JPH0471794U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0471794U JPH0471794U JP11597390U JP11597390U JPH0471794U JP H0471794 U JPH0471794 U JP H0471794U JP 11597390 U JP11597390 U JP 11597390U JP 11597390 U JP11597390 U JP 11597390U JP H0471794 U JPH0471794 U JP H0471794U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- vacuum pump
- type vacuum
- disc provided
- siegbahn type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す要部拡大縦断
面図である。第２図は従来のジーグバーン形真空
ポンプの一例を示す縦断面図、第３図は同じく要
部拡大縦断面図である。 １……ロータ、１ａ……回転円板、２……ケー
シング、２ａ……静止円板、３……軸、１０……
座金、１１……ナツト。
面図である。第２図は従来のジーグバーン形真空
ポンプの一例を示す縦断面図、第３図は同じく要
部拡大縦断面図である。 １……ロータ、１ａ……回転円板、２……ケー
シング、２ａ……静止円板、３……軸、１０……
座金、１１……ナツト。
Claims (1)
- ロータに設けられた多段回転円板と静止側に設
けられた多段静止円板とを狭い〓間を介して対向
させたジーグバーン形真空ポンプにおいて、上記
ロータを軸方向全域にわたり軸で挟んで締結した
ことを特徴とするジーグバーン形真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11597390U JPH0471794U (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11597390U JPH0471794U (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0471794U true JPH0471794U (ja) | 1992-06-25 |
Family
ID=31863783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11597390U Pending JPH0471794U (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0471794U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49100608A (ja) * | 1973-01-29 | 1974-09-24 | ||
| JPS60252197A (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-12 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
| JPH0249996A (ja) * | 1988-08-11 | 1990-02-20 | Daikin Ind Ltd | 渦流形真空ポンプ |
-
1990
- 1990-11-06 JP JP11597390U patent/JPH0471794U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49100608A (ja) * | 1973-01-29 | 1974-09-24 | ||
| JPS60252197A (ja) * | 1984-05-29 | 1985-12-12 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
| JPH0249996A (ja) * | 1988-08-11 | 1990-02-20 | Daikin Ind Ltd | 渦流形真空ポンプ |