JP4147042B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等に用いられる真空ポンプに関し、特に、ポンプに異常が発生し破壊トルクが生じた場合に、その破壊トルクを吸収低減できるようにしたものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程におけるドライエッチング等のプロセスのように、高真空のプロセスチャンバ内で作業を行なう工程においては、そのプロセスチャンバ内のガスを排気し該プロセスチャンバ内を高真空とする手段として、図4に示すような構造の真空ポンプを使用している。
【0003】
同図の真空ポンプは、筒状のベース3と同形状のポンプケース4とを一体に連結した外装ケース1の内側に、ロータ2を回転可能に設置した構造からなり、そのロータ2の上部外周に多段に設けられた回転翼9と、この回転翼9と交互に多段に設けられた固定翼10とからなる翼構造の部分が、ロータ2の回転によりターボ分子ポンプとして機能するとともに、ロータ2の下部外周面とこれに対向するベース3の内周部に形成されたネジ溝12とからなる隙間構造の部分が、ロータ2の回転によりネジ溝ポンプとして機能するように構成されている。
【0004】
しかしながら、上記のような従来構造の真空ポンプによると、その使用条件によってはロータ2の応力集中部を起点としたロータ2の破壊が発生する場合もある。このような破壊がロータ2の高速回転中に発生すると、回転翼9とロータ2からなる回転体全体の回転バランスが瞬時に崩れ、回転翼9がポンプケース4内周側に接触したり、ロータ2の下部外周がベース3の内周部に衝突し、ポンプケース4およびベース3からなる外装ケース1全体をその周方向に捩り回転させようとする破壊トルクが発生し、このような破壊トルクによりプロセスチャンバ14が破損する、あるいはポンプケース4とプロセスチャンバ14を固定している締結ボルトが破壊される等の問題点がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、ポンプに異常が発生し破壊トルクが生じた場合に、その破壊トルクを吸収低減できる真空ポンプを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、(1)本発明は、回転可能に設置されたロータと、上記ロータの下部外周を囲む筒状のベースと、上記ロータの上部外周を囲み、かつ上記ベースに連結された筒状のポンプケースと、上記ロータの上部外周に多段に配置された回転翼と、上記ポンプケースの内周側に位置し、かつ上記回転翼と交互に多段に配置された固定翼と、上記ベースの内周部に形成されたネジ溝と、上記ベースの内外周間に設けられ、当該ベースの上端面から上記ロータの回転軸方向に掘られた溝空間とを有することを特徴とするものである。
【0007】
上記(1)本発明では、真空ポンプの運転動作中において、ロータの破壊が生じ該ロータの一部がベースの内周部側に衝突したとき、その衝撃力で該ベースの溝空間より内側のベース肉厚部分が溝空間側へ曲り塑性変形してロータの回転衝突エネルギを吸収する。
【0008】
上記(1)本発明において、上記溝空間は、上記ベースの周方向に沿って環状に形成されてなる構造を採用することができる。
【0009】
上記(1)本発明において、上記ベースの溝空間より内側のベース肉厚部分は、そのベース内周部に高速回転するロータが衝突したときの衝撃力により曲り塑性変形することのできる強度に設定されていることが望ましい。これは塑性変形によりロータの回転衝撃エネルギを効率よく吸収できるようにするためである。
【0010】
(2)本発明は、回転可能に設置されたロータと、上記ロータの下部外周を囲む筒状のベースと、上記ロータの上部外周を囲み、かつ上記ベースに連結された筒状のポンプケースと、上記ロータの上部外周に多段に配置された回転翼と、上記ポンプケースの内周側に位置し、かつ上記回転翼と交互に多段に配置された固定翼と、上記ベースの内周部に形成されたネジ溝と、上記ベースの外周部に設けた凹部とを有し、上記凹部の内側底部に、その内側底部からこれに対向する上記ポンプケースの内周面に向かって突出する形状の突起が設けられていることを特徴とするものである。
【0011】
上記(2)本発明では、真空ポンプの運転動作中において、ロータの破壊が生じ該ロータの一部がベースの内周部側に衝突したとき、その衝撃力で該ベースの凹部より内側のベース肉厚部分が窪み塑性変形してロータの回転衝突エネルギを吸収する。
【0012】
上記(2)本発明において、上記凹部は、上記ベースの周方向に沿って環状に形成されてなる構造を採用することができる。
【0013】
上記(2)本発明において、上記ベースの凹部より内側のベース肉厚部分は、上記と同様の理由から、そのベース内周部に高速回転するロータが衝突したときの衝撃力により窪み塑性変形することのできる強度に設定されていることが望ましい。
【0014】
上記(2)本発明において、上記突起は、上記凹部より内側のベース肉厚部分における窪み塑性変形が生じたときに、ポンプケースの内周面との間に挟まれて押し潰されるものとする。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る真空ポンプの実施形態について、図1を基に詳細に説明する。
【0016】
図1に示した真空ポンプは、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプを複合した真空ポンプであって、外装ケース1の内側にロータ2を回転可能に設置してなる構造となっている。
【0017】
外装ケース1は、筒状のベース3とこれと同じく筒状のポンプケース4とをその各筒軸方向にボルトで一体に連結した筒型構造であり、このような筒型構造の外装ケース1内に上記ロータ2が収納されている。
【0018】
上記のようなロータ収納状態において、当該ロータ2の下部側外周は、外装ケース1の約下半分を構成している上記筒状のベース3により囲まれ、かつ、該ベース3の内周部と一定の微小隙間を介して対向する構造となっている。一方、同ロータ2の上部外周は、外装ケース1の約上半分を構成している上記筒状のポンプケース4により囲まれる構造となっている。
【0019】
本実施形態の場合、上記ロータ2も筒状に形成され、このロータ2の内側にステータコラム5が立設され、さらにステータコラム5の中心部にロータ軸7が回転可能に設置されている。そして、このロータ軸7は、ステータコラム5内に設けた径方向電磁石6−1と軸方向電磁石6−2からなる磁気軸受により、その軸方向及び径方向にそれぞれ軸受支持されている。また、このロータ軸7の上部はステータコラム5の上端部から突出し、そのロータ軸7の上部突出端に、上記ロータ2が連結固定されている。したがって、本実施形態の場合、ロータ2はロータ軸7と一体にそのロータ軸心回りに回転可能に設けられている。
【0020】
ステータコラム5の内側には駆動モータ8が配置されており、この駆動モータ8は、その固定子8aをステータコラム5の内側に、その回転子8bをロータ軸7側に一体に配置した構造であって、かつ、ロータ軸7をその軸心回りに回転させるように構成されている。
【0021】
ロータ2の上部外周には複数の回転翼9が多段に配置固定されている一方、ポンプケース4の内周には複数の固定翼10が回転翼9と交互に多段に位置決め設置されおり、このような回転翼9と固定翼10からなる翼構造の部分が、ロータ2の回転によりターボ分子ポンプとして機能する。
【0022】
固定翼10をポンプケース4内周に設置する固定翼設置構造については各種考えられるが、本実施形態では、ポンプケース4の内周に沿ってリング状に形成されたスペーサ11を複数用い、これらのスペーサ11を多段に段積み設置するとともに、その上下段のスペーサ11、11間で固定翼10の一端を挟持する構造を採用している。
【0023】
ベース3の内周部にはネジ溝12が設けられており、このネジ溝12とこれに対向するロータ2の下部外周面とからなる隙間構造の部分が、ロータ2の回転によりネジ溝ポンプとして機能する。
【0024】
ベース3の内外周間には溝状の空間部13(以下「溝空間」という。)が穿設されている。本実施形態の場合、この溝空間13はベース3の先端側から奥部へ向かって一定の深さで穿孔形成され、かつ、ベース3の周方向に沿って環状に設けられている。
【0025】
したがって、本実施形態の場合、上記ベース3はその一部が溝空間13を挟んで内筒部3−2と外筒部3-1からなる二重筒構造となっており、特に、ベース3の内筒部3−2、すなわち該ベース3の溝空間13より内側のベース肉厚部分は、その内周部に高速回転するロータ2が衝突したときの衝撃力により曲り塑性変形することのできる強度に設定されている。
【0026】
なお、本実施形態の真空ポンプにおいては、ポンプケース4の上縁周囲にフランジ4−1が設けられ、このフランジ4−1をプロセスチャンバ14の下面開口縁に突き当て、かつ該フランジ4−1を貫通するボルト15がプロセスチャンバ14側にねじ込み固定されることにより、真空ポンプ全体がプロセスチャンバ14側に連結固定される構造となっている。
【0027】
また、外装ケース1を構成するポンプケース4の上端面はガス吸気口16として開口し、同外装ケース1を構成するベース3の下部一側部にはガス排気口17として排気パイプが突設されている。
【0028】
次に、図1に示した真空ポンプの運転動作を説明する。この図1の真空ポンプの場合、先ず、ガス排気口17に接続される図示しない補助ポンプを作動させることによりプロセスチャンバ14内をある程度の真空状態にした後、駆動モータ8を作動させると、ロータ軸7とこれに連結したロータ2および回転翼9が高速回転する。
【0029】
そして、高速回転している最上段の回転翼9がガス吸気口16から入射したガス分子に下向き方向の運動量を付与し、この下向き方向の運動量を有するガス分子が固定翼10によって次段の回転翼9側へ送り込まれる。以上のガス分子への運動量の付与と送り込み動作が繰り返し多段に行われることにより、ガス吸気口16側のガス分子はベース3内周部のネジ溝12側へ順次移行し排気される。このようなガス分子の排気の動作が回転翼9と固定翼10との相互作用による分子排気動作である。
【0030】
さらに、上記分子排気動作によりネジ溝12側へ到達したガス分子は、ロータ2の回転とネジ溝12との相互作用により、遷移流から粘性流に圧縮されてガス排気口17側へ移送され、かつ、該ガス排気口17から図示しない補助ポンプを通じて外部へ排気される。
【0031】
ところで、上記のような真空ポンプの運転動作中において、ロータ2の破壊が生じ該ロータ2の一部がベース3の内周部側に衝突すると、その衝撃力でベース3の溝空間13より内側のベース肉厚部分、すなわちベース3の内筒部3−2が積極的に溝空間13内へ曲り塑性変形してロータ2の回転衝突エネルギを吸収する。
【0032】
つまり、図1に示した真空ポンプによると、この種ロータ2の回転衝突エネルギはベース3の内部で減衰し小さくなるので、ベース3およびポンプケース4からなる外装ケース1全体に伝達されるロータ2の回転衝突エネルギが減少し、バリアリング等の破壊トルク低減部品を追加することなく、外装ケース1をその周方向に捩り回転させようとする破壊トルクが低減され、この種の破壊トルクによる不具合、たとえばプロセスチャンバ14の破損やポンプケース4とプロセスチャンバ14を固定しているボルト15の破壊が生じることはない。
【0033】
上記実施形態では、ベース3においてロータ2の回転衝突エネルギを吸収する構造として、当該ベース3に環状の溝空間13を設けることで該ベース3を二重筒構造とする構成を採用したが、これと同様の溝空間を当該ベース3に別途追加形成することで該ベース3を二重以上の多重筒構造とする構成を採用することもできる。
【0034】
また、上記実施形態では、高速回転するロータ2がベース3内周部のどの部分に衝突してもそのロータ2の回転衝突エネルギを効率よく吸収できるようにする観点から、ベース3の溝空間13を該ベース3の周方向に沿って環状に形成したが、これ以外の形状の溝空間を採用することもできる。この種の溝空間13をどのような形状とするかは、ベース3におけるロータ2の回転衝突エネルギの吸収しやすさとの関係から適宜決定される。
【0035】
上記実施形態では、破壊トルクの低減手段として、ベース3の内外周間に溝空間13を設ける構造を採用したが、この溝空間13に代えて、または、その溝空間13と併用する形態で、図2に示すような凹部18をベース3の外周部に形成してもよい。この場合、当該凹部18はベース3の周方向に沿って環状に形成することができ、また、ベース3において上記凹部18より内側のベース肉厚部分は、ベース3内周部に高速回転中のロータ2が衝突したときの衝撃力により曲り塑性変形することのできる強度に設定されるものとする。
【0036】
上記のような凹部18を採用した構造によると、ロータ2の一部がベース3の内周部側に衝突したときに、その衝撃力で凹部18より内側のベース肉厚部分が窪み塑性変形してロータ2の回転衝突エネルギを吸収することができるから、上記実施形態と同様な効果、すなわち破壊トルクの低減効果が得られる。
【0037】
また、図3に示したように、上記のような凹部18の内側には突起19を設けることもできる。この場合、突起19は、凹部18の内側底部からこれに対向するポンプケース4の内周面に向かって突出するように形成され、かつ、上記のような凹部18より内側のベース肉厚部分における窪み塑性変形が生じたときに、ポンプケース4の内周面との間に挟まれて押し潰されるものとする。
【0038】
上記のような突起19付きの凹部18を採用した構造によると、凹部18より内側のベース肉厚部分における窪み塑性変形に加え、さらに、突起19の押し潰れ変形によっても、ロータ2の回転衝突エネルギを吸収できるから、より一層効率よく、破壊トルクを低減することができる。
【0039】
【発明の効果】
本発明に係る真空ポンプにあっては、上記の如く、ベースの内外周間に溝空間を形成してなる構造、またはベースの外周部に凹部を形成してなる構造を採用したものである。このため、真空ポンプの運転動作中において、ロータの破壊が生じ該ロータの一部がベースの内周部側に衝突したとき、その衝撃力でベースの溝空間より内側のベース肉厚部分が溝空間内へ曲り塑性変形してロータの回転衝突エネルギを吸収する、または、その衝撃力でベースの凹部より内側のベース肉厚部分が窪み塑性変形してロータの回転衝突エネルギを吸収することから、ベースおよびポンプケースからなる外装ケース全体に伝達されるロータの回転衝突エネルギが減少し、外装ケースをその周方向に捩り回転させようとする破壊トルクの低減を図ることができる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態である真空ポンプの断面図。
【図2】本発明の他の実施形態である真空ポンプの断面図。
【図3】本発明の他の実施形態である真空ポンプの断面図。
【図4】従来の真空ポンプの断面図。
【符号の説明】
1 外装ケース
2 ロータ
3 筒状のベース
3−1 外筒部
3−2 内筒部
4 筒状のポンプケース
4−1 フランジ
5 ステータコラム
6−1 径方向電磁石
6−2 軸方向電磁石
7 ロータ軸
8 駆動モータ
9 回転翼
10 固定翼
11 スペーサ
12 ネジ溝
13 溝空間
14 プロセスチャンバ
15 ボルト
16 ガス吸気口
17 ガス排気口
18 凹部
19 突起
Claims (6)
- 回転可能に設置されたロータと、
上記ロータの下部外周を囲む筒状のベースと、
上記ロータの上部外周を囲み、かつ上記ベースに連結された筒状のポンプケースと、
上記ロータの上部外周に多段に配置された回転翼と、
上記ポンプケースの内周側に位置し、かつ上記回転翼と交互に多段に配置された固定翼と、
上記ベースの内周部に形成されたネジ溝と、
上記ベースの内外周間に設けられ、当該ベースの上端面から上記ロータの回転軸方向に掘られた溝空間とを有すること
を特徴とする真空ポンプ。 - 上記溝空間は、上記ベースの周方向に沿って環状に形成されてなること
を特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 上記ベースの溝空間より内側のベース肉厚部分は、そのベース内周部に高速回転するロータが衝突したときの衝撃力により曲り塑性変形することのできる強度に設定されていること
を特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の真空ポンプ。 - 回転可能に設置されたロータと、
上記ロータの下部外周を囲む筒状のベースと、
上記ロータの上部外周を囲み、かつ上記ベースに連結された筒状のポンプケースと、
上記ロータの上部外周に多段に配置された回転翼と、
上記ポンプケースの内周側に位置し、かつ上記回転翼と交互に多段に配置された固定翼と、
上記ベースの内周部に形成されたネジ溝と、
上記ベースの外周部に設けた凹部とを有し、
上記凹部の内側底部に、その内側底部からこれに対向する上記ポンプケースの内周面に向かって突出する形状の突起が設けられていること
を特徴とする真空ポンプ。 - 上記凹部は、上記ベースの周方向に沿って環状に形成されてなること
を特徴とする請求項4に記載の真空ポンプ。 - 上記ベースの凹部より内側のベース肉厚部分は、そのベース内周部に高速回転するロータが衝突したときの衝撃力により塑性変形することのできる強度に設定されていること
を特徴とする請求項4に記載の真空ポンプ。
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