JP4183409B2 - ガス摩擦ポンプ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は請求項1の上位概念に記載のガス摩擦ポンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ガスの供給のために種々の構造形式のガス摩擦ポンプが既知である。その作動方式は可動壁から気体粒子への力積の伝達に基づいている。このようにして、ガス流れが希望方向に発生される。気体分子の平均自由飛行距離がポンプの幾何形状寸法より大きい圧力範囲即ち分子流れ領域において作動するガス摩擦ポンプは分子ポンプと呼ばれる。
【0003】
このタイプの最初のガス摩擦ポンプがゲーデ(文献、W.Gaede,Ann.Phys.41(1913)337−)により紹介され、この基本原理を有するその他の技術的変更態様が、ジークバーン(文献、M.Siegbahn,Arch.Math.Astr.Fys.30B(1943))、ホルベック(文献、F.Holweck,Comptes redus Acad.Science 177(1923)43−)およびベッカー(文献、W.Becker,Vakuum Technik 9/10(1966))の構造である。後者はターボ分子ポンプとして既知であり且つ技術および科学の広い分野において高く評価されている。したがって、本発明を説明するために例としてターボ分子ポンプが引用される。
【0004】
以下に記載の従来から既知のポンプの欠点および本発明の範囲におけるこれらの欠点の除去は他のガス摩擦ポンプに対しても同様に適用される。
ターボ分子ポンプの排気速度は、本質的に、吸込フランジの入口断面積の関数であり、ポンプ吐出空間の方向を向くロータ羽根リングの平均周速およびロータ羽根リングの幾何形状構造の関数であり、さらには個々の段の間の圧縮比および排気速度の大きさがそれにより決定されるポンプの内部構造の関数であり、およびもとよりポンプまたはポンプ複合体の大気圧に排気する部分の関数である。上記のロータ羽根リングに衝突した分子の大部分がポンプにより排出可能なように、これらの関係を最適に形成し且つ技術的に可能な範囲で回転速度をさらに上昇させることができる。この場合、吸込フランジの入口断面積に到達したすべての分子は捕獲されない。この面積の大部分の領域は、ガス供給構造を有していないロータ前面により形成される。ロータ羽根リングがロータ前面の領域までさらに拡大されたときにおいても、排気速度は吸込フランジの断面積により制限されたままとなる。入口段のガス供給構造に衝突した分子よりも多量の分子はポンプにより排出することができない。しかしながら、入口段からも大部分が表面において跳ね返り、したがって、供給機構により捕獲されない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
吸込フランジの断面積が同じままであっても通常の構造に比較して明らかにより高い排気速度を有するガス摩擦ポンプを提供することが本発明の課題である。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この課題は請求項1の特徴項に記載の特徴により解決される。請求項2ないし5は本発明のその他の実施態様を示す。
【0007】
本発明による装置においては、単段または多段で構成されてもよい追加ポンプ・ユニットが設けられ、これによりガス供給構造において跳ね返された分子のほとんど大部分はこの構造の他の領域へ反射され、したがって供給機構に再び戻される。この効果は、ガス供給構造のほぼ凹形の構造方式により達成される。このような構造方式は半径方向供給を可能にする。これにより、反射された分子を再び捕獲し且つその先に供給することができる。これは、同じ入口断面積において排気速度を著しく上昇させることを意味する。
【0008】
本発明による構造方式は他の大きな利点を伴っている。凹形に形成された吸込空間は、吸込口から内方に突出可能で且つきわめて有効なポンプ効果を与える構造部分のための場所を提供する。
【0009】
図1−3により本発明をターボ分子ポンプの例で詳細に説明する。これらの図は、本発明による装置をそれぞれ、鉢形、円錐形および半球形の形状で示している。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1は、吸込開口2およびガス流出開口3が設けられているハウジング1を有するガス摩擦ポンプを示す。ロータ軸4は軸受5および6内に固定され且つモータ7により駆動される。ロータ軸4上にターボ分子ポンプのロータ・ディスク12が固定されている。ロータ・ディスク12はガス供給構造を備え、および同様にこのような構造を備えているステータ・ディスク14と共にポンプ効果を与える。
【0011】
本発明により、吸込開口2側に追加ポンプ・ユニット20が装着されている。ポンプ・ユニット20はこの実施態様においては単段で設計され且つ鉢形形状を有している。ロータ構造部分21およびステータ構造部分22はそれぞれ円筒部分25、26およびディスク形状底部部分23、24からなり、およびガス供給構造が設けられている。
【0012】
同様に、図2に、ロータ構造部分31およびステータ構造部分32を有する追加ポンプ・ユニット30の円錐形構造形式が示され、および図3に、ロータ構造部分41およびステータ構造部分42を有する追加ポンプ・ユニット40の半球形構造形式が示されている。
【0013】
例えばAから来た分子はその一部がロータ構造部分のガス供給構造により捕獲され且つその先に供給され、およびその一部がBにおいて反射される。一方で、反射された分子の大部分はCにおいてガス供給構造に衝突し、これによりその先にポンプで供給されるかまたは再び反射される。この結果として、表面から反射された分子の大部分は供給機構に再び供給される。
【0014】
凹形構造形式により形成された吸込空間16内に、排気および/またはガス抜きのために、構造部分を吸込口から内部に埋没させることができる。この場合、構造部分はほとんどポンプ作用構造により包囲されているので、きわめて有効なポンプ作用を与える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による鉢形形状の装置の断面図である。
【図2】本発明による円錐形形状の装置の断面図である。
【図3】本発明による半球形形状の装置の断面図である。
【符号の説明】
1 ハウジング
2 吸込開口
3 ガス流出開口
4 ロータ軸
5、6 軸受
7 モータ
12 ロータ・ディスク(ロータ構造部分)
14 ステータ・ディスク(ステータ構造部分)
16 吸込空間
20、30、40 追加ポンプ・ユニット
21、31、41 ロータ構造部分(追加ポンプ・ユニット)
22、32、42 ステータ構造部分(追加ポンプ・ユニット)
23、24 底部部分
25、26 円筒部分
Claims (5)
- 吸込開口(2)およびガス流出開口(3)を有するハウジング(1)からなり、この場合、ハウジング内に、ガスを供給し且つ圧縮比を形成するためのロータ構造部分(12)およびステータ構造部分(14)と、ロータ構造部分(12)を支持するロータ軸(4)が存在するガス摩擦ポンプにおいて、
ハウジング(1)の内部で吸込開口(2)側に凹形に形成された単段または多段の追加ポンプ・ユニット(20、30、40)が装着され、追加ポンプ・ユニット(20、30、40)は、ガス供給が半径方向に行われるように形成されているガス供給構造を有し、かつ当該ガス供給構造(25,31,41)で反射された分子の大部分を当該ガス供給構造の他の部分に反射し、これによりガスの供給機構に戻されるように形成されており、および
この追加ポンプ・ユニットのロータ構造部分(21、31、41)およびその他のガス摩擦ポンプのロータ構造部分(12)が同じロータ軸(4)上に存在することと、
を特徴とするガス摩擦ポンプ。 - 追加ポンプ・ユニット(20、30、40)によりガス供給が軸方向および半径方向に行われることを特徴とする請求項1のガス摩擦ポンプ。
- 追加ポンプ・ユニット(20)のロータ構造部分(21)およびステータ構造部分(22)がそれぞれ鉢形形状を有することを特徴とする請求項1または2のガス摩擦ポンプ。
- 追加ポンプ・ユニット(30)のロータ構造部分(31)およびステータ構造部分(32)がそれぞれ円錐形形状を有することを特徴とする請求項1または2のガス摩擦ポンプ。
- 追加ポンプ・ユニット(40)のロータ構造部分(41)およびステータ構造部分(42)がそれぞれ半球形形状を有することを特徴とする請求項1または2のガス摩擦ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10056144A DE10056144A1 (de) | 2000-11-13 | 2000-11-13 | Gasreibungspumpe |
DE10056144.6 | 2000-11-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002180989A JP2002180989A (ja) | 2002-06-26 |
JP4183409B2 true JP4183409B2 (ja) | 2008-11-19 |
Family
ID=7663092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001324973A Expired - Fee Related JP4183409B2 (ja) | 2000-11-13 | 2001-10-23 | ガス摩擦ポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6638010B2 (ja) |
EP (1) | EP1205667B1 (ja) |
JP (1) | JP4183409B2 (ja) |
DE (2) | DE10056144A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10142567A1 (de) * | 2001-08-30 | 2003-03-20 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
GB0229355D0 (en) | 2002-12-17 | 2003-01-22 | Boc Group Plc | Vacuum pumping arrangement |
GB0322883D0 (en) * | 2003-09-30 | 2003-10-29 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
GB0329839D0 (en) * | 2003-12-23 | 2004-01-28 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
KR100610012B1 (ko) * | 2004-08-16 | 2006-08-09 | 삼성전자주식회사 | 터보 펌프 |
US7927066B2 (en) * | 2005-03-02 | 2011-04-19 | Tokyo Electron Limited | Reflecting device, communicating pipe, exhausting pump, exhaust system, method for cleaning the system, storage medium storing program for implementing the method, substrate processing apparatus, and particle capturing component |
DE102006020710A1 (de) * | 2006-05-04 | 2007-11-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Gehäuse |
US20100266426A1 (en) * | 2009-04-16 | 2010-10-21 | Marsbed Hablanian | Increased volumetric capacity of axial flow compressors used in turbomolecular vacuum pumps |
JP7108377B2 (ja) * | 2017-02-08 | 2022-07-28 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法 |
DE102018119747B3 (de) | 2018-08-14 | 2020-02-13 | Bruker Daltonik Gmbh | Turbomolekularpumpe für massenspektrometer |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3969039A (en) * | 1974-08-01 | 1976-07-13 | American Optical Corporation | Vacuum pump |
GB8507010D0 (en) * | 1985-03-19 | 1985-04-24 | Framo Dev Ltd | Compressor unit |
US5020969A (en) * | 1988-09-28 | 1991-06-04 | Hitachi, Ltd. | Turbo vacuum pump |
FR2641582B1 (fr) * | 1989-01-09 | 1991-03-22 | Cit Alcatel | Pompe a vide du type a canal de gaede |
JPH05195957A (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空ポンプ |
DE4216237A1 (de) * | 1992-05-16 | 1993-11-18 | Leybold Ag | Gasreibungsvakuumpumpe |
GB9318801D0 (en) * | 1993-09-10 | 1993-10-27 | Boc Group Plc | Improved vacuum pumps |
JPH0886298A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Hitachi Ltd | ドライターボ真空ポンプ |
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JPH0988872A (ja) * | 1995-09-18 | 1997-03-31 | Hitachi Ltd | ターボ真空ポンプ |
JPH0988875A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-03-31 | Daikin Ind Ltd | ターボ分子ポンプ |
JPH10246197A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-14 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
JP3716068B2 (ja) * | 1997-04-22 | 2005-11-16 | 三菱重工業株式会社 | ターボ分子ポンプ及び同ターボ分子ポンプを有する真空容器 |
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US6193461B1 (en) * | 1999-02-02 | 2001-02-27 | Varian Inc. | Dual inlet vacuum pumps |
JP4104098B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2008-06-18 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
DE10008691B4 (de) * | 2000-02-24 | 2017-10-26 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Gasreibungspumpe |
-
2000
- 2000-11-13 DE DE10056144A patent/DE10056144A1/de not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-10-16 DE DE50114655T patent/DE50114655D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-16 EP EP01124630A patent/EP1205667B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-23 JP JP2001324973A patent/JP4183409B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-11-13 US US10/054,154 patent/US6638010B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20020064451A1 (en) | 2002-05-30 |
JP2002180989A (ja) | 2002-06-26 |
DE10056144A1 (de) | 2002-05-23 |
EP1205667B1 (de) | 2009-01-14 |
DE50114655D1 (de) | 2009-03-05 |
EP1205667A2 (de) | 2002-05-15 |
EP1205667A3 (de) | 2002-11-20 |
US6638010B2 (en) | 2003-10-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070517 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20070816 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20070821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071012 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080227 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080625 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080728 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080820 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080902 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110912 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4183409 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110912 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120912 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120912 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130912 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |