JP2007211696A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ターボ分子ポンプ1において、真空処理室から飛来したパーティクル20をターボ分子ポンプ内において捕捉、あるいはパーティクルが跳ね返るときの速度を小さくする構成を備え、これによって、吸気口12から上流側へのパーティクルの跳ね返りを減少させ、ターボ分子ポンプから真空処理室内へのパーティクルの逆流を抑制する。飛来したパーティクルをターボ分子ポンプ内で捕捉する構成として、パーティクルを捕捉するトラップスペース40や凹部30を設ける構成、パーティクルを埋没させて捕捉する捕捉部材50の構成、あるいは、パーティクルが跳ね返るときの速度を小さくする構成として、突入して反跳するパーティクルの跳ね返り速度を低下させる緩衝部材の構成を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- ポンプケーシング内に回転自在に軸支された多段のロータ翼を有するロータと、
前記ロータ翼間に固定された多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ポンプケーシングは、吸気口から内部に流入したパーティクルをポンプケーシングの内部の内壁面に捕捉することを特徴とする、ターボ分子ポンプ。 - ポンプケーシング内に回転自在に軸支された多段のロータ翼を有するロータと、
前記ロータ翼間に固定された多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ポンプケーシングは、前記ロータの吸い込み側1段目のロータ翼よりも上流側の内部にパーティクルを捕捉するトラップスペースを備えることを特徴とする、ターボ分子ポンプ。 - 前記トラップスペースは、
前記ロータの吸い込み側1段目のロータ翼よりも上流側の内壁の内径を、前記ロータの吸い込み側1段目のロータ翼部における内壁の内径よりも大径とすることで形成することを特徴とする、請求項1に記載のターボ分子ポンプ。 - ポンプケーシング内に回転自在に軸支された多段のロータ翼を有するロータと、
前記ロータ翼間に固定された多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータの吸い込み側の端部面の中央部分に凹部を備え、
前記凹部は、ロータの軸方向の断面形状において、
径方向の長さは軸方向の長さよりも長く、
軸方向の吸い込み側の端部は吸気口側に向かって開口し、
軸方向の吐き出し側は有底として内底部を形成し、
軸方向の前記開口と内底部の中間部分の内径は、前記開口の内径及び前記内底部の内径よりも大径であることを特徴とする、ターボ分子ポンプ。 - 前記ロータの吸い込み側の端部面の中央部分に、ロータの軸方向の断面形状において、径方向の長さが軸方向の長さよりも長く、軸方向の吸い込み側の端部は吸気口側に向かって開口し、軸方向の吐き出し側の端部は閉じて内底部を形成し、軸方向の前記両端部の中間部分の内径が前記開口の内径及び前記内底部の内径よりも大径である凹部を備えることを特徴とする、請求項2又は3に記載のターボ分子ポンプ。
- ポンプケーシング内に回転自在に軸支された多段のロータ翼を有するロータと、
前記ロータ翼間に固定された多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータの吸い込み側1段目のロータ翼よりも上流側のポンプケーシング内壁面に柔軟性を有する捕捉部材を備え、
当該捕捉部材は、突入したパーティクルを埋没させて捕捉することを特徴とする、ターボ分子ポンプ。 - ポンプケーシング内に回転自在に軸支された多段のロータ翼を有するロータと、
前記ロータ翼間に固定された多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータの吸い込み側1段目のロータ翼よりも上流側のポンプケーシング内壁面に反発係数の小さな緩衝部材を備え、
当該緩衝部材は、突入して反跳するパーティクルの跳ね返り速度を低下させることを特徴とする、ターボ分子ポンプ。 - 前記ロータの吸い込み側1段目のロータ翼よりも上流側のポンプケーシング内壁面に、柔軟性を有する捕捉部材又は反発係数の小さな緩衝部材を備えることを特徴とする、請求項2から請求項5のいずれか一つに記載のターボ分子ポンプ。
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