CN108350895B - 连结型螺纹槽间隔件及真空泵 - Google Patents

Abstract

提供一种维持螺纹槽泵部的排气性能并且实现小型化的连结型螺纹槽间隔件、及配设有该连结型螺纹槽间隔件的真空泵。本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结的构造。更详细地说，将作为排气要素部的螺纹槽泵部的构造设为在圆筒状螺纹的上安装有西格巴恩形的构造的构造，是在该安装部分各零件连结的结构。即，将西格巴恩部和圆筒状螺纹(螺纹槽泵部)的流路的边界以从真空泵的轴线方向观察时大致呈直角的方式连结，将西格巴恩部和螺纹槽泵部的流路连结。借助该结构，能够将螺纹槽泵部的压缩流路长度借助被连结的西格巴恩部在径向上延伸。

Description

连结型螺纹槽间隔件及真空泵

技术领域

本发明涉及连结型螺纹槽间隔件及真空泵。详细地说，涉及在具有螺纹槽泵部(圆筒螺纹部)和西格巴恩泵部的真空泵中实现螺纹槽泵部的小型化的连结型螺纹槽间隔件及真空泵。

背景技术

具有西格巴恩型的结构的西格巴恩型分子泵具备旋转圆板(旋转圆盘)、被与该旋转圆板在轴向上隔开间隙(空隙)地设置的固定圆板，在该旋转圆板或固定圆板的至少某一方的间隙相向表面刻设有螺旋状槽(也称作螺旋槽或漩涡状槽)流路。并且，是如下真空泵：对向螺旋状槽流路内扩散来的气体分子，借助旋转圆板施加沿旋转圆板切线方向(即，旋转圆板的旋转方向的切线方向)的动量，由此借助螺旋状槽从吸气口向排气口施加优势的方向性来进行排气。

为了将这样的西格巴恩型分子泵、或者具有西格巴恩型分子泵部的真空泵在工业上利用，旋转圆板和固定圆板的层为单层的情况下压缩比不足，所以设置成多层化。若为了满足所需压缩性能而增加层数，则相应地泵自身的大小变大。

此外，多层化的情况下，需要将旋转圆板设为半分割的形状。这样，需要将泵的外筒(壳)设至成长达覆盖西格巴恩部(西格巴恩泵部)的长度，该情况下泵自身的大小也变大。

此外，具有螺纹槽式泵型的结构的螺纹槽型分子泵特别是在高温化规格的真空泵中，为了使螺纹部(螺纹槽部)下的压缩性能较好，使螺纹槽部的长度(螺纹长度)变长，或由设置有两个以上的多个流路的平行通路式构成等来制造。

然而，由于使螺纹长度变长而排气构造的周围构造(壳等)的部分变大，或者由于设置成平行通路而复杂的零件增加等，制造成本变大。

图14是用于说明以往的单通路螺纹式的真空泵的图。

例如，在具备流路为一个的单通路螺纹槽间隔件2001的以往的真空泵1001中，在欲使压缩性能变好的情况下，需要使螺纹槽部的轴向的长度变长。这样，若使螺纹槽部的轴向的长度变长，则需要相应地使基部3变大，所以制造成本变大。

专利文献1：日本实开平5-38389号公报。

专利文献2：日本实用新型登记第2501275号。

专利文献3：日本特开平5-10289号公报。

专利文献4：日本实公平7-34234号公报。

在专利文献1中记载了如下结构：以在真空泵中在不使其大型化的情况下使泵性能提高为目的，在转子的筒部和内筒之间也设置螺纹槽部，并且在筒部的上游侧端部设置使筒部的外侧和内侧连通的开口。

在专利文献2中记载了如下结构：在西格班形(西格巴恩型)的真空泵中，以提高排气性能并且减少旋转圆板及静止圆板的层数为目的，在靠近大气侧低真空区的多个旋转圆板及静止圆板的相向面设置方向不同的螺旋状槽。

此外，在专利文献3中对如下结构进行了记载：在复合式干燥真空泵中，以从大气压直接排气为目的，在螺纹槽泵部的后层设置能够从大气压工作的涡流槽圆盘式的西格班泵(西格巴恩泵)部来进行复合。

在专利文献4中对如下结构进行了记载：在复合式真空泵中，以实现高真空度为目的，将螺纹槽形泵要素、西格班(西格巴恩泵)形泵要素、涡流形泵要素以该顺序配设。

然而，在上述专利文献1至专利文献4中，未对西格巴恩泵部和螺纹槽泵部闭合的部分(即结合的部分)的结构进行记载。

发明内容

因此，本发明的目的在于，在真空泵中，提供一种维持螺纹槽泵部的排气性能且实现小型化的连结型螺纹槽间隔件、及配设有该连结型螺纹槽间隔件的真空泵。

为了实现上述目的，在技术方案1记载的本发明中，提供一种连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，前述连结型螺纹槽间隔件具有圆板型的螺旋状槽部和圆筒型的螺纹槽部，前述圆板型的螺旋状槽部刻设有螺旋状槽，前述螺旋状槽具有螺旋状峰部和螺旋状谷部，前述圆筒型的螺纹槽部形成具有螺纹峰部和螺纹谷部的螺纹槽，与前述螺旋状槽部连结。

在技术方案2记载的本发明中，提供一种技术方案1记载的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部为，在前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部连结的连结部，前述螺旋状峰部和前述螺旋状谷部的边界线的至少某一方的边界线、或将该边界线延长的第1延长线，与前述螺纹峰部和前述螺纹谷部的边界线的至少某一方的边界线、或将该边界线延长的第2延长线连续地连结。

在技术方案3记载的本发明中，提供一种技术方案2记载的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，进而，在前述连结部，前述螺旋状峰部的顶峰面和前述螺纹峰部的顶峰面以非连续状态连结。

在技术方案4记载的本发明中，提供一种技术方案2记载的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，进而，在前述连结部，前述螺旋状峰部和前述螺纹峰部连续地连结。

在技术方案5记载的本发明中，提供一种技术方案1记载的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部为，在前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部连结的连结部，前述螺旋状峰部和前述螺纹峰部连续地连结。

在技术方案6记载的本发明中，提供一种技术方案5记载的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，进而，在前述连结部，前述螺旋状峰部和前述螺旋状谷部的边界面、前述螺纹峰部和前述螺纹谷部的边界面在非连续状态下，前述螺旋状峰部和前述螺纹峰部连结，由此前述螺旋状峰部和前述螺纹峰部交叉。

在技术方案7记载的本发明中，提供一种技术方案1至6记载的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，前述螺纹槽部的轴线和螺纹深度的倾斜角度即第1倾斜角度的值为，前述螺旋状槽部的垂直于前述轴线的轴垂线和槽深度的倾斜角度即第2倾斜角度的值以下。

在技术方案8记载的本发明中，提供一种技术方案1至7记载的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，由前述螺旋状槽部的内径切线和前述螺旋状峰部的内径侧切线形成的第1角度的值为，由前述螺旋状槽部的外径切线和前述螺旋状峰部的内径侧切线形成的第2角度的值以下，且形成为前述第1角度比15°大，前述第2角度比25°小。

在技术方案9记载的本发明中，提供一种技术方案1至8记载的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部被一体地形成。

在技术方案10记载的本发明中，提供一种真空泵，其特征在于，具备外装体、旋转轴、旋转翼、固定翼、螺纹槽型泵机构，前述外装体形成有吸气口和排气口，前述旋转轴被内置于前述外装体，被旋转自如地支承，前述旋转翼被配设于前述旋转轴，前述固定翼被与前述旋转翼同心配置，且与前述旋转翼经由间隙在轴向上相向，前述螺纹槽型泵机构具有被固定于前述外装体的前述技术方案1至技术方案9中任一项所述的连结型螺纹槽间隔件。

发明效果

根据本发明，在具有螺纹槽泵部和西格巴恩泵部(西格巴恩部)的真空泵中，使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结，由此能够在维持排气性能的情况下使螺纹槽泵部的高度小型化。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的真空泵的概略结构例的图。

图2是用于说明本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件的图。

图3是用于说明本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件的图。

图4是用于说明本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件的图。

图5是用于说明本发明的实施方式及变形例1的连结型螺纹槽间隔件的基本构造的图。

图6是用于说明本发明的实施方式的变形例1的连结型螺纹槽间隔件的图。

图7是用于说明本发明的实施方式的变形例1的连结型螺纹槽间隔件的图。

图8是用于说明本发明的实施方式的变形例2的连结型螺纹槽间隔件的图。

图9是用于说明本发明的实施方式的变形例2的连结型螺纹槽间隔件的图。

图10是用于说明本发明的实施方式的变形例2的连结型螺纹槽间隔件的基本构造的图。

图11是用于说明本发明的实施方式及各变形例的连结型螺纹槽间隔件的图。

图12是用于说明本发明的实施方式及各变形例的连结型螺纹槽间隔件的构造的图。

图13是用于说明具备本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件的真空泵的压缩性能的图。

图14是用于说明现有技术(单通路螺纹式)的图。

具体实施方式

(i)实施方式的概要

本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件具备使西格巴恩泵部和螺纹槽泵部连结的构造。

更详细地说，将作为排气要素部的螺纹槽泵部的构造设置成西格巴恩形的构造被安装于圆筒状螺纹上的构造，呈在该安装部分处各零件连结的结构。即，将西格巴恩部和圆筒状螺纹(螺纹槽泵部)的流路的边界连结成从真空泵的轴线方向观察大致呈直角(以后表述为“轴向直角”等)，将西格巴恩部和螺纹槽泵部的流路连结。

另外，关于连结的结构，也可以通过铸造来制造从而形成为一体式的。

借助该结构，能够将螺纹槽泵部的压缩流路长借助被连结的西格巴恩部在径向上沿伸。

(ii)实施方式的详细情况

本发明的实施方式的真空泵具有西格巴恩泵部和螺纹槽泵部，前述西格巴恩泵部在被配设的固定圆板或被配设的旋转圆板的至少某一方刻设(配设)具有峰部和谷部的螺旋状槽，进而，前述螺纹槽泵部是气体移送机构，在与旋转圆筒相向的相向面形成螺旋状槽，具备隔开既定的空隙而与旋转圆筒的外周面相向的螺纹槽间隔件，旋转圆筒高速旋转，由此气体随着旋转圆筒的旋转被螺纹槽(螺旋槽)引导，同时被向排气口侧送出。

以下，参照图1至图13，对本发明的优选的实施方式进行详细的说明。

(ii-1)真空泵的構成

图1是表示本发明的第1实施方式的真空泵1的概略结构例的图，表示真空泵1的轴线方向的剖视图。

另外，在本发明的实施方式中，为了方便，将旋转翼的直径方向作为“径(直径・半径)向”，将与旋转翼的直径方向垂直的方向作为“轴线方向(或轴向)”来说明。

形成真空泵1的外装体的壳(外筒)2为大致圆筒状的形状，与设置于壳2的下部(排气口6侧)的基部3一同构成真空泵1的箱体。并且，在该箱体的内部，收纳有作为使真空泵1发挥排气功能的构造物的气体移送机构。

在本实施方式中，该气体移送机构大体分为由被旋转自如地支承的旋转部(转子部/西格巴恩部)和相对于箱体固定的固定部(螺纹槽泵部)构成。

此外，虽图未示，但控制真空泵1的动作的控制装置经由专用线连接于真空泵1的外装体的外部。

用于将气体向该真空泵1导入的吸气口4形成于壳2的端部。此外，向外周侧伸出的凸缘部5形成于壳2的吸气口4侧的端面。

此外，用于从该真空泵1排出气体的排气口6形成于基部3。

旋转部具备作为旋转轴的轴7、配设于该轴7的转子8、设置于转子8的多张旋转翼9、设置于排气口6侧(螺纹槽泵部)的转子圆筒部10。另外，由轴7及转子8构成转子部。

各旋转翼9由相对于轴7的轴线垂直地放射状地沿伸的圆板形状的圆板部件构成。另外，在本实施方式中，构成为，旋转翼9的最下层(排气口6侧)是圆盘，进行西格巴恩部的压缩。

此外，转子圆筒部10由与转子8的旋转轴线同心的圆筒形状的圆筒部件构成。

在轴7的轴线方向中途设置有用于使轴7高速旋转的马达部，被内置于定子柱80。

进而，在定子柱80内，相对于轴7的马达部在吸气口4侧和排气口6侧设置有用于将轴7在半径方向(径向)上非接触地支承的径向磁轴承装置。此外，在轴7的下端，设置有用于将轴7在轴线方向(轴向)上非接触地支承的轴向磁轴承装置。

在箱体(壳2)的内周侧形成有固定部(定子部)。该固定部由固定翼50等构成，由从相对于轴7的轴线垂直的平面以既定的角度倾斜而从壳2的内周面向轴7延伸的叶片构成。并且，固定翼50借助呈圆筒形状的间隔件(定子部)被互相隔开地固定。

另外，旋转翼9和固定翼50被交替地配置，沿轴线方向形成多层，但为了满足真空泵所要求的排出性能，能够根据需要设置任意数量的转子零件及定子零件。

进而，在本实施方式中，在比上述的西格巴恩泵部靠排气口6侧，配设具有连结型螺纹槽间隔件20的螺纹槽泵部。

在连结型螺纹槽间隔件20，与以往的螺纹槽间隔件相同地，在与转子圆筒部10相向的面形成有螺纹槽(螺旋槽)。

连结型螺纹槽间隔件20的与转子圆筒部10相向的面侧(即与真空泵1的轴线平行的内周面)隔开既定的空隙，面对转子圆筒部10的外周面，若转子圆筒部10高速旋转，则被真空泵1压缩的气体随着转子圆筒部10的旋转被螺纹槽引导，同时被向排气口6侧送出。即，螺纹槽为运送气体的流路。

这样，连结型螺纹槽间隔件20的与转子圆筒部10相向的面和转子圆筒部10隔着既定的空隙相向，由此构成借助形成于连结型螺纹槽间隔件20的轴线方向侧内周面的螺纹槽移送气体的气体移送机构。

另外，为了使气体向吸气口4侧逆流的力减少，优选地，该空隙越小越好。

此外，形成于连结型螺纹槽间隔件20的螺旋槽的方向在气体在螺旋槽内被向转子8的旋转方向运送的情况下，为朝向排气口6的方向。

此外，螺旋槽的深度随着接近排气口6而变浅，在螺旋槽被运送的气体随着接近排气口6而被压缩。

根据上述结构，在真空泵1，被从吸气口4抽吸的气体被西格巴恩部压缩后，被螺纹槽式泵部进一步压缩而被从排气口6排出，所以真空泵1能够进行配设于该真空泵1的真空室(图中未示出)内的真空排气处理。

(ii-2)连结型螺纹槽间隔件的结构

对上述的连结型螺纹槽间隔件20进行详细说明。

图2是用于说明本发明的实施方式的连结型螺纹槽间隔件20的图。

如图2所示，本实施方式的连结型螺纹槽间隔件20具有螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202。

螺纹槽间隔件轴垂直部201构成为相对于真空泵1的轴线方向大致垂直(水平)。并且，该螺纹槽间隔件轴垂直部201的吸气口4侧的面与西格巴恩部的旋转翼9隔开既定的空隙相向(面对)，且刻设有具有峰部和谷部的螺旋状槽。另一方面，与该螺纹槽间隔件轴垂直部201的吸气口4侧相反的一侧的面配设于基部3侧。

螺纹槽间隔件轴平行部202构成为相对于真空泵1的轴线方向大致平行。并且，在该螺纹槽间隔件轴平行部202，在隔开既定的空隙与转子圆筒部10相向的面即内周面形成有螺纹槽。

(ii-3-1)连结部的基本构造类型1

图3是用于说明本实施方式的连结型螺纹槽间隔件20的图。

如上所述，在螺纹槽间隔件轴垂直部201，刻设有具有垂直部峰部300和垂直部谷部400的螺旋状槽，另一方面，在螺纹槽间隔件轴平行部202，形成有具有平行部峰部500和平行部谷部600的螺纹槽。

这里，本实施方式的连结型螺纹槽间隔件20如图3所示，例如通过铸造来制造，由此成为螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202形成为一体式的连结型螺纹槽间隔件20。

这样，通过将螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202设为一体式的结构，与设为分体零件来使其紧固连结的结构相比，能够减少紧固连结所需的工夫、制造成本。

如上所述，在本实施方式的真空泵1中，配设连结型螺纹槽间隔件20，由此借助螺纹槽间隔件轴垂直部201和旋转翼9(西格巴恩部)在相对于轴向垂直的流路将气体压缩。接着，借助螺纹槽间隔件轴平行部202和转子圆筒部10(螺纹槽泵部)在与轴向平行的流路进一步压缩气体。

这样，在本实施方式的真空泵1，连结型螺纹槽间隔件20发挥将气体的流路相对于轴向从向垂直方向平行方向连结的作用，所以能够在不使壳2的轴线方向的长度(n)、基部3的轴线方向的长度(m)变长的情况下(即抑制真空泵1的整体的高度变高的同时)，使压缩气体的流路变长。另外，若从轴线方向截面观察从垂直方向向平行方向连结的流路，则为呈字母的“L”的相反形状的流路。

另外，在本实施方式中，构成为将连结型螺纹槽间隔件20的螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202形成为一体式的，但不限于此。例如，即使螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202由分体的零件构成，如上所述，若构成相对于轴向从垂直方向向平行方向呈倒L字型的话，性能上就不会有问题。

图4是用于说明本实施方式的连结型螺纹槽间隔件20的图，将图3的一部分扩大来表示。

图5是用于说明与本发明的实施方式相关的连结型螺纹槽间隔件20(及后述的变形例1的连结型螺纹槽间隔件21)的基本构造的图。

另外，关于使用图5在以下说明的内容，使用连结型螺纹槽间隔件20进行说明，但对于后述的变形例1的连结型螺纹槽间隔件21也同样适用。因此，关于连结型螺纹槽间隔件21，在该图5内标注表示连结型螺纹槽间隔件21的附图标记(连结型螺纹槽间隔件21、螺纹槽间隔件轴垂直部211、螺纹槽间隔件轴平行部212)，省略有关使用连结型螺纹槽间隔件21的说明。

图5中(a)是用于说明螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202连结的位置(接缝构造的位置)的图，图5中(b)是用于更详细地说明接缝构造的展开图。

首先，如图4所示，在连结型螺纹槽间隔件20，刻设于螺纹槽间隔件轴垂直部201的螺旋状槽的峰部(垂直部峰部300)和形成于螺纹槽间隔件轴平行部202的螺纹槽的峰部(平行部峰部500)构成为，以与作为各个峰部的根部的底面(即与各个谷部的边界面)的边界线或将该边界线延长的线不偏离地连续的方式，螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202对合。为了区别，将把螺旋状槽的边界线延长的线定义为第1延长线，并且，将把螺纹槽的边界线延长的线定义为第2延长线。

进而，螺纹槽间隔件轴垂直部201的垂直部峰部300和螺纹槽间隔件轴平行部202的平行部峰部500在螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202的接缝(连结部)，二者(螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202)的峰部(垂直部峰部300和平行部峰部500)彼此构成为，与底面的边界线的延长线上连续，但峰部(顶峰面或者顶点面)自身不连续，呈非连续状。即，作为气体通路(流路)，构成为圆周方向开口。

这里，接缝是指，如图5中(a)所示，在连结型螺纹槽间隔件20处，螺纹槽间隔件轴垂直部201和螺纹槽间隔件轴平行部202重合(闭合)，且为与旋转翼9在转子圆筒部10相向的一侧的一带。

若根据从上表面(旋转翼9侧)观察的展开图及从侧面(转子圆筒部10)观察的展开图的形状对上述的连结型螺纹槽间隔件20的接缝进行说明，则如图5中(b)及(c)所示。

如图5中(b)及(c)所示，连结型螺纹槽间隔件20在位于西格巴恩部的出口的螺纹槽间隔件轴垂直部201的内径侧(内周侧)，垂直部峰部300和垂直部谷部400具有既定的出口角度(α1：定义为第1角度)。

该出口角度α1由螺纹槽间隔件轴垂直部201的内径切线和垂直部峰部300的内径侧切线形成。

此外，在位于西格巴恩部的入口的螺纹槽间隔件轴垂直部201的外径侧(外周侧)，垂直部峰部300和垂直部谷部400具有既定的入口角度(α2：定义为第2角度)。该入口角度α2由螺纹槽间隔件轴垂直部201的外径切线和垂直部峰部300的内径侧切线形成。

进而，连结型螺纹槽间隔件20在螺纹槽间隔件轴平行部202的出口(排气口6侧)的内径侧，平行部峰部500和平行部谷部600具有既定的导程角(γ)。另外，在本实施方式中，随着该导程角γ的值变小，接缝构造的螺纹槽间隔件轴平行部202的螺纹截面面积变大。因此，在将螺纹槽部(螺纹槽间隔件轴平行部202)的上表面的平行部峰部500的截面的外周线作为西格巴恩部(螺纹槽间隔件轴垂直部201)的位相角度θ形成西格巴恩部的峰宽度(顶峰面的宽度)的本实施方式中，西格巴恩部的峰部的位相角度(θ)也变大。

另外，Z1是西格巴恩部的出口的深度，更详细地说，表示由螺纹槽间隔件轴垂直部201(西格巴恩部)的内径的线和螺纹槽间隔件轴平行部202(霍尔威克（ホルベック）)的上表面的线所夹的部分的长度。L表示螺纹槽间隔件轴平行部202的轴向的长度。

(ii-3-2)连结部的基本构造类型2(变形例1)

图6及图7是用于说明本实施方式的变形例1的连结型螺纹槽间隔件21的图，图7是将图6的一部分扩大表示的图。

如图6及图7所示，在本变形例1的连结型螺纹槽间隔件21中，与上述的连结型螺纹槽间隔件20相同地，刻设于螺纹槽间隔件轴垂直部211的螺旋状槽的峰部(垂直部峰部300)和形成于螺纹槽间隔件轴平行部212的螺纹槽的峰部(平行部峰部500)构成为，以与作为各个峰部的根部的底面(即与各个谷部的边界面)的边界线或将该边界线延长的线在不偏离的情况下连续的方式，螺纹槽间隔件轴垂直部211和螺纹槽间隔件轴平行部212对合。

但是，在本变形例1的连结型螺纹槽间隔件21处，与连结型螺纹槽间隔件20不同，螺纹槽间隔件轴垂直部211的垂直部峰部300和螺纹槽间隔件轴平行部212的平行部峰部500在螺纹槽间隔件轴垂直部211和螺纹槽间隔件轴平行部212的接缝(图5中(a))，形成为二者(螺纹槽间隔件轴垂直部211和螺纹槽间隔件轴平行部212)的峰部(垂直部峰部300和平行部峰部500)彼此也连续。即，作为气体通路(流路)，构成为圆周方向不开口(即闭塞)。

(ii-3-3)连结部的基本构造类型3(变形例2)

图8及图9是用于说明本实施方式的变形例2的连结型螺纹槽间隔件22的图，图9是将图8的一部分扩大表示的图。

如图8及图9所示，在本变形例2的连结型螺纹槽间隔件22，与上述的连结型螺纹槽间隔件20、连结型螺纹槽间隔件21不同，刻设于螺纹槽间隔件轴垂直部221的螺旋状槽的峰部(垂直部峰部300)和形成于螺纹槽间隔件轴平行部222的螺纹槽的峰部(平行部峰部500)构成为，以各个峰部彼此平滑地不中断地连续的方式，螺纹槽间隔件轴垂直部221和螺纹槽间隔件轴平行部222对合，且构成为，垂直部峰部300的底面和垂直部谷部400的底面接触的边界面300a与将平行部峰部500的底面和平行部谷部600接触的边界面500a延长的面在接缝处交叉。

这样，在本变形例2的连结型螺纹槽间隔件22处，在螺纹槽间隔件轴垂直部221和螺纹槽间隔件轴平行部222连结(结合)的接缝构造处，构成为螺纹槽间隔件轴平行部222的平行部峰部500延长至螺纹槽间隔件轴垂直部221的垂直部峰部300，且各个峰部和谷部的边界面以非连续状态连结。

由此，呈具有垂直部峰部300和平行部峰部500交叉的交叉面的构造，构成为气体通路的圆周方向闭塞。

图10是用于说明与本发明的变形例2相关的连结型螺纹槽间隔件22的基本构造的图。

图10中(a)是用于说明螺纹槽间隔件轴垂直部221和螺纹槽间隔件轴平行部222连结的位置(接缝构造的位置)的图，图10中(b)及(c)是用于更详细地说明接缝构造的展开图。

若借助从上表面(旋转翼9侧)观察的展开图及从侧面(转子圆筒部10)观察的展开图说明上述的连结型螺纹槽间隔件22的接缝，则如图10中(b)及(c)所示。

如图10中(b)及(c)所示，在本变形例2的连结型螺纹槽间隔件22中，与上述的实施方式及变形例1相同地，在位于西格巴恩部的出口的螺纹槽间隔件轴垂直部221的内径侧，垂直部峰部300和垂直部谷部400具有既定的出口角度(α1：定义为第1角度)。该出口角度α1由螺纹槽间隔件轴垂直部221的内径切线和垂直部峰部300的内径侧切线形成。

此外，与上述的实施方式及变形例1相同地，在西格巴恩部的入口的螺纹槽间隔件轴垂直部221的外径侧，垂直部峰部300和垂直部谷部400具有既定的入口角度(α2：定义为第2角度)。该入口角度α2由螺纹槽间隔件轴垂直部221的外径切线和垂直部峰部300的内径侧切线形成。

进而，在螺纹槽间隔件轴平行部222的出口(排气口6侧)的内径侧，平行部峰部500和平行部谷部600在平行部谷部600侧具有既定的导程角(γ)。另外，在本变形例2中，也与上述的实施方式及变形例1相同地，随着该导程角γ的值变小，接缝构造的螺纹槽间隔件轴平行部222的螺纹截面面积变大，结果，西格巴恩部的峰部的位相角度(θ)也变大。

另外，在本变形例2中，与上述的实施方式及变形例1不同，西格巴恩部的峰部的位相角度θ被上述的交叉面的外周线(图10中(c))定义。在本变形例2中，交叉面的外周线是指，螺纹槽间隔件轴平行部222的平行部峰部500超过螺纹槽间隔件轴平行部222地延长而与螺纹槽间隔件轴垂直部221的垂直部峰部300交叉的部分的垂直部峰部300侧的线。

如图10中(b)及(c)所示，在本变形例2的连结型螺纹槽间隔件22中，与上述的实施方式及变形例1不同，在接缝构造中，形成螺纹槽间隔件轴垂直部221的垂直部峰部300和螺纹槽间隔件轴平行部222的平行部谷部600交叉的交叉面。

这样，在本变形例2中，在接缝构造处形成交叉面，所以能够使螺纹槽间隔件轴垂直部221的垂直部峰部300和螺纹槽间隔件轴平行部222的平行部峰部500在各个顶峰面彼此平滑地不中断地连续的状态下连结(对合)。结果，能够使螺纹槽间隔件轴垂直部221和螺纹槽间隔件轴平行部222平滑地连结(结合)。

(ii-4)连结型螺纹槽间隔件的角度(倾斜)

图11是用于说明本发明的实施方式及各变形例的连结型螺纹槽间隔件20(21、22)的接缝构造的图。

另外，关于使用图11在以下说明的内容，使用连结型螺纹槽间隔件20进行说明，但相同内容也同样适用于变形例1的连结型螺纹槽间隔件21及变形例2的连结型螺纹槽间隔件22。因此，关于连结型螺纹槽间隔件21及连结型螺纹槽间隔件22，在该图11内标注表示连结型螺纹槽间隔件21及连结型螺纹槽间隔件22(即关联的各要素)的附图标记，省略有关使用连结型螺纹槽间隔件21及连结型螺纹槽间隔件22的说明。

如图11所示，在本发明的实施方式及各变形例中，在由轴线和螺纹槽间隔件轴平行部202的螺纹槽的螺纹深度形成的角度(倾斜)即螺纹深度角度B1(第1倾斜角度)和由轴垂线与形成于螺纹槽间隔件轴垂直部201的螺旋状槽的槽深度形成的角度(倾斜)即槽深度角度B2(第2倾斜角度)，构成为形成B2≥B1的关系。

借助该结构，能够借助连结型螺纹槽间隔件20发挥较高的排气性能。

图12是用于说明本发明的实施方式及各变形例的连结型螺纹槽间隔件20(21、22)的构造的图。

另外，关于使用图12在以下说明的内容，是使用螺纹槽间隔件轴垂直部201(连结型螺纹槽间隔件20)进行的说明，但相同内容对于变形例1的螺纹槽间隔件轴垂直部211(连结型螺纹槽间隔件21)及变形例2的螺纹槽间隔件轴垂直部221(连结型螺纹槽间隔件22)也同样适用。因此，关于螺纹槽间隔件轴垂直部211及螺纹槽间隔件轴垂直部221，在该图12内标注表示螺纹槽间隔件轴垂直部211及螺纹槽间隔件轴垂直部221的附图标记来说明，由此省略关于使用螺纹槽间隔件轴垂直部211及螺纹槽间隔件轴垂直部221的说明。

图12表示图5中(b)及(c)以及图10中(b)及(c)中说明的α1及α2。

本发明的实施方式及各变形例中，出口角度α1和入口角度α2构成为形成以下的关系。

(1)α1≤α2

(2)15°＜α1且α2＜25°

借助该结构，能够借助连结型螺纹槽间隔件20(21、22)发挥较高的排气性能。

图13是用于说明具备本发明的实施方式及各变形例的连结型螺纹槽间隔件20(21、22)中的连结型螺纹槽间隔件22的真空泵1的压缩性能的图。

图13的纵轴是具备连结型螺纹槽间隔件22的真空泵1的入口压力(Torr)，横轴是具备连结型螺纹槽间隔件22的真空泵1的出口压力(Torr)，s表示配设有以往的单通路螺纹槽间隔件2001的真空泵1001的解析值(仿真时的值)，并且，t表示配设有连结型螺纹槽间隔件22的真空泵1的解析值。

如图13所示，可知如与出口压力无关地表示较高的压缩性能的t所示那样，具备连结型螺纹槽间隔件22的真空泵1与以往的真空泵1001相比，排气性能提高。

根据上述结构，本发明的实施方式及各变形例的连结型螺纹槽间隔件20(21、22)及配设有该连结型螺纹槽间隔件20(21、22)的真空泵1由借助连结型螺纹槽间隔件20(21、22)对合成一个零件的(或者作为一个零件而一体化)西格巴恩部相对于轴向垂直地压缩气体，此后，配设螺纹槽泵部(霍尔威克)，在轴向上压缩。这样，相对于轴向从垂直方向向平行方向连结流路(从轴线方向截面观察构成为“L字”的形状)，由此使流路变长，所以能够在维持排气性能的状态下使螺纹槽泵部的高度小型化。

结果，能够维持排气性能，并且能够实现泵整体的尺寸小型化，所以能够削减制造成本。

另外，本发明的实施方式及各变形例也可以是根据需要来组合的结构。

附图标记说明

1　 真空泵

2　 壳

3　 基部

4　 吸气口

5　 凸缘部

6　 排气口

7　 轴

8　 转子

9　 旋转翼

10　 转子圆筒部

20　 连结型螺纹槽间隔件(类型1)

21　 连结型螺纹槽间隔件(类型2)

22　 连结型螺纹槽间隔件(类型3)

50　 固定翼

80　 定子柱

201　 螺纹槽间隔件轴垂直部

202　 螺纹槽间隔件轴平行部

211　 螺纹槽间隔件轴垂直部

212　 螺纹槽间隔件轴平行部

221　 螺纹槽间隔件轴垂直部

222　 螺纹槽间隔件轴平行部

300　 垂直部峰部

300a　边界面

400　 垂直部谷部

500　 平行部峰部

500a　边界面

600　 平行部谷部

1001　以往的真空泵

2001　以往的单通路螺纹槽间隔件。

Claims (10)

1.一种连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，

在从吸气口至排气口的被排出气体的流路处，

前述连结型螺纹槽间隔件具有圆板型的螺旋状槽部和圆筒型的螺纹槽部，

前述圆板型的螺旋状槽部刻设有螺旋状槽，前述螺旋状槽具有螺旋状峰部和螺旋状谷部，

前述圆筒型的螺纹槽部形成具有螺纹峰部和螺纹谷部的螺纹槽，被与前述螺旋状槽部连结。

2.如权利要求1所述的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，

前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部为，在前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部连结的连结部，

前述螺旋状峰部和前述螺旋状谷部的边界线的至少某一方的边界线、或将该边界线延长的第1延长线，与前述螺纹峰部和前述螺纹谷部的边界线的至少某一方的边界线、或将该边界线延长的第2延长线连续地连结。

3.如权利要求2所述的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，

进而，在前述连结部，前述螺旋状峰部的顶峰面和前述螺纹峰部的顶峰面以非连续状态连结。

4.如权利要求2所述的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，

进而，在前述连结部，前述螺旋状峰部和前述螺纹峰部连续地连结。

5.如权利要求1所述的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，

前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部为，在前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部连结的连结部，

前述螺旋状峰部和前述螺纹峰部连续地连结。

6.如权利要求5所述的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，

进而，在前述连结部，前述螺旋状峰部和前述螺旋状谷部的边界面、前述螺纹峰部和前述螺纹谷部的边界面在非连续状态下，前述螺旋状峰部和前述螺纹峰部连结，由此前述螺旋状峰部和前述螺纹峰部交叉。

7.如权利要求1至6中任一项所述的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，

前述螺纹槽部的轴线和螺纹深度的倾斜角度即第1倾斜角度的值为，

前述螺旋状槽部的垂直于前述轴线的轴垂线和槽深度的倾斜角度即第2倾斜角度的值以下。

8.如权利要求1至6中任一项所述的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，

由前述螺旋状槽部的内径切线和前述螺旋状峰部的内径侧切线形成的第1角度的值为，

由前述螺旋状槽部的外径切线和前述螺旋状峰部的内径侧切线形成的第2角度的值以下，且形成为前述第1角度比15°大，前述第2角度比25°小。

9.如权利要求1至6中任一项所述的连结型螺纹槽间隔件，其特征在于，

前述螺旋状槽部和前述螺纹槽部被一体地形成。

10.一种真空泵，其特征在于，

具备外装体、旋转轴、旋转翼、固定翼、螺纹槽型泵机构，

前述外装体形成有吸气口和排气口，

前述旋转轴被内包于前述外装体，被旋转自如地支承，

前述旋转翼被配设于前述旋转轴，

前述固定翼被与前述旋转翼同心配置，且与前述旋转翼经由间隙在轴向上相向，

前述螺纹槽型泵机构具有被固定于前述外装体的前述权利要求1至权利要求9中任一项所述的连结型螺纹槽间隔件。

Images