JPH0249996A - 渦流形真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、気体流路内に、羽根を持つロータを設けてな
る渦流形真空ポンプに関する。

（従　　来　　技　　術　　） 一般にこの種の真空ポンプは、例えば特開昭６１−２４
７８９３号公報に開示され、且つ第７図に概略的に示す
ごとく、ポンプハウジング（Ａ）に吸気口（Ｂ）と排気
口（Ｃ）、並びにこれら吸気口（Ｂ）と排気口（Ｃ）と
を結ぶ円環状の気体流路（Ｄ）を形成する一方、外周に
多数の羽根（Ｅ）を設けたロータ（Ｆ）を備えてなるポ
ンプ要素（Ｇ）と、該ポンプ要素（Ｇ）の駆動モータ（
Ｍ）とを前記ポンプハウジング（Ａ）内に組込み、前記
モータ（Ｍ）駆動に伴う前記ロータ（Ｆ）の高速回転で
、前記羽根（Ｅ）を前記気体流路（Ｄ）内で回動させて
、前記吸気口（Ｂ）から排気口（Ｃ）に向けて排気を行
うようにしている。

（発明が解決しようとする課題） ところで以上の真空ポンプでは、排気性能を高めるため
に、前記気体流路（Ｄ）内に別途形成した円環コア（Ｈ
）を組付けると共に、前記ロータ（Ｆ）の羽根（Ｅ）の
先端を該円環コア（Ｈ）の内周面に近接させて、前記ロ
ータ（Ｆ）の羽根（Ｅ）が前記気体流路（Ｄ）内を回動
するに伴い、前記気体流路（Ｄ）内を通る気体分子を前
記円環コア（Ｈ）周りでら旋運動させて、該気体分子が
前記羽根（Ｅ）から運動エネルギを連続して受は取れる
ように成すようにしたものが開発されている。

しかしながら以上の構造のものでは、前記羽根（Ｅ）の
先端と円環コア（Ｈ）の内周との間の非常に狭い隙間を
良好に保つためには、前記円環コア（Ｈ）のみならず前
記ロータ（Ｆ）の製造精度及び組付精度が要求され、前
記円環コア（Ｈ）及びロータ（Ｆ）の製造及び組付に手
間を要し、全体としてコスト高になると云う不具合があ
り、例えば前記円環コア（Ｈ）の組付位置が少しでも狂
うと、前記ロータ（Ｆ）の回転時、前記羽根（Ｅ）が前
記円環コア（Ｈ）に接触する虞もある。

本発明は以上の実情に鑑みて開発したもので、目的とす
るところは部品点数少なくして、組付が容易でしかも排
気性能を向上させることが出来る渦流形真空ポンプを提
供するにある。

（課題を解決するための手段） しかして本発明は、吸気口（２）と排気口（３）との間
に、気体流路（７０）（７００）内に羽根（８０）（８
００）を配設するロータ（８）を設けた渦流形真空ポン
プであって、前記ロータ（８）の外周部近くを沿う円周
上に、外周側に環状連続部（８４）（８４０）を残して
複数個の連通孔（８３）を並設し、該連通孔（８３）に
より前記羽根（８０）（８００）を形成していることを
特徴とするものである。

（作　　　　用　　） 本発明によれば、前記環状連続部（８４）（８４０）が
前記気体流路（７０）（７００）内において、前記羽根
（８０）（８００）の外周りをリング状に包囲すること
から、前記流入口（７Ａ）から流出口（７Ｂ）に流通す
る気体分子は、前記ロータ（８）の回転に伴い、互いに
隣接する前記連通孔（８４）（８４０）間の壁で形成さ
れる羽根（８０）（８００）を介して前記環状連続部（
２０）周りをら旋運動するのである。

（実　　施　　例　　） 第１図において、ポンプハウジング（１）の上部に設け
る吸気口（２）とベース部材（１０）の側部に設ける排
気口（３）との間に、ら旋溝（４ａ）を有する回転円板
（４）と同じくら旋溝（５ａ）を有する固定円板（５）
とを２対備える溝形ポンプ要素（６）と、後記のステー
タ（７）に形成する円環状の流路（７０）内に、外周に
複数の羽根（８０）を設けた３組のロータ（８）を備え
る渦流形ポンプ要素（９）とを、該渦流形ポンプ要素（
９）が排気側となるように設けている。

２体の回転円板（４）と３組のロータ（８）とは、最下
段ロータ（８）の下方側に延設する駆動軸（１１）を介
しモータ（１２）にて高速回転（例えば２０００Ｏｒｐ
ｍ）され、吸気口フランジ（１３）に取付ける半導体ウ
ェハ等のチャンバー内を図中矢印で示すように排気口（
３）側に向けて排気するようにしている。

第１図から第４図に示す前記ステータ（７）は、３組の
各ロータ（８）の上下にサンドイッチ状に介装されるも
ので、後記するロータ（８）のボス部（８１）を挿通さ
せる挿通孔（７１）及び、該ロータ（８）のフランジ部
（８２）を受は入れる円形凹部（７２）を備え、該凹ｍ
（７２）の外方に前記円環状の気体流路（７０）を連続
形成すると共に、外周壁に沿って冷却水等の循環路（７
４）を形成している。

しかして前記ロータ（８）は、基本的には駆動軸（１１
）に套嵌されるボス部（８１）と、該ボス部（８１）の
外方に延びる円板鍔状のフランジ部（８２）とを備え、
第３図に示す実施例では、前記フランジ部（８２）の外
周縁から所定寸法径方向内方の円周上に、平面視長方形
の連通孔（８３）を所定間隔ごとに多数形成して、該フ
ランジ部（８２）における前記連通孔（８３）の径方向
外方に環状連続部（８４）を設けると共に、互いに隣接
する連通孔（８３）間の壁で前記羽根（８０）を形成し
ているのであって、第１図から第４図に示す実施例では
、前記連通孔（８３）を一端開口から他端開口に向かっ
て湾曲させることで、前記羽根（８０）を第４図に示す
ごとくスプーン状に形成している。

なお前記環状連続部（８４）は第５図に示すごとく、前
記フランジ部（８２）の肉厚よりも厚く形成して、該環
状連続部（８４）の断面形状を大きくしてもよい。

また前記羽根（８０）は前記したスプーン状の他、断面
くの字状としてもよいし、あるいは平板状に形成しても
よい。

第１図中、（１４）はモータ（１２）を内装するモータ
ハウジングであり、底部に設ける油溜め（１５）からオ
イルピックアップ（１６）を介して駆動軸（１１）内の
給油通路（１７）＋こ油を汲上げ、上下の軸受（１Ｂ）
（１９）に給油を行うようにしている。又、（４１）は
パージガスの導入通路、（４２）はその排出通路であり
、（５０）は循環路（７４）に冷却水を取入れる取入通
路を示している。

しかして以上の構成から成る渦流形真空ポンプにあって
は、前記ロータ（８）の回転に伴い、前記環状連続部（
８４）も前記気体流路（７０）内を回転するが、該環状
連続部（８４）はリング状であることから、前記気体流
路（７０）内に円環コアを配設した場合と同様に前記環
状連続部（８４）が前記羽根（８０）の外周りを包囲し
ているので、前記流入口（７Ａ）から流出口（７Ｂ）に
流通する気体分子は、前記環状連続部（２０）の周りを
ら旋運動して、前記羽根（８０）を横断し、その都度気
体分子が羽根（８０）側から運動エネルギーを受は取り
、スムーズに排気が行われるのである。

以上の実施例では、複数のステータ（７）で各ロータ（
８）をサンドイッチ状に挾むようにすると共に、該ステ
ータ（７）に気体流路（７０）を形成したが、第６図に
示すごとく、ステータ（７′）及び前記ロータ（８′）
を一部材から形成して、前記ステータ（７′）の内周面
に環状の凹所（７５）を形成する一方、前記ロータ（８
゛）の外周面に環状の凹所（８５）を形成して、該凹所
（８５）内に羽根（８００）と環状連続部（８４０）と
を設け、これら両凹所（７５）（８５）で気体流路（７
００）を構成するように成してもよい。

（発明の効果　） 以上のごとく本発明によれば、前記環状連続部（８４）
（８４０）が前記気体流路（７０）（７００）内におい
て、前記羽根（８０）（８００）の外周りをリング状に
包囲することから、前記ロータ（８）の回転に伴い、前
記流入口（７Ａ）から流出口（７Ｂ）に流通する気体分
子は、円環コアが設けられている場合と同様、互いに隣
接する前記連通孔（８４）（８４０）間の壁で形成され
る羽根（８０）（８００）を介して前記環状連続部（２
０）周りをら旋運動して、排気性能が高まるのであり、
また前記ロータ（８）の組付精度如何にかかわらず従来
のように羽根が円環コアと接触するような虞は全くない
のであって、従って全体として部品点数の削減を図るこ
とが出来て組付が容易でありながらしかも排気性能の向
上を図ることが出来る渦流形真空ポンプを提供出来るに
至ったのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる渦流形真空ポンプの一実施例を
示す断面図、第２図はロータの平面図、第３図は該ロー
タの断面図、第４図は該ロータの要部の拡大側面図、第
５図はロータの別の実施例を示す断面図、第６図は本発
明にかかる渦流形真空ポンプの別の実施例を示す要部の
断面図、第７は従来の渦流形真空ポンプの一例を示す概
略断面図である。 （２）・・・・・・吸気口 （３）・・・・・・υト気口 （７０）（７００）・・・・気体流路 （８）・・・・・・ロータ （８０）（８００）・・・・羽根

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）吸気口（２）と排気口（３）との間に、気体流路（
   ７０）（７００）内に羽根（８０）（８００）を配設す
   るロータ（８）を設けた渦流形真空ポンプであって、前
   記ロータ（８）の外周部近くを沿う円周上に、外周側に
   環状連続部（８４）（８４０）を残して複数個の連通孔
   （８３）を並設し、該連通孔（８３）により前記羽根（
   ８０）（８００）を形成していることを特徴とする渦流
   形真空ポンプ。