JPS6321394A - 多段型オイルフリ−真空ポンプ - Google Patents

多段型オイルフリ−真空ポンプ

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JPS6321394A
JPS6321394A JP16460886A JP16460886A JPS6321394A JP S6321394 A JPS6321394 A JP S6321394A JP 16460886 A JP16460886 A JP 16460886A JP 16460886 A JP16460886 A JP 16460886A JP S6321394 A JPS6321394 A JP S6321394A
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JP
Japan
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intake port
rotor
stator
compression pump
port
Prior art date
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Pending
Application number
JP16460886A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Nagaoka
隆司 長岡
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ロータを垂直に支承した縦軸型で、流路に油
のないオイルフリー真空ポンプに係り、特に中低真空域
の排気に好適な、吸気口側に遠心圧縮ポンプ段、又はジ
ーグバーンポンプ段を設けたターボ形オイルフリー真空
ポンプに関する。
〔従来の技術〕
この種の真空ポンプとして、例えば特開昭60−252
197号公報に開示されているものがある。以下、第5
図にてこれを説明する。
第5図において、本体支持枠をなすケーシング1には、
排気すべき気体を吸込むための吸気口2と、前記気体を
放出するための排気口3が設けられ、この吸気口2と排
気口3との間に中間吐出口4および中間吸込口5が形成
されている。吸気口2とは相対向したケーシング外に駆
動用モータ10が取付けられており、この駆動用モータ
10の回転軸11は吸気口2に向けて延長されている。
この回転軸には、吸気口2に近い位置からジープバーン
ポンプ20.遠心圧縮ポンプ30そして円周流圧縮ポン
プ40の各ロータが順次取付けられている。一方、ケー
シング1には各ロータに相対してステータが固定されて
いる。即ち、吸気口2と中間吐出口4との間において、
回転軸11には、吸気口2に隣接してジーグバーンボン
プロータ21と中間吐出口4に隣接して遠心圧縮ポンプ
ロータ31がナツト6によって固定されており、またケ
ーシング1には、ら旋溝を有するジーグバーンボンプス
テータ22と遠心圧縮ポンプ32が前記ポンプの各ロー
タと一定間隙を置いて固定されている。このように吸気
口2と中間吐出口4との間のケーシング1内には、ジー
グバーンポンプ20および遠心圧縮ポンプ22が連設さ
れ、排気すべき気体を初段のジーグバーンポンプ20か
ら一吸引し、続く遠心圧縮ポンプ30を経て中間吐出口
4から吐き出すように構成されている。そして、中間吸
込口5と排気口3間には、ロータ41を回転軸11に取
付け、ステータ42を該ロータ41に一定間隙を置いて
ハウジング1内に固定した円周流圧縮ポンプ40が配置
されている。一方、ケーシング外には、前記中間吐出口
4に吸込側および中間吸込口5に吐出側が接続されたエ
ゼクタ50が設けられている。このエゼクタ50はノズ
ル51が設けられた負圧発生部52と、該負荷発生部の
吐出口に連通したディフューザ55とからなっている。
高圧ガス供給源から送られた高圧の駆動気体が供給口5
3を介してノズル51から負圧発生部52内に噴射され
、その際発生する負圧によって中間吐出口4を介して前
段ポンプで圧縮した気体を吸引し、駆動気体と共にディ
フューザ55に送る。ディフューザ55を出た気体は中
間吸込口5を経て円周流圧縮ポンプ40に送られ、更に
圧縮されて排気口3から大気に放出される。
上述のような流路に油のないオイルフリー型の真空ポン
プは、真空側に油が逆流したり、油蒸気が逆拡散するこ
とによって汚染するという問題を避けることができるが
、一方性能を確保するためには、ジーグバーンポンプ段
、遠心圧縮ポンプ段。
円周流圧縮ポンプ段ともロータとステータの間隙を0.
2〜0.3nwnという狭い値に設定する必要がある。
それに対して、前記吸気口2から直径0.2画以上の大
きさの異物が、前記ケーシング1内に入り込んだ場合、
この異物がロータとステータの間隙部にかみ込まれて、
ロータやステータを損傷する可能性があるという点につ
いては配慮されていなかった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記の従来の真空ポンプは、吸気口から流入する気体内
に大きさが0.2 no以上の大きな異物が含まれてい
る場合について配慮がなされておらず、その異物がロー
タの羽根を損傷したり、ロータとステータの間隙にかみ
込まれたりすることがあるという問題点があった。
本発明の目的は、吸気口から流入する気体内に大きな異
物が含まれていても、真空ポンプのロータ、ステータな
どの主要部分に損傷を与えないようにした多段型オイル
フリー真空ポンプを提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記目的は、ロータの最上部の吸気口に最も近い位置に
、吸気口に面する側に羽根のない回転円板を設けると共
に、ステータの最−ヒ部の吸気口に面する側の、回転円
板の外径より大きな径の位置に、吸気口側に開口部をも
つ周方向溝を設けることにより、達成される。
〔作用〕
ロータの最上部の吸気口に最も近い位置に設けた吸気口
に面する側に羽根のない回転円板は、吸気口から流入し
た大きな異物を外径側にはじき飛ばすように作用し、ス
テータの最上部の吸気口に面する側の回転円板の外径よ
り大きな径の位置に設けた吸気口側に開口部をもつ周方
向溝は、回転円板によってはじき飛ばされた異物をため
込むように作用する。それによって、吸気口から流入し
た大きな異物は、流路内に入ることがなくなるので、ロ
ータ、ステータなどの主要部分が損傷することはない。
〔実施例〕
以下1本発明の一実施例を図面により説明する。
第1図において、回転軸11は吸気口2と排気口3を有
するケーシング1を貫通し、軸受7を介して回転自在に
垂直に支持されており、前記回転軸11に組み込まれた
モータ10により駆動される。30.40は前記吸気口
2側から排気口3側に至る間のケーシング1内に順次連
設された遠心圧縮ポンプ段、および円周流圧縮ポンプ段
である。
上記遠心圧縮ポンプ段30は、第2図(a)。
(b)に示すように表面に複数個の羽根33を有し、か
つ回転軸11に取り付けられた遠心圧縮ポンプロータ3
1と、第2図(、)、(Q)に示すようにケーシング1
内に取り付けられ、かつ前記遠心圧縮ポンプロータ31
の裏面(羽根33を設けない面)に対向する面に、複数
個の羽根34を設けた遠心圧縮ポンプステータ32とを
交互に並列に配置して構成されている。
また、前記円周流圧縮ポンプ段40は、第3図(、)に
示すように、回転軸11に取り付けられた円周流圧縮ポ
ンプロータ41と、ケーシング1内に取り付けられた円
周流圧縮ポンプステータ42から構成されている。前記
円周流圧縮ポンプロータ41は、外径側の円板状の突出
部に、複数個の羽根43を設けである。第3図(b)は
、第3図(a)のX−X断面矢視図であり、前記円周流
圧縮ポンプロータ41の羽根43の形状を示しく7) ている。第3図(c)は、第3図(a)のY−Y断面矢
視図であり、前記円周流圧縮ポンプステータ42の溝形
状を示している。前記円周流圧縮ポンプステータ42は
、内径側に第3図(Q)に示すようなU字形の溝44を
複数個有し、外径側には、冷却用の水冷ジャケット部4
5を有する。前記円周流圧縮ポンプロータ41の外径側
の円板状突出部は、前記円周流圧縮ポンプステータ42
の内径側のU字形溝44と交互に入り込むようにして、
円周流圧縮ポンプ段40を構成するが、組み立て上の必
要性から、前記円周流圧縮ポンプステータ42は、回転
軸11の中心線を含む面で縦に分割した半割れ構造とす
る必要がある。
前記遠心圧縮ポンプロータ31の最上部の前記吸気口2
に最も近い位置には、吸気口2に面した側に羽根のない
回転円板8が取り付けられており、また前記遠心圧縮ポ
ンプステータ32の最上部の吸気口2に面する側の回転
円板8の外径よりも大きな径の位置には、吸気口2側に
開口部をもつ周方向溝9が設けられている。
前記吸気口2から流入する気体中に、例えば0.1m以
上の大きな異物が混在していた場合、この異物は前記回
転円板8にぶつかり、その回転によって外径側へはじき
飛ばされ、前記周方向溝9内に入る。したがって異物は
、流路内に入り込むことはないので、ロータ、ステータ
の間隙にかみ込まれて、ロータやステータを損傷するこ
とはない。また、0.1 mm以下の非常に小さな異物
は、気体の流れに混入したまま流路内に入り込むことも
あるが、ロータ、ステータの間隙はこの異物の寸法より
大きいため、やはり損傷の原因とはならない。
第1図に示す実施例では、前記回転円板8の前記吸気口
2に面する側の反対側の面に相開するステータに羽根が
設けられており、この部分でも圧縮作用があるが、この
羽根がない場合、すなわち圧縮作用が前記回転円板8に
隣接する遠心圧縮ポンプロータ31から始まるように構
成した場合においても、前述のような前記回転円板8と
前記周方向溝9の作用に変わりがないことはいうまでも
ない。
第4図は、本発明の他の実施例を示したものである。こ
の実施例では、吸気口2から排気口3に向けて、ジーグ
バーンボンプ段20.遠心圧縮ポンプ段309円周流圧
縮ポンプ段40の順に配置されており、ジーグバーンポ
ンプロータ21の最上部の吸気口2に最も近い回転円板
8が設けられており、またジーグバーンボンプステータ
22の最上部の吸気口に面する側に周方向溝9が設けら
れている。この回転円板81周方向溝9の作用は、前述
の実施例と全く同じである。また第3図に示す実施例で
は、前記ジーグバーンボンプステータ22の最上部の前
記回転円板8に相対する側の面にら旋状の溝を加工して
いないが、このようなら旋状溝を設けて圧縮作用をする
ように構成した場合でも、前記回転円板82周方向溝9
の作用に変わりはない。
〔発明の効果〕
本発明によれば、吸気口から流入する気体内に大きな異
物が含まれていても、この異物が流路内に入ることがな
いので、ロータやステータなどの主要部分が損傷される
のを防止する効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の縦断面図、第2図(a)、
(b)、(c)は第1図の遠心圧縮ポンプ段の詳細を示
す図、第3図(a)は第1図の円周流圧縮ポンプ段の詳
細を示す図、第3図(b)は第3図(a)のX−X矢視
断面図、第3図(c)は第3図(a)のY−Y矢視断面
図、第4図は本発明の他の実施例の縦断面図、第5図は
従来の真空ポンプの縦断面を示す図である。 2・・・吸気口、8・・・回転円板、9・・・周方向溝
、30・・・遠心圧縮ポンプ段、40・・・円周流圧縮
ポンプ段、31・・・遠心圧縮ポンプロータ、32・・
・遠心圧縮ポンプステータ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、吸気口と排気口を有するハウジングと、そのハウジ
    ング内に固定されたステータと、前記ハウジング内に垂
    直に回転自在に支承されたロータとから成る多段型オイ
    ルフリー真空ポンプにおいて、前記ロータの最上部の前
    記吸気口に最も近い位置に、前記吸気口に面する側に羽
    根のない回転円板を設けると共に、前記ステータの最上
    部の前記吸気口に面する側の前記回転円板の外径よりも
    大きな径の位置に、前記吸気口側に開口部をもつ周方向
    の溝を設けたことを特徴とする多段型オイルフリー真空
    ポンプ。
JP16460886A 1986-07-15 1986-07-15 多段型オイルフリ−真空ポンプ Pending JPS6321394A (ja)

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JP16460886A JPS6321394A (ja) 1986-07-15 1986-07-15 多段型オイルフリ−真空ポンプ

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63227990A (ja) * 1987-02-25 1988-09-22 アルカテル・セイテ 回転式真空ポンプ
JP2010504464A (ja) * 2006-09-22 2010-02-12 エドワーズ リミテッド 分子ドラグポンプ機構
JP2015534901A (ja) * 2013-07-19 2015-12-07 エルジー・ケム・リミテッド 気液分離装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63227990A (ja) * 1987-02-25 1988-09-22 アルカテル・セイテ 回転式真空ポンプ
JP2010504464A (ja) * 2006-09-22 2010-02-12 エドワーズ リミテッド 分子ドラグポンプ機構
US8662841B2 (en) 2006-09-22 2014-03-04 Edwards Limited Vacuum pump
JP2015534901A (ja) * 2013-07-19 2015-12-07 エルジー・ケム・リミテッド 気液分離装置

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