JP2003148381A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転しているロータがケーシング内壁に衝突
したときに生じる破壊トルクが、真空チャンバに伝わっ
て真空チャンバを破壊することのない真空ポンプを提供
する。 【解決手段】 フランジ部１ａのボルト穴３１、３２、
３３の穴径を大小複数種にして、破壊トルクにより真空
ポンプ１０全体が回動するとき、小径のボルト穴３１の
内壁面３ａが最初にその中のフランジ部締結ボルト１５
の外周面１５ａに当たってフランジ部締結ボルト１５を
変形、破壊しはじめ、順次径のより大きいボルト穴３
２、３３の内壁面３ａがその中のフランジ部締結ボルト
１５に当たってフランジ部締結ボルト１５を変形、破壊
していって、破壊トルクのエネルギーを吸収し、真空チ
ャンバ２０に破壊トルクが伝わるのを防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装
置、電子顕微鏡、表面分析装置、質量分析装置、粒子加
速器、核融合実験装置等に用いられるターボ分子ポンプ
等ロータの回転によりポンプ作用をなす真空ポンプに関
する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造工程におけるドライ
エッチングやＣＶＤ等のプロセスは、真空中で行う必要
があり、この真空を得るのにターボ分子ポンプのような
高速回転ロータを有する真空ポンプが使用される。

【０００３】従来のこの種の真空ポンプにおいては、図
１に示すように、ポンプケース１上部のガス吸気口１−
２側が真空チャンバ２０の排気口に連通接続される構造
である。この接続構造には、ポンプケース１上部の縁部
に設けたフランジ部１ａを真空チャンバ２０にフランジ
部締結ボルト１５で取り付け固定する構造を採用してい
る。

【０００４】すなわち、真空チャンバ２０の排気口の周
囲に数本のポンプ取付け用ネジ穴２１が等間隔に設けら
れ、真空ポンプ１０のフランジ部１ａはガス吸気口１−
２を囲み、このフランジ部１ａには、真空チャンバ２０
の上記の数本のポンプ取付け用ネジ穴２１に対応させて
等間隔に配設されたボルト穴３が設けられていて、フラ
ンジ部締結ボルト１５をフランジ部１ａの下側から各ボ
ルト穴３に通して、真空チャンバ２０のポンプ取付け用
ネジ穴２１にねじ込んで締め付け、真空チャンバ２０に
真空ポンプ１０を取り付け固定している。

【０００５】上記真空チャンバ２０に取り付け固定され
た真空ポンプ１０は、その運転動作中、ロータシャフト
１２と一体にロータ２およびロータ翼４が高速で回転す
る。そして、この高速回転するロータ翼４と固定のステ
ータ翼５との相互作用、および高速回転するロータ２と
ネジ溝８を有する固定のネジステータ７との相互作用に
より、真空チャンバ２０内のガス分子は、ポンプケース
１上部のガス吸気口１−２からポンプケース１内を通っ
てポンプケース１下部のガス排気口１−３側へ排気され
る。

【０００６】ところで、図１に示した真空ポンプ１０を
構成しているロータ２、ロータ翼４、ポンプケース１お
よびステータ翼５等の構造材としては通常、軽合金、中
でもアルミ合金が多用されている。アルミ合金は機械加
工性が良好で精密に加工しやすいからである。しかし、
アルミ合金は他の金属材料に比し強度が比較的低く、使
用条件によってはクリープ破壊を起すことがある。ま
た、主にロータ下部の応力集中を起点とした脆性破壊が
発生することがある。

【０００７】上記のような真空ポンプ１０にあっては、
高速回転しているロータ２が例えば脆性破壊を起し、ロ
ータ２の一部がネジステータ７に衝突した場合に、この
衝突の衝撃力に対してネジステータ７の剛性が十分でな
く、衝突の衝撃力を十分に吸収することができず、ネジ
ステータ７が径方向に移動してポンプケース１のベース
部材１−１に衝突することから、この真空ポンプ１０全
体を回転させようとする大きな回転トルクが生じるとと
もに、このような回転トルク（以下、破壊トルクとい
う。）によりポンプケース１がねじれたり、真空ポンプ
１０と真空チャンバ２０を固定している締結ボルト１５
が破損し、さらに、真空チャンバ２０に伝達される大き
な破壊トルクにより真空チャンバ２０を破壊する等の問
題点がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記問題
点を解決するためになされたものであり、その目的とす
るところは、高速回転しているロータがポンプケース側
のネジステータ等と衝突したときに生じる破壊トルクを
低減でき、伝達される破壊トルクによる真空チャンバの
破壊を防止するようにした真空ポンプを提供することに
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の真空ポンプは、真空チャンバ側に設けら
れた複数のポンプ取付け用ネジ穴にフランジ部締結ボル
トをねじ込むことにより、真空チャンバの排気口に取り
付けられるフランジ部と、上記複数のポンプ取付け用ネ
ジ穴に対応させて上記フランジ部に配設され、フランジ
部締結ボルトを貫通するための複数のボルト穴とを有
し、ポンプを真空チャンバに取り付けた状態で、上記複
数のボルト穴のうちの少なくともひとつのボルト穴の内
壁面と該ボルト穴を貫通するフランジ部締結ボルトの外
周面とのポンプ円周方向の距離が、他のボルト穴の内壁
面と該ボルト穴を貫通するフランジ部締結ボルトの外周
面とのポンプ円周方向の距離と異ならせてあることを特
徴とする。

【００１０】また、この発明の真空ポンプは、真空チャ
ンバ側に設けられた複数のポンプ取付け用ネジ穴にフラ
ンジ部締結ボルトをねじ込むことにより、真空チャンバ
の排気口に取り付けられるフランジ部と、上記複数のポ
ンプ取付け用ネジ穴に対応させて上記フランジ部に配設
され、フランジ部締結ボルトを貫通するための複数のボ
ルト穴とを有し、上記複数のボルト穴のうちの少なくと
もひとつのボルト穴の径が他のボルト穴の径と異なって
いることを特徴とする。

【００１１】更に、また、この発明の真空ポンプは、真
空チャンバ２０側に設けられた複数のポンプ取付け用ネ
ジ穴にフランジ部締結ボルトをねじ込むことにより、真
空チャンバの排気口に取り付けられるフランジ部と、上
記複数のポンプ取付け用ネジ穴に対応させて、かつ、該
ネジ穴に対して位相をずらして上記フランジ部に配設さ
れ、フランジ部締結ボルトを貫通するための複数のボル
ト穴とを有することを特徴とする。

【００１２】この発明の真空チャンバと真空ポンプとの
取り付け構造は、排気口の周囲に複数のポンプ取付け用
ネジ穴が設けられた真空チャンバと、この真空チャンバ
の排気口に取り付けられるフランジ部に、上記複数のポ
ンプ取付け用ネジ穴に対応させて配設された複数のボル
ト穴が設けられた真空ポンプと、上記ボルト穴を貫通し
て上記ネジ穴にねじ込むことにより、真空ポンプを真空
チャンバに取り付ける伸びボルトとを有し、真空ポンプ
を真空チャンバに取り付けた状態で、上記複数のボルト
穴のうちの少なくともひとつのボルト穴の内壁面と該ボ
ルト穴を貫通する伸びボルトの外周面とのポンプ円周方
向の距離が、他のボルト穴の内壁面と該ボルト穴を貫通
する伸びボルトの外周面とのポンプ円周方向の距離と異
ならせてあり、伸びボルトのくびれ径部の先端部分が真
空チャンバ側に入り込んでいることを特徴とする。

【００１３】この発明においては、破壊トルクにより真
空ポンプ全体が回動するとき、フランジ部締結ボルトの
外周面に最も接近しているボルト穴の内壁面が、最初に
その中のフランジ部締結ボルトの外周面に当たってボル
トを変形、破壊しはじめ、順次ボルト穴の内壁面とフラ
ンジ部締結ボルトの外周面が離れているボルト穴の壁が
その中のフランジ部締結ボルトに当たってボルトを破壊
していって、このボルト変形、破壊過程で破壊トルクを
吸収していき、破壊トルクのピーク値を低下させる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、この発明に係る真空ポンプ
の一実施形態について、図面を参照して説明する。

【００１５】図１は、この発明に係る真空ポンプの一実
施形態を示す縦断面図である。図１に示した真空ポンプ
１０は、円筒状のポンプケース１内に回転可能に設置さ
れた筒型のロータ２を有し、このロータ２はその上端が
ポンプケース１上部のガス吸気口１−２側を向くように
配置されている。

【００１６】ロータ２の上部側外周面とポンプケース１
の上部側内壁との間には、ブレード状のロータ翼４とス
テータ翼５とが、ロータ２の回転中心軸線に沿って交互
に複数配置されている。

【００１７】ロータ翼４は、ロータ２との一体加工によ
り該ロータ２の上部側外周面に一体に設けられ、かつ、
そのロータ２と一体的に回転することができる。一方、
ステータ翼５は、ポンプケース１の上部側内壁に位置す
るスペーサ６、６により上下段のロータ翼４、４間に位
置決め配置され、かつ、位置するスペーサ６、６を介し
てポンプケース１の内壁側に取り付け固定されている。

【００１８】ロータ２の下部側外周面と対向する位置に
はネジステータ７が配置されており、このネジステータ
７は、その全体形状がロータ２の下部側外周面を囲む筒
型の形状となるように形成され、かつ、ポンプケース１
のベースを構成するベース部材１−１に一体的に取り付
け固定されている。

【００１９】ネジステータ７にはネジ溝８が形成されて
おり、このネジ溝８はネジステータ７のロータ２対向面
側に設けられている。

【００２０】ロータ２の内側には、その回転中心軸線上
にロータシャフト１２が一体に取り付けられている。こ
のロータシャフト１２の軸受手段には、磁気軸受、空気
軸受等各種の軸受を用いることができる。図面では、ボ
ールベアリング１３によりロータシャフト１２を軸受け
支持する構成を示している。

【００２１】また、ロータシャフト１２は、駆動モータ
１４により回転駆動される。この駆動モータ１４は、ロ
ータ２の内側に設置されているステータコラム１６に取
り付けられたモータ固定子１４ａと、このモータ固定子
１４ａと対向配置され、ロータシャフト１２外周面に取
り付けられたモータ回転子１４ｂからなっている。

【００２２】上記ポンプケース１上部側のガス吸気口１
−２は、高真空となる真空チャンバ２０の排気口に接続
され、ポンプケース１下部側のガス排気口１−３は低圧
側に連通接続される。

【００２３】次に、この発明の特徴であるフランジ部の
ボルト穴について詳細に説明する。図２、図３および図
５は、この発明に係る真空ポンプのフランジ部１ａのそ
れぞれ別の実施形態を示す正面図である。

【００２４】図２のフランジ部１ａには、ガス吸気口１
−２の周囲に等間隔に８個のボルト穴３１、３２、‥‥
が配設されている。そして、フランジ部１ａの中心に関
して点対称に１対のボルト穴３１、３１はフランジ部締
結ボルト１５の胴径よりやや大きい径、他の６本のボル
ト穴３２、３２、‥‥は上記１対のボルト穴３１、３１
よりも更に大きい径となっている。

【００２５】これらのボルト穴３１、３２、‥‥に貫通
するフランジ部締結ボルト１５、１５、‥‥は、真空チ
ャンバ２０に設けられた８本のポンプ取付け用ネジ穴２
１、２１、‥‥にねじ込まれている。これらのポンプ取
付け用ネジ穴２１、２１、‥‥は、真空チャンバ２０の
排気口の周囲に、上記ボルト穴３１、３２、‥‥と同一
ピッチ円、等間隔に配設されている。

【００２６】すなわち、ボルト穴３１、３２、‥‥は、
ポンプ取付け用ネジ穴２１、２１、‥‥に対応させて同
一位相に配設されていて、真空チャンバ２０の排気口に
真空ポンプ１０のガス吸気口１−２を合わせて、真空ポ
ンプ１０を真空チャンバ２０に取り付けた状態におい
て、８本のボルト穴のうちの２本のボルト穴３１の内壁
面３ａとこのボルト穴３１を貫通するフランジ部締結ボ
ルト１５の外周面１５ａとの（ポンプ円周方向（矢印方
向）の）距離ｄ１が、他のボルト穴３２の内壁面３ａと
このボルト穴３２を貫通するフランジ部締結ボルト１５
の外周面との距離ｄ２と異ならせてある。

【００２７】このようにボルト穴径を意図的に不均一に
すると、高速回転しているロータ２が脆性破壊等を起し
て、真空ポンプ１０全体を回動させようとする強い破壊
トルクが発生し、この破壊トルクによりフランジ部１ａ
が真空チャンバ２０に対してすべって、ボルト穴３の内
壁面３ａがフランジ部締結ボルト１５の外周面１５ａに
当たるとき、複数のボルト穴の内壁面３ａとフランジ部
締結ボルトの外周面１５ａとが同時に当たることなく、
正常運転中にボルト穴内壁面とフランジ部締結ボルトの
外周面とが最も接近していた小径のボルト穴３１、３１
のボルト結合部分からボルト穴の内壁面３ａとボルトの
外周面１５ａとが当たってフランジ部締結ボルト１５を
破壊していき、破壊トルクを吸収して減衰させる。大径
のボルト穴３２、３２、‥のボルト結合部分では、この
ときは未だボルト穴の内壁面３ａとてフランジ部締結ボ
ルトの外周面１５ａとが当たらず、これらの大径のボル
ト穴３２に貫通したフランジ部締結ボルト１５は、損傷
することなく、しっかり真空チャンバ２０と真空ポンプ
１０を結合している。

【００２８】更に、残存する破壊トルクにより真空ポン
プ全体が回動して、大径のボルト穴３２、３２、‥のボ
ルト結合部分でも、ボルト穴の内壁面３ａとフランジ部
締結ボルトの外周面１５ａとが当たると、このフランジ
部締結ボルト１５も破壊トルクにより若干曲がるけれど
も、破壊トルクが既に減衰しているので、真空チャンバ
２０に破壊トルクが伝わって真空チャンバ２０を破損し
たり、８本全部のフランジ部締結ボルトを破断してしま
うこともなく、破壊トルクは消滅する。

【００２９】大小２種のボルト穴の配置は自由で、図２
の例に限るものではないが、図２のように、穴径が同一
のボルト穴をフランジ部１ａの中心に関して点対称に配
置すると、破壊トルク発生の際、締結ボルト外周面とボ
ルト穴内壁面との接触が、フランジ部１ａの中心にして
対称に起こり、回転中心が横ずれすることなくバランス
よく破壊トルクのエネルギーを吸収していく。

【００３０】次に、図３の例を説明する。図３のフラン
ジ部１ａには、ガス吸気口１−２の周囲に、図２と同
様、等間隔に８個のボルト穴３１、３２、‥‥、３３が
配設されている。そして、そのうちのひとつのボルト穴
３１は、図２の小径の方のボルト穴と同径、他のひとつ
のボルト穴３３は、図２の大きい径のボルト穴よりも更
に大きく、その他の６本のボルト穴３２、３２、‥‥の
径は、図２の大きい径と同径としてある。すなわち、図
３の例は、ボルト穴径が大、中、小の３種類としてあ
る。

【００３１】これらのボルト穴３１、３２、‥‥、３３
に貫通するフランジ部締結ボルト１５、１５、‥‥は、
図２の例と同様であり、また、ボルト穴３１、３２、‥
‥、３３は、ポンプ取付け用ネジ穴２１、２１、‥‥に
対応させて同一位相に配設されている。

【００３２】そして、真空チャンバ２０の排気口に真空
ポンプ１０のガス吸気口１−２を合わせて、真空ポンプ
１０を真空チャンバ２０に取り付けた状態での、小径の
１本のボルト穴３１の内壁面３ａとこのボルト穴３１を
貫通するフランジ部締結ボルト１５の外周面１５ａとの
距離を、図２同様、ｄ１とし、中径の６本のボルト穴３
２の内壁面３ａとこのボルト穴３２を貫通するフランジ
部締結ボルト１５の外周面１５ａとの距離をｄ２とし、
大径の１本のボルト穴３３の内壁面３ａとこのボルト穴
３１を貫通するフランジ部締結ボルト１５の外周面１５
ａとの距離をｄ３とすると、ｄ３＞ｄ２＞ｄ１となって
いる。

【００３３】なお、大中小３種のボルト穴の配置は自由
で、図３の例に限るものではなく、点対称に配置してバ
ランスを取るようにしてもよい。

【００３４】図４（ａ）〜（ｃ）は、このようにボルト
穴径を３種類とした場合に、破壊トルクが加わって真空
ポンプのフランジ部１ａと真空チャンバ２０とがずれ、
フランジ部締結ボルト１５に横方向の荷重が加わる状態
を順に示す。

【００３５】図４（ａ）は、正常運転中の状態で、大中
小それぞれのボルト穴３３、３２、３１の中央にフラン
ジ部締結ボルト１５が配置された状態で締結されてい
る。

【００３６】破壊トルクが加わると、真空ポンプ１０全
体が回動して、図４（ｂ）のように、真空ポンプのフラ
ンジ部１ａが真空チャンバ２０に対して矢印の向きにす
べり、先ず最小径のボルト穴３１の内壁面がフランジ部
締結ボルトの外周面に当たる（ｃ１）。この瞬間は、中
径のボルト穴３２と大径のボルト穴３３とは、その中の
フランジ部締結ボルト１５、１５と接触していない。

【００３７】破壊トルクにより、真空ポンプ１０全体が
更に回動すると、フランジ部１ａがｃ１面を押してその
フランジ部締結ボルト１５を変形させ、図４（ｃ）のよ
うに、中径のボルト穴３２の内壁面がフランジ部締結ボ
ルトの外周面に当たる（ｃ２）。この間、上記のボルト
の変形が破壊トルクのエネルギーを吸収して減衰させ
る。

【００３８】残った破壊トルクで真空ポンプ１０全体が
更に回動するときは、フランジ部１ａがｃ２面を押して
そのフランジ部締結ボルト１５を変形させ、大径のボル
ト穴３３の内壁面がフランジ部締結ボルトの外周面に当
たる。この間、ｃ１、ｃ２で接触したボルトは剪断、曲
がり、伸び等の変形を続け、この変形がさらに破壊トル
クのエネルギーを吸収して減衰させ、真空ポンプ１０全
体の回転は停止する。

【００３９】このように、複数のボルト穴の内壁面とボ
ルトの外周面とが同時に当たることなく、正常運転中に
ボルト穴内壁面とボルトの外周面とが最も接近していた
ボルト結合部分から、順次ボルト穴の内壁面とボルトの
外周面とが当たってボルトを破壊していき、破壊トルク
を吸収して減衰消滅させるから、真空チャンバ２０に破
壊トルクが伝わって、真空チャンバ２０を破損したり、
全部のフランジ部締結ボルト１５、１５、‥‥が切断さ
れるようなことはない。

【００４０】図５は、この発明に係る真空ポンプのフラ
ンジ部の更に他の実施形態を示す。図５のボルト穴３、
３、‥‥は、その径は互いに同一であるが、その位相、
すなわち、対応するポンプ取付け用ネジ穴２１（フラン
ジ部締結ボルト１５）に対して位相（ポンプの円周方向
角度）を適宜ずらしてある。この実施形態では、第１の
ボルト位置Ｐ１、Ｐ１、‥‥４か所では、ボルト穴３と
ボルト１５が同心になっていてボルト−ボルト穴間の
（円周方向）距離が中距離ｄ４、第２のボルト位置Ｐ
２、Ｐ２では、ボルト穴３がフランジ部締結ボルト１５
よりも矢印方向にやや位相が進んでいて、ボルト−ボル
ト穴間の距離が小距離ｄ５、第３のボルト位置Ｐ３、Ｐ
３では、ボルト穴３がボルト１５よりもやや位相が遅れ
ていて、ボルト−ボルト穴間の距離が大距離ｄ６となっ
ている。

【００４１】図５の場合も、また、ボルト穴３の位相ず
れの配置を、ポンプ中心に関して点対称にして、破壊ト
ルクが加わったときの回転中心の横ずれを防ぎ、バラン
スよく破壊トルクのエネルギーを吸収するようにしてあ
る。

【００４２】図５の実施形態では、ボルト穴３の径は１
種類であるから穴加工時の工具交換の手間がなく、加工
費用を抑えながら、等間隔配置のポンプ取付け用ネジ穴
２１を備えた真空チャンバに真空ポンプを取り付けでき
て、図２や図３の場合と同様の破壊トルク吸収、減衰作
用が得られる。

【００４３】次に、この発明における真空チャンバ２０
と真空ポンプ１０とを連結するフランジ部締結ボルトと
して伸びボルトを使用した場合について、図６および図
７を参照して説明する。

【００４４】図６に示した伸びボルトは、周知のよう
に、ボルト頭部１５ｂとネジ部１５ｃとの間の胴部がく
びれたくびれ径部１５ｄとなったボルトで、くびれ径部
１５ｄの径はネジ部１５ｃの谷径よりも細く形成され、
ボルトに異常荷重が加わったとき、くびれ径部１５ｄが
伸びて周辺の部品の損傷等を回避するのに用いられるも
のである。

【００４５】本発明に用いるフランジ部締結ボルト１５
にこの伸びボルトを使用すると、真空チャンバ２０への
破壊トルクの伝達阻止、ボルト１５の折損防止というこ
の発明の作用を一層確実にする。

【００４６】図７の伸びボルト使用例で、この破壊トル
クの伝達阻止、ボルトの折損防止の作用を説明する。真
空チャンバ２０側のポンプ取付け用ネジ穴２１にねじ込
まれた伸びボルト１５のくびれ径部１５ｄの先端部分が
チャンバ２０側にネジ山１〜２山分入り込んで、真空チ
ャンバ２０側に入り込んでいるようにセットしてある。
くびれ径部１５ｄとポンプ取付け用ネジ穴２１のネジ部
との間には空間がある。この状態で、破壊トルクがフラ
ンジ部１ａに加わると、図４の場合と同様に、伸びボル
ト１５に剪断力、曲げ力、張力が加わるが、これにより
伸びボルト１５は、そのくびれ径部１５ｄが空間のある
ボルト挿通孔３内で伸びかつ曲がり、場合によってはく
びれ径部１５ｄで剪断して、ポンプ取付け用ネジ穴２１
のネジ部等ボルトやその周辺の部分は変形を免れる。破
壊トルクのエネルギーは伸びボルトのくびれ径部１５ｄ
の変形により吸収される。

【００４７】よって、伸びボルトのネジ部１５ｃも真空
チャンバ２０のポンプ取付け用ネジ穴２１も全く変形す
ることがなく、このネジ穴２１から変形した伸びボルト
１５を容易に外すことができる。

【００４８】

【発明の効果】この発明に係る真空ポンプにあっては、
上述のように、真空チャンバ側に設けられた複数のポン
プ取付け用ネジ穴にフランジ部締結ボルトをねじ込むこ
とにより、真空チャンバの排気口に取り付けられるフラ
ンジ部と、該フランジ部の上記複数のポンプ取付け用ネ
ジ穴に対応させて配設され、フランジ部締結ボルトを貫
通するための複数のボルト穴とを有し、ポンプを真空チ
ャンバに取り付けた状態で、上記複数のボルト穴のうち
の少なくともひとつのボルト穴の内壁面と該ボルト穴を
貫通するフランジ部締結ボルトの外周面とのポンプ円周
方向の距離が、他のボルト穴の内壁面と該ボルト穴を貫
通するフランジ部締結ボルトの外周面とのポンプ円周方
向の距離と異ならせてあるようにしたから、高速回転し
ているロータが脆性破壊等を起して、真空ポンプ全体を
回動させようとする強い回転トルク、すなわち、破壊ト
ルクが発生し、この破壊トルクにより真空ポンプのフラ
ンジ部が真空チャンバに対してすべって、ボルト穴の内
壁面がフランジ部締結ボルトの外周面に当たるとき、複
数のボルト穴の内壁面とボルトの外周面とが同時に当た
ることなく、正常運転中にボルト穴内壁面とボルトの外
周面とが最も接近していたボルト結合部分から、順次ボ
ルト穴の内壁面とボルトの外周面とが当たってボルトを
破壊していき、破壊トルクを吸収して減衰させ、真空チ
ャンバに破壊トルクが伝わるのを防止するとともに、全
部のフランジ部締結ボルトの破断を防止する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る真空ポンプの一実施形態を示す
縦断面図。

【図２】この発明に係る真空ポンプのフランジ部の一実
施形態を示す正面図。

【図３】この発明に係る真空ポンプのフランジ部の他の
実施形態を示す正面図。

【図４】図３のフランジ部の縦断面図で、（ａ）、
（ｂ）および（ｃ）は、破壊トルクが加わった場合の真
空ポンプのフランジ部と真空チャンバとがずれる状態を
順に示す。

【図５】この発明に係る真空ポンプのフランジ部の他の
実施形態を示す正面図。

【図６】図１の真空ポンプの真空チャンバへの取り付け
に使用する伸びボルトを示す正面図。

【図７】図１の真空チャンバと真空ポンプとの取り付け
に伸びボルトを使用した要部を示す断面図。

【符号の説明】

１ ポンプケース １ａ フランジ部 １−１ ベース部材 １−２ ガス吸気口 １−３ ガス排気口 ２ ロータ ３ ボルト穴 ３ａ 内壁面 ４ ロータ翼 ５ ステータ翼 ６ スペーサ ７ ネジステータ ８ ネジ溝 １０ 真空ポンプ １２ ロータシャフト １３ ボールベアリング １４ 駆動モータ １５ フランジ部締結ボルト １５ａ 外周面 １５ｂ ボルト頭部 １５ｃ ネジ部 １５ｄ くびれ径部 １６ ステータコラム ２０ 真空チャンバ ２１ ポンプ取付け用ネジ穴 ３１ ボルト穴（小） ３２ ボルト穴（中） ３３ ボルト穴（大）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前島 靖 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 川西 伸治 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 坂口 祐幸 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 奥寺 智 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Ｆターム(参考） 3H031 DA02 EA06 EA09 EA14 FA40

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空チャンバ側に設けられた複数のポン
   プ取付け用ネジ穴にフランジ部締結ボルトをねじ込むこ
   とにより、真空チャンバの排気口に取り付けられるフラ
   ンジ部と、 上記複数のポンプ取付け用ネジ穴に対応させて上記フラ
   ンジ部に配設され、フランジ部締結ボルトを貫通するた
   めの複数のボルト穴とを有し、 ポンプを真空チャンバに取り付けた状態で、上記複数の
   ボルト穴のうちの少なくともひとつのボルト穴の内壁面
   と該ボルト穴を貫通するフランジ部締結ボルトの外周面
   とのポンプ円周方向の距離が、他のボルト穴の内壁面と
   該ボルト穴を貫通するフランジ部締結ボルトの外周面と
   のポンプ円周方向の距離と異ならせてあることを特徴と
   する真空ポンプ。
2. 【請求項２】 真空チャンバ側に設けられた複数のポン
   プ取付け用ネジ穴にフランジ部締結ボルトをねじ込むこ
   とにより、真空チャンバの排気口に取り付けられるフラ
   ンジ部と、 上記複数のポンプ取付け用ネジ穴に対応させて上記フラ
   ンジ部に配設され、フランジ部締結ボルトを貫通するた
   めの複数のボルト穴とを有し、 上記複数のボルト穴のうちの少なくともひとつのボルト
   穴の径が他のボルト穴の径と異なっていることを特徴と
   する真空ポンプ。
3. 【請求項３】 真空チャンバ側に設けられた複数のポン
   プ取付け用ネジ穴にフランジ部締結ボルトをねじ込むこ
   とにより、真空チャンバの排気口に取り付けられるフラ
   ンジ部と、 上記複数のポンプ取付け用ネジ穴に対応させて、かつ、
   該ネジ穴に対して位相をずらして上記フランジ部に配設
   され、フランジ部締結ボルトを貫通するための複数のボ
   ルト穴とを有することを特徴とする真空ポンプ。
4. 【請求項４】 排気口の周囲に複数のポンプ取付け用ネ
   ジ穴が設けられた真空チャンバと、 この真空チャンバの排気口に取り付けられるフランジ部
   に、上記複数のポンプ取付け用ネジ穴に対応させて配設
   された複数のボルト穴が設けられた真空ポンプと、 上記ボルト穴を貫通して上記ネジ穴にねじ込むことによ
   り、真空ポンプを真空チャンバに取り付ける伸びボルト
   とを有し、 真空ポンプを真空チャンバに取り付けた状態で、上記複
   数のボルト穴のうちの少なくともひとつのボルト穴の内
   壁面と該ボルト穴を貫通する伸びボルトの外周面とのポ
   ンプ円周方向の距離が、他のボルト穴の内壁面と該ボル
   ト穴を貫通する伸びボルトの外周面とのポンプ円周方向
   の距離と異ならせてあり、 伸びボルトのくびれ径部の先端部分が真空チャンバ側に
   入り込んでいることを特徴とする真空チャンバと真空ポ
   ンプとの取り付け構造。