JP4716109B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Description
Claims (5)
- ポンプケーシング内に回転自在に軸支されたロータ翼を有するロータと、
前記ロータ翼間に固定された多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ポンプケーシング内において最上流段のロータ翼と吸気口端部との間の空間位置に、パーティクルを反跳させて運動方向を変更する反跳部材を備え、
前記反跳部材は、吸気口から排気口に向かうパーティクルをロータの中央側に向けて反跳し、最上流段のロータ翼から吸気口側に向かうパーティクルを排気口側に向けて反跳することを特徴とする、ターボ分子ポンプ。 - 前記ロータの吸気口側の端部面の中央部分に凹部を備え、
当該凹部は、吸気口側の端部の径が内部壁面の径よりも小径であることを特徴とする、請求項1に記載のターボ分子ポンプ。 - 前記反跳部材は、両端の内径を異にする円錐台形状の環状筒体であり、
当該環状筒体において、
最上流段のロータ翼側の端部の内径は吸気口側の端部の内径よりも小径であり、
最上流段のロータ翼側の端部は、ロータの軸方向においてポンプケーシングの吸気口とロータの上端との間の位置であり、
最上流段のロータ翼側の端部の内径は、ロータ翼の付け根位置の径とロータの吸気口側の端部面に設けた凹部の内径との間の径寸であり、
最上流段のロータ翼側の端部部分の開口面積は、当該端部部分とロータの吸気口側の端部面との間の距離を高さとし、最上流段のロータ翼側の端部の内径を径とする環状体の側面の面積と等しいかあるいは小さいことを特徴とする、請求項1又は2に記載のターボ分子ポンプ。
- ポンプケーシング内に回転自在に軸支されたロータ翼を有するロータと、
前記ロータ翼間に固定された多段のステータ翼を有するステータとを備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータの吸気口側の端部面の中央部分に凹部を備え、
前記ポンプケーシングの吸気口側の周端部に、吸気口側から前記凹部に向かって傾斜する傾斜面を備え、
前記傾斜面の先端部とロータの吸気口側の端部面との間に隙間を有することを特徴とする、ターボ分子ポンプ。 - 前記凹部は、吸気口側の端部の径が内部壁面の径よりも小径であることを特徴とする、請求項4に記載のターボ分子ポンプ。
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JP2005366149A JP4716109B2 (ja) | 2005-12-20 | 2005-12-20 | ターボ分子ポンプ |
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JP2005366149A JP4716109B2 (ja) | 2005-12-20 | 2005-12-20 | ターボ分子ポンプ |
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Families Citing this family (1)
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JP5350598B2 (ja) | 2007-03-28 | 2013-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 排気ポンプ、連通管、排気システム及び基板処理装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0814188A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-16 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | ターボ分子ポンプ |
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2005
- 2005-12-20 JP JP2005366149A patent/JP4716109B2/ja active Active
Patent Citations (1)
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JPH0814188A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-16 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | ターボ分子ポンプ |
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