JPH0477160B2 - - Google Patents
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- JPH0477160B2 JPH0477160B2 JP58224157A JP22415783A JPH0477160B2 JP H0477160 B2 JPH0477160 B2 JP H0477160B2 JP 58224157 A JP58224157 A JP 58224157A JP 22415783 A JP22415783 A JP 22415783A JP H0477160 B2 JPH0477160 B2 JP H0477160B2
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- JP
- Japan
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- pump stage
- stage
- impeller
- molecular
- compression pump
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Links
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- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 45
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 240000003473 Grevillea banksii Species 0.000 description 1
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
- F04D23/008—Regenerative pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は排気口を大気圧とする真空ポンプ、例
えば半導体製造装置における清浄な真空を作り出
すに好適な真空ポンプに関するものである。
えば半導体製造装置における清浄な真空を作り出
すに好適な真空ポンプに関するものである。
従来の真空ポンプ（特開昭51−38113号）は第
１図に示すように、−線を中心として左右対
称に設けられており、その右半部の構造は次のと
おりである。すなわち吸気口2Aと排気口2Bを有
するハウジング２の内壁に取付けられた固定板
3B〜6Bと、そのハウジング２内に軸受７を介し
て回転自在に支持された回転軸１に取付けられた
回転円板３Ａおよび羽根車4A〜6Aのそれぞれと
からなる軸流ターボ分子ポンプ段３、付加分子ポ
ンプ段４、遠心圧縮ポンプ段５および過流圧縮ポ
ンプ段６を、前記吸気口2A側から排気口2B側に
至る間のハウジング２内の順次に連設して構成さ
れている。
１図に示すように、−線を中心として左右対
称に設けられており、その右半部の構造は次のと
おりである。すなわち吸気口2Aと排気口2Bを有
するハウジング２の内壁に取付けられた固定板
3B〜6Bと、そのハウジング２内に軸受７を介し
て回転自在に支持された回転軸１に取付けられた
回転円板３Ａおよび羽根車4A〜6Aのそれぞれと
からなる軸流ターボ分子ポンプ段３、付加分子ポ
ンプ段４、遠心圧縮ポンプ段５および過流圧縮ポ
ンプ段６を、前記吸気口2A側から排気口2B側に
至る間のハウジング２内の順次に連設して構成さ
れている。
上気軸流ターボ分子ポンプ段３は、前記回転円
板3Aと固定板3Bを交互に組合せて構成され、ま
た付加分子ポンプ段４は前記円板状羽根車4Aと
固定板4Bを交互に組合せて構成され、また遠心
圧縮ポンプ段５は前記羽根車5Aとデイフユーザ
固定板5Bを交互に組合せて構成され、さらに渦
流圧縮ポンプ段６は前記回転板6Aと固定板6Bと
を交互に組合せて構成されている。
板3Aと固定板3Bを交互に組合せて構成され、ま
た付加分子ポンプ段４は前記円板状羽根車4Aと
固定板4Bを交互に組合せて構成され、また遠心
圧縮ポンプ段５は前記羽根車5Aとデイフユーザ
固定板5Bを交互に組合せて構成され、さらに渦
流圧縮ポンプ段６は前記回転板6Aと固定板6Bと
を交互に組合せて構成されている。
一方、回転軸１は駆動タービン８を介して駆動
され、この駆動タービン８はハウジング２の側壁
に設けられた空気入口９Ａと空気出口９Ｂに連結
されている。
され、この駆動タービン８はハウジング２の側壁
に設けられた空気入口９Ａと空気出口９Ｂに連結
されている。
上記のような構成からなる従来例では、ポンプ
の摩擦損失の大部分は、大気圧に近い排気口２Ｂ
側、すなわち渦流圧縮ポンプ段６で発生する。こ
のポンプ段６の羽根車6Aは遠心圧縮ポンプ段５
の羽根車５Ａと類似形状に構成されているため、
渦流圧縮ポンプ段６の圧縮比は周速に比例する。
この周速を増大するには、前記羽根車6Aの半径
を増大させるか、またはその回転数を増加させる
かの二つの方法がある。
の摩擦損失の大部分は、大気圧に近い排気口２Ｂ
側、すなわち渦流圧縮ポンプ段６で発生する。こ
のポンプ段６の羽根車6Aは遠心圧縮ポンプ段５
の羽根車５Ａと類似形状に構成されているため、
渦流圧縮ポンプ段６の圧縮比は周速に比例する。
この周速を増大するには、前記羽根車6Aの半径
を増大させるか、またはその回転数を増加させる
かの二つの方法がある。
ところが後者の方法では、回転数は危険速度に
より制限があるため、前者の方法すなわち半径を
増大する方法を採用しなければならない。一方、
摩擦損失は半径の５乗に比例して増加するので、
大径の羽根車では多量の熱を発生する。しかる
に、渦流圧縮ポンプ段６を流通する気体は、その
前段（遠心圧縮ポンプ段）までに可なり圧縮され
ているため、体積は縮小されているから気体によ
る熱の伝達も小さいので、冷却が困難である。
より制限があるため、前者の方法すなわち半径を
増大する方法を採用しなければならない。一方、
摩擦損失は半径の５乗に比例して増加するので、
大径の羽根車では多量の熱を発生する。しかる
に、渦流圧縮ポンプ段６を流通する気体は、その
前段（遠心圧縮ポンプ段）までに可なり圧縮され
ているため、体積は縮小されているから気体によ
る熱の伝達も小さいので、冷却が困難である。
本発明は排気口圧力を大気圧付近に保ち、かつ
一台で高真空をうることができると共に、ポンプ
の下流段の摩擦損失を減少させて、所要動力を低
減させることのできる真空ポンプを得ることを目
的とするものである。
一台で高真空をうることができると共に、ポンプ
の下流段の摩擦損失を減少させて、所要動力を低
減させることのできる真空ポンプを得ることを目
的とするものである。
上記目的を達成するための本発明の特徴は、吸
気口、大気圧付近の圧力領域に連通する排気口、
及びポンプ作用をするポンプ段を有し、定常状態
においては分子流圧力領域の希薄気体を前記吸気
口から吸込み圧縮して前記排気口から排出するよ
うにした真空ポンプにおいて、前記ポンプ段は分
子ポンプ段とこの分子ポンプ段の下流側に設けら
れた渦流圧縮ポンプ段とを有し、前記渦流圧縮ポ
ンプ段は、外周側に多数の羽根を放射状に設けた
羽根車と、この羽根車を包囲するように設けた固
定部材と、前記羽根車に設けられた多数の羽根に
対向する位置の前記固定部材に円周方向に形成さ
れ、前記多数の羽根を連通する通風路とを備えて
いることにある。
気口、大気圧付近の圧力領域に連通する排気口、
及びポンプ作用をするポンプ段を有し、定常状態
においては分子流圧力領域の希薄気体を前記吸気
口から吸込み圧縮して前記排気口から排出するよ
うにした真空ポンプにおいて、前記ポンプ段は分
子ポンプ段とこの分子ポンプ段の下流側に設けら
れた渦流圧縮ポンプ段とを有し、前記渦流圧縮ポ
ンプ段は、外周側に多数の羽根を放射状に設けた
羽根車と、この羽根車を包囲するように設けた固
定部材と、前記羽根車に設けられた多数の羽根に
対向する位置の前記固定部材に円周方向に形成さ
れ、前記多数の羽根を連通する通風路とを備えて
いることにある。
上記特徴を有する真空ポンプとすることによ
り、真空ポンプを始動し、吸込側が高真空となる
定常状態になつていくと、真空ポンプの吸込側は
分子流となり、分子ポンプ段で圧縮されて下流側
に設けられた渦流圧縮ポンプ段に流れる。渦流圧
縮ポンプ段は、定常状態においては分子ポンプ段
からの体積流量が非常に少なくなり、締切状態に
近い状態で運転されるが、渦流圧縮ポンプ段は締
切状態において極めて高い圧縮比が得られ、この
結果、分子ポンプ段と渦流圧縮ポンプ段を組合せ
た本発明の真空ポンプによつて、排気口圧力を大
気圧付近に保つた状態で吸込口側を分子流域の非
常に低い圧力に到達させることができる。
り、真空ポンプを始動し、吸込側が高真空となる
定常状態になつていくと、真空ポンプの吸込側は
分子流となり、分子ポンプ段で圧縮されて下流側
に設けられた渦流圧縮ポンプ段に流れる。渦流圧
縮ポンプ段は、定常状態においては分子ポンプ段
からの体積流量が非常に少なくなり、締切状態に
近い状態で運転されるが、渦流圧縮ポンプ段は締
切状態において極めて高い圧縮比が得られ、この
結果、分子ポンプ段と渦流圧縮ポンプ段を組合せ
た本発明の真空ポンプによつて、排気口圧力を大
気圧付近に保つた状態で吸込口側を分子流域の非
常に低い圧力に到達させることができる。
このように本発明によれば、分子ポンプ段とそ
の下流側に設けた渦流圧縮ポンプ段との組合せに
より、大気圧領域から高真空の領域まで一台のポ
ンプで排気可能となる。
の下流側に設けた渦流圧縮ポンプ段との組合せに
より、大気圧領域から高真空の領域まで一台のポ
ンプで排気可能となる。
また、渦流圧縮ポンプ段は高い圧縮比を得るこ
とができるため、その羽根車の直径を小さくする
ことができ、その摩擦損失を低減することができ
る。
とができるため、その羽根車の直径を小さくする
ことができ、その摩擦損失を低減することができ
る。
以下、本発明の実施例を図面について説明す
る。
る。
第２図は第一実施例を示すもので、−線を
中心として左右対称に設けられており、その右半
部の構造は下記のとおりである。
中心として左右対称に設けられており、その右半
部の構造は下記のとおりである。
第２図において、１は吸気口２Ａと排気口２Ｂ
を有するハウジング２を貫通し、軸受７を介して
回転自在に支持された回転軸で、その一端は駆動
源（図示せず）に連結されている。１０〜１２は
前記吸気口２Ａ側から排気口２Ｂ側に至る間のハ
ウジング２内に順次に連設されたジーグバーン分
子ポンプ段、遠心圧縮ポンプ段および渦流圧縮ポ
ンプ段である。
を有するハウジング２を貫通し、軸受７を介して
回転自在に支持された回転軸で、その一端は駆動
源（図示せず）に連結されている。１０〜１２は
前記吸気口２Ａ側から排気口２Ｂ側に至る間のハ
ウジング２内に順次に連設されたジーグバーン分
子ポンプ段、遠心圧縮ポンプ段および渦流圧縮ポ
ンプ段である。
上記ジーグバーン分子ポンプ段１０は、回転軸
１に取付けられた回転円板１０Ａとハウジング２
の内壁に取付けられた固定円板１０Ｂとを交互に
配置して構成されている。しかも、その固定円板
１０Ｂは第３図ａ，ｂに示すように、回転円板
（図示せず）に対向する面（第３図ａの右面）に
ら旋状溝１０B1が設けられている。
１に取付けられた回転円板１０Ａとハウジング２
の内壁に取付けられた固定円板１０Ｂとを交互に
配置して構成されている。しかも、その固定円板
１０Ｂは第３図ａ，ｂに示すように、回転円板
（図示せず）に対向する面（第３図ａの右面）に
ら旋状溝１０B1が設けられている。
また、前記遠心圧縮ポンプ段１１は、第４図
ａ、ｂに示すように表面に放射状に配置した複数
個の羽根１４を有し、かつ回転軸１に取付けられ
た羽根車１１Ａと、第４図ａに示すようにハウジ
ング２に取付けられ、かつ前記羽根車１１Ａの表
面（羽根１４を設けない面）に対向する面に、複
数個のリターンチヤンネル１５を設けた固定円板
１１Ｂとを交互に配置して構成されている。
ａ、ｂに示すように表面に放射状に配置した複数
個の羽根１４を有し、かつ回転軸１に取付けられ
た羽根車１１Ａと、第４図ａに示すようにハウジ
ング２に取付けられ、かつ前記羽根車１１Ａの表
面（羽根１４を設けない面）に対向する面に、複
数個のリターンチヤンネル１５を設けた固定円板
１１Ｂとを交互に配置して構成されている。
さらに、渦流圧縮ポンプ段１２は、第５図ａ，
ｂに示すように回転軸１に取付けられ、外周面に
多数の羽根１６を放射状に設けた羽根車１２Ａ
と、ハウジング（図示せず）に取付けられ、かつ
前記羽根車１２Ａを包囲する一対の固定円板１２
Ｂとを組合せ、第５図ａに示すように通風路１７
を形成した構造のものを並置して構成されてい
る。
ｂに示すように回転軸１に取付けられ、外周面に
多数の羽根１６を放射状に設けた羽根車１２Ａ
と、ハウジング（図示せず）に取付けられ、かつ
前記羽根車１２Ａを包囲する一対の固定円板１２
Ｂとを組合せ、第５図ａに示すように通風路１７
を形成した構造のものを並置して構成されてい
る。
上記の第１実施例によれば、ジーグバーン分子
ポンプ段１０は高圧縮比となるため、低圧の分子
流域まで分子ポンプ作用を行う機能を有する。一
方、粘性流領域で有効な遠心圧縮ポンプ段１１
は、大気圧から数トール（Torr）の圧力範囲で
作動されるようになつているので、前記ジーグバ
ーン分子ポンプ段１０に対して有利な作動環境が
えられる。さらに、最終段である渦流圧縮ポンプ
段１２の締切点付近の圧力係数は、遠心圧縮ポン
プ段１１に比べて５〜10倍高くとれるので、同一
圧縮比をうるために羽根車１２Ａの直径を小さく
することができる。したがつて、羽根車１２Ａの
摩擦損失を低減させると共に、軸のスラスト力を
減少させることができる。
ポンプ段１０は高圧縮比となるため、低圧の分子
流域まで分子ポンプ作用を行う機能を有する。一
方、粘性流領域で有効な遠心圧縮ポンプ段１１
は、大気圧から数トール（Torr）の圧力範囲で
作動されるようになつているので、前記ジーグバ
ーン分子ポンプ段１０に対して有利な作動環境が
えられる。さらに、最終段である渦流圧縮ポンプ
段１２の締切点付近の圧力係数は、遠心圧縮ポン
プ段１１に比べて５〜10倍高くとれるので、同一
圧縮比をうるために羽根車１２Ａの直径を小さく
することができる。したがつて、羽根車１２Ａの
摩擦損失を低減させると共に、軸のスラスト力を
減少させることができる。
第６図は第２実施例を示すもので、−線を
中心として左右対称に設けられており、その右半
部の構造について説明する。
中心として左右対称に設けられており、その右半
部の構造について説明する。
第６図において、１は吸気口２Ａと排気口２Ｂ
を有するハウジング２内に軸受７を介して回転自
在に支持された回転軸、２０〜２２は前記吸気口
２Ａ側から排気口２Ｂ側に至る間のハウジング２
内に順次に連設された分子ポンプ段、遠心圧縮ポ
ンプ段とおよび粘性ねじ形排気段である。
を有するハウジング２内に軸受７を介して回転自
在に支持された回転軸、２０〜２２は前記吸気口
２Ａ側から排気口２Ｂ側に至る間のハウジング２
内に順次に連設された分子ポンプ段、遠心圧縮ポ
ンプ段とおよび粘性ねじ形排気段である。
上記分子ポンプ段２０は、ハウジング２の内壁
に取付けられたリング２０ａとハウジング２の内
壁に取付けられ、ら旋状溝２０ｅを有する固定円
板２０ｃ，２０ｄ（第７図参照）と、この両固定
円板２０ｃ，２０ｄ間に、これらと適宜間隔を保
つように回転軸１に取付けられた回転円板２０ｂ
とからなり、かつ前記固定円板２０ｃ，２０ｄと
回転円板２０ｂとを組合せてなるポンプと並置し
て構成されている。
に取付けられたリング２０ａとハウジング２の内
壁に取付けられ、ら旋状溝２０ｅを有する固定円
板２０ｃ，２０ｄ（第７図参照）と、この両固定
円板２０ｃ，２０ｄ間に、これらと適宜間隔を保
つように回転軸１に取付けられた回転円板２０ｂ
とからなり、かつ前記固定円板２０ｃ，２０ｄと
回転円板２０ｂとを組合せてなるポンプと並置し
て構成されている。
また、前記遠心圧縮ポンプ段２１は、固定円板
２１ａおよび交互に配置された羽根車２１ｂと固
定円板２１ｃからなり、この羽根車２１ｂは第８
図に示すように、心板２１b1の表面（第８図ａで
は右側面）に羽根２１b2を放射状に配置して構成
されている。また上記固定円板２１ｃは第９図に
示すように、心板２１c1の表面（第８図ａでは右
側面）に羽根２１c2を放射状に配置して構成され
ている。
２１ａおよび交互に配置された羽根車２１ｂと固
定円板２１ｃからなり、この羽根車２１ｂは第８
図に示すように、心板２１b1の表面（第８図ａで
は右側面）に羽根２１b2を放射状に配置して構成
されている。また上記固定円板２１ｃは第９図に
示すように、心板２１c1の表面（第８図ａでは右
側面）に羽根２１c2を放射状に配置して構成され
ている。
さらに、前記粘性ねじ形排気段２２は、ハウジ
ング２の内壁に取付けられ、かつ円筒部２２a1を
有するケーシング２２ａと、その同筒部２２a1内
に挿入され、かつ回転軸１に取付けられた回転円
筒２２ｂとからなり、この回転円筒２２ｂの外周
面にはねじ溝（ら旋状溝）２２ｃが設けられてい
る。前記回転円板２０ｂ、羽根車２１ｂおよび回
転円筒２２ｂはナツト２４を介して回転軸１に固
定されている。また、前記ケーシング２２ａとハ
ウジング側壁２ｃとの間にはスペーサ２３が設け
られている。
ング２の内壁に取付けられ、かつ円筒部２２a1を
有するケーシング２２ａと、その同筒部２２a1内
に挿入され、かつ回転軸１に取付けられた回転円
筒２２ｂとからなり、この回転円筒２２ｂの外周
面にはねじ溝（ら旋状溝）２２ｃが設けられてい
る。前記回転円板２０ｂ、羽根車２１ｂおよび回
転円筒２２ｂはナツト２４を介して回転軸１に固
定されている。また、前記ケーシング２２ａとハ
ウジング側壁２ｃとの間にはスペーサ２３が設け
られている。
この第２実施例（第６図）では、分子ポンプ段
２０の固定円板２０ｃ，２０ｄにら旋状溝２０ｅ
を、また粘性ねじ形排気段２２の回転円筒２２ｂ
にら旋状溝２２ｃをそれぞれ設けたが、これらに
代え前記ら旋状溝２０ｅ，２０ｃを分子ポンプ段
２０の回転円板２０ｂおよび粘性ねじ形排気段２
２のケーシング円筒部２２a1にそれぞれ設けても
よい。
２０の固定円板２０ｃ，２０ｄにら旋状溝２０ｅ
を、また粘性ねじ形排気段２２の回転円筒２２ｂ
にら旋状溝２２ｃをそれぞれ設けたが、これらに
代え前記ら旋状溝２０ｅ，２０ｃを分子ポンプ段
２０の回転円板２０ｂおよび粘性ねじ形排気段２
２のケーシング円筒部２２a1にそれぞれ設けても
よい。
次に上記のような構成からなる第２実施例の作
用について説明する。
用について説明する。
ハウジング２の吸気口２Ａより流入した排気さ
れる気体は、環状流路を形成するリング２０ａを
経て、分子ポンプ段２０の固定円板２０ｃのら旋
状溝２０ｅに流入する。この流入した気体は、回
転円板２０ｂのドラグ作用により対向側の固定円
板２０ｄのら旋状溝２０ｅを流通する。このよう
な動作を以降も繰返し行つた後、分子ポンプ段２
０から流出した気体は遠心圧縮ポンプ段２１に流
入する。このポンプ段２１に流入した気体は、固
定円板２１ａと羽根車２１ｂの心板２１b1とによ
り形成された流路を流通した後、羽根車２１ｂに
設けた長、短羽根２１b2，２１b3間を流通する。
このような動作を以降も繰返し行つた後、遠心圧
縮ポンプ段２１から流出した気体は、粘性ねじ形
排気段２２に流入し、ねじ溝２２ｃを有する回転
円筒２２ｂの粘性作用により圧縮された後に排気
口２Ｂから排出される。
れる気体は、環状流路を形成するリング２０ａを
経て、分子ポンプ段２０の固定円板２０ｃのら旋
状溝２０ｅに流入する。この流入した気体は、回
転円板２０ｂのドラグ作用により対向側の固定円
板２０ｄのら旋状溝２０ｅを流通する。このよう
な動作を以降も繰返し行つた後、分子ポンプ段２
０から流出した気体は遠心圧縮ポンプ段２１に流
入する。このポンプ段２１に流入した気体は、固
定円板２１ａと羽根車２１ｂの心板２１b1とによ
り形成された流路を流通した後、羽根車２１ｂに
設けた長、短羽根２１b2，２１b3間を流通する。
このような動作を以降も繰返し行つた後、遠心圧
縮ポンプ段２１から流出した気体は、粘性ねじ形
排気段２２に流入し、ねじ溝２２ｃを有する回転
円筒２２ｂの粘性作用により圧縮された後に排気
口２Ｂから排出される。
上述した第２実施例によれば、最終段すなわち
粘性ねじ形排気段２２の回転円筒２２ｂの直径を
著しく小さくすることができるので、摩擦損失を
大幅に低減させることが可能であるから、ポンプ
全体の動力減少をはかることができる。
粘性ねじ形排気段２２の回転円筒２２ｂの直径を
著しく小さくすることができるので、摩擦損失を
大幅に低減させることが可能であるから、ポンプ
全体の動力減少をはかることができる。
前記粘性ねじ形排気段２２（第６図）は、軸流
形式の単体に形成されているが、これに代り第１
０図に示すように、ハウジング２の内壁に取付け
られた固定円板２２′ａと、回転軸１に取付けら
れ、前記固定円板２２′ａに対する裏面にら旋状
溝２２′ｄに設けると共に、表面（遠心圧縮ポン
プ段２１側）に長い羽根２２′c1および短い羽根
２２′C2を交互に、かつ放射状に設けた羽根車２
２′ｂ（第１１図参照）とにより構成してもよい。
その他の構造は第６図に示す実施例と同一である
から説明を省略する。このように構成すれば、粘
性ねじ形排気段２２′の軸方向長さを短縮できる
利点がある。
形式の単体に形成されているが、これに代り第１
０図に示すように、ハウジング２の内壁に取付け
られた固定円板２２′ａと、回転軸１に取付けら
れ、前記固定円板２２′ａに対する裏面にら旋状
溝２２′ｄに設けると共に、表面（遠心圧縮ポン
プ段２１側）に長い羽根２２′c1および短い羽根
２２′C2を交互に、かつ放射状に設けた羽根車２
２′ｂ（第１１図参照）とにより構成してもよい。
その他の構造は第６図に示す実施例と同一である
から説明を省略する。このように構成すれば、粘
性ねじ形排気段２２′の軸方向長さを短縮できる
利点がある。
第１２図に示す第４実施例は、第６図に示す実
施例とほぼ同一の構造である。すなわち第４実施
例では、粘性ねじ形排気段２２のケーシング２２
ａにリーク用孔２５を設け、このリーク用孔２５
に例えばふた２６ａとばね２６ｂからなる開閉機
構２６を設けた点が第２実施例と異なり、その他
の構造は同一であるから説明を省略する。
施例とほぼ同一の構造である。すなわち第４実施
例では、粘性ねじ形排気段２２のケーシング２２
ａにリーク用孔２５を設け、このリーク用孔２５
に例えばふた２６ａとばね２６ｂからなる開閉機
構２６を設けた点が第２実施例と異なり、その他
の構造は同一であるから説明を省略する。
上記開閉機構２６のふた２６ａは、吸気口２Ａ
側の圧力が排気口２Ｂ側の圧力より低い場合、す
なわち、ふた２６ａの内側（リーク用孔２４内）
の圧力が、ふた２６ａの外側（排気口２Ｂ側）の
圧力より低い場合には、ばね２６ｂの力に抗して
閉じられる。
側の圧力が排気口２Ｂ側の圧力より低い場合、す
なわち、ふた２６ａの内側（リーク用孔２４内）
の圧力が、ふた２６ａの外側（排気口２Ｂ側）の
圧力より低い場合には、ばね２６ｂの力に抗して
閉じられる。
逆にリーク用孔２５内の圧力が排気口２Ｂ側の
圧力より高い場合には、バネ２６ｂの伸長力と相
まつてふた２６ａは開かれる。
圧力より高い場合には、バネ２６ｂの伸長力と相
まつてふた２６ａは開かれる。
一般に始動時には吸込圧が高いため、ポンプ内
の圧力は吐出側圧力よりも高くなつているので、
遠心圧縮ポンプ段で圧縮された高圧流体は、開閉
機構２６の開放によりリーク用孔２５を経て排気
口２Ｂより排出される。この結果、ポンプ内の圧
力低下により、粘性ねじ形排気段２２が作動する
と、開閉機構２６のふた２６ａは閉じて定常運転
状態になる。したがつて、始動時には粘性ねじ形
排気段２２を流通する流体が減少し、前記開閉機
構の閉塞を防ぐことができるため、所要の真空度
をうる所要時間を短縮することが可能である。
の圧力は吐出側圧力よりも高くなつているので、
遠心圧縮ポンプ段で圧縮された高圧流体は、開閉
機構２６の開放によりリーク用孔２５を経て排気
口２Ｂより排出される。この結果、ポンプ内の圧
力低下により、粘性ねじ形排気段２２が作動する
と、開閉機構２６のふた２６ａは閉じて定常運転
状態になる。したがつて、始動時には粘性ねじ形
排気段２２を流通する流体が減少し、前記開閉機
構の閉塞を防ぐことができるため、所要の真空度
をうる所要時間を短縮することが可能である。
以上説明したように本発明によれば、俳気口圧
力を大気圧付近に保ち、かつ一台で高真空をうる
ことができると共に、ポンプの損失、特に下流段
の摩擦損失を低減させ、所要動力を減少させるこ
とができる効果がある。
力を大気圧付近に保ち、かつ一台で高真空をうる
ことができると共に、ポンプの損失、特に下流段
の摩擦損失を低減させ、所要動力を減少させるこ
とができる効果がある。
第１図は従来の真空ポンプの断面図、第２図は
本発明の真空ポンプの第１実施例を示す断面図、
第３図ａ，ｂは第１実施例のバークバーン分子ポ
ンプ段の断面図および正面図、第４図ａ，ｂは第
１実施例の遠心圧縮ポンプ段の要部断面図および
羽根車の正面図、第５図ａ，ｂは第１実施例の渦
流圧縮ポンプ段の要部断面図および羽根車正面
図、第６図は本発明に係わる第２実施例を示す断
面図、第７ａ，ｂは第２実施例の分子ポンプ段の
固定円板の断面図および正面図、第８図ａ，ｂは
第２実施例の遠心圧縮ポンプ段の回転円板の断面
図および正面図、第９図ａ，ｂは第２実施例の固
定円板の断面図および正面図、第１０図は本発明
に係わる第３実施例の断面図、第１１図ａ〜ｃは
第３実施例の粘性ねじ形排気段の回転円板の表面
図、断面図および裏面図、第１２図は本発明に係
わる第４実施例の断面図である。 １……回転軸、２……ハウジング、２Ａ……吸
入口、２Ｂ……吐出口、１０……分子ポンプ段、
１１……遠心圧縮ポンプ段、１２……渦流圧縮ポ
ンプ段、１２Ａ……羽根車、１２Ｂ……固定円
板、１６……羽根、１７……通風路。
本発明の真空ポンプの第１実施例を示す断面図、
第３図ａ，ｂは第１実施例のバークバーン分子ポ
ンプ段の断面図および正面図、第４図ａ，ｂは第
１実施例の遠心圧縮ポンプ段の要部断面図および
羽根車の正面図、第５図ａ，ｂは第１実施例の渦
流圧縮ポンプ段の要部断面図および羽根車正面
図、第６図は本発明に係わる第２実施例を示す断
面図、第７ａ，ｂは第２実施例の分子ポンプ段の
固定円板の断面図および正面図、第８図ａ，ｂは
第２実施例の遠心圧縮ポンプ段の回転円板の断面
図および正面図、第９図ａ，ｂは第２実施例の固
定円板の断面図および正面図、第１０図は本発明
に係わる第３実施例の断面図、第１１図ａ〜ｃは
第３実施例の粘性ねじ形排気段の回転円板の表面
図、断面図および裏面図、第１２図は本発明に係
わる第４実施例の断面図である。 １……回転軸、２……ハウジング、２Ａ……吸
入口、２Ｂ……吐出口、１０……分子ポンプ段、
１１……遠心圧縮ポンプ段、１２……渦流圧縮ポ
ンプ段、１２Ａ……羽根車、１２Ｂ……固定円
板、１６……羽根、１７……通風路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 吸気口、大気圧付近の圧力領域に連通する排
気口、及びポンプ作用をするポンプ段を有し、定
常状態においては分子流圧力領域の希薄気体を前
記吸気口から吸込み圧縮して前記排気口から排出
するようにした真空ポンプにおいて、前記ポンプ
段は分子ポンプ段とこの分子ポンプ段の下流側に
設けられた渦流圧縮ポンプ段とを有し、前記渦流
圧縮ポンプ段は、外周側に多数の羽根を放射状に
設けた羽根車と、この羽根車を包囲するように設
けた固定部材と、前記羽根車に設けられた多数の
羽根に対向する位置の前記固定部材に円周方向に
形成され、前記多数の羽根を連通する通風路とを
備えていることを特徴とする真空ポンプ。 ２ 特許請求の範囲第１項において、分子ポンプ
段と渦流圧縮ポンプ段との間に遠心圧縮ポンプ段
を備えていることを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22415783A JPS60116895A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 真空ポンプ |
| DE19843442843 DE3442843A1 (de) | 1983-11-30 | 1984-11-23 | Vakuumpumpe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22415783A JPS60116895A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60116895A JPS60116895A (ja) | 1985-06-24 |
| JPH0477160B2 true JPH0477160B2 (ja) | 1992-12-07 |
Family
ID=16809422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22415783A Granted JPS60116895A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 真空ポンプ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60116895A (ja) |
| DE (1) | DE3442843A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61247893A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-05 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
| JPH07101039B2 (ja) * | 1987-04-24 | 1995-11-01 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 複合真空ポンプ |
| DE3728154C2 (de) * | 1987-08-24 | 1996-04-18 | Balzers Pfeiffer Gmbh | Mehrstufige Molekularpumpe |
| JPS6447994U (ja) * | 1987-09-18 | 1989-03-24 | ||
| JPH01187396A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-26 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
| JP2627437B2 (ja) * | 1988-09-12 | 1997-07-09 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 複合真空ポンプ |
| JP2761486B2 (ja) * | 1988-07-13 | 1998-06-04 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 円周溝真空ポンプ |
| JP2724840B2 (ja) * | 1988-08-17 | 1998-03-09 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 複合真空ポンプ |
| US5358373A (en) * | 1992-04-29 | 1994-10-25 | Varian Associates, Inc. | High performance turbomolecular vacuum pumps |
| DE4314418A1 (de) * | 1993-05-03 | 1994-11-10 | Leybold Ag | Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten |
| US5449270A (en) * | 1994-06-24 | 1995-09-12 | Varian Associates, Inc. | Tangential flow pumping channel for turbomolecular pumps |
| DE10114585A1 (de) * | 2001-03-24 | 2002-09-26 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| EP2108844A3 (en) * | 2008-03-26 | 2013-09-18 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
| CN103423160B (zh) * | 2013-09-04 | 2015-11-25 | 张周卫 | 螺旋压缩膨胀制冷机用变螺距螺旋压缩机头 |
| CN103644118B (zh) * | 2013-12-17 | 2016-02-03 | 储继国 | 并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组 |
| RU2543917C1 (ru) * | 2014-03-24 | 2015-03-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Владимирский центр механической обработки" | Двухпоточный турбомолекулярный вакуумный насос с гибридными проточными частями |
| EP3112688B2 (de) * | 2015-07-01 | 2022-05-11 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Splitflow-vakuumpumpe sowie vakuum-system mit einer splitflow-vakuumpumpe |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5048512A (ja) * | 1973-03-30 | 1975-04-30 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2405890A1 (de) * | 1974-02-07 | 1975-08-14 | Siemens Ag | Seitenkanal-ringverdichter |
| US3969039A (en) * | 1974-08-01 | 1976-07-13 | American Optical Corporation | Vacuum pump |
-
1983
- 1983-11-30 JP JP22415783A patent/JPS60116895A/ja active Granted
-
1984
- 1984-11-23 DE DE19843442843 patent/DE3442843A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5048512A (ja) * | 1973-03-30 | 1975-04-30 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60116895A (ja) | 1985-06-24 |
| DE3442843A1 (de) | 1985-06-05 |
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