KR20030074301A - 진공 펌프 - Google Patents

Abstract

펌프에 이상이 발생해 파괴 토오크가 발생한 경우에, 그 파괴 토오크를 흡수 저감할 수 있는 진공 펌프를 제공한다.

원통 형상 베이스(3)의 내외주 간에 홈 공간(13)을 설치하고, 이것으로, 진공 펌프의 운전 동작 중에 있어서, 로터(2)의 파괴가 발생해 이 로터(2)의 일부가 베이스(3)의 내주부측과 충돌했을 때, 그 충격력으로 베이스(3)의 홈 공간(13)으로부터 내측의 베이스 벽두께 부분이 적극적으로 홈 공간(13) 내로 굽힘 소성 변형해서 로터(2)의 회전 충돌 에너지를 흡수하는 것으로 한다.

Description

진공 펌프{VACUUM PUMP}

본 발명은 반도체 제조 장치 등에 이용되는 진공 펌프에 관한 것이며, 특히, 펌프에 이상이 발생해 파괴 토오크가 발생한 경우에, 그 파괴 토오크를 흡수 저감할 수 있게 한 것이다.

반도체 제조 공정에 있어서의 드라이 에칭 등의 프로세스와 같이, 고진공의 프로세스 챔버 내에서 작업을 행하는 공정에 있어서는, 그 프로세스 챔버 내의 가스를 배기해 이 프로세스 챔버 내를 고진공으로 하는 수단으로서, 도 4에 도시하는 바와 같은 구조의 진공 펌프를 사용하고 있다.

동일 도면의 진공 펌프는 원통 형상 베이스(3)와 동일 형상 펌프 케이스(4)를 일체화하여 연결한 외장 케이스(1)의 내측에 로터(2)를 회전 가능하게 설치한 구조로 이루어지고, 그 로터(2)의 상부 외주에 다단으로 설치된 회전 날개(9)와, 이 회전 날개(9)와 교대로 다단으로 설치된 고정 날개(10)로 이루어지는 날개 구조 부분이 로터(2)의 회전에 의해 터보 분자 펌프로서 기능함과 더불어, 로터(2)의 하부 외주면과 이것에 대향하는 베이스(3)의 내주부에 형성된 나사 홈(12)으로 이루어지는 틈새 구조 부분이 로터(2)의 회전에 의해 나사 홈 펌프로서 기능하도록 구성되어 있다.

그렇지만, 상기한 바와 같은 종래 구조의 진공 펌프에 의하면, 그 사용 조건에 따라서는 로터(2)의 응력 집중부를 기점(起點)이라고 한 로터(2)의 파괴가 발생하는 경우도 있다. 이러한 파괴가 로터(2)의 고속 회전 중에 발생하면, 회전 날개(9)와 로터(2)로 이루어지는 회전체 전체의 회전 밸런스가 순식간에 무너져, 회전 날개(9)가 펌프 케이스(4) 내주측과 접촉하거나, 로터(2)의 하부 외주가 베이스(3)의 내주부에 충돌하고, 펌프 케이스(4) 및 베이스(3)로 이루어지는 외장 케이스(1) 전체를 그 원주 방향으로 비틀어 회전시키려고 하는 파괴 토오크가 발생하고, 이러한 파괴 토오크에 의해 프로세스 챔버(14)가 파손, 혹은 펌프 케이스(4)와 프로세스 챔버(14)를 고정하고 있는 체결 볼트가 파괴되는 등의 문제점이 있다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 펌프에 이상이 발생해 파괴 토오크가 발생한 경우에, 그 파괴 토오크를 흡수 저감할 수 있는 진공 펌프를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서, (1) 본 발명은, 회전 가능하게 설치된 로터와, 상기 로터의 하부 외주를 둘러싸는 원통 형상 베이스와, 상기 로터의 상부 외주를 둘러싸고, 또한 상기 베이스에 연결된 원통 형상 펌프 케이스와, 상기 로터의 상부 외주에 다단으로 배치된 회전 날개와, 상기 펌프 케이스의 내주측에 위치하고, 또한 상기 회전 날개와 교대로 다단으로 배치된 고정 날개와, 상기 베이스의 내주부에 형성된 나사 홈과, 상기 베이스의 내외주 사이에 천공 설치한 홈 공간을 가지는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 (1) 본 발명에서는 진공 펌프의 운전 동작 중에 있어서, 로터의 파괴가 발생해 이 로터의 일부가 베이스의 내주부측과 충돌했을 때, 그 충격력으로 이 베이스의 홈 공간으로부터 내측의 베이스 벽두께 부분이 홈 공간측으로 굽힘 소성 변형해서 로터의 회전 충돌 에너지를 흡수한다.

상기 (1) 본 발명에 있어서, 상기 홈 공간은 상기 베이스의 원주 방향을 따라 환상으로 형성되어 이루어지는 구조를 채용할 수 있다.

상기 (1) 본 발명에 있어서, 상기 베이스의 홈 공간으로부터 내측의 베이스 벽두께 부분은, 그 베이스 내주부에 고속 회전하는 로터가 충돌했을 때의 충격력에 의해 굽힘 소성 변형할 수 있는 강도로 설정되어 있는 것이 바람직하다. 이것은 소성 변형에 의해 로터의 회전 충격 에너지를 효율적으로 흡수할 수 있게 하기 위해서이다.

상기 (1) 본 발명에 있어서, 상기 홈 공간에 대해서는 회전 날개와 고정 날개 사이에 형성되어 있는 공간과 연통하고 있는 구조를 채용할 수 있다. 이러한 구조를 채용한 경우에는, 그 공간을 통해서 상기 홈 공간과 상기 나사 홈측이 연통 접속되고, 나사 홈 주변 부분, 즉 나사 펌프 기능부와 홈 공간의 압력차가 적어지기 때문에, 나사 홈측이 소성 변형하기 쉽고, 또 나사 홈측을 소성 변형하기 쉽도록 충분히 얇은 두께로 할 수 있다.

(2) 본 발명은 회전 가능하게 설치된 로터와, 상기 로터의 하부 외주를 둘러싸는 원통 형상 베이스와, 상기 로터의 상부 외주를 둘러싸고, 또한 상기 베이스에 연결된 원통 형상 펌프 케이스와, 상기 로터의 상부 외주에 다단으로 배치된 회전날개와, 상기 펌프 케이스의 내주측에 위치하고, 또한 상기 회전 날개와 교대로 다단으로 배치된 고정 날개와, 상기 베이스의 내주부에 형성된 나사 홈과, 상기 베이스의 외주부에 형성한 오목부를 가지는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 (2) 본 발명에서는 진공 펌프의 운전 동작 중에 있어서, 로터의 파괴가 발생해 이 로터의 일부가 베이스의 내주부측과 충돌했을 때, 그 충격력으로 이 베이스의 오목부로부터 내측의 베이스 벽두께 부분이 수축 소성 변형해서 로터의 회전 충돌 에너지를 흡수한다.

상기 (2) 본 발명에 있어서, 상기 오목부는 상기 베이스의 원주 방향을 따라 환상으로 형성되어 이루어지는 구조를 채용할 수 있다.

상기 (2) 본 발명에 있어서, 상기 베이스의 오목부로부터 내측의 베이스 벽두께 부분은 상기와 마찬가지의 이유로, 그 베이스 내주부에 고속 회전하는 로터가 충돌했을 때의 충력력에 의해 수축 소성 변형할 수 있는 강도로 설정되어 있는 것이 바람직하다.

상기 (2) 본 발명에 있어서, 상기 오목부의 내측 저부에 돌기를 형성하는 구조를 채용할 수도 있다. 이 경우, 그 돌기는 상기 오목부의 내측 저부로부터 이것에 대향하는 상기 펌프 케이스의 내주면을 향해서 돌출하는 형상으로 형성되며, 또한, 상기한 바와 같은 오목부로부터 내측의 베이스 벽두께 부분에 있어서의 수축 소성 변형이 발생했을 때에, 펌프 케이스의 내주면 사이에 개재되어서 압착되는 것으로 한다.

상기 (1) 및 (2) 본 발명에 있어서는, 상기 베이스의 펌프 케이스와의 연결부로부터 하측 외주부가 벽두께로 되어 있는 구조를 채용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 시 형태인 진공 펌프의 단면도이다.

도 2는 본 발명의 다른 실시 형태인 진공 펌프의 단면도이다.

도 3은 본 발명의 또 다른 실시 형태인 진공 펌프의 단면도이다.

도 4는 종래의 진공 펌프의 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 외장 케이스2 : 로터

3 : 원통 형상 베이스3-1 : 외통부

3-2 : 내통부4 : 원통 형상 펌프 케이스

4-1 : 플랜지5 : 스테이터 칼럼

6-1 : 직경 방향 전자석6-2 : 축 방향 전자석

7 : 로터 축8 : 구동 모터

9 : 회전 날개10 : 고정 날개

11 : 스페이서12 : 나사 홈

13 : 홈 공간14 : 프로세스 챔버

15 : 볼트16 : 가스 흡기구

17 : 가스 배기구18 : 오목부

19 : 돌기

이하, 본 발명에 관한 진공 펌프의 실시 형태에 대해서, 도 1을 기초로 상세하게 설명한다.

도 1에 나타낸 진공 펌프는 터보 분자 펌프와 나사 홈 펌프를 복합한 진공 펌프이며, 외장 케이스(1)의 내측에 로터(2)를 회전 가능하게 설치해서 이루어지는 구조로 되어 있다.

외장 케이스(1)는 원통 형상 베이스(3)와 이것과 마찬가지로 원통 형상 펌프 케이스(4)를 그 각 원통축 방향으로 볼트로 일체화하여 연결한 원통형 구조이며, 이러한 원통형 구조의 외장 케이스(1) 내에 상기 로터(2)가 수납되어 있다.

상기한 바와 같은 로터 수납 상태에 있어서, 이 로터(2)의 하부측 외주는 외장 케이스(1)의 약 상부 절반을 구성하고 있는 상기 원통 형상 베이스(3)에 의해 둘러싸이고, 또한, 이 베이스(3)의 내주부와 일정한 미소 틈새를 두고 대향하는 구조로 되어 있다. 한편, 동일 로터(2)의 상부 외주는 외장 케이스(1)의 약 하부 절반을 구성하고 있는 상기 원통 형상 펌프 케이스(4)에 의해 둘러싸여지는 구조로 되어 있다.

본 실시 형태의 경우, 상기 로터(2)도 원통 형상으로 형성되며, 이 로터(2)의 내측에 스테이터 칼럼(5)이 세워 설치되고, 또한 스테이터 칼럼(5)의 중심부에 로터 축(7)이 회전 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 이 로터 축(7)은 스테이터 칼럼(5) 내에 설치한 직경 방향 전자석(6-1)과 축 방향 전자석(6-2)으로 이루어지는 자기 베어링에 의해, 그 축 방향 및 직경 방향으로 각각 베어링 지지되고 있다. 또, 이 로터 축(7)의 상부는 스테이터 칼럼(5)의 상단부로부터 돌출하고, 그 로터 축(7)의 상부 돌출단에 상기 로터(2)가 연결 고정되어 있다. 따라서, 본 실시 형태의 경우, 로터(2)는 로터 축(7)과 일체화하여 그 로터 축심 주위로 회전 가능하게 설치되고 있다.

스테이터 칼럼(5)의 내측에는 구동 모터(8)가 배치되어 있고, 이 구동 모터(8)는 그 고정자(8a)를 스테이터 칼럼(5)의 내측에 그 회전자(8b)를 로터 축(7)측에 일체화하여 배치한 구조이며, 또한, 로터 축(7)을 그 축심 주위로 회전시키도록 구성되어 있다.

로터(2)의 상부 외주에는 다수의 회전 날개(9)가 다단으로 배치 고정되어 있는 한편, 펌프 케이스(4)의 내주에는 다수의 고정 날개(10)가 회전 날개(9)와 교대로 다단으로 위치 결정되어 배치되어 있고, 이러한 회전 날개(9)와 고정 날개(10)로 이루어지는 날개 구조 부분이 로터(2)의 회전에 의해 터보 분자 펌프로서 기능한다.

고정 날개(10)를 펌프 케이스(4) 내주에 설치하는 고정 날개 설치 구조에 대해서는 여러 가지가 고려되지만, 본 실시 형태에서는 펌프 케이스(4)의 내주를 따라 링 형상으로 형성된 스페이서(11)를 다수 이용하고, 이들 스페이서(11)를 다단으로 단 쌓기 설치함과 더불어, 그 상하단의 스페이서(11, 11) 사이에서 고정 날개(10)의 일단을 협지하는 구조를 채용하고 있다.

베이스(3)의 내주부에는 나사 홈(12)이 형성되어 있으며, 이 나사 홈(12)과이것에 대향하는 로터(2)의 하부 외주면으로 이루어지는 틈새 구조 부분이 로터(2)의 회전에 의해 나사 홈 펌프로서 기능한다.

베이스(3)의 내외주 간에는 홈 형상 공간부(13)(이하 「홈 공간」이라고 한다.)가 천공 형성되어 있다. 본 실시 형태의 경우, 이 홈 공간(13)은 베이스(3)의 첨단측으로부터 내측부를 향하여 일정한 깊이로 천공 형성되며, 또한, 베이스(3)의 원주 방향을 따라 환상으로 설치되어 있다.

따라서, 본 실시 형태의 경우, 상기 베이스(3)는 그 일부가 홈 공간(13)을 개재해서 내통부(3-2)와 외통부(3-1)로 이루어지는 이중 통 구조로 되고 있어, 특히, 베이스(3)의 내통부(3-2), 다시 말해 이 베이스(3)의 홈 공간(13)으로부터 내측의 베이스 벽두께 부분은 그 내주부에 고속 회전하는 로터(2)가 충돌했을 때의 충격력에 의해 굽힘 소성 변형할 수 있는 강도로 설정되어 있다.

한편, 본 실시 형태의 진공 펌프에 있어서는, 펌프 케이스(4) 상부 가장지리 주위에 플랜지(4-1)가 설치되고, 이 플랜지(4-1)를 프로세스 챔버(14)의 하면 개구 가장자리와 접촉시키고, 또한 이 플랜지(4-1)를 관통하는 볼트(15)가 프로세스 챔버(14)측으로 나사 고정됨으로써, 진공 펌프 전체가 프로세스 챔버(14)측으로 연결 고정되는 구조로 되어 있다.

또, 외장 케이스(1)를 구성하는 펌프 케이스(4)의 상단면은 가스 흡기구(16)로서 개구하고, 동일 외장 케이스(1)를 구성하는 베이스(3)의 하부 일측부에는 가스 배기구(17)로서 배기 파이프가 돌출 형성되어 있다.

다음에, 도 1에 나타낸 진공 펌프의 운전 동작을 설명한다. 이 도 1의 진공펌프의 경우, 우선, 가스 배기구(17)에 접속되는 도시하지 않은 보조 펌프를 작동시킴으로써 프로세스 챔버(14) 내를 어느 정도 진공 상태로 한 후, 구동 모터(8)를 작동시키면, 로터 축(7)과 이것에 연결한 로터(2) 및 회전 날개(9)가 고속 회전한다.

그리고, 고속 회전하고 있는 최상단의 회전 날개(9)가 가스 흡기구(16)로 입사한 가스 분자에 하향 방향의 운동량을 부여하고, 이 하향 방향의 운동량을 가지는 가스 분자가 고정 날개(10)에 의해 다음 단의 회전 날개(9)측으로 배송된다. 이상의 가스 분자에 대한 운동량의 부여와 배송 동작이 반복해 다단으로 행하여짐으로써, 가스 흡기구(16)측의 가스 분자는 베이스(3) 내주부의 나사 홈(12)측으로 순차로 이행해 배기된다. 이러한 가스 분자의 배기 동작은 회전 날개(9)와 고정 날개(10)의 상호 작용에 의한 분자 배기 동작이다.

또한, 상기 분자 배기 동작에 의해 나사 홈(12)측에 도달한 가스 분자는 로터(2)의 회전과 나사 홈(12)의 상호 작용에 의해, 천이류(遷移流)로부터 점성류로 압축되어서 가스 배기구(17)측으로 이송되고, 또한, 이 가스 배기구(17)로부터 도시하지 않은 보조 펌프를 통해서 외부로 배기된다.

그런데, 상기한 바와 같은 진공 펌프의 운전 동작 중에 있어서, 로터(2)의 파괴가 발생해 이 로터(2)의 일부가 베이스(3)의 내주부측과 충돌하면, 그 충격력으로 베이스(3)의 홈 공간(13)으로부터 내측의 베이스 벽두께 부분, 즉 베이스(3)의 내통부(3-2)가 적극적으로 홈 공간(13) 내로 굽힘 소성 변형해서 로터(2)의 회전 충돌 에너지를 흡수한다.

즉, 도 1에 도시한 진공 펌프에 의하면, 이 종류의 로터(2)의 회전 충돌 에너지는 베이스(3)의 내부에서 감쇠해 작아지므로, 베이스(3) 및 펌프 케이스(4)로 이루어지는 외장 케이스(1) 전체에 전달되는 로터(2)의 회전 충돌 에너지가 감소하고, 배리어 링 등의 파괴 토오크 저감 부품을 추가할 일 없이, 외장 케이스(1)를 그 원주 방향으로 비틀어 회전시키려고 하는 파괴 토오크가 저감되고, 이 종류의 파괴 토오크에 의한 불량, 예를 들면 프로세스 챔버(14)의 파손이나 펌프 케이스(4)와 프로세스 챔버(14)를 고정하고 있는 볼트(15)의 파괴가 발생할 일은 없다.

상기 실시 형태에서는 베이스(3)에 있어서 로터(2)의 회전 충돌 에너지를 흡수하는 구조로서, 이 베이스(3)에 환상의 홈 공간(13)을 설치함으로써 이 베이스(3)를 이중 원통 구조로 하는 구성을 채용했지만, 이것과 마찬가지의 홈 공간을 이 베이스(3)에 별도로 추가 형성함으로써 이 베이스(3)를 이중 이상의 다중 원통 구조로 하는 구성을 채용할 수도 있다.

또, 상기 실시 형태에서는 고속 회전하는 로터(2)가 베이스(3) 내주부의 어느 부분과 충돌해도 그 로터(2)의 회전 충돌 에너지를 효율적으로 흡수할 수 있게 하는 관점에서, 베이스(3)의 홈 공간(13)을 이 베이스(3)의 원주 방향을 따라 환상으로 형성했지만, 이것 이외 형상의 홈 공간을 채용할 수도 있다. 이 종류의 홈 공간(13)을 어떤 형상으로 하는가는 베이스(3)에 있어서의 로터(2)의 회전 충돌 에너지의 흡수하기 용이함과의 관계로부터 적당히 결정된다.

상기 실시 형태에서는 파괴 토오크의 저감 수단으로서, 베이스(3)의 내외주간에 홈 공간(13)을 형성하는 구조를 채용했지만, 이 홈 공간(13) 대신에, 또는, 그 홈 공간(13)과 병용하는 형태로, 도 2에 도시하는 바와 같은 오목부(18)를 베이스(3)의 외주부에 형성해도 된다. 이 경우, 이 오목부(18)는 베이스(3)의 원주 방향을 따라 환상으로 형성할 수 있고, 또, 베이스(3)에 있어서 상기 오목부(18)로부터 내측의 베이스 벽두께 부분은 베이스(3) 내주부에 고속 회전 중의 로터(2)가 충돌했을 때의 충격력에 의해 굽힘 소성 변형할 수 있는 강도로 설정되는 것으로 한다.

상기한 바와 같은 오목부(18)를 채용한 구조에 의하면, 로터(2)의 일부가 베이스(3)의 내주부측과 충돌했을 때에, 그 충격력으로 오목부(18)로부터 내측의 베이스 벽두께 부분이 수축 소성 변형해서 로터(2)의 회전 충돌 에너지를 흡수할 수 있기 때문에, 상기 실시 형태와 마찬가지의 효과, 즉 파괴 토오크의 저감 효과가 얻어진다.

또, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기한 바와 같은 오목부(18)의 내측에는 돌기(19)를 설치할 수도 있다. 이 경우, 돌기(19)는 오목부(18)의 내측 저부(18a)로부터 이것에 대향하는 펌프 케이스(4)의 내주면을 향해서 돌출하도록 형성되며, 또한, 상기한 바와 같은 오목부(18)로부터 내측의 베이스 벽두께 부분에 있어서의 수축 소성 변형이 발생했을 때에, 펌프 케이스(4)의 내주면 사이에 개재되어서 압착되는 것으로 한다.

상기한 바와 같은 돌기(19) 부착 오목부(18)를 채용한 구조에 의하면, 오목부(18)로부터 내측의 베이스 벽두께 부분에 있어서의 수축 소성 변형에 덧붙여, 또한, 돌기(19)의 압착 변형에 의해서도, 로터(2)의 회전 충돌 에너지를 흡수할 수 있기 때문에, 보다 한층 효율적으로, 파괴 토오크를 저감할 수 있다.

상술의 실시 형태에서는 어느 것이나 베이스의 펌프 케이스와의 연결부로부터 하측 외주부를 벽두께로 하고 있다. 이렇게 하면, 파괴 토오크 발생시에 펌프 케이스와 베이스가 분리하지 않는다.

또, 베이스(3)의 홈 공간(13)이나 오목부(18), 돌기(19) 부착 오목부(18)는 이 베이스(3)의 나사 홈(12) 외주의 벽두께부에 형성하고 있다. 이렇게 하면, 로터(2)가 파괴했을 때, 나사 홈(12) 주변이 로터(2)에 의해 소성 변형으로 파괴하고, 그 홈 공간(13)이나 오목부(18), 돌기(19) 부착 오목부(18)가 그 소성 변형의 진행을 가로막고, 펌프 케이스(4) 및 베이스(3) 외주부의 파괴를 저지할 수 있다.

도 1과 같이, 홈 공간(13)이 회전 날개(9)와 고정 날개(10) 사이에 형성되어 있는 공간(터보 분자 펌프의 기능부)과 연통시키면, 이 공간을 통해서 홈 공간(13)과 나사 홈(12)측이 연통 접속되고, 그 나사 홈(12) 주변 부분, 즉 나사 펌프 기능부와 홈 공간(13)의 압력차가 작아지므로, 나사 홈측이 소성 변형하기 쉽고, 또 나사 홈(12)측을 소성 변형하기 쉽도록 충분히 얇은 두께로 할 수 있다.

본 발명에 관한 진공 펌프에 있어서는, 상기와 같이, 베이스의 내외주 사이에 홈 공간을 형성하여 이루어지는 구조, 또는 베이스의 외주부에 오목부를 형성하여 이루어지는 구조를 채용한 것이다. 이 때문에, 진공 펌프의 운전 동작 중에 있어서, 로터의 파괴가 발생해 이 로터의 일부가 베이스의 내주부측과 충돌했을 때,그 충격력으로 베이스의 홈 공간으로부터 내측의 베이스 벽두께 부분이 홈 공간 내로 굽힘 소성 변형해서 로터의 회전 충돌 에너지를 흡수, 또는, 그 충격력으로 베이스의 오목부로부터 내측의 베이스 벽두께 부분이 수축 소성 변형해서 로터의 회전 충돌 에너지를 흡수하는 점에서, 베이스 및 펌프 케이스로 이루어지는 외장 케이스 전체로 전달되는 로터의 회전 충돌 에너지가 감소하고, 외장 케이스를 그 원주 방향으로 비틀어 회전시키려고 하는 파괴 토오크의 저감을 도모할 수 있는 등의 효과를 발휘한다.

Claims (9)

1. 회전 가능하게 설치된 로터와,

   상기 로터의 하부 외주를 둘러싸는 원통 형상 베이스와,

   상기 로터의 상부 외주를 둘러싸고, 또한 상기 베이스에 연결된 원통 형상 펌프 케이스와,

   상기 로터의 상부 외주에 다단으로 배치된 회전 날개와,

   상기 펌프 케이스의 내주측에 위치하고, 또한 상기 회전 날개와 교대로 다단으로 배치된 고정 날개와,

   상기 베이스의 내주부에 형성된 나사 홈과,

   상기 베이스의 내외주 사이에 설치한 홈 공간을 가지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
2. 제1항에 있어서, 상기 홈 공간은 상기 베이스의 원주 방향을 따라 환상으로 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
3. 제1항에 있어서, 상기 베이스의 홈 공간으로부터 내측의 베이스 벽두께 부분은, 그 베이스 내주부에 고속 회전하는 로터가 충돌했을 때의 충격력에 의해 굽힘 소성 변형할 수 있는 강도로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
4. 제1항에 있어서, 상기 홈 공간은 회전 날개와 고정 날개 사이에 형성되어 있는 공간과 연통하고 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
5. 회전 가능하게 설치된 로터와,

   상기 로터의 하부 외주를 둘러싸는 원통 형상 베이스와,

   상기 로터의 상부 외주를 둘러싸고, 또한 상기 베이스에 연결된 원통 형상 펌프 케이스와,

   상기 로터의 상부 외주에 다단으로 배치된 회전 날개와,

   상기 펌프 케이스의 내주측에 위치하고, 또한 상기 회전 날개와 교대로 다단으로 배치된 고정 날개와,

   상기 베이스의 내주부에 형성된 나사 홈과,

   상기 베이스의 외주부에 형성한 오목부를 가지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
6. 제5항에 있어서, 상기 오목부는 상기 베이스의 원주 방향을 따라 환상으로 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
7. 제5항에 있어서, 상기 베이스의 오목부로부터 내측의 베이스 벽두께 부분은, 그 베이스 내주부에 고속 회전하는 로터가 충돌했을 때의 충격력에 의해 소성 변형할 수 있는 강도로 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
8. 제5항에 있어서, 상기 오목부의 내측 저부에 그 내측 저부로부터 이것에 대향하는 상기 펌프 케이스의 내주면을 향해서 돌출하는 형상의 돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
9. 제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 베이스의 펌프 케이스와의 연결부로부터 하측 외주부가 벽두께로 되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.