JPS6385287A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS6385287A JPS6385287A JP61228170A JP22817086A JPS6385287A JP S6385287 A JPS6385287 A JP S6385287A JP 61228170 A JP61228170 A JP 61228170A JP 22817086 A JP22817086 A JP 22817086A JP S6385287 A JPS6385287 A JP S6385287A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump stage
- compression pump
- stage
- flow
- exhaust port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 52
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 52
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 3
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
- F04D23/008—Regenerative pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
、４ｉ：発明は排気口を大気圧とする真空ポンプ、例え
ば半導体製造装置における清浄な真空を作り出すのに好
適な真空ポンプに関するものである。
ば半導体製造装置における清浄な真空を作り出すのに好
適な真空ポンプに関するものである。
従来の真空ポンプは第５図に示すように、Ｉ−Ｘ線を中
心として左右対称に設けられており、その右半部の構造
は次のとおりである。すなわち吸気口２人と排気口２Ｂ
を有するノ１ワジング２の内壁に取付けられた固定板３
Ｂ〜６Ｂと、そのノ〜クジング２内に軸受７ｔ−介して
回転自在に支持された回転軸１に取付けられた回転円板
３Ａおよび羽根車４Ａ〜６人のそれぞれとからなる軸流
ターボ分子ポンプ段３、付加分子ボング段４．遠心圧縮
ポンプ段５および渦流圧縮ポンプ段６を、前記吸気口２
Ａ１１１から排気口２Ｂ側に至る間のハクラング２内に
順次に連設して構成されている。
心として左右対称に設けられており、その右半部の構造
は次のとおりである。すなわち吸気口２人と排気口２Ｂ
を有するノ１ワジング２の内壁に取付けられた固定板３
Ｂ〜６Ｂと、そのノ〜クジング２内に軸受７ｔ−介して
回転自在に支持された回転軸１に取付けられた回転円板
３Ａおよび羽根車４Ａ〜６人のそれぞれとからなる軸流
ターボ分子ポンプ段３、付加分子ボング段４．遠心圧縮
ポンプ段５および渦流圧縮ポンプ段６を、前記吸気口２
Ａ１１１から排気口２Ｂ側に至る間のハクラング２内に
順次に連設して構成されている。
上記軸流ターボ分子ポンプ段３は、前記回転円板３人と
固定板３ｆｌ交互に組合せて構成され、また付加分子ポ
ンプ段４は前記円板状羽根車４Ａと固定板４Ｂを交互に
組合せて構成さｎ、ｔた遠心圧縮ポンプ段５は前記羽根
車５Ａとディフューザ固定板５Ｂを交互に組合せて構成
され、さらに渦流圧縮ボング段６は前記回転板６人と固
定板６Ｂとを交互に組合せて構成されている。
固定板３ｆｌ交互に組合せて構成され、また付加分子ポ
ンプ段４は前記円板状羽根車４Ａと固定板４Ｂを交互に
組合せて構成さｎ、ｔた遠心圧縮ポンプ段５は前記羽根
車５Ａとディフューザ固定板５Ｂを交互に組合せて構成
され、さらに渦流圧縮ボング段６は前記回転板６人と固
定板６Ｂとを交互に組合せて構成されている。
−万１回転軸１は駆動タービン８を介して駆動され、こ
の−駆動タービン８はハウジング２の側壁に設けられた
空気入口９Ａと空気出口９Ｂに連結されている。
の−駆動タービン８はハウジング２の側壁に設けられた
空気入口９Ａと空気出口９Ｂに連結されている。
なお、この種の真空ポンプとして関連するものには例え
ば特開昭５１−３８１１３ 号が挙げられる。
ば特開昭５１−３８１１３ 号が挙げられる。
上記従来技術では、必要な圧縮比？得るのに、大きな直
径の羽根車を用いるか又は多数段の羽根車を用いなけれ
ばならない。このように１羽根車が大きくなると１発熱
量が大きくなり消費動力が多くなる。また、スラスト力
も大きくなシ、軸受負荷が増大して軸受寿命が低下する
。
径の羽根車を用いるか又は多数段の羽根車を用いなけれ
ばならない。このように１羽根車が大きくなると１発熱
量が大きくなり消費動力が多くなる。また、スラスト力
も大きくなシ、軸受負荷が増大して軸受寿命が低下する
。
本発明の目的は、小形でしかも大気から１Ｏ−４Ｔｏｒ
ｒ程度の高真空まで連続してひける真空ポンプを提供す
ることにある。
ｒ程度の高真空まで連続してひける真空ポンプを提供す
ることにある。
上記目的は、吸気口側を軸流圧縮ポンプ段及びねじ圧縮
ポンプ段、排気口側を円周流圧縮ポンプ段の組合わせに
より達成される。
ポンプ段、排気口側を円周流圧縮ポンプ段の組合わせに
より達成される。
吸気口側に設けた軸流圧縮ポンプ段及びねじ圧縮ポンプ
痒は高真空時の分子流体に対して有効な圧縮作用を発揮
し、大気圧付近の粘性流体に対しては円周流圧縮ポンプ
段が有効な圧縮作用を発揮する。しかも円周流圧縮ポン
プ段は粘性流体に対して小直径で高い圧縮比を得ること
ができるので、真空ポンプとしては従来よりも全体構造
が小さいながら大気圧から１０−’Ｔｏｒｒの高真空ま
で連続してひける。
痒は高真空時の分子流体に対して有効な圧縮作用を発揮
し、大気圧付近の粘性流体に対しては円周流圧縮ポンプ
段が有効な圧縮作用を発揮する。しかも円周流圧縮ポン
プ段は粘性流体に対して小直径で高い圧縮比を得ること
ができるので、真空ポンプとしては従来よりも全体構造
が小さいながら大気圧から１０−’Ｔｏｒｒの高真空ま
で連続してひける。
全体構造を示す図である。
第１因において１回転軸ｌは吸気口２人と排気口２Ｂを
有するハウジング２ｆｔ貫通し、軸受７を介して回転自
在に支持されており、前記回転軸ｌに組み込まれたモー
タ１０により駆動される。
有するハウジング２ｆｔ貫通し、軸受７を介して回転自
在に支持されており、前記回転軸ｌに組み込まれたモー
タ１０により駆動される。
前記吸気口２Ａｌ気口２Ｂ’との間に、軸流圧縮ボ／プ
段１５．ねじ圧縮ポンプ段１４、円周流圧縮ポンプ段１
３が順次連設されている。
段１５．ねじ圧縮ポンプ段１４、円周流圧縮ポンプ段１
３が順次連設されている。
上記軸流圧縮ポンプ段１５は第２図（ａ）〜第２図（ｅ
）に示すようにある角度ねじられた羽根をもち回転軸１
にとりつけられた輻流羽根車１５Ａと固定羽根１５Ｂと
から構成され、ねじ圧縮ポンプ段１４は′ｉ４３図（ａ
）および第３図（ｂ）に示すように表面にらせん状のね
じ溝を有すねじ羽根車１４Ａと固定壁１４Ｂから構成さ
れている。
）に示すようにある角度ねじられた羽根をもち回転軸１
にとりつけられた輻流羽根車１５Ａと固定羽根１５Ｂと
から構成され、ねじ圧縮ポンプ段１４は′ｉ４３図（ａ
）および第３図（ｂ）に示すように表面にらせん状のね
じ溝を有すねじ羽根車１４Ａと固定壁１４Ｂから構成さ
れている。
また、前記円周流圧縮ポンプ段１３は、第４図（ａ）お
よび第４図（ｂ）に示すように回転軸ｌに取付けられ、
外周面に複数個の羽根１３Ｃを放射状に設けた羽根車１
３Ａとハウジング２に取付けられ。
よび第４図（ｂ）に示すように回転軸ｌに取付けられ、
外周面に複数個の羽根１３Ｃを放射状に設けた羽根車１
３Ａとハウジング２に取付けられ。
かつ前記羽根車１３Ａに並列して配置された固定板１３
Ｂとから構成されている。
Ｂとから構成されている。
ポンプ運転初期の過渡状態においては、ポンプ内部は全
体が大気圧に近い圧力下にあり、気体の流れは粘性流と
なるので、軸流圧縮ポンプ段１５及びねじ圧縮ポンプ段
１４は圧縮機として作用する。
体が大気圧に近い圧力下にあり、気体の流れは粘性流と
なるので、軸流圧縮ポンプ段１５及びねじ圧縮ポンプ段
１４は圧縮機として作用する。
円周流圧縮ポンプ段１３の圧縮比が大きくなって１円周
流圧縮ポンプ段１３の入口の圧力が十分低くなった状態
、すなわちこの圧力が数Ｔｏｒｒ以下になった定常状態
においては、軸流圧縮ポンプ段１５の入口、すなわち真
空ポンプの吸気口２人の付近の気体の流れは、中間流、
又は分子流となり、軸流圧縮ポンプ段１５及びねじ圧縮
ポンプ段１４はシール作用を発揮する。
流圧縮ポンプ段１３の入口の圧力が十分低くなった状態
、すなわちこの圧力が数Ｔｏｒｒ以下になった定常状態
においては、軸流圧縮ポンプ段１５の入口、すなわち真
空ポンプの吸気口２人の付近の気体の流れは、中間流、
又は分子流となり、軸流圧縮ポンプ段１５及びねじ圧縮
ポンプ段１４はシール作用を発揮する。
また同じく定常状態においては、前記円周流圧縮ポンプ
段１３に流入する気体は、前記軸流圧縮ポンプ段１５及
びねじ圧縮ポンプ段１４において十分圧縮されているた
め１体積流量はほとんど零に近い。すなわち、円周流圧
縮ポンプ段１３は締切状態に近い状態で運転されること
になるが１円周流圧縮ポンプは締切状態で高い圧縮比が
得られるという特性があるため、少ない段数で十分低い
到達圧力に達することができる。
段１３に流入する気体は、前記軸流圧縮ポンプ段１５及
びねじ圧縮ポンプ段１４において十分圧縮されているた
め１体積流量はほとんど零に近い。すなわち、円周流圧
縮ポンプ段１３は締切状態に近い状態で運転されること
になるが１円周流圧縮ポンプは締切状態で高い圧縮比が
得られるという特性があるため、少ない段数で十分低い
到達圧力に達することができる。
本発明によれば、吸気口側に設けた軸流圧縮ポンプ及び
ねじ圧縮ポンプ段が、過渡状態において・は圧縮機とし
て作用し、定常状態においてはシール機能を施すという
２重の作用をし、円周流圧縮ポンプ段が高い圧縮比を得
ることにより、排気口圧力を大気圧に保ち、かつ小さな
直径の羽根車で少ない段数で低い到達圧力が得られ、真
空−ンブを小形化できる。
ねじ圧縮ポンプ段が、過渡状態において・は圧縮機とし
て作用し、定常状態においてはシール機能を施すという
２重の作用をし、円周流圧縮ポンプ段が高い圧縮比を得
ることにより、排気口圧力を大気圧に保ち、かつ小さな
直径の羽根車で少ない段数で低い到達圧力が得られ、真
空−ンブを小形化できる。
第１図は不発明の真空ポンプの全体構造を示すｌｌｆｒ
面図、第２図（ａ）〜第２図仲）は第１図の軸流圧縮ポ
ンプ段の詳細図、第３図（ａ）および５ｇ３図（ｂ）は
第１図のねじ圧縮ポンプ段の詳細図、第４図（ａ）およ
び第４図Φ）は第１図の円周流圧縮ポンプ段の詳細図、
第５図は従来の真空ポンプの縦断面図である。 ＶＪｒ図 ｔ４− 幻（瓜扁ポジ７″ρ １５−４１ンに）ＥＭ木°シフ−（之 ｈ Ｚ 図 ０Ｌ） １５δ−−一固支羽脹 １２図（ｂ） ｇ Ｚ、図（’Ｃ）第 ３
図 （ｉン
面図、第２図（ａ）〜第２図仲）は第１図の軸流圧縮ポ
ンプ段の詳細図、第３図（ａ）および５ｇ３図（ｂ）は
第１図のねじ圧縮ポンプ段の詳細図、第４図（ａ）およ
び第４図Φ）は第１図の円周流圧縮ポンプ段の詳細図、
第５図は従来の真空ポンプの縦断面図である。 ＶＪｒ図 ｔ４− 幻（瓜扁ポジ７″ρ １５−４１ンに）ＥＭ木°シフ−（之 ｈ Ｚ 図 ０Ｌ） １５δ−−一固支羽脹 １２図（ｂ） ｇ Ｚ、図（’Ｃ）第 ３
図 （ｉン
Claims (1)
- １、吸気口と排気口を有するハウジングと、そのハウジ
ング内に固定されたステータと、前記ハウジング内に回
転自在に支承されたロータから成り、前記吸気口から吸
込まれた気体を、前記排気口から直接大気に排気する一
体型の真空ポンプにおいて、前記ロータとステータが、
前記吸気口側では軸流圧縮ポンプ段及びねじ圧縮ポンプ
段を、また前記排気口側では円周流圧縮ポンプ段を形成
したことを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61228170A JPS6385287A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61228170A JPS6385287A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6385287A true JPS6385287A (ja) | 1988-04-15 |
Family
ID=16872320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61228170A Pending JPS6385287A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6385287A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63266188A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 複合真空ポンプ |
| JPH0237197A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-07 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 複合分子ポンプ |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP61228170A patent/JPS6385287A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63266188A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 複合真空ポンプ |
| JPH0237197A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-07 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 複合分子ポンプ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH037039B2 (ja) | ||
| JPS62113887A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPH0826877B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH0477160B2 (ja) | ||
| JPS6385287A (ja) | 真空ポンプ | |
| US6220824B1 (en) | Self-propelled vacuum pump | |
| WO1995028571A1 (fr) | Pompe moleculaire | |
| JPS6385291A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPS6355396A (ja) | タ−ボ真空ポンプ | |
| KR100790305B1 (ko) | 원심형 터보 임펠라 구동방식의 축류형 송풍장치 | |
| JP2757922B2 (ja) | 遠心圧縮機 | |
| JP2865888B2 (ja) | マルチターボ型真空ポンプ | |
| US5803713A (en) | Multi-stage liquid ring vacuum pump-compressor | |
| USRE33129E (en) | Vacuum pump | |
| JPH02264196A (ja) | ターボ真空ポンプ | |
| US3351272A (en) | Vacuum pump | |
| JP2001090690A (ja) | 真空ポンプ | |
| KR100339550B1 (ko) | 터보 압축기의 디퓨져 구조 | |
| JP4249946B2 (ja) | 改良型真空ポンプ | |
| JP2680156B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JPS6385290A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2003013880A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPS60116896A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPS6385292A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPS6385288A (ja) | 真空ポンプ |