JPS63266190A

JPS63266190A - タ−ボ真空ポンプ

Info

Publication number: JPS63266190A
Application number: JP9983287A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Okawada; 岡和田　剛; Masahiro Mase; 正弘真瀬; Isao Yano; 勲矢野; Seiji Sakagami; 誠二坂上
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1987-04-24
Filing date: 1987-04-24
Publication date: 1988-11-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、ターボ真空ポンプに係り、特にスロー排気が
可能であるターボ真空ポンプに関する。

〔従来の技術〕

半導体製造装置の真空排気系では、排気系の簡素化の要
求から１台で大気圧から高真空まで排気できる真空ポン
プに対する要求が高まっている。

この種の真空ポンプとしては、例えば特開昭６０−１３
５６９４号公報に記載されている。

（発明が解決しようとする問題点〕上述のような真空ポンプはポンプ始動時でもかなり大き
な排気速度を有するために大気圧より排気する際には真
空容器にふりつもっているダストが舞い上がるとい°う
現象が起きる。舞い上がったダストは、クリーニングさ
れているウェーハー上にふりつもり、半導体の不良の原
因となる。

本発明の目的はスローな排気がさらに可能な真空ポンプ
を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の上記目的は、軸流翼を含む多段の翼車から成る
ターボ真空ポンプにおいて、軸流翼の一部或は全部の静
翼の翼角を変化させる手段を備えることにより達成され
る。

〔作用〕

軸流翼の静翼角を翼角変化手段により小さくすれば、静
翼の間の流路のコンダクタンスが小さくなる。この静翼
流路のコンダクタンスの値小さくなることに関連して、
ターボ真空ポンプの排気速度を小さくすることができる
。その結果、スローな排気を行い、ダストの舞よりを防
止することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面により説明する。

第１図は本発明の真空ポンプの一実施例を示すもので、
この第１図において、ロータ１はケーシング２内に配置
され、シャフト３に焼きばめされている。ロータ１の外
周には吸気口側から軸流ロータ４．遠心ロータ５．渦流
ロータ６が備えられている。軸流ロータ４に対向して軸
流ステータ７が備えられている。この軸流ステータ７は
、ステータリング８を介してケーシング２に支承されて
いる。軸流ステータ７の材質は形状記憶合金であり１例
えばＴ１Ｎｉ系の合金である。この軸流ステータは、第
２図に示すように円板９にスリット１０を入れたのち翼
１１をねじり加工により第３図に示すような翼角を持た
せるが、ねじり加工前に円板９は高温に加熱され第４図
に示す形状を記憶させる。この後、常温でねじり加工を
行い第４図の形状を低温で記憶させる。このようにする
と。

翼根光１２を加熱することにより第３図の状態の翼角α
が第２図に示すように小さい状態になる。

また、加熱を中止して翼が放熱して温度が下がると、第
４図の状態から第３図の状態になる。静翼７の外周の外
側には第１図に示すようにリング状のヒータ１３が備え
られている。このヒータ１３は静翼７の根元１２を加熱
できるようになっている。ヒータ１３の給電は、ハーメ
フランジ１７を介して行われる。ロータ１には、遠心ロ
ータ５゜渦流ロータ６に対向してそれぞれ遠心ステータ
２６、渦流ステータ２７が備えられている。シャフト３
は、玉軸受１４及び下ベース１５に支承される玉軸受１
６により支えられる。軸受の潤滑方式は、オイルタンク
１８に貯蔵されている油１９をリフトコーン２０により
吸い上げ、シャフト３の内部を通して軸受１４，１６に
供給する自給式をとっている。ロータ１の駆動は、シャ
フト３に焼きばめされる高周波モータロータ２１とモー
タケーシング２３に支承されるモータステータ２２によ
り高速駆動される。２４は吸気口、２５は排気口、２６
は遠心ステータ、２７は渦流ステータである。

次に上述した本発明のポンプの一実施例の動作を説明す
る。

ロータ１を高速駆動すると、軸流翼、遠心羽根。

渦流翼の作用により吸気口２４より排気口２５に気体分
子を排気することができる。また、各翼車の作用の組み
合わせで大気圧から高真空まで排気することができる。

また、軸流ステータ２の材質は形状記憶合金で、第３図
と第４図の形状を記憶させであるので、ヒータ１３によ
り加熱すると、軸流ステータ７の翼角αを第３図の状態
から第２図の状態にかえることができる。この状態は、
静翼の流路のコンダクタンスをきわめて小さい状態であ
る。従って、ポンプ始動時にヒータ１３に通電すると、
ポンプの排気速度は静翼の流路のコンダクタンスだけで
決まることになるので、スロー排気が可能となる。また
、ダストの舞い上がりの起きない圧力まで吸気側の圧力
が低くなった時点でヒータ１３の通電をやめると、軸流
ステータ７は放熱により温度が下がり、第４図の状態か
ら第３図の状態に戻る。この状態では、軸流ステータ７
は翼としての本来の働きをするようになるので、スロー
排気後の圧力から高真空までの排気を短時間で行うこと
ができる。この実施例では、軸流翼は２段となっている
ので、スロー排気速度を２段階に調節することができる
。従って、ある程度圧力の下がった時点ではダストの舞
い上がり起きない排気速度は大きくなることを考慮する
と、スロ−排気速度をスロー排気の途中で大きくしてス
ロー排気時間を短縮することも可能である。以上に示し
たようなスロー排気機能を備えることにより排気系に設
けていたメインバルブ、バイパス系が不要となり排気系
の簡素化ができる。また、本実施例のように軸流翼の静
翼すべてが、ヒータの通電により第４図の状態にできる
ものは、第２図の状態では軸流ロータと軸流ステータの
間の軸方向距離が大きくなるので、大気ブレークした場
合に軸流ロータのたわみにより軸流ロータと軸流ステー
タが接触することがない。従って、ヒータ通世中には大
気ブレークに対する信頼性が向上するという効果も有し
ている。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ターボ真空ポンプにスロー排気機能を
持たせることができるので、半導体製造装置の真空排気
系を簡素化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の真空ポンプの一実施例の縦断面図、第
２図は本発明を構成する軸流ステータのねじり加工前の
平面図、第３図は本発明を構成する軸流ステータの円筒
展開面図、第４図は細流ステータのスロー排気時の円筒
展開面図である。１・・・ロータ、２・・・ケーシング、３・・・シャフ
ト、４・・・軸流ロータ、５・・・遠心ロータ、６・・
・渦流ロータ、７・・・軸流ステータ、８・・・ステー
タリング、９・・・円板、１０・・・スリット、１１・
・・翼、１２・・・買置、１３・・・ヒータ、１４・・
・玉軸受、１５・・・下ベース、１６・・・玉軸受、１
７・・・ハーメフランジ、１８・・・オイルタンク、１
９・・・油、２０・・・リフトコーン、２１・・・モー
タロータ、２２・・・モータステータ、２３・・・モー
タケーシング、２４・・・吸気口、２５・・・排気口、
２６・・・遠心ステータ、２７・・・渦流ステータ。１゛。ｊ、

Claims

【特許請求の範囲】１、多段の翼車から構成され、翼車の一部が軸流翼であ
るターボ真空ポンプにおいて、軸流翼の一部或は全部の
静翼の翼角を変化させる手段を有することを特徴とする
ターボ真空ポンプ。２、特許請求の範囲第１項記載のターボ真空ポンプにお
いて、静翼の翼角の変化させる手段は形状記憶合金で構
成したことを特徴とするターボ真空ポンプ。３、特許請求の範囲第２項記載のターボ真空ポンプにお
いて、形状記憶合金に加熱手段を接続したことを特徴と
するターボ真空ポンプ。４、特許請求の範囲第３項記載のターボ真空ポンプにお
いて、静翼が形状記憶合金から成り、静翼の翼角が、静
翼の外径近傍の径でねじり加工により与えられているも
ので、加熱手段として静翼の外径のまわりにヒータを備
えたことを特徴とするターボ真空ポンプ。