泵轴心方向定位的功能。

转子4可旋转地配置于泵座B上，包含在泵座B和泵壳C内。另外，该转子4是包围定子列3的外周的圆筒形状，成为如下的构造：由环状板体的联接部4A将直径不同的2个筒体(第1筒体4B和第2筒体4C)沿其筒轴方向联接，而且由未图示的端部件将其第1筒体4B的上端面侧(图1中的纸面上方)堵塞。

在转子4的内侧，安装有旋转轴(省略图示)，由内置于前述定子列3的磁力轴承支撑所涉及的旋转轴，并且，由内置于前述定子列3的驱动电动机旋转驱动所涉及的旋转轴，由此，转子4成为围绕其轴心(前述旋转轴)可旋转地被支撑并围绕其轴心被旋转驱动的构成。在该构成的情况下，前述旋转轴、内置于定子列3的前述磁力轴承和驱动电动机作为转子4的支撑和驱动机构而起作用。也可以通过除此以外的构成来将转子4围绕其轴心可旋转地支撑并旋转驱动。

在转子4的外周面侧，设置有气体流路R，该气体流路R将通过转子4的旋转而吸入的气体引导至排出口2。此外，从前述气体吸气口(省略图示)进行所涉及的气体的吸气。

在图1的真空泵P1中，作为前述气体流路R的一个实施方式，该气体流路R整体中的前半部的吸气侧气体流路R1(比转子4的联接部4A更靠上游侧)由配设于转子4的外周面的旋转叶片6、和将被该旋转叶片6赋予朝向气体流路R的下游侧的运动量的气体分子向气体流路R的下游侧引导的固定叶片7形成，后半部的排气侧气体流路R2(比转子4的联接部4A更靠下游侧)作为由转子4的外周面和与其对置的螺纹槽泵定子8形成的螺纹槽状的气体流路而形成。

进一步详细地说明前述吸气侧气体流路R1的构成，在图1的真空泵P1中，构成吸气侧气体流路R1的旋转叶片6以转子4旋转中心等泵轴心为中心而以放射状并排地配置多个。另一方面，构成吸气侧气体流路R1的固定叶片7经由固定叶片定位隔离物9而以沿泵径方向和泵轴方向定位的形式配置固定于泵壳C的内周侧，并且以泵轴心为中心而以放射状并排地配置多个。

而且，在图1的真空泵P1中，采用如下的构成：如前所述地以放射状配置的旋转叶片6和固定叶片7沿着泵轴心交替地配置多级，由此，形成吸气侧气体流路R1。

在由以上构成组成的吸气侧气体流路R1中，通过驱动电动机的启动而转子4和多个旋转叶片6一体地高速旋转，由此，旋转叶片6对从气体吸气口入射的气体分子赋予向下方向的运动量。具有该向下方向的运动量的气体分子由固定叶片7向下一级的旋转叶片侧送入。重复多级地进行如以上那样的向气体分子的运动量的赋予和送入动作，由此，气体吸气口侧的气体分子通过吸气侧气体流路R1而以沿排气侧气体流路R2的方向逐渐转移的方式排气。

接着，进一步详细地说明前述排气侧气体流路R2的构成，在图1的真空泵P1中，构成排气侧气体流路R2的螺纹槽泵定子8是包围转子4的下游侧外周面(具体而言，第2筒体4C的外周面。以下也是如此)的圆筒形状的固定零件，而且配置为，其内周面侧隔开既定间隙而与转子4的下游侧外周面对置。

另外，在该螺纹槽泵定子8的内周部，形成有螺纹槽8A，所涉及的螺纹槽8A其深度以朝向下方小径化的圆锥形状变化，从螺纹槽泵定子8的上端至下端以螺旋状雕刻设置。

在图1的真空泵P1中，采用如下的构成：转子4的下游侧外周面与具备前述螺纹槽8A的螺纹槽泵定子对置，由此，前述排气侧气体流路R2作为螺纹槽状的气体流路而形成。作为除此以外的实施方式，虽然省略图示，但是例如，还能够采用如下的构成：将所涉及的螺纹槽8A设置于转子4的下游侧外周面，从而形成如前所述的排气侧气体流路R2。

在由以上构成组成的排气侧气体流路R2中，如果通过驱动电动机的启动而使转子4旋转，则气体从吸气侧气体流路R1流入，由于螺纹槽8A和转子4的下游侧外周面上的曳引效应而将该流入的气体以从迁移流压缩成粘性流并同时输送的形式排气。

<绝热机构和加热机构的说明>

在图1的真空泵P1中，构成排气侧气体流路R2的固定零件，即螺纹槽泵定子8，通过绝热机构10而与除此以外的零件绝热，这样绝热的螺纹槽泵定子8构成为通过加热机构11而利用热传导直接加热。

作为前述绝热机构10和前述加热机构11的具体的构成示例，在图1的真空泵P1中，加热机构11为如下的构造：在螺纹槽泵定子8的外周面设置有安装部12，在该安装部12内埋入设置有加热器13，由此，该加热器13通过热传导而直接加热螺纹槽泵定子8，绝热机构10作为如下的构造：在前述安装部12的周围，设定由泵座B与螺纹槽泵定子8(固定零件)之间的间隙构成的绝热空间14，而且，由绝热隔离物15支撑包括安装部12的螺纹槽泵定子8整体。

另外，在前述安装部12，还埋入设置有加热器控制用的温度传感器S1，基于来自该温度传感器S1的检测信号而进行加热器13的温度控制。

另外，在图1的真空泵P1中，在采用前述绝热空间14、绝热隔离物15的方面，采用下述<构成1>至<构成4>。

<构成1>泵座B是如下的构成：至少分割成上基座部B1和下基座部B2，所分割成的上基座部B1和下基座部B2由紧固机构D2接合，由此，上基座部B1和下基座部B2存在热传导。

<构成2>是如下的构成：通过前述<构成1>的接合，与转子4的下游侧外周面对置的凹部16形成于泵座B的内表面，在该凹部16经由既定的间隙而组装有螺纹槽泵定子8的安装部12，并且，将该既定的间隙作为前述绝热空间14而利用。在该构成中，为了将螺纹槽泵定子8沿泵径方向定位，利用前述凹部16的缘部使泵座B和螺纹槽泵定子8接触，但由于外力(例如，紧固螺栓导致的紧固力等)对该接触部不起任何作用，因而几乎不产生经由那样的接触部的热传导。

<构成3>前述绝热隔离物15是如下的构成：介于螺纹槽泵定子8与位于其下部的泵座B(具体而言，下基座B2)之间，而且将螺纹槽泵定子8和泵座B紧固(具体而言，由紧固机构D3将螺纹槽泵定子8的安装部12和下基座B2紧固)，从而支撑螺纹槽泵定子8。

<构成4>前述加热器13的电线从螺纹槽泵定子8的安装部12引出至外部，这样的安装部12暴露于高真空，由此，有可能对加热器13或其电线造成绝缘破坏。于是，在图1的真空泵P1中，在安装部12的外周面设置有O形环等密封机构17，从而将安装部12配设于大气侧。

<作为冷却机构的冷却管的说明>

在图2中，Q1表示从固定叶片7通过热传导传导至上基座部B1的热，Q2表示从转子4向螺纹槽泵定子8的放射所导致的热及其传导方式，Q3表示从定子列3通过热传导传导至下基座部B2的热，Q4表示加热器13中的加热所导致的热及其传导方式。

在图1的真空泵P1中，如图2所示，能够在上基座部B1和下基座部B2的双方设置有冷却管18作为冷却机构，也可以仅采用任一方的冷却管18。

上基座部B1的冷却管18作为主要将如前述Q2或Q4的热那样从螺纹槽泵定子8经由绝热隔离物15或密封机构17传导至上基座部B1或下基座部B2的热和如前述Q1的热那样从固定叶片7通过热传导传导至上基座部B1的热冷却的机构而起作用。

另一方面，下基座部B2的冷却管18作为主要将从定子列3通过热传导而传导至下基座部B2的热Q3冷却的机构而起作用。

虽然省略图示，但是在图1的真空泵P1中，构成为，在各个冷却管18设置有操作阀，调整各个操作阀，由此，能够个别地调整流动于各个冷却管18中的冷却介质的流量。

用于冷却管18的未图示的操作阀的控制的温度传感器(以下称为“水冷管阀控制用的温度传感器S2”)能够采用在设置于上基座部B1的冷却管18的附近设置的构成、或在设置于下基座部B2的冷却管18的附近设置的构成、或者在双方的冷却管18的附近设置的构成。

在以上说明的图1的真空泵P1中，由于采用如下的构成，因而得到下述<第1-1作用效果>和<第2-1作用效果>：通过绝热机构10而将作为构成气体流路整体R中的排气侧气体流路R2的固定零件的螺纹槽泵定子8与除此以外的零件绝热，而且，通过加热机构11而利用热传导来对这样绝热的螺纹槽泵定子8直接加热。

<第1-1作用效果>在图1的真空泵P1中，如前所述，加热机构11通过热传导而直接加热螺纹槽泵定子8，因而所涉及的加热不受到排出的气体的流量的影响。另外，由于成为其加热对象的螺纹槽泵定子8通过绝热机构10而绝热，因而能够只对出于防止生成物堆积的观点而需要高温化的螺纹槽泵定子8集中地效率良好地加热，以及能够通过该加热而防止排气侧气体流路R2上的生成物的堆积。

<第2-1作用效果>而且，依据该图1的真空泵P1，如前所述，由加热机构11加热的螺纹槽泵定子8通过绝热机构10而绝热，因而除了螺纹槽泵定子8以外的零件不被该加热机构11加热。因此，能够有效地防止欲防止加热机构11的加热所导致的高温化和由此造成的强度下降的零件例如旋转叶片6和固定叶片7等零件的高温化、和由此造成的该零件的强度下降，能够谋求泵排气性能的提高。

<使用加热机构(加热器)和冷却机构(冷却管)的真空泵的温度控制>

图3至图5是图2的真空泵P1中的温度控制示例的说明图。

在图3至图5的温度控制示例中，使加热器13的温度控制和水冷管18的温度控制成为独立的控制，加热器13的温度控制基于来自设置于螺纹槽泵定子8的加热器控制用的温度传感器S1的检测信号而控制加热器13的温度，水冷管18的温度控制基于来自水冷管阀控制用的温度传感器S2的检测信号而控制水冷管18的操作阀。在这点上，任一温度控制示例都是如此。

图3至图5的温度控制示例不同的点是水冷管18的设置部位，在图3的温度控制示例中，在上基座部1A和下基座部1B的双方设置有水冷管18，在图4的温度控制示例中，仅在上基座部B1设置有水冷管18，在图5的温度控制示例中，仅在下基座部B2设置有水冷管18。

图6是图3的温度控制示例的实验结果的说明图，图7是图4的温度控制示例的实验结果的说明图，图8是图5的温度控制示例的实验结果的说明图。

在图6至图8中，“加热器控制温度”是指基于来自加热器控制用的温度传感器S1的检测信号而控制的加热器13的温度，“水冷管控制温度”是基于来自水冷管阀控制用的温度传感器S2的检测信号而控制的水冷管18的温度。这些温度设定为，其差成为30℃至40℃。

在如图3那样在上基座部B1和下基座部B2的双方设置有水冷管18的温度控制示例中，如图6的实验结果所示，加热器控制温度能够稳定地维持在比水冷管控制温度更高30℃至40℃的高温状态下。

另外，与此同时，下基座部B1、气体排气口2、定子列3的温度能够稳定地维持在比水冷管控制温度更低10℃以下的低温状态下。

关于以上的稳定的维持，考虑到主要原因是，设置有加热器13的螺纹槽泵定子8通过由绝热空间14和绝热隔离物15构成的绝热机构10而绝热，并且，通过设置于上基座部B1的水冷管18的冷却作用而抑制图2所示的主要由于Q1、Q2、Q4的热而导致的温度上升，与此同时，通过设置于下基座部B2的水冷管18的冷却作用而抑制图2所示的主要由于Q3的热而导致的温度上升。

另一方面，在如图4那样仅在上基座部B1设置有水冷管的温度控制示例中，如图7的实验结果所示，即使流动于气体流路R的气体的流量(泵的负载)变动，加热器控制温度也能够与水冷管阀控制温度相比而以30℃至40℃的温度差稳定地维持。可是，定子列3的温度比加热器控制温度更高的现象和气体排气口2及下基座部B2的温度超过水冷管控制温度的现象发生。这考虑到主要原因是，只利用如图4那样设置于上基座部B1的水冷管18，难以抑制图2所示的主要由于Q3的热的影响而导致的温度上升。

另外，在如图5那样仅在下基座部B2设置有水冷管18的温度控制示例中，如图8的实验结果所示，即使流动于气体流路R的气体的流量(泵的负载)变动，加热器控制温度也能够与水冷管阀控制温度相比而以30℃至40℃的温度差稳定地维持。可是，定子列3、气体排气口2、上基座部B1的温度都超过水冷管控制温度的现象发生。这考虑到主要原因是，只利用如图5那样设置于下基座部B2的水冷管18，难以抑制图2所示的主要由于Q1、Q2、Q4的热的影响而导致的温度上升。

<第2实施方式>

接着，图9是示出作为本发明的第2实施方式的真空泵的一部分的泵截面图。该图9的真空泵P2与图1的真空泵P1不同的点是气体流路R的具体构成，除此以外的构成都与图1的真空泵P1同样，因而对同一部件标记同一符号，省略详细说明。

在图9的真空泵P2中，作为气体流路R的具体构成，关于排气侧气体流路R2，也采用与先前说明的图1的真空泵P1中的吸气侧气体流路R1同样的构成。

即，图9的真空泵P2中的排气侧气体流路R2是由一体地设置于转子4的外周面的旋转叶片6、和将由该旋转叶片6赋予朝向气体流路R下游侧的运动量的气体分子向气体流路R下游侧引导的固定叶片7形成的流路。

而且，在该图9的真空泵P2中，作为构成气体流路R整体中的排气侧气体流路R2的固定零件，构成为：具备多个固定叶片7，通过绝热机构10将这些多个固定叶片7中的特别是最下级的固定叶片7A与除此以外的零件绝热，而且，通过加热机构11而利用热传导来对绝热的最下级的固定叶片7A直接加热。

可是，该图9的真空泵P2中的加热机构11，作为其具体的构成，采用如下的构造：在最下级的固定叶片7A的基部(外周部)侧一体形成有安装部12，在该安装部12埋入设置有加热器13，由此，该加热器12利用热传导来对最下级的固定叶片7A直接加热。

另外，图9的真空泵P2中的绝热机构10，作为其具体的构成，采用在固定叶片7A的前述安装部12的周围设定有绝热空间14且由绝热隔离物15支撑包括该安装部12的最下级的固定叶片7A整体的构成、和由所涉及的绝热隔离物15将最下级的固定叶片7A和安装部12沿泵轴心方向定位的构造。

而且，在该图9的真空泵P2中，泵座B也分割成上基座部B1和下基座部B2，与转子4的下游侧外周面对置的凹部16形成于泵座B的内表面，经由既定的间隙而组装于那样的凹部16的零件是最下级的固定叶片7A的安装部12，所涉及的既定的间隙作为前述的绝热空间14而利用。

此外，在该图9的真空泵P2中，为了将最下级的固定叶片7A及其安装部12沿泵径方向定位，通过前述凹部16的缘部而使泵座B和最下级的固定叶片7A接触，但由于外力(例如，紧固螺栓所导致的紧固力)对该接触部不起任何作用，因而几乎不产生经由所涉及的接触部的热传导。

依据以上说明的图9的真空泵P2，如前所述，采用如下的构成，因而得到下述<第1-2作用效果>和<第2-2作用效果>：通过绝热机构10而将作为构成气体流路整体R中的排气侧气体流路R2的固定零件的最下级的固定叶片7A与除此以外的零件绝热，而且，通过加热机构11而利用热传导来对这样绝热的最下级的固定叶片7A直接加热。

<第1-2作用效果>

在图9的真空泵P2中，由于加热机构11通过热传导而对最下级的固定叶片7A直接加热，因而所涉及的加热不受到排出的气体的流量的影响。另外，由于成为其加热对象的最下级的固定叶片7A通过绝热机构10而绝热，因而能够只对出于防止生成物堆积的观点而需要高温化的最下级的固定叶片7A集中地效率良好地加热，以及能够通过该加热而防止排气侧气体流路R2上的生成物的堆积。

<第2-2作用效果>

而且，依据该图9的真空泵P2，由于由加热机构11加热的最下级的固定叶片7A通过绝热机构10而绝热，因而除了最下级的固定叶片7A以外的零件不被该加热机构10加热。因此，能够有效地防止欲防止加热机构10的加热所导致的高温化和由此造成的强度下降的零件例如比最下级的固定叶片7A更位于上级的旋转叶片6和固定叶片7等零件的高温化和由此造成的该零件的强度下降，能够将旋转叶片7的转速提高至超过现有技术，谋求泵排气性能的提高。

在以上说明的图9的真空泵P2中，通过绝热机构10而仅将作为固定零件的最下级的固定叶片7A绝热，而且，通过加热机构11而利用热传导来对最下级的固定叶片7A直接加热，但作为除此以外的实施方式，还能够采用如下的构成：即使对于比最下级的固定叶片7A更靠近上级的固定叶片，也通过由绝热空间14和绝热隔离物15构成的绝热机构10而绝热，而且，通过由加热器13构成的加热机构11而利用热传导来对这样绝热的多个固定叶片直接加热。

<第3实施方式>

图10是示出作为本发明的第3实施方式的真空泵的一部分的截面图，由于该图的真空泵的基本构成例如气体流路R的具体构成等与图9的真空泵同样，因而对同一部件标记同一符号，省略详细说明。

在该图10的真空泵P3中，采用如下构成：通过采用下述的<构成A>和<构成B>，从而通过由绝热空间14和绝热隔离物15构成的绝热机构10而将多个固定叶片(具体而言，最下级的固定叶片7A和从此数起第2级的固定叶片7B)绝热，而且，通过由加热器13构成的加热机构11而利用热传导来对这些多个固定叶片7A、7B直接加热。

<构成A>是如下的构成：泵座B上端部的固定叶片定位部5延长至从最下级的旋转叶片7A数起第3级的固定叶片7C的下部，在该固定叶片定位部5上承载前述第3级的固定叶片7C，并且，绝热隔离物15介于所涉及的固定叶片定位部5与从最下级的旋转叶片7A数起第2级的固定叶片7B之间。

<构成B>是如下的构成：安装部12由紧固机构D4从安装部12的下部侧紧固于上部侧的上基座部B1，由此，堆积而介于从安装部12至泵座B上端部的固定叶片定位部5之间的全部零件，即，承载于安装部12上的最下级的固定叶片7A、从最下级的固定叶片7A数起第2级的固定叶片7B、介于这些固定叶片7A、7B之间的固定叶片定位隔离物9以及绝热隔离物15一体化，并且，最下级的固定叶片7A、固定叶片定位隔离物9以及从最下级的固定叶片7A数起第2级的固定叶片7B通过热传导而热力地相连。

依据以上说明的图3的真空泵P3，由于采用如下的构成，因而能够起到与先前说明的图2的真空泵P2同样的作用效果(参照前述<第1-2作用效果>和<第2-2作用效果>)：通过绝热机构10而将作为构成气体流路整体R中的排气侧气体流路R2的固定零件的多个固定叶片7A、7B与除此以外的零件绝热，而且，通过加热机构11而利用热传导来对这样绝热的多个固定叶片7A、7B直接加热。

符号说明

2　气体排气口3　定子列4　转子4A　联接部4B　第1筒体4C　第2筒体5　固定叶片定位部6　旋转叶片7　固定叶片7A　最下级的固定叶片7B　从最下级的固定叶片数起第2级的固定叶片7C　从最下级的固定叶片数起第3级的固定叶片8　螺纹槽泵定子8A　螺纹槽9　固定叶片定位隔离物10　绝热机构11　加热机构12　安装部13　加热器14　绝热空间15　绝热隔离物16　凹部17　密封机构18　冷却管C　泵壳B　泵座D1、D2、D3、D4　紧固机构P1、P2、P3　真空泵R　气体流路R1　吸气侧气体流路R2　排气侧气体流路S1　加热器控制用的温度传感器S2　水冷管阀控制用的温度传感器。

Claims

1.一种真空泵，具备泵座、配置于所述泵座上的转子、围绕其轴心可旋转地支撑并旋转驱动所述转子的支撑和驱动机构、以及将通过所述转子的旋转而吸入的气体引导至排出口的气体流路，在该真空泵中，具备将构成所述气体流路整体中的排气侧气体流路的固定零件与除此以外的零件绝热的绝热机构、和对通过所述绝热机构而绝热的所述固定零件加热的加热机构。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述排气侧气体流路是由所述转子的外周面和与其对置的螺纹槽泵定子形成的螺纹槽状的流路，所述固定零件是所述螺纹槽泵定子。

3.根据权利要求1至2中的任一项所述的真空泵，其特征在于，所述排气侧气体流路是由配设于所述转子的外周面的旋转叶片、和将由该旋转叶片赋予朝向所述气体流路的下游侧的运动量的气体分子向所述气体流路的下游侧引导的固定叶片形成的流路，所述固定零件是所述固定叶片。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的真空泵，其特征在于，所述加热机构成为如下的构造：在所述固定零件设置有安装部，在该安装部埋入设置有加热器，由此，该加热器对所述固定零件加热。

5.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于，所述固定零件的所述安装部设置有密封机构，从而配设于大气侧。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的真空泵，其特征在于，所述绝热机构是通过绝热空间和绝热隔离物而将所述固定零件绝热的构造。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的真空泵，其特征在于，所述泵座成为如下的构造：至少分割成上基座部和下基座部，通过紧固机构将所分割的该上基座部和该下基座部接合，由此，所述上基座部和所述下基座部存在热传导。

8.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述绝热空间是所述泵座与所述固定零件之间的间隙。

9.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述绝热隔离物介于所述固定零件与位于其下部的所述泵座之间，而且将所述固定零件和所述泵座紧固，从而支撑所述固定零件。

10.根据权利要求7所述的真空泵，其特征在于，在所述上基座部和所述下基座部的双方或任一方，设置有冷却机构。