JPS6385288A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS6385288A JPS6385288A JP22817186A JP22817186A JPS6385288A JP S6385288 A JPS6385288 A JP S6385288A JP 22817186 A JP22817186 A JP 22817186A JP 22817186 A JP22817186 A JP 22817186A JP S6385288 A JPS6385288 A JP S6385288A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump stage
- compression pump
- flow
- vacuum pump
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 44
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 44
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、排気口を大気圧とする真空ポンプに係り１例
えば半導体製造装置における清浄な真空を作り出すのに
好適な真空ポンプに関する。
えば半導体製造装置における清浄な真空を作り出すのに
好適な真空ポンプに関する。
従来の真空ポンプの構造を第１図に示す。吸気口２人と
排気口２Ｂを備えたケーシング２内には軸受７で回転自
在に支持されたロータ１が納められている。全体は軸匠
ターボ分子ボング段３．付加分子ポ／プ段４、遠心圧縮
ポンプ段５、渦流圧縮ポンプ段６を吸気口側から排気口
側へ順次連設して構成されている。
排気口２Ｂを備えたケーシング２内には軸受７で回転自
在に支持されたロータ１が納められている。全体は軸匠
ターボ分子ボング段３．付加分子ポ／プ段４、遠心圧縮
ポンプ段５、渦流圧縮ポンプ段６を吸気口側から排気口
側へ順次連設して構成されている。
上記の構成からなる真空ポンプを排気口２Ｂでの圧力が
大気圧の状態で運転し、吸気口２人での圧力が十分低下
した定常運転状態では、真空ポンプ内の気体の流れは、
吸気側より排気側へ向かって分子流、中間流、粘性流と
変化する。−万、各ポンプ段が最も有効に排気作用をす
る圧力範囲はそれぞれ異なり、軸流ターボ分子ポンプ段
３．付加分子ポンプ段４は分子流域で、遠心圧縮ポンプ
段５は分子流〜中間流域で、渦流圧縮ポンプ段６は中間
流〜粘性流域での性能が良いという特性を持っている。
大気圧の状態で運転し、吸気口２人での圧力が十分低下
した定常運転状態では、真空ポンプ内の気体の流れは、
吸気側より排気側へ向かって分子流、中間流、粘性流と
変化する。−万、各ポンプ段が最も有効に排気作用をす
る圧力範囲はそれぞれ異なり、軸流ターボ分子ポンプ段
３．付加分子ポンプ段４は分子流域で、遠心圧縮ポンプ
段５は分子流〜中間流域で、渦流圧縮ポンプ段６は中間
流〜粘性流域での性能が良いという特性を持っている。
上記従来技術による真空ポンプに、しいて、過渡運転状
態など吸気口２人での圧力が十分低下していない状態で
は、排気速度が大巾に低下するという問題があった。こ
れは、吸気口２人での圧力が高く軸流ターボ分子ポンプ
段３．付加分子ポンプ段４での気体の流れが中間流、粘
性流となった状態では、軸流ターボ分子ポンプ段３．付
加分子ポンプ段４における排気速度が大巾に低下するた
めであり、この状態では遠心圧縮ポンプ段５と渦流圧縮
ポンプ段６で排気作用の大部分を受けもつことになる。
態など吸気口２人での圧力が十分低下していない状態で
は、排気速度が大巾に低下するという問題があった。こ
れは、吸気口２人での圧力が高く軸流ターボ分子ポンプ
段３．付加分子ポンプ段４での気体の流れが中間流、粘
性流となった状態では、軸流ターボ分子ポンプ段３．付
加分子ポンプ段４における排気速度が大巾に低下するた
めであり、この状態では遠心圧縮ポンプ段５と渦流圧縮
ポンプ段６で排気作用の大部分を受けもつことになる。
このとき、遠心圧縮ポンプ段５の背圧は、渦流圧縮ポン
プ段６の性能に左右されるが１本従来例で使用されてい
るような渦流圧縮ポンプ段６は、有効作動圧力範囲が比
較的狭く、大気圧近傍の圧力範囲での性能の低下が激し
いため、十分な圧縮比が得られず。
プ段６の性能に左右されるが１本従来例で使用されてい
るような渦流圧縮ポンプ段６は、有効作動圧力範囲が比
較的狭く、大気圧近傍の圧力範囲での性能の低下が激し
いため、十分な圧縮比が得られず。
遠心圧縮ポンプ段５の背圧は上昇し、遠心圧縮ポンプ段
５の性能が低下し、排気速度が低下しやすくなる。
５の性能が低下し、排気速度が低下しやすくなる。
このように、上記従来技術は軸流ターボ分子ポンプ段３
での流れが中間流となり、渦流圧縮ポンプ段６での圧力
が大気圧近傍まで上昇した状態での。
での流れが中間流となり、渦流圧縮ポンプ段６での圧力
が大気圧近傍まで上昇した状態での。
排気速度の大巾な低下に対しては配慮がなされておらず
、真空ポンプの有効作動圧力範囲が狭いという問題があ
った。
、真空ポンプの有効作動圧力範囲が狭いという問題があ
った。
本発明の目的は、広い圧力範囲で有効に作動する真空ポ
ンプを提供することにある。
ンプを提供することにある。
上記目的は、分子流、中間流域におけるポンプ段として
、軸流ターボ分子ポンプ段よりも高い圧力範囲で有効に
排気作用をするねじ圧縮ポンプ段を吸気口側に少くとも
設け、排気口側に円周流圧縮ポンプ段を設けることによ
り達成される。
、軸流ターボ分子ポンプ段よりも高い圧力範囲で有効に
排気作用をするねじ圧縮ポンプ段を吸気口側に少くとも
設け、排気口側に円周流圧縮ポンプ段を設けることによ
り達成される。
上記のように、真空ポンプを吸気口側よりねじ圧縮ポン
プ段１円周流圧縮ポンプ段を連設することにより構成す
れば、吸気口圧力が上昇し吸気口での気体の流れが中間
流となっても、ねじ圧縮ポンプ段は同圧力範囲で有効に
作動するため、真空 ′ポンプ全体としての排
気速度の低下は小さい。この結果、真空ポンプを分子流
域から粘性流域までの広い圧力範囲で有効に作動させる
ことが可能になる。
プ段１円周流圧縮ポンプ段を連設することにより構成す
れば、吸気口圧力が上昇し吸気口での気体の流れが中間
流となっても、ねじ圧縮ポンプ段は同圧力範囲で有効に
作動するため、真空 ′ポンプ全体としての排
気速度の低下は小さい。この結果、真空ポンプを分子流
域から粘性流域までの広い圧力範囲で有効に作動させる
ことが可能になる。
以下１本発明の一実施例ｔ−第１図により説明する。第
１図は、本発明の一実施例による真空ポンプの全体構造
を示す図である。
１図は、本発明の一実施例による真空ポンプの全体構造
を示す図である。
第１図において１回転軸ｌは吸気口２人と排気口２Ｂｋ
有するハクラング２内で軸受７によって回転自在に支持
されており、前記回転軸１に取り付けられたモータｌＯ
によシ駆動される。ハヮジング２内には吸気口側よりノ
員に、第２図（ａ）および第２図（Ｃ）に示す如く回転
軸１に取り付けられたねじ羽根車９Ａとハワジング２の
内壁により構成されるねじ圧縮ポンプ段９と、同じく回
転軸ｌに取り付けらｎｆｃ遠心羽根車５Ａ第３図（ａ）
、第３図（ｂ）とハワジング２内に固定された固定円板
５Ｂ（第３図（Ｃ））を交互に並置して構成される遠心
圧縮ポンプ８５と、同じく円周流羽根車１０Ａ （第４
図−（ｂ） ）と固定円板１０Ｂ（第４図（Ｃ））を交
互に並置して構成される円周流圧縮ポンプ段１０が連設
されている。
有するハクラング２内で軸受７によって回転自在に支持
されており、前記回転軸１に取り付けられたモータｌＯ
によシ駆動される。ハヮジング２内には吸気口側よりノ
員に、第２図（ａ）および第２図（Ｃ）に示す如く回転
軸１に取り付けられたねじ羽根車９Ａとハワジング２の
内壁により構成されるねじ圧縮ポンプ段９と、同じく回
転軸ｌに取り付けらｎｆｃ遠心羽根車５Ａ第３図（ａ）
、第３図（ｂ）とハワジング２内に固定された固定円板
５Ｂ（第３図（Ｃ））を交互に並置して構成される遠心
圧縮ポンプ８５と、同じく円周流羽根車１０Ａ （第４
図−（ｂ） ）と固定円板１０Ｂ（第４図（Ｃ））を交
互に並置して構成される円周流圧縮ポンプ段１０が連設
されている。
上記真空ポンプを、排気口２Ｂでの圧力が大気圧の状態
で運転し、吸気口２人の圧力が十分に低下し、気体の流
れが分子流となった状態では、各ポンプ段はそれぞれ特
性の最もよい圧力範囲で作動している。一方、吸気口２
人の圧力が上昇した状態では、吸気口２人付近の気体の
流れは中間流となるが、ねじ圧縮ポンプ段９は５分子流
〜中間流の広い圧力範囲で有効に作動し、かつ円周流圧
縮ポンプ段１０での圧縮作用により遠心圧縮ポンプ段５
が有効に作動する圧力状態に保持されるため、吸気口２
人での圧力上昇による性能低下は小さい。この結果、真
空ポンプは広い圧力範囲で有効に作動するようになる。
で運転し、吸気口２人の圧力が十分に低下し、気体の流
れが分子流となった状態では、各ポンプ段はそれぞれ特
性の最もよい圧力範囲で作動している。一方、吸気口２
人の圧力が上昇した状態では、吸気口２人付近の気体の
流れは中間流となるが、ねじ圧縮ポンプ段９は５分子流
〜中間流の広い圧力範囲で有効に作動し、かつ円周流圧
縮ポンプ段１０での圧縮作用により遠心圧縮ポンプ段５
が有効に作動する圧力状態に保持されるため、吸気口２
人での圧力上昇による性能低下は小さい。この結果、真
空ポンプは広い圧力範囲で有効に作動するようになる。
第５図は本発明の他の実施例を示すもので、吸気口２人
側のロータとステータ６ｎじ圧縮ポンプ段９により、排
気口２Ｂ側のロータとステータと？円周流圧縮ポンプ段
１０により構成したものである。
側のロータとステータ６ｎじ圧縮ポンプ段９により、排
気口２Ｂ側のロータとステータと？円周流圧縮ポンプ段
１０により構成したものである。
本発明によれば、吸気口圧力の上昇による真空ポンプの
性能低下を小さくできるので、広い圧力範囲で有効に作
動する真空ポンプが得られる。
性能低下を小さくできるので、広い圧力範囲で有効に作
動する真空ポンプが得られる。
第１図は本発明の真空ポンプの全体構造を示す縦断面図
、第２図＜ａ＞および第２図（ｂ）は第１図のねじ圧縮
ポンプ段の詳細図、第３図（ａ）〜第３図（Ｃ）は第１
図の遠心圧縮ポンプ段の詳細図、第４図（ａ）〜ｇ４図
（Ｃ）は第１図の円周流圧縮ポンプ段の詳細図。 第５図は本発明の他の実施例における真空ポンプの全体
構造を示す縦断面図、第６図は従来の真空ポンプの断面
図である。 １・・・回転軸、５・・・遠心圧縮ポンプ段、９・・・
ねじ圧縮ボ／プ段、１０・・・円周流圧縮ポンプ段。
、第２図＜ａ＞および第２図（ｂ）は第１図のねじ圧縮
ポンプ段の詳細図、第３図（ａ）〜第３図（Ｃ）は第１
図の遠心圧縮ポンプ段の詳細図、第４図（ａ）〜ｇ４図
（Ｃ）は第１図の円周流圧縮ポンプ段の詳細図。 第５図は本発明の他の実施例における真空ポンプの全体
構造を示す縦断面図、第６図は従来の真空ポンプの断面
図である。 １・・・回転軸、５・・・遠心圧縮ポンプ段、９・・・
ねじ圧縮ボ／プ段、１０・・・円周流圧縮ポンプ段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、吸気口と排気口を有するハウジングと、そのハウジ
ング内に固定されたステータと、前記ハウジング内に回
転自在に支承されたロータから成り、該ロータの回転に
伴ない、前記吸気口から吸込まれた気体を、前記排気口
から直接大気に排気する一体型の真空ポンプにおいて、
前記ロータとステータが、前記吸気口側では少くともね
じ圧縮ポンプ段と、前記排気口側では円周流圧縮ポンプ
段により形成したことを特徴とする真空ポンプ。 ２、前記ロータとステータが、吸気口側ではねじ圧縮ポ
ンプ段と遠心圧縮ポンプ段により形成したことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22817186A JPS6385288A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22817186A JPS6385288A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6385288A true JPS6385288A (ja) | 1988-04-15 |
Family
ID=16872335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22817186A Pending JPS6385288A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6385288A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0319491U (ja) * | 1989-07-06 | 1991-02-26 | ||
| US5553998A (en) * | 1992-05-16 | 1996-09-10 | Leybold Ag | Gas friction vacuum pump having at least three differently configured pump stages releasably connected together |
| US6315517B1 (en) * | 1998-10-28 | 2001-11-13 | Seiko Instruments Inc. | Vacuum pump |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP22817186A patent/JPS6385288A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0319491U (ja) * | 1989-07-06 | 1991-02-26 | ||
| US5553998A (en) * | 1992-05-16 | 1996-09-10 | Leybold Ag | Gas friction vacuum pump having at least three differently configured pump stages releasably connected together |
| US6315517B1 (en) * | 1998-10-28 | 2001-11-13 | Seiko Instruments Inc. | Vacuum pump |
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