JPS63227990A - 回転式真空ポンプ - Google Patents

回転式真空ポンプ

Info

Publication number
JPS63227990A
JPS63227990A JP63041796A JP4179688A JPS63227990A JP S63227990 A JPS63227990 A JP S63227990A JP 63041796 A JP63041796 A JP 63041796A JP 4179688 A JP4179688 A JP 4179688A JP S63227990 A JPS63227990 A JP S63227990A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stator
rotor
particles
vanes
vacuum pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP63041796A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH081190B2 (ja
Inventor
クロード・ソージヨ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alcatel CIT SA
Original Assignee
Alcatel CIT SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Alcatel CIT SA filed Critical Alcatel CIT SA
Publication of JPS63227990A publication Critical patent/JPS63227990A/ja
Publication of JPH081190B2 publication Critical patent/JPH081190B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/526—Details of the casing section radially opposing blade tips
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/70—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning
    • F04D29/701—Suction grids; Strainers; Dust separation; Cleaning especially adapted for elastic fluid pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
  • Electrophonic Musical Instruments (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
  • Valves And Accessory Devices For Braking Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は固定子及び回転子を含む回転真空ポンプに係り
、回転子は固定子の内側を回転し、固定子は吸込み入口
と排出出口をもつ。
発明の背景 この種のポンプ、例えば１１１１ｂ〜１０　’−ｍ　ｂ
間の圧力を保持することができる分子ポンプ又はターボ
分子ポンプは、非常に高速で回転し、そして回転子支持
軸受にとっても、また同じく駆動電気モータの間隙及び
モータや軸受を含む部分からポンプの活性部分を分離す
る力学封止の間隙にとっても、結局は前記部材の破損を
招く非常に小さな物理的粒子の吸込みによって影響を受
けることがあり得る。　この種の粒子の吸込みを防ぐた
め、ポンプの吸込み入口に、およそ１０ミクロンからせ
いぜい２０ミクロンまでのメツシュをもつ非常に細かい
金属網によって構成される１又はそれ以上のフィルタを
取付けることが知られている。
これらのフィルタは実際にこの種の粒子を停止するが、
しかしそれらのコンダクタンスが非常に低い。この圧力
範囲では流れ状態は分子性又は粘性で、その結果フィル
タ気孔の分子コンダクタンスは、この］ンダクタンスが
気孔直径の３乗に比例しかつ気孔長さに逆比例するから
非常に小さい。
このようなフィルタの低コンダクタンスはポンプの吸上
げ速度をかなり減少させる。フィルタのコンダクタンス
の低さに加えて、このフィルタは急速に詰まり、従って
吸上げ速度が急速に低下する。
１豆二１Ｌ 本発明はこれらの欠点を軽減し、例えば上記のような分
子又はターボ分子ポンプを提供することを１指しており
、回転子の吸込み端が傾斜した羽根をもつ少なくとも１
個の車輪を担持しており、吸込まれる固形粒子をすべて
径方向に環状固定子捕集タンクへ向けて射出し、該タン
クは、固定子の空ｌに開きかつ前記粒子が前記羽根によ
って射出される面内に位置する環状開口をもつ。
具体例 本発明の非限定的な特定具体例について添附図面を参照
して以下に詳しく説明する。
図示の具体例では、ポンプは羽根ポンプであるが、本発
明はホールウニツク（Ｈｏｌｗｅｃｋ　）ポンプのよう
なゲーデ（Ｇａｅｄｃ　）チャネル形ポンプにも適用可
能である。
図示のターボ分子ポンプは、固定子１と固定子の内側に
取り付けられかつ軸受け３及び４内を回転するべく支承
された回転子２を含む。これは電気モータ５によって回
転される。
固定子１は２つの部分に分割され、第１部分は複数個の
固定羽根段７を備える固定子空胴６を含み、第２部分は
軸受３及び４を受取る空間８及びモータ５を含む。
スリーブ９（空間８が外部と連絡するときは特に力学封
止を構成することができる）は固定子空Ｔｌ４６を空Ｗ
ＩＪ８から分離する。
固定子空胴６内では、回転子２は固定子羽根段７と交互
である一連の回転子羽根アイスフ１０をもつ。
固定子１はまた吸込み人口１１と排出出口１２を含む。
本発明によれば、固形粒子の吸込みを防ぐため、羽根デ
ィスク１０から上流にある回転子端２は傾斜した羽根１
４をもつ車輪１３を備えている。羽根１４は遠心力によ
って径方向に粒子を射出するために働き、粒子は固定子
１内の環形捕集タンク内に集められ、前記タンクは粒子
が羽根によって射出される面で固定子空Ｉｉ６に開く環
状同口１６が取付けられている。
図示の例ではただ１個の車輪１３シがないが、任意に複
数個の重ね合せ車輪があってもよい。羽根１４は吸込み
段１０の羽根よりもっと大きな角度の傾斜をもってもよ
い。濾過すべき粒子の性質、質ｍ及び体積によって、羽
根車１３は第１圧縮段からさまざまな異なる距離に固定
することができる。
羽根１４の傾斜はこれらのパラメータにも左右される。
捕集タンク１５の容積は毎年１同突にすることが必要だ
というものである。
ボート穴１７は捕集タンク１５の満杯レベルを指示する
ために役立つ。
本発明は回転子が固定子に取付けられる方法とは無関係
に適用されることができることは明瞭である。ベル形回
転子に適用されても、図示のような回転子に適用されて
もよく、さらに軸受潤滑、モータ冷却、等々用の副次的
構造とはかかわりなく適用されることもできる。
さらに図は単に装置の一般構造を示す概略図であるにす
ぎず、段７及びアイスフ１０の組立ては当業者によく知
られている従来式の方法で実施され、ｌさらに車輪１３
についても同様のことがあてはまることは明らかである
。
【図面の簡単な説明】
図は本発明ターボ分子ポンプの略断面図である。 １・・・・・・固定子、２・・・・・・回転子、３．４
・・・・・・軸受け、５・・・・・・電気モータ、６・
・・・・・固定子空調、７・・・・・・固定羽根段、８
・・・・・・空間、９・・・・・・スリーブ、１０・・
・・・・回転羽根円板、１１・・・・・・吸込み入口、
１２・・・・・・排出出口。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 固定子及び回転子を含む回転真空ポンプであって、回転
    子は固定子の内側で回転し、また固定子は吸込み入口と
    排出出口とを含んでおり、回転子の吸込み端が、吸込ま
    れるどの固形粒子も環形固定子捕集タンクへ向けて径方
    向に射出されるような傾斜付き羽根をもつ少なくとも１
    個の車輪を担持しており、タンクが、固定子の空胴に開
    きかつ前記粒子が前記羽根によって射出される面内に位
    置する環状開口をもつポンプ。
JP63041796A 1987-02-25 1988-02-24 回転式真空ポンプ Expired - Lifetime JPH081190B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8702490 1987-02-25
FR8702490A FR2611819B1 (fr) 1987-02-25 1987-02-25 Pompe a vide, rotative

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63227990A true JPS63227990A (ja) 1988-09-22
JPH081190B2 JPH081190B2 (ja) 1996-01-10

Family

ID=9348301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63041796A Expired - Lifetime JPH081190B2 (ja) 1987-02-25 1988-02-24 回転式真空ポンプ

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4808067A (ja)
EP (1) EP0280984B1 (ja)
JP (1) JPH081190B2 (ja)
AT (1) ATE62531T1 (ja)
DE (1) DE3862319D1 (ja)
ES (1) ES2021770B3 (ja)
FR (1) FR2611819B1 (ja)
GR (1) GR3002083T3 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006051675A1 (ja) * 2004-11-10 2006-05-18 Osaka Vacuum, Ltd. ターボ分子ポンプの軸封防塵構造
JP2007211696A (ja) * 2006-02-09 2007-08-23 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3814721A1 (de) * 1988-04-30 1989-11-09 Asea Brown Boveri Radialluefter mit integriertem schmutzabscheider
US5358373A (en) * 1992-04-29 1994-10-25 Varian Associates, Inc. High performance turbomolecular vacuum pumps
US5217357A (en) * 1992-09-10 1993-06-08 Welch Robert E Rotary vane pump with removable particulate collection chamber
JPH0886298A (ja) * 1994-09-19 1996-04-02 Hitachi Ltd ドライターボ真空ポンプ
FR2736103B1 (fr) * 1995-06-30 1997-08-08 Cit Alcatel Pompe turbomoleculaire
US5709528A (en) * 1996-12-19 1998-01-20 Varian Associates, Inc. Turbomolecular vacuum pumps with low susceptiblity to particulate buildup
US6193461B1 (en) 1999-02-02 2001-02-27 Varian Inc. Dual inlet vacuum pumps
GB0013491D0 (en) 2000-06-02 2000-07-26 Boc Group Plc Improved vacuum pump
US6821099B2 (en) * 2002-07-02 2004-11-23 Tilia International, Inc. Rotary pump
JP2005344610A (ja) * 2004-06-03 2005-12-15 Boc Edwards Kk 真空排気装置
US7927066B2 (en) * 2005-03-02 2011-04-19 Tokyo Electron Limited Reflecting device, communicating pipe, exhausting pump, exhaust system, method for cleaning the system, storage medium storing program for implementing the method, substrate processing apparatus, and particle capturing component
US20180038389A1 (en) * 2015-03-20 2018-02-08 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Compressor system, and attachment structure for centrifugal separator
DE102020209612A1 (de) 2020-07-30 2022-02-03 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Flüssigkeitspumpe

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52147309A (en) * 1976-06-02 1977-12-07 Hitachi Zosen Corp Inlet casing of turbo machine
JPS5627394U (ja) * 1979-08-09 1981-03-13
JPS62107292A (ja) * 1985-11-01 1987-05-18 Hitachi Ltd 微小粒子除去機構付の真空ポンプ
JPS6321394A (ja) * 1986-07-15 1988-01-28 Hitachi Ltd 多段型オイルフリ−真空ポンプ

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2732032A (en) * 1956-01-24 sandison
CH132105A (de) * 1927-12-17 1929-03-31 Kuendig B A Zentrifugal-Ventilatoranlage.
US1958145A (en) * 1932-05-23 1934-05-08 Jones William Anthony Fan
US2370778A (en) * 1943-05-24 1945-03-06 Pesco Products Co Booster pump
BE542540A (ja) * 1954-11-05
US3066912A (en) * 1961-03-28 1962-12-04 Gen Electric Turbine erosion protective device
US3813854A (en) * 1972-07-07 1974-06-04 N Hortman Centrifugal separator having axial-flow vortex generator
US3827482A (en) * 1972-12-21 1974-08-06 R Pope Radiator fan for earth movers
DD109918A1 (ja) * 1974-02-22 1974-11-20
IT1032818B (it) * 1975-05-06 1979-06-20 Rava E Perfezionamento alle pompe turbomo lecolari
JPS5420207A (en) * 1977-07-15 1979-02-15 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd Construction for preventing dust of axial flow turbine
CH633454A5 (de) * 1978-12-01 1982-12-15 Bbc Brown Boveri & Cie Staubabscheider zur abscheidung von staeuben aus stroemenden gasen.
FR2521650A1 (fr) * 1982-02-16 1983-08-19 Cit Alcatel Pompe rotative a vide eleve

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52147309A (en) * 1976-06-02 1977-12-07 Hitachi Zosen Corp Inlet casing of turbo machine
JPS5627394U (ja) * 1979-08-09 1981-03-13
JPS62107292A (ja) * 1985-11-01 1987-05-18 Hitachi Ltd 微小粒子除去機構付の真空ポンプ
JPS6321394A (ja) * 1986-07-15 1988-01-28 Hitachi Ltd 多段型オイルフリ−真空ポンプ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006051675A1 (ja) * 2004-11-10 2006-05-18 Osaka Vacuum, Ltd. ターボ分子ポンプの軸封防塵構造
JP2007211696A (ja) * 2006-02-09 2007-08-23 Shimadzu Corp ターボ分子ポンプ

Also Published As

Publication number Publication date
DE3862319D1 (de) 1991-05-16
GR3002083T3 (en) 1992-12-30
EP0280984B1 (fr) 1991-04-10
FR2611819B1 (fr) 1989-05-05
FR2611819A1 (fr) 1988-09-09
ES2021770B3 (es) 1991-11-16
EP0280984A1 (fr) 1988-09-07
JPH081190B2 (ja) 1996-01-10
US4808067A (en) 1989-02-28
ATE62531T1 (de) 1991-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS63227990A (ja) 回転式真空ポンプ
US5709528A (en) Turbomolecular vacuum pumps with low susceptiblity to particulate buildup
US4668160A (en) Vacuum pump
US10967388B2 (en) Centrifugal separator having a liquid outlet chamber with a rotating member
JP2003513792A (ja) ガス清浄方法及びガス清浄装置
JPH0655140A (ja) 遠心羽根車式の風力分級機に用いられる分級羽根車
EP1170508B1 (en) Molecular drag vacuum pumps
JPH04224295A (ja) ターボ分子ポンプ
JPH0783189A (ja) ターボ真空ポンプ
US5221178A (en) Circumferential flow type liquid pump
JP2001107889A (ja) 真空ポンプの改良
JP4907774B2 (ja) ガス摩擦ポンプ
US4281962A (en) High pressure centrifugal pump
JP2002509475A (ja) 吸引装置
US6626639B2 (en) Vacuum pump
JP2002527671A (ja) パルプポンプ
CN1093606C (zh) 排水泵
WO1999066209A1 (en) Pulp pump
USRE33129E (en) Vacuum pump
JPH10231798A (ja) 遠心形多翼送風機
JPH02136595A (ja) 真空ポンプ
EP1292211A1 (en) Liquid bath vacuum cleaner
CN209053785U (zh) 一种旋叶压缩机
AU677347B2 (en) A liquid pump
JPH10220375A (ja) 少なくとも一つの圧縮段と水分分離器とを備えた圧縮機