JP2000283086A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2000283086A5 JP2000283086A5 JP1999091302A JP9130299A JP2000283086A5 JP 2000283086 A5 JP2000283086 A5 JP 2000283086A5 JP 1999091302 A JP1999091302 A JP 1999091302A JP 9130299 A JP9130299 A JP 9130299A JP 2000283086 A5 JP2000283086 A5 JP 2000283086A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- rotor
- intake port
- rotor blade
- gas molecules
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001681 protective Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral Effects 0.000 description 2
- 210000003733 Optic Disk Anatomy 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Description
図6は従来の真空ポンプの構成について表したもので、(a)は上面から見た状態の一部を表す図、(b)は吸気口がストレートタイプの断面の一部を表す図、(c)は吸気口を絞ったタイプの断面の一部を表す図である。
この真空ポンプは、ケーシング10内に固定されたステータ70と、回転するロータ60とを備えている。各ステータ70とロータ60とは、軸方向に多段に配置されてタービンを形成する。
このような真空ポンプでは、モータにより定常状態において数万rpmでロータ60を高速回転させることで、真空(排気)処理を行うようになっている。
この真空ポンプは、ケーシング10内に固定されたステータ70と、回転するロータ60とを備えている。各ステータ70とロータ60とは、軸方向に多段に配置されてタービンを形成する。
このような真空ポンプでは、モータにより定常状態において数万rpmでロータ60を高速回転させることで、真空(排気)処理を行うようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このような、真空ポンプによる気体分子の排気は、ロータ60の回転により吸気口16から吸入した気体分子をロータ翼62の回転方向に叩くことで排気口17側に流れる分子の量と、吸気口16と排気口17の圧力差により排気口17側から吸気口16側に逆流する分子の量との差分が最終的な排気量、すなわち、ポンプの排気性能を決定することになる。
ところが、分子流領域における気体分子は、壁面への入射角度とは関係なく、衝突した壁面(衝突面)に垂直な方向に反射される。このため、ロータ翼62の先端付近で加速された分子の多くはその接線方向(ロータ翼62と垂直な方向)に進むことになる。一方、ケーシング10の内壁は通常、円筒形に作られており、その曲率によって、分子の進行方向(接線方向)に対して張出した形状となる。そのため、ロータ翼62の先端部に衝突した気体分子の多くはケーシング10の内壁に衝突することになる。
すると、ケーシング10における、ロータ翼62が配置される部分の内径が軸方向に一定の場合には、ロータ翼62の先端付近で加速した分子の多くがケーシング10に衝突し、ケーシング10の壁面と垂直方向に反射されるため、流れ方向の速度を失う。これにより、ロータ翼62の先端付近には、流れ方向(軸方向)の速度を失った気体分子が滞留することで排気流量が減少することになり、部分的に圧力が上昇する。そのため、排気性能が低下していた。
この傾向は、ロータ翼62による排気方向の運動量がまだ与えられていない最上段部や、運動量が少ない2段目のロータ翼62の先端付近に生じやすかった。
【発明が解決しようとする課題】
このような、真空ポンプによる気体分子の排気は、ロータ60の回転により吸気口16から吸入した気体分子をロータ翼62の回転方向に叩くことで排気口17側に流れる分子の量と、吸気口16と排気口17の圧力差により排気口17側から吸気口16側に逆流する分子の量との差分が最終的な排気量、すなわち、ポンプの排気性能を決定することになる。
ところが、分子流領域における気体分子は、壁面への入射角度とは関係なく、衝突した壁面(衝突面)に垂直な方向に反射される。このため、ロータ翼62の先端付近で加速された分子の多くはその接線方向(ロータ翼62と垂直な方向)に進むことになる。一方、ケーシング10の内壁は通常、円筒形に作られており、その曲率によって、分子の進行方向(接線方向)に対して張出した形状となる。そのため、ロータ翼62の先端部に衝突した気体分子の多くはケーシング10の内壁に衝突することになる。
すると、ケーシング10における、ロータ翼62が配置される部分の内径が軸方向に一定の場合には、ロータ翼62の先端付近で加速した分子の多くがケーシング10に衝突し、ケーシング10の壁面と垂直方向に反射されるため、流れ方向の速度を失う。これにより、ロータ翼62の先端付近には、流れ方向(軸方向)の速度を失った気体分子が滞留することで排気流量が減少することになり、部分的に圧力が上昇する。そのため、排気性能が低下していた。
この傾向は、ロータ翼62による排気方向の運動量がまだ与えられていない最上段部や、運動量が少ない2段目のロータ翼62の先端付近に生じやすかった。
また、図6(c)に示すように、回転翼外径より小さい口径のフランジに取り付けるために、ロータ翼62の上面より吸気口側(上流側)で所定の口径まで絞り、ケーシング内径を吸気口側で小さくしているターボ分子ポンプの場合、分子流領域における気体分子は直進性が高く、ほぼ吸気口16の口径と同一の範囲でしか気体分子が入射しないため、最上段部のロータ翼62では、周速が大きく排気効率の高い先端部(外周側)へ気体分子が回り込みにくいという問題があった。このため、最上段のロータ翼62の先端部分は、吸気口16からの気体分子に対しては死角となり、吸気口からの気体分子を排気する作用が小さく、逆流を防止する作用のみに使用される傾向にあり、排気作用に対する効率が低下していた。 このようなことを避けるために、ケーシング10の絞り部分の内径の変化率を小さくすることで吸気口からの最上段のロータ翼62の先端部分に回り込む気体分子の量を多くすることも考えられるが、吸気口16から最上段ロータ翼62までの距離が大きくなる結果、コンダクタンスが小さくなり、ポンプの吸気口16での排気速度(実効排気速度)は向上できなかった。
また、本実施形態の真空ポンプ1では、ロータ軸18の上部及び下部側には保護用ベアリング38、39が配置されている。
通常、ロータ軸18及びこれに取り付けられている各部からなるロータ部は、モータ30により回転している間、磁気軸受20により非接触状態で軸支される。保護用ベアリング38、39は、タッチダウンが発生した場合に磁気軸受20に代わってロータ部を軸支することで装置全体を保護するためのベアリングである。
従って保護用ベアリング38、39は、内輪がロータ軸18には非接触状態になるように配置されている。
通常、ロータ軸18及びこれに取り付けられている各部からなるロータ部は、モータ30により回転している間、磁気軸受20により非接触状態で軸支される。保護用ベアリング38、39は、タッチダウンが発生した場合に磁気軸受20に代わってロータ部を軸支することで装置全体を保護するためのベアリングである。
従って保護用ベアリング38、39は、内輪がロータ軸18には非接触状態になるように配置されている。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09130299A JP4104098B2 (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 真空ポンプ |
EP00302511A EP1041287A3 (en) | 1999-03-31 | 2000-03-28 | Vacuum pump |
US09/537,939 US6290457B1 (en) | 1999-03-31 | 2000-03-29 | Vacuum pump |
KR1020000016918A KR20010014675A (ko) | 1999-03-31 | 2000-03-31 | 진공펌프 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09130299A JP4104098B2 (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 真空ポンプ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000283086A JP2000283086A (ja) | 2000-10-10 |
JP2000283086A5 true JP2000283086A5 (ja) | 2005-10-27 |
JP4104098B2 JP4104098B2 (ja) | 2008-06-18 |
Family
ID=14022682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09130299A Expired - Lifetime JP4104098B2 (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 真空ポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6290457B1 (ja) |
EP (1) | EP1041287A3 (ja) |
JP (1) | JP4104098B2 (ja) |
KR (1) | KR20010014675A (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19951954A1 (de) * | 1999-10-28 | 2001-05-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
JP5149472B2 (ja) * | 2000-05-15 | 2013-02-20 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | ガス摩擦ポンプ |
DE10056144A1 (de) * | 2000-11-13 | 2002-05-23 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Gasreibungspumpe |
JP2002242876A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Stmp Kk | 磁気軸受式ポンプ |
JP4156830B2 (ja) * | 2001-12-13 | 2008-09-24 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
JP2006344503A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Boc Edwards Kk | 端子構造及び真空ポンプ |
US8231341B2 (en) | 2009-03-16 | 2012-07-31 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Hybrid compressor |
KR101784016B1 (ko) * | 2009-08-28 | 2017-10-10 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 및 진공 펌프에 사용되는 부재 |
DE102009039120A1 (de) * | 2009-08-28 | 2011-03-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
CN102425559B (zh) * | 2011-11-02 | 2014-06-25 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种磁悬浮分子泵降速过程中的平稳控制方法 |
CN102410238B (zh) * | 2011-11-02 | 2014-04-30 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种磁悬浮分子泵升速过程中的平稳控制方法 |
JP6706553B2 (ja) * | 2015-12-15 | 2020-06-10 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに搭載される回転翼、反射機構 |
JP6834845B2 (ja) * | 2017-08-15 | 2021-02-24 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR972751A (fr) * | 1941-04-09 | 1951-02-02 | Aviation Louis Breguet Sa | Compresseur axial multicellulaire à compression continue |
GB724074A (en) * | 1948-08-05 | 1955-02-16 | Edward Archibald Stalker | Improvements in blade structures as may be employed in axial flow compressors |
US2952403A (en) * | 1954-04-22 | 1960-09-13 | Edward A Stalker | Elastic fluid machine for increasing the pressure of a fluid |
DE2229724B2 (de) * | 1972-06-19 | 1980-06-04 | Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln | Turbomolekularpumpe |
GB2232205B (en) * | 1987-12-25 | 1991-11-13 | Sholokhov Valery B | Molecular vacuum pump |
DE4314418A1 (de) * | 1993-05-03 | 1994-11-10 | Leybold Ag | Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten |
US5618167A (en) * | 1994-07-28 | 1997-04-08 | Ebara Corporation | Vacuum pump apparatus having peltier elements for cooling the motor & bearing housing and heating the outer housing |
JP3160504B2 (ja) * | 1995-09-05 | 2001-04-25 | 三菱重工業株式会社 | ターボ分子ポンプ |
IT1281025B1 (it) * | 1995-11-10 | 1998-02-11 | Varian Spa | Pompa turbomolecolare. |
JPH1089284A (ja) * | 1996-09-12 | 1998-04-07 | Seiko Seiki Co Ltd | ターボ分子ポンプ |
IT1288737B1 (it) * | 1996-10-08 | 1998-09-24 | Varian Spa | Dispositivo di pompaggio da vuoto. |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP09130299A patent/JP4104098B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-03-28 EP EP00302511A patent/EP1041287A3/en not_active Withdrawn
- 2000-03-29 US US09/537,939 patent/US6290457B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-03-31 KR KR1020000016918A patent/KR20010014675A/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3961155B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP2000283086A5 (ja) | ||
JPH0826877B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP4104098B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JPH0553955B2 (ja) | ||
JPH1089284A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JPH0538389U (ja) | 真空ポンプ | |
JP2007198205A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JPH10311294A (ja) | 遠心送風機 | |
JP6953322B2 (ja) | ファンブレードの形状決定方法 | |
JP5409265B2 (ja) | インペラ及び回転機械 | |
JP2002021785A (ja) | 遠心圧縮機 | |
JP2000337289A5 (ja) | ||
JP3276011B2 (ja) | 遠心ポンプの羽根車 | |
JPH06167300A (ja) | ファンとシュラウドとの組立体 | |
JP3831994B2 (ja) | 送風機羽根車 | |
JP5248422B2 (ja) | ターボ機械及び水車ランナ | |
JPH10246197A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP6118784B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JPH0687691U (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP3734616B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JPH07217588A (ja) | 渦流ブロア | |
JP2009036099A (ja) | 遠心ポンプ | |
KR100437027B1 (ko) | 터보팬 | |
JP2023023914A (ja) | 遠心圧縮機 |