CN103644118B - 并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组，该并联环流泵采用梯形抽气槽截面，转子平盘外径递增或递减，每个环形槽中设置若干抽气单元等结构，从而获得大抽速、高压缩能力、节能、减小体积、降低重量和提高运行可靠性等优点。

Description

并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组

技术领域

本发明属于真空泵技术领域，尤其涉及一种并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组。

背景技术

目前，中真空区段普遍采用罗茨泵抽气，该泵体积大、能耗高，而且存在油蒸汽污染。

传统的周向牵引分子泵(又称环流泵)的结构简单、能耗低、压缩能力强，并且能在中真空区段运行，还能获得高真空，无油蒸汽污染。然而，该泵抽速小，不到罗茨泵的1/10，不能满足工业应用的需求。

除此之外，传统环流泵还存在如下缺点：

1.抽气槽中，外侧部位气体获得的牵引速度大，压强提升快，内侧部位的气体压强提升慢，导致气体产生紊流，抽速下降，能耗上升。

2.采用单抽气槽抽气，每个抽气槽中，只设一个抽气单元；

3.抽气槽的进气口部位与排气口部位存在较大的压强差，导致转子受力不均衡，在高压强下运行，易发生变形、损坏。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种能在中、高真空区段有效运行、体积小、重量轻、能耗低、抽速大、无油蒸汽污染和运行可靠的并联环流泵、组合环流泵、复合环流泵及其抽气机组。

本发明是这样实现的，一种并联环流泵，包括泵壳以及固设于所述泵壳内壁的隔环，所述隔环的中心位置设有一沿所述隔环的轴向延伸的转轴，所述转轴上固设有一转子，所述转子外周缘凸设有若干间隔设置且与所述转子同轴的转子平盘，每相邻两所述转子平盘之间的间隔形成一抽气槽，若干所述抽气槽互相并联，所述隔环上设有至少一组插入所述抽气槽的堵块，所述隔环上开设有位于所述堵块两侧的进气口和排气口，所述进气口和排气口分别相连，组成自外向外抽气的并联环流泵；所述隔环紧靠上游抽气级的一侧开设有环形气体通道，所述环形气体通道与所述进气口相连。

具体地，所述抽气槽的截面为矩形或倒梯形。

具体地，最外侧的两所述转子平盘与隔环之间留有起隔离作用的工作间隙，其余所述转子平盘与隔环之间留有的工作间隙是最外侧的两所述转子平盘与隔环之间留有的工作间隙的1.5～5倍。

具体地，所述转子平盘的外径相同，或者所述转子平盘自进气侧至排气侧依次递增、或递减、或先递增后递减。

本发明的并联环流泵与传统真空泵相比，具有如下优点：

1.本发明提供的环流泵，采用若干抽气槽并联，以及每个抽气槽可分成多段抽气单元的结构，大幅度提高环流泵的抽速，达到了工业应用的要求；

2.本发明提供的环流泵，能耗低，约为罗茨泵的1/5；

3.本发明提供的环流泵，体积小重量轻，约为罗茨泵的1/5；

4.本发明提供的环流泵，结构对称，高压强下运行时，受力均衡，运行可靠性；

5.本发明提供的环流泵，无油蒸汽污染，显著提高真空产品的质量；

6.本发明提供的环流泵，兼有中、高真空泵双重性能，简化真空系统的结构。

附图说明

图1-1是本发明实施例一提供的并联环流泵的示意图；

图1-2是沿图1-1中的A-A方向的剖视图；

图2是本发明实施例二提供的组合环流泵的示意图；

图3-1是本发明实施例三提供的设有环形气体通道的并联环流泵示意图；

图3-2是图3-1中沿B-B方向的剖视图；

图3-3是图3-1中沿C-C方向的剖视图；

图3-4是图3-1中沿D-D方向的剖视图；

图3-5是图3-1中沿E-E方向的剖视图；

图4-1是本发明实施例四提供的由内向外抽气的并联环流泵的横截面示意图；

图4-2是图4-1中沿F-F方向的剖视图；

图4-3是图3-1中沿G-G方向的剖视图；

图4-4是图3-1中沿H-H方向的剖视图；

图5是本发明实施例五提供的卧式复合环流泵的示意图；

图6是本发明实施例六提供的立式复合环流泵的示意图；

图7是本发明实施例七提供的卧式复合环流泵的示意图；

图8是本发明实施例八提供的立式复合环流泵的示意图；

图9是本发明实施例九提供的组合环流泵的示意图；

图10是本发明实施例十提供的环流泵抽气机组的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例一：自外向外抽气的并联环流泵

如图1-1和图1-2所示，本发明实施例一提供的一种并联环流泵1，包括泵壳11以及固设于泵壳11内壁的隔环12，隔环12的中心位置设有一沿隔环12的轴向延伸的转轴13，转轴13上固设有一转子14，转子14外周缘凸设有若干间隔设置且与转子14同轴的转子平盘15，每相邻两转子平盘15之间的间隙形成一抽气槽16，若干抽气槽16互相并联；隔环12上设有至少一组插入抽气槽16的堵块17，将抽气槽16分隔为长度相同的若干段，隔环12上开设有位于堵块17两侧的进气口18和排气口19，进气口18和排气口19分别相连，组成自外向外抽气的并联抽气的环流泵。

具体地，本实施例一中，所述抽气槽16的截面采用倒梯形结构，转子平盘15的轴向厚度相应从内到外逐渐减小，从而，抽气槽16的近轴部位的槽宽减小，提高了该部位气体的压强提升能力，抑制了气体紊流的形成，降低了能耗，还能提高转子14的强度和运行的可靠性。

具体地，本实施例一中，并联环流泵1上设有四组并联的抽气槽16，同一个抽气槽16由两组堵块17分隔成两段，堵块17和隔环12直接相连，堵块17的两侧分别开设有进气口18和排气口19，构成两组独立的抽气单元。本实施例的并联环流泵1，不仅显著提高了泵的抽速，而且结构对称，在高压强下运行时，受力均衡，提高了并联环流泵1运行的可靠性。

本实施例一中，最外侧的两转子平盘15与隔环12之间留有较小、起隔离作用的工作间隙Δ₁，其余转子平盘15采用较大的工作间隙Δ₂，Δ₂是Δ₁的1.5～5倍，从而将传统环流泵的工作间隙转化为具有一定抽气能力的“辅助分子泵”，进一步提高环流泵1的抽速，同时，还增加了外侧抽气槽16的实际槽宽，降低该部位气体的压强提升能力，进一步抑制气体紊流的产生。

本实施例一中，紧靠进气口18和排气口19一侧的转子平盘15的外径最小，其余转子平盘15的外径往中间方向逐渐增大，从而，既能获得最大的抽速，又能获得最大的进气口和排气口截面积。

实施例二：自外向外抽气的组合环流泵

本发明实施例二提供的一种组合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，所述外壳内设有若干同轴设置且相互串联的如实施例一所述的并联环流泵；

第一组所述并联环流泵的进气口与所述泵进气口相对应，第一组所述并联环流泵的排气口与第二组所述并联环流泵的进气口相对应；其余各组所述并联环流泵的进气口与上游并联环流泵的排气口相对应，其余各组所述并联环流泵的排气口与下游所述并联环流泵的进气口相对应，最后一组所述并联环流泵的排气口与所述泵排气口相对应，组成组合环流泵。

以下结合附图对本发明实施例二的技术方案作详细说明。

如图2所示，本发明实施例二提供的一种组合环流泵2，包括外壳21，外壳21上开设有泵进气口22和泵排气口28，外壳21内设有若干第一抽气级泵组23、第二抽气级泵组24和压缩级泵组25依次串联抽气，

其中，所述第一抽气级泵组23位于中间，由若干如实施例一所述的并联环流泵1组成，第一抽气级泵组23的进气口与泵进气口22相对应。本实施例二中，第一抽气级泵组23具体有八个并联的抽气槽；

所述第二抽气级泵组24位于第一抽气级泵组23的两侧，第二抽气级泵组24由若干如实施例一所述的并联环流泵1组成，第二抽气级泵组24的进气口与第一抽气级泵组23的排气口相对应，本实施例二中，每侧的第二抽气级泵组24具体有三个并联的抽气槽；

所述压缩级泵组25位于第二抽气级泵组24的两侧，压缩级泵组25由如实施例一所述的并联环流泵1组成，压缩级泵组25的进气口与第二抽气级泵组24的排气口相对应，本实施例二中，每侧的压缩级泵组25具体有二个并联的抽气槽。

本实施例二的组合环流泵2的第一抽气级泵组23、第二抽气级泵组24和压缩级泵组25与实施例一的并联环流泵单元1的结构基本相同，其差别在于：

(1)第一抽气级泵组23中间的转子平盘27外径最大，两侧的转子平盘27外径依次递减，从而既能获得最大的抽速，又能获得最大的排气口截面积；

(2)第二抽气级泵组24中，紧靠第一抽气级泵组的转子平盘27外径最小，其余转子平盘27沿两侧向外的方向先增大、后减小，从而，既能获得最大的抽速，又能获得最大的进气口和排气口截面积；

(3)压缩级泵组25的结构与第二抽气级泵组24的结构相同。

本实施例二的组合环流泵2工作时，首先，气体经泵进气口22进入，由第一抽气级泵组23抽至其两侧的排气口，然后，依次由第二抽气级泵组24和压缩级泵组25抽至泵排气口28，最后由前级泵(未示出)抽走。

实施例三：设有环形气体通道的并联环流泵

如图3-1～3-5所示，本实施例三提供的并联环流泵3，与实施例一的并联环流泵1基本相同，本实施例的并联环流泵3包括隔环31、进气口33、堵块34和排气口35，其不同之处在于，并联环流泵3的隔环31紧靠上游抽气级的一侧开设有环形气体通道32，环形气体通道32与进气口33相连。

具体地，如图3-1～3-3所示，并联环流泵3由三组抽气槽36并联组成，隔环31靠近上游抽气级的侧面上开设有环形气体通道32，环形气体通道32与进气口33直接相连；如图3-4所示，隔环31在堵块34的部位，部分用作环形气体通道32的组成部分，其余部分用于增加堵块34的结构强度；如图3-5所示，隔环31在排气口35的部位，分隔成两部分，一部分用作环形气体通道32的组成部分，另一部分用作排气口35。

环形气体通道32大幅度降低了气体进入进气口33的气体阻力，解决了环流泵抽气单元的进气口(仅占圆周1/5)与径流泵抽气单元的排气口(占据整个圆周)的匹配技术难题。

实施例四：由内向外或由外向内抽气的并联环流泵

如图4-1～图4-4所示，本发明实施例四提供的一种由内向外抽气的并联环流泵4，包括泵壳41以及固设于泵壳41内壁的隔环42，隔环42的中心位置设有一沿隔环42的轴向延伸的转轴43，转轴43上固设有一转子44，转子44外周缘凸设有若干间隔设置且与转子44同轴的转子平盘45，转子平盘45的轴向厚度从内到外逐渐减小，每相邻两转子平盘45之间的间隙形成一抽气槽46，若干抽气槽46互相并联，抽气槽46的截面为倒梯形；

隔环42上设有二组插设于抽气槽46内的堵块47，将抽气槽46分隔为长度相同的二段；

抽气槽46的槽底410与转子44分离，抽气槽46的槽底410与堵块47相连，堵块47顺着气流方向倾斜；

隔环42紧靠堵块47的一侧设有排气口49，槽底410紧靠堵块47的另一侧设有进气口48；

转子平盘45靠近转轴43部位开设有气体通道411；

进气口48、排气口49和气体通道411与抽气槽46相通，组成一组自内向外抽气的并联环流泵4。

当转子44如箭头所图4-1所示的方向高速旋转时，气体由气体通道411进入，经进气口48和抽气槽46，由排气口49排出，实现由内向外抽气。

另外，通过改变转子44旋转方向，或翻转本实施例四的并联环流泵4，可形成由外向内抽气的并联环流泵。

具体地，最外侧的两转子平盘45与隔环42之间留有起隔离作用的工作间隙，其余转子平盘45与隔环42之间留有的工作间隙是最外侧的两转子平盘45与隔环42之间留有的工作间隙的1.5～5倍；

具体地，转子平盘45的外径相同，或者转子平盘45的外径自进气侧至排气侧依次递增、或递减、或先递增后递减。

实施例五：卧式复合环流泵

本发明实施例五提供的一种卧式复合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，

所述外壳内依次设有若干同轴设置且相互串联的径流泵组和环流泵组，所述径流泵组靠近所述泵进气口设置，所述环流泵组靠近所述泵排气口设置；

所述径流泵组由若干对径流泵串联组成，每对所述径流泵由单个或若干并联的自外向内的径流泵抽气单元以及单个或若干并联的自内向外的径流泵抽气单元串联组成，所述自外向内的径流泵抽气单元和所述自内向外的径流泵抽气单元之间设有动密封；

靠近所述泵进气口的所述径流泵的第一组自外向内的径流泵抽气单元的外侧开设有径向气体通道，靠近所述环流泵的所述径流泵的最后一组自内向外的径流泵抽气单元的外侧开设有环形气体通道；

所述环流泵组位于所述径流泵组的两侧，所述环流泵组由若干级并联环流泵串联组成，所述环流泵组的第一级并联环流泵采用如实施例三所述的带环形气体通道的并联环流泵，所述环流泵组其余的并联环流泵采用如实施例一所述的不带环形气体通道的并联环流泵。

以下结合附图对本发明实施例五的技术方案作详细说明。

如图5-1所示，本发明实施例五提供的一种卧式复合环流泵5，包括外壳51，外壳51上开设有泵进气口52和泵排气口59，泵壳51内设有若干同轴设置的第一抽气级泵组53、第二抽气级泵组54、第三抽气级泵组55、压缩级泵组56、动密封57和转子58。

靠近泵进气口52的第一抽气级泵组53和第二抽气级泵组54采用径流泵组，提高泵的抽速；靠近泵排气口59的第三抽气级泵组55和压缩级泵组56采用环流泵组，提高泵的工作压强。

所述第一抽气级泵组53位于中间，由若干由外向内抽气的径流泵抽气单元组成，第一抽气级泵组53的进气口与泵进气口52相对设置，第一抽气级泵组53的两侧分别设有动密封57；

所述第二抽气级泵组54位于动密封57的两侧，第二抽气级泵组54由若干由内向外抽气的径流泵抽气单元组成，该径流泵抽气单元外侧开设有环形气体通道。第二抽气级泵组54的进气口与第一抽气级泵组53的排气口相对应；

所述第三抽气级泵组55位于第二抽气级泵组54的两侧，第三抽气级泵组55由如实施例三所述的设有环形气体通道32的并联环流泵3组成，第三抽气级泵组55的环形气体通道32与第二抽气级泵组54的环形气体通道相对应；

所述压缩级泵组56位于第三抽气级泵组55的两侧，压缩级泵组56由如实施例一所述的并联环流泵1组成(图5所示为两组抽气槽并联)。压缩级泵组56的进气口与第三抽气级泵组55的排气口相对应。压缩级泵组56的排气口与泵排气口59相对应。

本实施例五的立式卧式复合环流泵5工作时，首先，气体经泵进气口52进入，由第一抽气级泵组53抽至其两侧的排气口，然后，依次由第二抽气级泵组54、第三抽气级泵组55和压缩级泵组56抽至泵排气口59，最后由前级泵(未示出)抽走。

实施例六：立式复合环流泵

本发明实施例六提供的一种立式复合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，所述外壳内依次设有若干同轴设置且相互串联的涡轮泵组、径流泵组和环流泵组；

所述涡轮泵组靠近所述泵进气口设置，所述涡轮泵组由若干串联的涡轮泵抽气单元组成，最后一级所述涡轮泵抽气单元优选采用短叶片结构；

所述径流泵组位于所述涡轮泵组的下方，所述径流泵组由若干对径流泵串联组成，每对所述径流泵由单个或若干并联的自外向内的径流泵抽气单元以及单个或若干并联的自内向外的径流泵抽气单元串联组成，所述自外向内的径流泵抽气单元和所述自内向外的径流泵抽气单元之间设有动密封；

靠近所述涡轮泵组的所述径流泵的第一组自外向内的径流泵抽气单元的外侧开设有轴向气体通道，靠近所述环流泵的所述径流泵的最后一组自内向外的径流泵抽气单元的外侧开设有环形气体通道；

所述环流泵组位于所述径流泵组的下方，所述环流泵组由若干级并联环流泵串联组成，所述环流泵组的第一级并联环流泵采用如实施例三所述的带环形气体通道的并联环流泵，所述环流泵组其余的并联环流泵采用如实施例一所述的不带环形气体通道的并联环流泵。

以下结合附图对本发明实施例六的技术方案作详细说明。

如图6所示，本发明实施例六提供的一种立式复合环流泵6，包括外壳61、外壳61上开设有泵进气口62和泵排气口610，外壳61内设有同轴设置的涡轮泵组63、第一径流泵组64、第二径流泵组65、第一环流泵组66、第二环流泵组67、动密封68和转子69。

具体地，本实施例四的涡轮泵组63靠近泵进气口62设置，由七组串联的涡轮泵抽气单元组成，最后一级所述涡轮泵抽气单元优选采用短叶片结构，有利于与下方的第一径流泵组64匹配。

所述第一径流泵组64和第二径流泵组65依次设置在涡轮泵组63的下方，所述第一径流泵组64和第二径流泵组65的结构分别与实施例五所述的第一抽气级泵组53和第二抽气级泵组54的结构基本相同，其差别在于，第一径流泵组64的外侧设有轴向气体通道；

所述第一环流泵组66和第二环流泵组67依次设置在第二径流泵组65下方，第一环流泵组66和第二环流泵组67的结构分别与实施例五所述的第三抽气级泵组55和压缩级泵组56的结构相同。

当转子69高速旋转时，气体由泵进气口62进入，依次由涡轮泵组63、第一径流泵组64、第二径流泵组65、第一环流泵组66和第二环流泵组67抽至泵排气口610，最后由前级泵(未示出)抽走。

实施例七：卧式复合环流泵

本发明实施例七提供的一种卧式复合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，

所述外壳内依次设有若干同轴设置且相互串联的径流泵组和环流泵组，所述径流泵组靠近所述泵进气口设置，所述环流泵组靠近所述泵排气口设置；

所述径流泵组，由若干对径流泵串联组成，每对所述径流泵由单个或若干并联的自外向内的抽气单元以及单个或若干并联的自内向外的抽气单元串联组成，所述自外向内的抽气单元和所述自内向外的抽气单元之间设有动密封；

靠近所述泵进气口的所述第一级自外向内的抽气的径流泵的外侧开设有径向气体通道，靠近所述环流泵的所述径流泵的最后一级自内向外的抽气单元由如实施例四所述的自内向外抽气的并联环流泵取代；

所述环流泵组位于所述径流泵组的两侧，所述环流泵组由若干级如实施例一所述的不带环形气体通道的并联环流泵组成。

以下结合附图对本发明实施例七的技术方案作详细说明。

如图7所示，本发明实施例七提供的一种卧式复合环流泵7，包括外壳71，外壳71上开设有泵进气口72和泵排气口79，外壳71内设有若干同轴设置的第一抽气级泵组73、第二抽气级泵组74、第三抽气级泵组75、压缩级泵组76、动密封77和转子78。

本实施例七的卧式复合环流泵7的结构与实施例五的卧式复合环流泵5的结构基本相同，不同之处在于，第二抽气级泵组74由实施例四所述的内侧进气的并联环流泵4取代；第三抽气级泵组75由若干级如实施例一所述的不带环形气体通道的并联环流泵1组成。

本实施例七的立式卧式复合环流泵7工作时，首先，气体经泵进气口72进入，由第一抽气级泵组73抽至其两侧的排气口，然后，依次由第二抽气级泵组74、第三抽气级泵组75和压缩级泵组76抽至泵排气口79，最后由前级泵(未示出)抽走。

实施例八：立式复合环流泵

本发明实施例八提供的一种立式复合环流泵，包括外壳，所述外壳上开设有泵进气口和泵排气口，所述外壳内依次设有若干同轴设置且相互串联的涡轮泵组、径流泵组和环流泵组；

所述涡轮泵组靠近所述泵进气口设置，所述涡轮泵组由若干串联的涡轮泵抽气单元组成，最后一级所述涡轮泵抽气单元优选采用短叶片结构；

所述径流泵组位于所述涡轮泵组的下方，所述径流泵组由若干对径流泵串联组成，每对所述径流泵由单个或者若干并联的自外向内的抽气单元以及单个或者若干并联的自内向外的抽气单元串联组成，所述自外向内的抽气单元和所述自内向外的抽气单元之间设有动密封；

靠近所述涡轮泵组的所述第一组径流泵的外侧开设有轴向气体通道，靠近所述环流泵的所述径流泵的最后一级自内向外的抽气单元由如实施例四所述的的自内向外抽气的并联环流泵取代；

所述环流泵组位于所述径流泵组的下方，所述环流泵组由若干级如实施例一所述的不带环形气体通道的并联环流泵组成。

以下结合附图对本发明实施例八的技术方案作详细说明。

如图8所示，本发明实施例八提供的一种立式复合环流泵8，包括外壳81、泵进气口82和泵排气口810，外壳81内设有若干同轴设置的涡轮泵组83、第一径流泵组84、第二径流泵组85、第一环流泵组86、第二环流泵组87、动密封88和转子89。

本实施例八的立式复合环流泵8的结构与实施例六的立式复合环流泵6的结构基本相同，其不同之处在于，第二径流泵组85由实施例四所述的自内向外抽气的环流泵4取代；第一环流泵组86和第二环流泵组87均由如实施例一所述的不带环形气体通道的并联环流泵串联1组成。

当转子89高速旋转时，气体由泵进气口82进入，依次由依次由涡轮泵组83、第一径流泵组84、第二径流泵组85、第一环流泵组86、第二环流泵组87抽至泵排气口810，最后由前级泵(未示出)抽走。

实施例九：一种组合环流泵

如图9所示，本发明实施例九提供的一种组合环流泵9，包括外壳91，外壳91上开设有泵进气口92，泵排气口98和转子97，外壳91内设有依次串联抽气的第一环流泵93、第二环流泵94和第三环流泵95；

其中，所述第一环流泵93位于中间，采用如实施例四所述的自外向内抽气的环流泵，第一环流泵93具体有八个并联的抽气槽；

第二环流泵94位于第一环流泵93的两侧，第二环流泵94采用如实施例四所述的自内向外抽气的环流泵4，每侧的第二环流泵94具体有三个并联的抽气槽；

第一环流泵93和第二环流泵94之间设有动密封96；

第三环流泵95位于第二环流泵94的两侧，每侧的第三环流泵95具体有2个并联的抽气槽，第三环流泵95采用如实施例一所述的不带环形气体通道的并联环流泵1。

第一环流泵93的进气口与泵进气口92相对应，第一环流泵93的排口与第二环流泵94的进气口相对应，第二环流泵94的排气口与第三环流泵95的进气口相对应，第三环流泵95的排气口与泵排气口98相对应，组成一台组合环流泵9。

本实施例九的组合环流泵9工作时，首先，气体经泵进气口92进入，由第一环流泵93抽至其两侧的排气口，然后，依次由第二环流泵94和第三环流泵95抽至泵排气口98，最后由前级泵(未示出)抽走。

实施例十：抽气机组

本发明实施例十提供的一种抽气机组10，包括真空室101，真空室101通过第一真空阀102与一环流泵106连接，环流泵106通过一第二真空阀103与一粗抽泵104连接，真空室101还通过一第三真空阀105与粗抽泵104连接。环流泵106可采用如实施例二所述的组合环流泵2，或实施例五所述的卧式复合环流泵5，或实施例六所述的立式复合环流泵6，或实施例七所述的卧式复合环流泵7，或实施例八所述的立式复合环流泵8，或实施例九所述的组合环流泵9。

本实施例十的抽气机组10的抽气工艺如下：

(1)关闭真空室101，关闭第一真空阀102、第二真空阀103和第三真空阀105；

(2)依次开启粗抽泵104和第二真空阀103，环流泵106；

(3)环流泵106启动完毕，关闭第二真空阀103，开启第三真空阀105，粗抽泵104开始对真空室101抽气；

(5)真空室101由大气压抽至约100Pa，关闭第三真空阀105，依次开启第二真空阀103和真空阀102，环流泵106开始对真空室101抽气，直至抽到所需的真空度。

本实施例十的抽气机组10的停泵步骤如下：

(1)依次关闭第一真空阀102、环流泵106；

(2)环流泵106停止后，依次关闭第二真空阀103和粗抽泵104。

本实施例十的抽气机组10用于取代罗茨泵，其极限真空提高4个数量级，抽气能耗节省80％，一年节省的电费，即可收回增加的设备费用，还能获得十分清洁的真空环境，显著提高真空产品的质量。

本实施例十的抽气机组10还可用于取代传统涡轮分子泵和复合分子泵，工作压强提高5～100倍，抽气流量提高10～100倍，能耗降低50％，并能获得更加清洁的真空环境，经济效益显著。

本实施例十的抽气机组10还可用于取代传统溅射镀膜设备普遍使用的分子泵+罗茨泵机组，提高镀膜抽速50～100％，节省能耗50％，降低运行成本，提高产品质量，简化真空系统。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种并联环流泵，包括泵壳以及固设于所述泵壳内壁的隔环，所述隔环的中心位置设有一沿所述隔环的轴向延伸的转轴，所述转轴上固设有一转子，其特征在于：所述转子外周缘凸设有若干间隔设置且与所述转子同轴的转子平盘，每相邻两所述转子平盘之间的间隔形成一抽气槽，若干所述抽气槽互相并联，所述隔环上设有至少一组插入所述抽气槽的堵块，所述隔环上开设有位于所述堵块两侧的进气口和排气口，所述进气口和排气口分别相连，组成自外向外抽气的并联环流泵；所述隔环紧靠上游抽气级的一侧开设有环形气体通道，所述环形气体通道与所述进气口相连。

2.根据权利要求1所述的并联环流泵，其特征在于：所述抽气槽的截面为矩形或倒梯形。

3.根据权利要求1所述的并联环流泵，其特征在于：最外侧的两所述转子平盘与隔环之间留有起隔离作用的工作间隙，其余所述转子平盘与隔环之间留有的工作间隙是最外侧的两所述转子平盘与隔环之间留有的工作间隙的1.5～5倍。

4.根据权利要求1所述并联环流泵，其特征在于：所述转子平盘的外径相同，或者所述转子平盘的外径自进气侧至排气侧依次递增、或递减、或先递增后递减。