JPH07506648A - ガス摩擦真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ガス摩擦真空ポンプ 技術分野 本発明は、異なったように構成されて少くとも２つのポンプ段を備えているガス 摩擦真空ポンプであって、該ポンプ段が夫々１つのロータ区分とステータ区分と を有している形式のものに関する。

背景技術 摩擦ポンプには分子ポンプ及び軸流分子ポンプが所属している。分子ポンプの場 合運動するロータ壁と静止するステータ壁とは、壁からその間に位置するガス分 子に伝達される運動量が有利な方向を持つことができるように構成されかつ隔離 されている。一般にロータ壁及び又はステータ壁にはねじ状の窪み又は突起が設 けられている。軸流分子ポンプはタービンの形式に基いて相互に入り混った固定 翼列と回転翼列とを有している。

軸流分子ポンプは比較的小さな圧縮比（吐出側圧力の吸込側圧力に対する圧力比 ）と比較的大きな吸込能力（ポンプ速度、単位時間当りの容積貫流量）とを有し ている。その製造及び組立はコスト高であって高価である。更に軸流分子ポンプ には約１０−２バールの前真空圧が必要である。同じ様に分子ポンプは、比較的 高い圧縮比を有しているが、吸込能力は比較的小さい。そして１０ミリバール又 はそれより大きい圧力まで搬送できるので、前真空を形成するために必要なコス トが軸流分子ポンプの場合よりも少なくて済む。従ってガス摩擦真空ポンプに種 々に構成されたポンプ段を装備することが公知であり、その場合前真空側のポン プ段は、良好な前真空を持続するため一般的に分子ポンプ段である。

発明の開示 本発明の課題は、冒頭で述べた形式のガス摩擦真空ポンプを改良して、該ポンプ が簡単な形式で種々の使−用例に適合できるようにすることにある。

本発明では請求項１に記載の特徴によって上記課題を解決することができた。

提案された構成は、ロータ及びステータ構造部分の簡単な変更によってポンプ最 終圧力特性に段階的に影響を与えることができるという利点を有している。分子 ポンプ段上にモヂュール状に載置可能な軸流分子ポンプ段の場合にだけ、全ポン プのポンプ特性に明らかに影響を与えることができる。後方に接続された分子ポ ンプの基本的な構造は影響を受けない。

図面の簡単な説明 本発明のその他の利点及び詳細については、図１乃至図４に図示された実施例に 基いて説明することにする。その際、 図１は分子ポンプとして構成された摩擦ポンプの断面図、 図２は高真空側に配置された軸流分子ポンプ段を備えている、図１の摩擦ポンプ の断面図、 図３及び図４は異なった摩擦真空ポンプ段の別の変化態様の図 を夫々図示している。

実施例の説明 図１に図示された摩擦ポンプ１は第１ケーシング区分２を有している。この第１ ケーシング区分２の構造部分は、フランジ４を装備した外側シリンダ３である。

摩擦ポンプ１はフランジ４によって、直接的にか又はフランジ６及び７を備えた 縮小部材５を介してかのどちらで、排気されるべき排気鐘に接続されている。

縮小部材５は、ポンプ１のフランジ４の直径が図示されていない排気鐘のフラン ジの直径よりも小さいか又は大きい直径を有している場合に必要である。

ロータ９は、釣鐘形に形成されていて、回転軸線８とボス部１１と円筒形の区分 １２とを備えた軸１０を有している。釣鐘形のロータ９によって形成されたチャ ンバ１３の内部には、駆動モータ１４と、両ロータ支承装置１５の少くとも上方 の軸受とが位置している。モータ１４及びロータ支承装置１５は、ケーシングに 固定された構造部分１６に支えられている。

釣鐘形ロータ９の外側部は、外方シリンダ３の内側部と協働して分子ポンプ段３ ，１２のポンプ活性面乃至はリング状のガス搬送通路２０を形成している。それ 自体は公知の形式で（ヨーロッパ特許第４０８７９２号明細書）、ケーシングシ リンダ３の内側部を形成するために別個のリング１７．１８．１９を設けても宜 い。搬送されるべきガスは、入口２１から図示されていない出口まで搬送される 。運転中出口には、同じ様に図示されていない前真空ポンプが接続されている高 真空側に位置するボス部１１の領域でロータ９は、その直径が流れ方向で増加す るように円錐形に形成されている。この領域には外方シリンダ３乃至付属するリ ング１７の平滑な内方表面が配設されている。ガス搬送に役立つ構造体２２はロ ータ９自体に設けられている。この構造体２２は、その幅が流れ方向で減少して いる例えば半径方向ウェブとして形成されており、そのために分子ポンプ段３． １２が、良好な搬送能力を備えた流入段１７．２２を有しつるようになっている 。

ロータ９は高真空側の軸１０の端部領域でねじ２３によって固定されている。ロ ータ９の端面は、回転軸線８に対して同軸的な円形状の突起２５を有している。

この突起２５は、ロータ９にもまたロータ９の端面に固定されるべき別のロータ 区分にも共に設けられている、センタリング手段の構成部分である。

図２に基（実施例にあっては、軸流分子ポンプ段２６が分子ポンプ段３．１２の 前方に支承されている。

この軸流分子ポンプ段２６は、その回転翼２８を備えたロータ区分２７とその固 定翼３０を備えたケーシング区分２９とから成っている。ロータ９に向い合うロ ータ区分２７の端面には、回転軸線８に対して同心的な切欠き３１（センタリン グ手段）が設けられている。この切欠き３１の直径はロータ９の端面上の円形突 起２５の外径に一致しており、これによって回転軸線８に対する所望のセンタリ ングを達成することができる。ケーシング区分２９にはフランジ３２及び３３が 設けられている。前真空側に位置するフランジ３２によって、軸流分子ポンプ段 ２６の固定が分子ポンプ段３．１２のフランジ４において行われる。フランジ３ ３には、排気されるべき排気値が直接組み込まれるか、又は縮小部材５が組み込 まれる。

ロータ区分２７を分子ポンプ段のロータ９に固定するために有利にはねじ３４が 役立っており、該ねじ３４はロータ区分２７と軸方向で貫通してロータ９の端面 に螺入可能である。ねじの位置は鎖線３４で示唆されている。

図３に基〈実施例にあっては分子ポンプ段３．１２が特別な摩擦ポンプ段（充填 段３５）を有し、そのケーシング区分３６が平滑な内表面を有している。ロータ 区分３７は、ヨーロッパ特許第３６３５０３号に記載されているものと同じ様に 構成されていて、中央部分３８とウェブ３９とを有している。ウェブ３９はガス 搬送を惹き起こす構造体を形成している。その幅及びリードは吸込側から吐出側 に向って減少している。

このことは、中央部分３８が円錐形の形状であることを前提としている。分子ポ ンプ段３．１２のロータ９のボス部１１のテーパがロータ区分３７の中央部分３ ８のテーバに連続的に継続している場合は、特に有利である。

ケーシング区分３６は前真空側に、分子ポンプ段３．１２のフランジ４に結合さ れるフランジ４１を有している。入口側でフランジ４１は、縮小部材５に溶接さ れて１つの構造部分になっている。またケーシング区分３６と縮小部材５とをフ ランジを介して相互に結合することも勿論可能である。その場合は、図２に基く 縮小部材５を図４に基く充填段３５と一緒に使用しなければならない。

図４に基〈実施例の場合には、分子ポンプ段３．１２が流れ方向に軸流分子ポン プ段２６と充填段３５とを有している。付属のケーシング区分３．３６．２９の 結合はフランジを介して行われている。ロータ区分９．３７．２７の結合は、図 ２で説明したのと同じ様な形式で実現されている。夫々のセンタリング手段は有 利には同一の直径を有しているため、所定のモジュール構造が可能である。分子 ポンプ段３．１２が高真空側に２つの別のポンプ段を有している場合には、両ロ ータ区分の固定のためにより長い固定ねじ３４を使用するだけで宜い。

国際調査報告　１−一一畠ｐｐ１喝−ｈａ国際調査報告 、　＋＋−−−−ＰＣＴ／ＥＰ　９３１００９８４フロントページの続き （７２）発明者　クリーヒエル、　ハンスドイツ連邦共和国　Ｄ−５３３３２ボ ルンハイム　へルダーシュトラーセ　２６ （７２）発明者　フライシュマン、　フランクドイツ連邦共和国　Ｄ−５０１２ ９ベルクハイムーグレッセン　ジンターナ−ホルツヴエーク　１６

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．異なったように構成された少くとも２つのポンプ段（３，１２；２６，３５ ）を備えているガス摩擦真空ポンプ（１）であって、該ポンプ段が夫々１つのロ ータ区分（９，２７，３７）とケーシング区分（３，２９，３６）とを有してい る形式のものにおいて、 ポンプ段が相互に解離可能に結合されていることを特徴とするガス摩擦真空ポン プ。 ２．分子ポンプとして構成された前真空側のポンプ段（３，１２）を有し、高真 空側に配置された別のポンプ段（２６）が軸流分子ポンプとして構成されている ことを特徴とする、請求項１記載のポンプ。 ３．分子ポンプとして構成された前高空側のポンプ段（３，１２）を有し、高真 空側に配置されたポンプ段（３５）がステータ（３６）とロータ（３８）とを備 えた充填段であり、ロータ（３８）がガス搬送を惹き起す構造体を有し、該構造 体は半径方向に延びるウエブ（３９）から成り、該ウエブ（３９）のリードと幅 とが吸込側から吐出側に向って減少していることを特徴とする、請求項１記載の ポンプ。 ４．充填段（３５）の前方に軸流分子ポンプ（２６）が支承されていることを特 徴とする、請求項３記載のポンプ。 ５．ほぼ円筒形の第１ロータ区分（１２）及びほぼ円筒形の第１ケーシング区分 （３）が、リング状断面のガス搬送通路（２０）を備えた前真空側の分子ポンプ 段を形成し、第２ロータ区分（２７，３７）と第２ケーシング区分（２９，３６ ）とが高真空側に位置する第２ポンプ段（２９乃至３５）を形成し、この両ポン プ段が相互に解離可能に結合されていることを特徴とする、請求項１から４まで のいずれか１項記載のポンプ。 ６．ロータ（９）が高真空側で流れ方向に増大している直径によって円錐形に形 成されており（ボス部１１）、かつその円錐形の区分にはガス搬送に役立つ構造 体（２２）が設けられていることを特徴とする、請求項２から５までのいずれか １項記載のポンプ。 ７．充填段（３５）が中央部分（３８）を有し、該中央部分（３８）は流れ方向 に増大している直径で構成されていることを特徴とする、請求項３又は６記載の ポンプ。 ８．ロータ（９）のボス部（１１）のテーパが、充填段（３５）の中央部分（３ ８）のテーパに連続的に継続していることを特徴とする、請求項７記載のポンプ 。 ９．相互に解離可能に結合されるべきロータ区分（９２７，３７）の互いに向い 合う端面に、センタリング手段（２５，３１）が設けられていることを特徴とす る、請求項１から８までのいずれか１項記載のポンプ。 １０．高真空側に配置されたポンプ段（２６又は３５）のケーシング区分（２９ 又は３６）が、縮小部材（５）と１体に構成されていることを特徴とする、請求 項１から９までのいずれか１項記載のポンプ。