EP1288502A2 - Turbomolekularpumpe - Google Patents

Turbomolekularpumpe Download PDF

Info

Publication number
EP1288502A2
EP1288502A2 EP02017820A EP02017820A EP1288502A2 EP 1288502 A2 EP1288502 A2 EP 1288502A2 EP 02017820 A EP02017820 A EP 02017820A EP 02017820 A EP02017820 A EP 02017820A EP 1288502 A2 EP1288502 A2 EP 1288502A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
stator
housing
turbomolecular pump
pump according
rotor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP02017820A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1288502A3 (de
EP1288502B1 (de
Inventor
Jörg Stanzel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Publication of EP1288502A2 publication Critical patent/EP1288502A2/de
Publication of EP1288502A3 publication Critical patent/EP1288502A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP1288502B1 publication Critical patent/EP1288502B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
    • F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
    • F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/5853—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps heat insulation or conduction
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2260/00—Function
    • F05D2260/60—Fluid transfer
    • F05D2260/607—Preventing clogging or obstruction of flow paths by dirt, dust, or foreign particles

Definitions

  • the invention relates to a turbomolecular pump according to the preamble of FIG. Protection claim.
  • Vacuum pumps of the turbomolecular pump type usually consist of a number of stages, each having rotor and stator discs, the are arranged alternately one behind the other.
  • the rotor disks must revolve at high speed.
  • the drive energy required for this purpose is partly transformed into kinetic energy.
  • a big part of it will be released as heat loss.
  • More unwanted amounts of heat are released by the storage (mechanical losses due to friction in ball bearings or electrical losses in magnetic bearings) or in the compression of gases. Thereby There is a risk of overheating of critical components. This is essential be prevented. For this it is necessary to provide an effective heat dissipation.
  • stator and stator discs are large In this way, a large part of the heat from the rotor can rise up the stator discs are transmitted.
  • the stator disks are via spacer rings connected to the housing (DE-OS 3722 164). Since here only minimal Resulting contact surfaces, the heat transfer from the stator discs on the housing and thus insufficient to the outside.
  • Turbomolecular pumps are increasingly being used in processes such.
  • a cooling water channel either in the support ring of the stator or in the housing component contributes to increasing the heat flow.
  • the stator can in the housing component or in the support ring a Heating can be accommodated very space-saving.
  • the corresponding component is thermally insulated from the rest of the housing. A heating up The critical areas of the pump is thus possible without large heat conduction losses.
  • the supporting ring of the stator disc can be used both as an inner and as an outer ring be educated. This makes it possible, the inventive arrangement adapt to different designs of the overall pump.
  • Fig. 1 shows the overall view of a turbomolecular pump with the inventive Arrangement.
  • FIGS. 2 to 5 each show a detail of FIG. 1 with different embodiments the invention.
  • a gas friction pump is shown.
  • the housing 1 is provided with a suction opening 2 and a gas outlet opening 3 is provided.
  • the rotor shaft 4 is in Bearings 5 and 6 fixed and is driven by the motor 7.
  • On the rotor shaft 4 the rotor disks 12 are fixed. These are with a pump active structure provided and effect with the stator discs 14, which also with a pump active structure are provided, the pumping effect.
  • Fig. 2 shows a detail of Fig. 1 with the arrangement according to the invention.
  • the higher pressure range facing stator 20 has an inner support ring 22. This is a large area connected to the housing member 24.
  • a cooling water channel 26 is incorporated.
  • this is mounted so that it has contact with the support ring 22 of the stator 20.
  • a cooling water channel can be located directly in the support ring 22 of the stator 20.
  • FIG. 3 an embodiment is shown in which the stator 20 and the housing member 24 are integrally formed.
  • FIG. 4 shows an embodiment equipped with heater 30.
  • the housing component For a targeted thermal treatment is the housing component by a thermal insulation 32nd separated from the rest of the housing.
  • a one-piece design of stator 20th and housing member 24 is also possible according to the invention here.
  • a stator in which the Support ring 23 is formed as an outer ring.
  • the Support ring 23 is formed as an outer ring.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

Die Erfindung beschreibt eine Turbomolekularpumpe mit Rotor- (12) und Statorscheiben (14), die abwechselnd hintereinander angeordnet sind. Die Scheiben sind mit Tragringen (16, 18) versehen, an denen Schaufeln angebracht sind. Der Tragring (22) der dem höheren Druckbereich zugewandten Statorscheibe (20) ist großflächig mit einem Gehäusebauteil (24) verbunden oder er bildet mit diesem eine einstückige Baueinheit. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe nach dem Oberbegriff des 1. Schutzanspruches.
Vakuumpumpen vom Typ einer Turbomolekularpumpe bestehen in der Regel aus einer Anzahl von Stufen, welche jeweils Rotor- und Statorscheiben aufweisen, die abwechselnd hintereinander angeordnet sind. Um optimale Pumpeigenschaften, wie max. Gasdurchsatz und max. Kompression zu erreichen, müssen die Rotorscheiben mit hoher Geschwindigkeit umlaufen. Die zu diesem Zweck benötigte Antriebsenergie wird zum Teil in kinetische Energie verwandelt. Ein großer Teil davon wird als Verlustwärme freigesetzt. Weitere unerwünschte Wärmemengen werden frei durch die Lagerung (mechanische Verluste durch Reibung in Kugellagern oder elektrische Verluste in Magnetlagern) oder bei der Kompression von Gasen. Dadurch besteht die Gefahr der Überhitzung von kritischen Bauteilen. Dies muss unbedingt verhindert werden. Dazu ist es notwendig, eine effektive Wärmeabfuhr bereitzustellen.
Die Wärmeübertragung im Vakuum von Rotor- auf Statorbauteile erfolgt im Wesentlichen durch Strahlung. Da sich Rotor- und Statorscheiben großflächig gegenüberstehen, kann auf diese Weise ein großer Teil der Wärme von den Rotorauf die Statorscheiben übertragen werden. Die Statorscheiben sind über Distanzringe mit dem Gehäuse verbunden (DE-OS 3722 164). Da sich hier nur minimale Berührungsflächen ergeben, ist die Wärmeübertragung von den Statorscheiben auf das Gehäuse und somit nach außen unzureichend.
Ein weiterer Gesichtspunkt, der als Grundlage der Aufgabenstellung anzusehen ist, ergibt sich aus folgenden Fakten:
Turbomolekularpumpen kommen zunehmend zur Anwendung bei Verfahren wie z. B. chemischen Prozessen oder in der Halbleiterfertigung, bei denen große Mengen von Prozessgasen anfallen. Diese Gase sind in der Regel leicht kondensierbar, und dies umso mehr bei tiefen Temperaturen. Dadurch kommt es zu Flüssigkeits- und Feststoffabscheidungen in beträchtlichem Ausmaß und schließlich zu Korrosions- und Ätzvorgängen, welche zur Zerstörung einzelner Bauteile oder der ganzen Pumpe führen können.
Durch Aufheizen der entsprechenden Bereiche können Flüssigkeits- und Feststoffabscheidungen weitgehend verhindert werden (DE-OS 197 02 456). Die Heizung erfolgt durch entsprechende Bauelemente, welche am oder im Gehäuse der Pumpe angebracht sind. Da durch die herkömmliche Bauweise, wie oben beschrieben, die Berührungsflächen zwischen Gehäuse, Distanzringen und Statorscheiben minimal sind, ist die Wärmeübertragung vom Gehäuse auf die Statorscheiben unbefriedigend.
Diese beiden Gesichtspunkte, nämlich Übertragung von Wärme von Statorscheiben auf das Gehäuse und in umgekehrter Richtung, sind kritische Vorgänge für den sicheren und zuverlässigen Betrieb einer Turbomolekularpumpe und führen beide zur gleichen Aufgabenstellung. Diese liegt der Konstruktion einer Turbomolekularpumpe zugrunde, bei welcher der Wärmeübergang vom Gehäuse auf die Statorscheiben und umgekehrt deutlich verbessert werden soll.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des 1. Schutzanspruches gelöst. Die Ansprüche 2 - 8 stellen weitere Ausgestaltungsformen der Erfindung dar.
Durch die großflächige Verbindung der letzten Statorscheibe mit dem Gehäusebauteil wird ein deutlich besserer Wärmeübergang als bei früheren Konstruktionen erreicht. Noch optimaler können die Verhältnisse gestaltet werden, wenn entsprechend Anspruch 2 die beiden Teile aus einem Stück bestehen. In Verbindung mit großen, sich gegenüberstehenden Flächen von Statorscheibe und Rotorscheibe wird der Gesamtwärmefluss vom Rotor zum Gehäuse und umgekehrt wesentlich erhöht. Diese erfinderischen Maßnahmen ermöglichen es, bei gleicher Rotortemperatur eine größere Gasmenge zu fördern.
Ein Kühlwasserkanal entweder in dem Tragring der Statorscheibe oder im Gehäusebauteil trägt zur Vergrößerung des Wärmeflusses bei.
Zum Aufheizen des Stators kann im Gehäusebauteil oder auch im Tragring eine Heizung sehr platzsparend untergebracht werden. Hierzu ist es vorteilhaft, dass das entsprechende Bauteil vom übrigen Gehäuse thermisch isoliert ist. Eine Aufheizung der kritischen Bereiche der Pumpe wird so ohne große Wärmeleitungsverluste möglich.
Der Tragring der Statorscheibe kann sowohl als Innen- als auch als Außenring ausgebildet sein. Dadurch wird es ermöglicht, die erfinderische Anordnung unterschiedlichen Bauweisen der Gesamtpumpe anzupassen.
Anhand der Figuren 1 - 5 soll die Erfindung näher erläutert werden.
Fig. 1 zeigt die Gesamtansicht einer Turbomolekularpumpe mit der erfinderischen Anordnung.
Fig. 2 - 5 zeigen jeweils einen Ausschnitt aus Fig. 1 mit unterschiedlichen Ausführungsformen der Erfindung.
In Fig. 1 ist eine Gasreibungspumpe dargestellt. Das Gehäuse 1 ist mit einer Ansaugöffnung 2 und einer Gasaustrittsöffnung 3 versehen. Die Rotorwelle 4 ist in Lagern 5 und 6 fixiert und wird durch den Motor 7 angetrieben. Auf der Rotorwelle 4 sind die Rotorscheiben 12 befestigt. Diese sind mit einer pumpaktiven Struktur versehen und bewirken mit den Statorscheiben 14, welche ebenfalls mit einer pumpaktiven Struktur versehen sind, den Pumpeffekt.
Fig. 2 zeigt einen Ausschnitt aus Fig. 1 mit der erfindungsgemäßen Anordnung.
Die dem höheren Druckbereich zugewandte Statorscheibe 20 weist einen inneren Tragring 22 auf. Dieser ist großflächig mit dem Gehäusebauteil 24 verbunden. Hierin ist in einer weiteren Ausgestaltungsform der Erfindung ein Kühlwasserkanal 26 eingearbeitet. Vorteilhafter Weise ist dieser so angebracht, dass er Kontakt mit dem Tragring 22 der Statorscheibe 20 hat. Alternativ kann sich ein Kühlwasserkanal direkt in dem Tragring 22 der Statorscheibe 20 befinden.
In Fig. 3 ist eine Ausführungsform gezeigt, bei der die Statorscheibe 20 und das Gehäusebauteil 24 einstückig ausgebildet sind.
Die Fig. 4 zeigt eine mit Heizung 30 ausgerüstete Ausführungsform. Für eine gezielte thermische Behandlung ist das Gehäusebauteil durch eine thermische Isolation 32 vom übrigen Gehäuse getrennt. Eine einstückige Ausbildung von Statorscheibe 20 und Gehäusebauteil 24 ist auch hier erfindungsgemäß möglich.
Bei der Ausführungsform in Fig. 5 ist eine Statorscheibe dargestellt, bei der der Tragring 23 als Außenring ausgebildet ist. Mit dieser Ausführungsform können alle oben beschriebenen Merkmale, wie einstückige Bauweise mit dem Gehäusebauteil, Kühlwasserkanal, Heizung und thermische Isolation, ebenfalls verwirklicht sein.

Claims (8)

  1. Turbomolekularpumpe mit einem Gehäuse (1), in welchem Rotor- (12) und Statorscheiben (14) abwechselnd hintereinander angeordnet sind, wobei diese mit auf Tragringen (16, 18) angebrachten Schaufeln versehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass die dem höheren Druckbereich zugewandte Statorscheibe (20) mit ihrem Tragring (22) großflächig mit einem Gehäusebauteil (24) verbunden ist.
  2. Turbomolekularpumpe mit einem Gehäuse (1), in welchem Rotor- (12) und Statorscheiben (14) abwechselnd hintereinander angeordnet sind, wobei diese mit auf Tragringen (16, 18) angebrachten Schaufeln versehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Tragring (22) der dem höheren Druckbereich zugewandten Statorscheibe (20) und das Gehäusebauteil (24) einstückig ausgebildet sind.
  3. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäusebauteil (24) mit einem Kühlwasserkanal (26) versehen ist.
  4. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die dem höheren Druckbereich zugewandte Statorscheibe (20) mit einem Kühlwasserkanal (26) versehen ist.
  5. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäusebauteil (24) mit einer Heizung (30) versehen ist.
  6. Turbomolekularpumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäusebauteil (24) vom übrigen Gehäuse (1) thermisch isoliert ist.
  7. Turbomolekularpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Tragring der Statorscheibe (20) als Innenring (22) ausgebildet ist.
  8. Turbomolekularpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Tragring der Statorscheibe (20) als Außenring (23) ausgebildet ist.
EP02017820A 2001-08-30 2002-08-08 Turbomolekularpumpe Expired - Lifetime EP1288502B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10142567A DE10142567A1 (de) 2001-08-30 2001-08-30 Turbomolekularpumpe
DE10142567 2001-08-30

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP1288502A2 true EP1288502A2 (de) 2003-03-05
EP1288502A3 EP1288502A3 (de) 2003-10-29
EP1288502B1 EP1288502B1 (de) 2010-03-17

Family

ID=7697165

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP02017820A Expired - Lifetime EP1288502B1 (de) 2001-08-30 2002-08-08 Turbomolekularpumpe

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6824357B2 (de)
EP (1) EP1288502B1 (de)
JP (1) JP4262457B2 (de)
DE (2) DE10142567A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105358835A (zh) * 2013-07-31 2016-02-24 埃地沃兹日本有限公司 真空泵
EP3608545A1 (de) * 2013-10-15 2020-02-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7717684B2 (en) * 2003-08-21 2010-05-18 Ebara Corporation Turbo vacuum pump and semiconductor manufacturing apparatus having the same
US8221098B2 (en) * 2009-03-09 2012-07-17 Honeywell International Inc. Radial turbomolecular pump with electrostatically levitated rotor
GB2498816A (en) 2012-01-27 2013-07-31 Edwards Ltd Vacuum pump
US9279417B2 (en) 2013-04-26 2016-03-08 Sol-Electrica, Llc Solar power system
CN116591994A (zh) * 2023-07-05 2023-08-15 合肥昱驰真空技术有限公司 一种新型磁悬浮复合分子泵

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6019581A (en) 1995-08-08 2000-02-01 Leybold Aktiengesellschaft Friction vacuum pump with cooling arrangement

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4140441A (en) * 1977-04-11 1979-02-20 Patterson Williams G Turbomolecular pump lubrication system
DE2757599A1 (de) * 1977-12-23 1979-06-28 Kernforschungsz Karlsruhe Turbo-molekularpumpe
JPH0689756B2 (ja) * 1986-05-02 1994-11-14 株式会社日立製作所 ドライ真空ポンプ
JPS63109299A (ja) * 1986-10-27 1988-05-13 Hitachi Ltd タ−ボ真空ポンプ
JPS63266190A (ja) * 1987-04-24 1988-11-02 Hitachi Ltd タ−ボ真空ポンプ
JPS6419198A (en) * 1987-07-15 1989-01-23 Hitachi Ltd Vacuum pump
JPH01167497A (ja) * 1987-12-23 1989-07-03 Hitachi Ltd 真空ポンプ
JP2741863B2 (ja) * 1988-04-15 1998-04-22 株式会社日立製作所 ターボ真空ポンプ
FR2634829B1 (fr) * 1988-07-27 1990-09-14 Cit Alcatel Pompe a vide
FR2647853A1 (fr) * 1989-06-05 1990-12-07 Cit Alcatel Pompe primaire seche a deux etages
JPH03124998A (ja) * 1989-10-06 1991-05-28 Hitachi Ltd ドライ真空ポンプ
JPH04112997A (ja) * 1990-09-03 1992-04-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 真空装置
JP3616639B2 (ja) * 1992-06-19 2005-02-02 ウナクシス ドイチュラント ホールディング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 気体摩擦真空ポンプ
WO1994007033A1 (en) * 1992-09-23 1994-03-31 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Turbo-molecular blower
US5618167A (en) * 1994-07-28 1997-04-08 Ebara Corporation Vacuum pump apparatus having peltier elements for cooling the motor & bearing housing and heating the outer housing
JP3160504B2 (ja) * 1995-09-05 2001-04-25 三菱重工業株式会社 ターボ分子ポンプ
DE19702456B4 (de) * 1997-01-24 2006-01-19 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
JP3452468B2 (ja) * 1997-08-15 2003-09-29 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ
GB9725146D0 (en) * 1997-11-27 1998-01-28 Boc Group Plc Improvements in vacuum pumps
DE19937392A1 (de) * 1999-08-07 2001-02-08 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe mit pumpaktiven Elementen
DE19951954A1 (de) * 1999-10-28 2001-05-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Turbomolekularpumpe
DE19956015A1 (de) * 1999-11-22 2001-05-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Turbomolekularpumpe
DE10008691B4 (de) * 2000-02-24 2017-10-26 Pfeiffer Vacuum Gmbh Gasreibungspumpe
DE10056144A1 (de) * 2000-11-13 2002-05-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Gasreibungspumpe
JP2002155891A (ja) * 2000-11-22 2002-05-31 Seiko Instruments Inc 真空ポンプ
DE10107341A1 (de) * 2001-02-16 2002-08-29 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6019581A (en) 1995-08-08 2000-02-01 Leybold Aktiengesellschaft Friction vacuum pump with cooling arrangement

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105358835A (zh) * 2013-07-31 2016-02-24 埃地沃兹日本有限公司 真空泵
EP3029328A4 (de) * 2013-07-31 2017-03-22 Edwards Japan Limited Vakuumpumpe
US10954962B2 (en) 2013-07-31 2021-03-23 Edwards Japan Limited Vacuum pump
EP3608545A1 (de) * 2013-10-15 2020-02-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
US20030044270A1 (en) 2003-03-06
US6824357B2 (en) 2004-11-30
EP1288502A3 (de) 2003-10-29
JP4262457B2 (ja) 2009-05-13
DE50214282D1 (de) 2010-04-29
JP2003083282A (ja) 2003-03-19
EP1288502B1 (de) 2010-03-17
DE10142567A1 (de) 2003-03-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19702456B4 (de) Vakuumpumpe
DE19909507C1 (de) Radialgebläse, insbesondere für Heizungs- und Klimaanlagen
EP2390510B1 (de) Vakuumpumpe
WO1997049162A1 (de) Elektromotor
EP1866546B1 (de) Nassläuferpumpe
EP3899284B1 (de) Seitenkanalverdichter für ein brennstoffzellensystem zur förderung und/oder verdichtung eines gasförmigen mediums
DE102007010068A1 (de) Vakuumpumpe oder Vakuumapparatur mit Vakuumpumpe
EP1288502B1 (de) Turbomolekularpumpe
EP1096152B1 (de) Turbomolekularpumpe
WO2012089406A2 (de) Elektrische maschine mit verbessertem wärmemanagement
EP3403317B1 (de) Rotor und elektrische maschine
CH662691A5 (de) Heizungsanordnung fuer eine turbo-molekularpumpe.
EP3759356A1 (de) Elektrische kühlmittelpumpe
WO2021139982A1 (de) Seitenkanalverdichter für ein brennstoffzellensystem zur förderung und/oder verdichtung von einem gasförmigen medium, insbesondere wasserstoff
WO2014124975A2 (de) Elektrische fluidpumpe
EP1236906B1 (de) Turbomolekularpumpe
DE19949322C1 (de) Kühlgebläse, insbesondere Kühlerventilator für Kraftfahrzeuge
EP4108932A1 (de) Rezipient und hochvakuumpumpe
EP4229300A1 (de) Laterne mit thermischer trennwirkung
EP1447567B1 (de) Vakuumpumpanordnung
WO2022078816A1 (de) Kreiselpumpe mit einem antrieb
EP1101944A2 (de) Turbomolekularpumpe
EP3462034A1 (de) Vakuumpumpe
EP2089955A1 (de) Gebläsevorrichtung
WO2024002469A1 (de) Gebläse

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK RO SI

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL LT LV MK RO SI

AKX Designation fees paid
REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8566

17P Request for examination filed

Effective date: 20040714

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI NL

17Q First examination report despatched

Effective date: 20070327

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI NL

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

REF Corresponds to:

Ref document number: 50214282

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20100429

Kind code of ref document: P

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: VDEP

Effective date: 20100317

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20100317

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20101220

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100831

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20100831

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20120719

Year of fee payment: 11

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20140430

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20130902

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20200716

Year of fee payment: 19

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20210526

Year of fee payment: 20

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20210805

Year of fee payment: 20

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 50214282

Country of ref document: DE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20220301

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: PE20

Expiry date: 20220807

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF EXPIRATION OF PROTECTION

Effective date: 20220807