JPH04112997A - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
- Publication number
- JPH04112997A JPH04112997A JP23353390A JP23353390A JPH04112997A JP H04112997 A JPH04112997 A JP H04112997A JP 23353390 A JP23353390 A JP 23353390A JP 23353390 A JP23353390 A JP 23353390A JP H04112997 A JPH04112997 A JP H04112997A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade group
- movable blade
- rotor blade
- heating element
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 abstract description 9
- 230000006698 induction Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体製造装置等の高真空を必要とするシステ
ムに有効な真空装置に関するものであム従来の技術 従来の真空装置の構造としてζよ 例えば第２図に示す
ような構成が一般的であった その構成について第２図
を参照しながら説明すも 第２図（′！Ｓこの従来の真
空装置の構成図を示すものであム第２図に示すように
真空装置は ターボ分子ポンプ１１とロータリーポンプ
等の排気ポンプ１２とからなａ 前記ターボ分子ポンプ
１１は吸気口９と排気口１０とを備えたハウジング７と
、回転軸２と回転駆動手段である誘導電動機６と、多段
の動翼群３と前記多段動翼群３の段間に位置する固定翼
４からなも 前記回転軸２は球軸受け５により支持され
ており、誘導電動機６により自在に回転可能であム ま
た 多段の動翼群３は前記回転軸２に固定されており、
回転軸２の回転により多段の動翼群３も回転すａ そし
て、前記固定翼４はハウジング７の内壁に位置するステ
ータ８により支持されており、固定翼４の多翼は多段の
動翼群３の各段間に位置し 前記動翼群３の翼と逆方向
の翼角を持つ。また 上記ターボ分子ポンプ２の排気口
１０には ロータリーポンプ等の排気ポンプ１２が接続
されていも 上記構成において、真空装置を運転すると、まずロータ
リーポンプ等の排気ポンプ１２が動作し吸気口９から吸
入ガスが流入し荒引きされも その檄 ターボ分子ポン
プ１１の多段動翼群３が高速回転し吸気口９から吸入ガ
スが流入し 前記多段動翼群３のｋ そして前記動翼群
の翼間に位置する固定翼４の翼にガス分子が衝突するこ
とにより、流入されたガスは徐々に圧縮されて排気口Ｉ
Ｑ。
ムに有効な真空装置に関するものであム従来の技術 従来の真空装置の構造としてζよ 例えば第２図に示す
ような構成が一般的であった その構成について第２図
を参照しながら説明すも 第２図（′！Ｓこの従来の真
空装置の構成図を示すものであム第２図に示すように
真空装置は ターボ分子ポンプ１１とロータリーポンプ
等の排気ポンプ１２とからなａ 前記ターボ分子ポンプ
１１は吸気口９と排気口１０とを備えたハウジング７と
、回転軸２と回転駆動手段である誘導電動機６と、多段
の動翼群３と前記多段動翼群３の段間に位置する固定翼
４からなも 前記回転軸２は球軸受け５により支持され
ており、誘導電動機６により自在に回転可能であム ま
た 多段の動翼群３は前記回転軸２に固定されており、
回転軸２の回転により多段の動翼群３も回転すａ そし
て、前記固定翼４はハウジング７の内壁に位置するステ
ータ８により支持されており、固定翼４の多翼は多段の
動翼群３の各段間に位置し 前記動翼群３の翼と逆方向
の翼角を持つ。また 上記ターボ分子ポンプ２の排気口
１０には ロータリーポンプ等の排気ポンプ１２が接続
されていも 上記構成において、真空装置を運転すると、まずロータ
リーポンプ等の排気ポンプ１２が動作し吸気口９から吸
入ガスが流入し荒引きされも その檄 ターボ分子ポン
プ１１の多段動翼群３が高速回転し吸気口９から吸入ガ
スが流入し 前記多段動翼群３のｋ そして前記動翼群
の翼間に位置する固定翼４の翼にガス分子が衝突するこ
とにより、流入されたガスは徐々に圧縮されて排気口Ｉ
Ｑ。
しいては排気ポンプ１２から排出されも発明が解決しよ
うとする課題 しかしながら上記のような構成では 排気ガス中に反応
生成物が多かったり、また排気ガスとして沈着しやすい
ガスを使用する場合には この真空装置では多段の動翼
群３と前記多段動翼群３の段間に位置する固定翼４との
間隔が非常に小さいことを考虜すると、多段の動翼群の
翼 または固定翼の翼に反応生成物が堆積したり、ガス
が翼表面に付着して、排気ガスの通路を小さくし その
結果急速に真空装置の真空到達能力を低下させるという
問題点を有していた 本発明は上記課題を解決するもので、ガス中の反応生成
物の翼への付着、またはガスの翼への付着を低減させ、
排気能力の低下を防ぐことができる真空装置を提供する
ことを目的とすム課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために 吸気口と排気口と
を備えたハウジングと前記ハウジングの内部に位置する
多段の動翼群と、前記動翼群を結合させた回転軸と、前
記回転軸を駆動させる回転駆動手段と、前記動翼群の翼
と逆方向の翼角を持つ固定翼を（ｌｉ先 前記動翼群と
前記固定翼の少なくともいずれか一方へ もしくは前記
動翼群と前記固定翼の両方へ 発熱体と発熱体駆動手段
を備えたターボ分子ポンプと、前記ターボ分子ポンプの
排気口に接続されたロータリーポンプ等の排気ポンプと
を配してなるものであム 作用 本発明は上記した構成により、多段の動翼群か前記動翼
群の各段間に位置する固定翼の少なくとも一方に 発熱
体を配しているので、発熱体駆動手段により発熱体から
発せられた熱で前記動翼群もしくは前記固定翼が加熱さ
れ 付着した反応生成物のガス（Ｌ または付着した
ガスの脱着ができるものであム 実施例 第１図は本発明の一実施例についての真空装置の構成図
を示すものであム 以下、本発明の一実施例について第
１図を参照しながら説明する。
うとする課題 しかしながら上記のような構成では 排気ガス中に反応
生成物が多かったり、また排気ガスとして沈着しやすい
ガスを使用する場合には この真空装置では多段の動翼
群３と前記多段動翼群３の段間に位置する固定翼４との
間隔が非常に小さいことを考虜すると、多段の動翼群の
翼 または固定翼の翼に反応生成物が堆積したり、ガス
が翼表面に付着して、排気ガスの通路を小さくし その
結果急速に真空装置の真空到達能力を低下させるという
問題点を有していた 本発明は上記課題を解決するもので、ガス中の反応生成
物の翼への付着、またはガスの翼への付着を低減させ、
排気能力の低下を防ぐことができる真空装置を提供する
ことを目的とすム課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために 吸気口と排気口と
を備えたハウジングと前記ハウジングの内部に位置する
多段の動翼群と、前記動翼群を結合させた回転軸と、前
記回転軸を駆動させる回転駆動手段と、前記動翼群の翼
と逆方向の翼角を持つ固定翼を（ｌｉ先 前記動翼群と
前記固定翼の少なくともいずれか一方へ もしくは前記
動翼群と前記固定翼の両方へ 発熱体と発熱体駆動手段
を備えたターボ分子ポンプと、前記ターボ分子ポンプの
排気口に接続されたロータリーポンプ等の排気ポンプと
を配してなるものであム 作用 本発明は上記した構成により、多段の動翼群か前記動翼
群の各段間に位置する固定翼の少なくとも一方に 発熱
体を配しているので、発熱体駆動手段により発熱体から
発せられた熱で前記動翼群もしくは前記固定翼が加熱さ
れ 付着した反応生成物のガス（Ｌ または付着した
ガスの脱着ができるものであム 実施例 第１図は本発明の一実施例についての真空装置の構成図
を示すものであム 以下、本発明の一実施例について第
１図を参照しながら説明する。
第１図に示すようへ 真空装置２１はターボ分子ポンプ
とロータリーポンプ等の排気ポンプからなム 前記ター
ボ分子ポンプ（友 吸気口と排気口とを備えたハウジン
グと、回転軸２２と回転駆動手段である誘導電動機と、
多段の動翼群２３と、前記多段動翼群２３の段間に位置
する固定翼２４からなも前記回転軸２２は球軸受け２５
により支持されており、誘導電動機２６により自在に回
転可能であム 前記回転軸２２の内部にはコイル２７が
存在し また前記コイル２７には抵抗体２８が接続され
ており閉回路を形成していも また 多段の動翼群２３
は前記回転軸２２に固定されており、回転軸２２の回転
により動翼群２３も回転すム そして、前記固定翼２４
はハウジング２９の内壁に位置するステータ３０により
支持されており、固定翼４の各段は多段動翼３の各段間
に位置し 前記動翼群の翼と逆方向の翼角を持つ。そし
て、前記ハウジング２９の外壁にはテープヒータ３１が
装着されており、 このテープヒータ３１は発熱体駆動
手段３２と接続されている。
とロータリーポンプ等の排気ポンプからなム 前記ター
ボ分子ポンプ（友 吸気口と排気口とを備えたハウジン
グと、回転軸２２と回転駆動手段である誘導電動機と、
多段の動翼群２３と、前記多段動翼群２３の段間に位置
する固定翼２４からなも前記回転軸２２は球軸受け２５
により支持されており、誘導電動機２６により自在に回
転可能であム 前記回転軸２２の内部にはコイル２７が
存在し また前記コイル２７には抵抗体２８が接続され
ており閉回路を形成していも また 多段の動翼群２３
は前記回転軸２２に固定されており、回転軸２２の回転
により動翼群２３も回転すム そして、前記固定翼２４
はハウジング２９の内壁に位置するステータ３０により
支持されており、固定翼４の各段は多段動翼３の各段間
に位置し 前記動翼群の翼と逆方向の翼角を持つ。そし
て、前記ハウジング２９の外壁にはテープヒータ３１が
装着されており、 このテープヒータ３１は発熱体駆動
手段３２と接続されている。
以上のように構成されたこの実施例の真空装置において
、以下その動作を説明すも 上記構成において真空装置
を運転すると、まず、ロータリーポンプ等の補助ポンプ
が動作し 吸気口から吸入ガスが流入し荒びきされも
その檄 ターボ分子ポンプの多段動翼群が高速回転し
吸気口３３から吸入ガスが流入し 多段の動翼群の翼
そして前記動翼群の段間に位置する固定翼の翼にガス分
子が衝突することにより、流入されたガスは徐々に圧縮
されて排気口３４か叙 しいては補助ポンプから排出さ
れも 前記動翼群２３は誘導電動機２６により高速に回
転し 回転軸内部に存在するコイル２７に誘導起電力が
起こり、その結果コイルに接続されている抵抗体２８か
ら熱が発せられも その熱により動翼群の翼は加熱され
も −人 ハウジング２９の外壁に装着されたテープヒ
ータ３１は発熱体駆動手段３２により加熱し さらには
外壁およびそれに結合している固定翼とを加熱できも このように本発明の実施例の真空装置の構造によれは
多段の動翼群２３にはコイルと抵抗体を配し 固定翼２
４が取りつけられているハウジング２９にテープヒータ
３１を配しているので、排気ガス中に反応生成物が存在
したり、排気ガスが沈着しやすいガスである場合に（戴
動翼および固定翼を加熱することにより、付着した反
応生成物のガス化および付着したガスの脱着ができるも
のであも発明の効果 以上の実施例から明らかなように 本発明によれば 多
段の動翼群と、前記動翼群と逆方向の翼角を持ちかつ動
翼群の各段間に位置する翼を持つ固定翼の少なくともい
ずれか一方番ミ もしくは両方に 発熱体と発熱体駆
動手段を配しているので、排気ガス中に反応生成物が存
在したり、排気ガスが沈着しやすいガスである場合に（
戴 動翼群および固定翼を加熱することにより、付着し
た反応生成物のガス化および付着したガスの脱着ができ
、真空到達能力および排気能力の低下を防ぐことができ
る真空装置を提供できも
、以下その動作を説明すも 上記構成において真空装置
を運転すると、まず、ロータリーポンプ等の補助ポンプ
が動作し 吸気口から吸入ガスが流入し荒びきされも
その檄 ターボ分子ポンプの多段動翼群が高速回転し
吸気口３３から吸入ガスが流入し 多段の動翼群の翼
そして前記動翼群の段間に位置する固定翼の翼にガス分
子が衝突することにより、流入されたガスは徐々に圧縮
されて排気口３４か叙 しいては補助ポンプから排出さ
れも 前記動翼群２３は誘導電動機２６により高速に回
転し 回転軸内部に存在するコイル２７に誘導起電力が
起こり、その結果コイルに接続されている抵抗体２８か
ら熱が発せられも その熱により動翼群の翼は加熱され
も −人 ハウジング２９の外壁に装着されたテープヒ
ータ３１は発熱体駆動手段３２により加熱し さらには
外壁およびそれに結合している固定翼とを加熱できも このように本発明の実施例の真空装置の構造によれは
多段の動翼群２３にはコイルと抵抗体を配し 固定翼２
４が取りつけられているハウジング２９にテープヒータ
３１を配しているので、排気ガス中に反応生成物が存在
したり、排気ガスが沈着しやすいガスである場合に（戴
動翼および固定翼を加熱することにより、付着した反
応生成物のガス化および付着したガスの脱着ができるも
のであも発明の効果 以上の実施例から明らかなように 本発明によれば 多
段の動翼群と、前記動翼群と逆方向の翼角を持ちかつ動
翼群の各段間に位置する翼を持つ固定翼の少なくともい
ずれか一方番ミ もしくは両方に 発熱体と発熱体駆
動手段を配しているので、排気ガス中に反応生成物が存
在したり、排気ガスが沈着しやすいガスである場合に（
戴 動翼群および固定翼を加熱することにより、付着し
た反応生成物のガス化および付着したガスの脱着ができ
、真空到達能力および排気能力の低下を防ぐことができ
る真空装置を提供できも
第１図は本発明の一実施例の真空装置の内部構造を示す
断面図 第２図は従来の真空装置の内部構造を示す断面
図であム
断面図 第２図は従来の真空装置の内部構造を示す断面
図であム
Claims (3)
- （１）吸気口と排気口とを備えたハウジングと、前記ハ
ウジング内部に位置する発熱体と発熱体駆動手段とを備
えた多段の動翼群と、前記動翼群を結合させた回転軸と
、前記回転軸を駆動させる回転駆動手段と、前記動翼群
の段間に位置する前記動翼群の翼と逆方向の翼角を持つ
固定翼とを持つターボ分子ポンプと、前記ターボ分子ポ
ンプの排気口に接続された排気ポンプとを具備すること
を特徴とする真空装置。 - （２）吸気口と排気口とを備えたハウジングと、前記ハ
ウジング内部に位置する多段の動翼群と、前記動翼群を
結合させた回転軸と、前記回転軸を駆動させる回転駆動
手段と、前記動翼群の段間に位置する前記動翼群の翼と
逆方向の翼角を持ち発熱体と発熱体駆動手段とを備えた
固定翼とを持つターボ分子ポンプと、前記ターボ分子ポ
ンプの排気口に接続された排気ポンプとを具備すること
を特徴とする真空装置。 - （３）多段の動翼群に発熱体と発熱体駆動手段とを備え
た特許請求の範囲第２項記載の真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23353390A JPH04112997A (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23353390A JPH04112997A (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | 真空装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04112997A true JPH04112997A (ja) | 1992-04-14 |
Family
ID=16956540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23353390A Pending JPH04112997A (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04112997A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6824357B2 (en) * | 2001-08-30 | 2004-11-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolecular pump |
-
1990
- 1990-09-03 JP JP23353390A patent/JPH04112997A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6824357B2 (en) * | 2001-08-30 | 2004-11-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolecular pump |
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