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Die
vorliegende Erfindung betrifft Vakuumpumpen für den Gebrauch bei einem Halbleiter-Herstellungs-Apparat
und dergleichen, und betrifft insbesondere eine Vakuumpumpe, die
zum Absorbieren und Reduzieren des Beschädigungsdrehmoments geeignet
ist, wenn in der Pumpe ein abnormales Drehmoment erzeugt wird.
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In
dem Verfahren in einer Hochvakuum-Verfahrenskammer, wie dem Verfahren
des Trockenätzens
und dergleichen in einem Halbleiter-Herstellungsvorgang, ist eine
in 4 gezeigte Vakuumpumpe bekannt und wird dazu benutzt,
um Gas in der Verfahrenskammer abzusaugen, um ein Hochvakuum zu
erzeugen.
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Die
Vakuumpumpe von 4 hat einen Rotor 2,
der drehbar innerhalb einer äußeren Ummantelung 1 angeordnet
ist, das ein zylindrisches Basisglied 3 und ein zylindrisches
Pumpengehäuse 4 verbindet,
wobei ein Blätteraufbau
von Mehrstufen-Rotorblättern 9 am
oberen äußeren Umfang
des Rotors 2 und Mehrstufen-Statorblättern 10, die abwechselnd mit
den Rotorblättern 9 angeordnet
sind, gebildet ist und durch die Rotation des Rotors 2 als
eine Turbomolekularpumpe wirkt, und ein Abstands-Aufbau, der von
dem unteren äußeren Umfang
des Rotors 2 und einer Gewindenut 12 gebildet
ist, die in dem inneren Umfangsabschnitt des diesem gegenüberliegenden
Basisgliedes 3 ausgebildet ist, wirkt durch die Rotation
des Rotors 2 als Gewindenut-Pumpe.
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Bei
einer solchen Vakuumpumpe nach dem Stand der Technik kann jedoch
der Rotor 2 abhängig von
den Benutzungsbedingungen zerbrechen, wobei die Lage der Belastungskonzentration
des Rotors 2 den Startpunkt bildet. Wenn ein solcher Bruch
bei Rotation mit hoher Drehzahl erfolgt, geht die Rotationsbalance
des gesamten Rotationskörpers,
der von den Rotorblättern 9 und
dem Rotor 2 gebildet wird, sofort verloren. Dementsprechend
können
die Rotorblätter 9 mit
dem inneren Umfang des Pumpengehäuses 4 in
Kontakt gebracht werden, oder der untere Umfang des Rotors 2 kann
mit dem inneren Umfangsabschnitt des Basisgliedes 3 kollidieren,
und so ein Beschädigungsdrehmoment
hervorrufen, das eine Umfangstorsions-Rotation auf die gesamte äußere Ummantelung 1 ausübt, das
aus dem Pumpengehäuse 4 und
dem Basisglied 3 zusammengesetzt ist, was wiederum eine
Verfahrenskammer 14 oder Befestigungsbolzen, die das Pumpengehäuse 4 an der
Verfahrenskammer 14 befestigen, zerbrechen kann.
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Die
am 20. Dezember 1998 veröffentlichte europäische Patentanmeldung
EP 0 887 556 beschreibt
eine Turbomolekularpumpe, die ein Pumpengehäuse aufweist, sowie einen an
dem Gehäuse angebrachten
Stator und einen Rotor, der an einer Basis angebracht ist, die wiederum
an dem Gehäuse gesichert
ist. Eine mit Kerben und Bruchstellen versehene Nut-Sektion ist
an einer Grenze zwischen einem Nutpumpensektions-Abstandshalter
und einer Flansch-Sektion vorgesehen. Diese Nut-Sektion dient dazu,
die Belastung zu mindern, die beim Brechen aufgrund einer abnormalen
Rotation des Rotors verursacht wird. Ein abnormales Drehmoment,
das einen Schwellenwert überschreitet,
wird auf den Nutpumpensektions-Abstandshalter ausgeübt, was
zur Trennung der Hauptsektion des Nutpumpensektions-Abstandshalters
von der Flansch-Sektion führt. Unter
diesen Bedingungen dreht sich der Nutpumpensektions-Abstandshalter
mit dem Rotor entlang einer Niedrigreibungs-Hülse,
um allmählich
seine Rotationsenergie zu dissipieren.
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In
der am 8. August 2000 veröffentlichten
japanischen Patentanmeldung 2000-220596
befasst sich eine Turbomolekularpumpe mit dem möglichen Brechen ihres Rotors
dadurch, dass sie dafür
sorgt, dass ein unterer Teil des Rotors mit dem Stator kollidiert,
so dass er rutschend gedreht wird. Dies dissipiert die Rotationsenergie
des Rotors.
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Die
vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die vorstehenden Probleme
zu lösen.
Dementsprechend ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
eine Vakuumpumpe bereitzustellen, die in der Lage ist, ein Beschädigungsdrehmoment
zu absorbieren und zu reduzieren, wenn ein Beschädigungsdrehmoment in der Pumpe
aufgrund des Auftretens irgendeines abnormalen Zustands in der Pumpe
erzeugt wird.
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Um
die vorstehende Aufgabe zu erfüllen, wird,
gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung, eine Vakuumpumpe vorgesehen,
welche umfasst: einen drehbaren Rotor; ein zylindrisches Basisglied,
das den unteren äußeren Umfang
des Rotors umgibt; ein zylindrisches Pumpengehäuse, das den oberen äußeren Umfang
des Rotors umgibt und mit dem Basisglied verbunden ist; Mehrstufen-Rotorblätter, die
an dem oberen äußeren Umfang des
Rotors angeordnet sind; Mehrstufen-Statorblätter, die abwechselnd mit den
Rotorblättern
auf dem inneren Umfang des Pumpengehäuses angeordnet sind; eine
Gewindenut, die auf dem inneren Umfangsabschnitt des Basisgliedes
ausgebildet ist; dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den inneren und äußeren Umfangsabschnitten
des Basisgliedes ein Nutabstand ausgebildet ist, und ein dickerer
Teil des Basisgliedes, der weiter innen als der Nutabstand in dem
Pumpengehäuse
angeordnet ist, mit einer Festigkeit eingestellt ist, dass er von
der Wucht, wenn der sich mit hoher Drehzahl drehende Rotor mit dem
inneren Umfangsabschnitt des Basisgliedes kollidiert, plastisch
deformiert wird.
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Auf
diese Weise wird, wenn der Rotor gebrochen ist und so während des
Betriebs der Vakuumpumpe eine Kollision eines Teils des Rotors mit
dem inneren Umfangsabschnitt des Basisgliedes verursacht, die Drehkollisionsenergie
des Rotors effizient von der plastischen Deformation absorbiert.
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Gemäß der Erfindung
kann der Nutabstand in Gestalt eines Rings um den Umfang des Basisgliedes
ausgebildet sein.
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Gemäß der Erfindung
kann der Nutabstand mit dem Abstand zwischen den Rotorblättern und den
Statorblättern
in Verbindung stehen. Mit einer solchen Anordnung werden der Nutabstand
und die Gewindenut miteinander durch den Abstand verbunden, um den
Differenzdruck zwischen dem Umfang und der Gewindenut, das heißt, dem
Schraubpumpen-Betriebsteil und dem Nutabstand, zu vermindern. Dementsprechend
kann die Gewindenut einfach plastisch deformiert werden, und kann
die Gewindenut auch ausreichend dünn gemacht werden, so dass
sie plastisch deformiert werden kann.
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Gemäß einem
zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Vakuumpumpe
vorgesehen, welche beinhaltet: einen drehbaren Rotor; ein zylindrisches
Basisglied, das den unteren äußeren Umfang des
Rotors umgibt; ein zylindrisches Pumpengehäuse, das den oberen äußeren Umfang
des Rotors umgibt und mit dem Basisglied verbunden ist; Mehrstufen-Rotorblätter, die
an dem oberen äußeren Umfang des
Rotors angeordnet sind; Mehrstufen-Statorblätter, die abwechselnd mit den
Rotorblättern
auf dem inneren Umfang des Pumpengehäuses angeordnet sind; und eine
Gewindenut, die auf dem inneren Umfangsabschnitt des Basisgliedes
ausgebildet ist; dadurch gekennzeichnet, dass auf dem äußeren Umfangsabschnitt
des Basisgliedes eine Aussparung ausgebildet ist, und ein dickerer
Teil des Basisgliedes, der weiter innen als die Aussparung in dem Pumpengehäuse angeordnet
ist, mit einer Festigkeit eingestellt ist, dass er von der Wucht,
wenn der sich mit hoher Drehzahl drehende Rotor mit dem inneren Umfangsabschnitt
des Basisgliedes kollidiert, plastisch deformiert wird.
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Wieder
wird, wenn der Rotor gebrochen ist und somit eine Kollision eines
Teils des Rotors mit dem inneren Umfangsabschnitt des Basisgliedes während des
Betriebs der Vakuumpumpe verursacht, die Drehkollisionsenergie des
Rotors effizient von der plastischen Deformation absorbiert.
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Gemäß der Erfindung
kann die Aussparung in Gestalt eines Rings um den Umfang des Basisgliedes
ausgebildet sein.
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Gemäß der Erfindung
kann die Aussparung einen Aufbau annehmen, der einen Vorsprung auf dessen
innerer Bodenoberfläche
hat. In diesem Fall ragt der Vorsprung von der inneren Bodenoberfläche der
Aussparung in Richtung auf den inneren Umfang des diesem gegenüberliegenden
Pumpengehäuses heraus
und er wird, wenn der dickere Teil des Basisgliedes, der weiter
innen als die Aussparung angeordnet ist, plastisch niedergedrückt wird,
von dem dickeren Teil des Basisgliedes und dem inneren Umfang des
Pumpengehäuses
sandwichartig aufgenommen und zerquetscht.
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Gemäß den ersten
und zweiten Aspekten der Erfindung kann ein Aufbau, in dem der untere
Abschnitt des äußeren Umfangs
des Basisgliedes dicker ist als der mit dem Pumpengehäuse verbundene Abschnitt
des Basisgliedes, angenommen werden.
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Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung werden nun lediglich beispielhaft und
mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben, in denen:
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1 eine
Querschnittsansicht einer Ausführungsform
einer Vakuumpumpe gemäß der vorliegenden
Erfindung ist;
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2 eine
Querschnittsansicht einer weiteren Ausführungsform einer Vakuumpumpe
entsprechend der vorliegenden Erfindung ist;
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3 eine
Querschnittsansicht einer noch weiteren Ausführungsform einer Vakuumpumpe
gemäß der vorliegenden
Erfindung ist; und
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4 eine
Querschnittsansicht einer Vakuumpumpe nach dem Stand der Technik
ist.
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Mit
Bezug auf 1 werden den Ausführungsformen
einer Vakuumpumpe gemäß der vorliegenden
Erfindung genau beschrieben werden.
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1 zeigt
eine Vakuumpumpe, die aus einer Turbomolekularpumpe und einer Gewindeschraubenpumpe
zusammengesetzt ist und einen Aufbau aufweist, in dem ein Rotor 2 drehbar
in einem äußeren Ummantelung 1 angeordnet
ist.
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Die äußere Ummantelung 1 weist
einen zylindrischen Aufbau auf, in dem ein zylindrisches Basisglied 3 und
ein zylindrisches Pumpengehäuse 4 mit
Bolzen in der axialen Richtung des Zylinderschafts, in dem der Rotor 2 enthalten
ist, integriert sind.
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Mit
dem Rotor 2, der in der äußeren Ummantelung 1 enthalten
ist, ist der untere äußere Umfang des
Rotors 2 von dem zylindrischen Basisglied 3, das im
wesentlichen die obere Hälfte
der äußeren Ummantelung 1 bildet,
umgeben, und er liegt dem inneren Umfang des Basisgliedes 3 durch
einen gewissen engen Abstand gegenüber. Andererseits wird der obere äußere Umfang
des Rotors 2 von dem zylindrischen Pumpengehäuse 4 umgeben,
das im Wesentlichen die untere Hälfte
der äußeren Ummantelung 1 bildet.
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In
dieser Ausführungsform
ist der Rotor 2 auch in Form eines Zylinders gestaltet,
enthält
der Rotor 2 eine Stator-Säule 5, und ist eine
Rotorwelle 7 drehbar im Zentrum der Stator-Säule 5 angeordnet. Die
Rotorwelle 7 wird in der radialen Richtung und der axialen
Richtung von einem magnetischen Lager gestützt, das einen radialen Elektromagneten 6-1 und
einen in der Stator-Säule 5 vorgesehenen
axialen Elektromagneten 6-2 hat. Der obere Abschnitt der Rotorwelle 7 ragt
von dem oberen Ende der Stator-Säule 5 hervor,
mit der der Rotor 2 verbunden und verankert ist. Dementsprechend
ist in dieser Ausführungsform
der Rotor 2 mit der Rotorwelle 7 derart integriert,
dass er um die Rotorwelle gedreht wird.
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Die
Stator-Säule 5 enthält einen
Antriebsmotor 8. Der Antriebsmotor 8 ist aus einem
Stator-Element 8a, das innerhalb der Stator-Säule 5 vorgesehen
ist, und einem Rotor-Element 8a gebildet, das an der Rotorwelle 7 vorgesehen
ist, wodurch die Rotorwelle 7 um die Welle gedreht wird.
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Eine
Mehrzahl von Rotorblättern 9 ist
in mehrfachen Stufen an dem oberen äußeren Umfang des Rotors 2 verankert,
und eine Mehrzahl von Statorblättern 10 ist
abwechselnd mit den Rotorblättern 9 auf
dem inneren Umfang des Pumpengehäuses 4 angeordnet.
Der Blätter-Aufbau,
der sich aus den Rotorblättern 9 und
den Statorblättern 10 zusammensetzt,
dient durch die Rotation des Rotors 2 als Turbomolekularpumpe.
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Verschiedene
Arten des Aufbaus sind vorgesehen, um die Statorblätter 10 an
dem inneren Umfang des Pumpengehäuses 4 anzubringen.
In dieser Ausführungsform
wird ein Aufbau angenommen, in dem eine Mehrzahl von ringförmigen Abstandshaltern 11 um
den inneren Umfang des Pumpengehäuses 4 in
mehrfachen Stufen geschichtet ist, und ein Ende eines jeden Abstandshalters 11 wird
von den oberen und unteren Abstandshaltern 11 sandwichartig
aufgenommen.
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Das
Basisglied 3 hat eine Gewindenut 12 auf dessen
innerem Umfangsabschnitt. Ein Abstands-Aufbau, der von der Gewindenut 12 und
dem dieser gegenüberliegenden
unteren äußeren Umfang
des Rotors 2 gebildet ist, wirkt durch die Rotation des
Rotors 2 als eine Gewindenut-Pumpe.
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Das
Basisglied 3 hat auch einen nutförmigen Abstand 13 (im
Folgenden als Nutabstand bezeichnet) zwischen dessen inneren und äußeren Umfängen. In
dieser Ausführungsform
hat der Nutabstand 13 eine konstante Tiefe von dem oberen
Ende des Basisgliedes 3 in Richtung auf den Boden zu, und
ist in der Form eines Ringes um den Umfang des Basisgliedes 3 gestaltet.
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Dementsprechend
hat in dieser Ausführungsform
ein Teil des Basisgliedes 3 einen doppelten Zylinder-Aufbau,
der einen inneren Zylinder 3-2 und einen äußeren Zylinder 3-1 aufweist,
während
er den Nutabstand 13 sandwichartig aufnimmt. Insbesondere
ist der innere Zylinder 3-2 des Basisgliedes 3,
das heißt,
ein dickerer Teil des Basisgliedes 3, der weiter innen
als der Nutabstand 13 angeordnet ist, mit einer Festigkeit
eingestellt, dass er dann, wenn der sich mit hoher Drehzahl drehende
Rotor 2 mit dessen innerem Umfangsabschnitt kollidiert,
von der Wucht plastisch niedergedrückt wird.
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In
der Vakuumpumpe gemäß der vorliegenden
Ausführungsform
hat das Pumpengehäuse 4 einen
Flansch 4-1 um den oberen Rand. Der Flansch 4-1 wird
mit dem Rand der unteren Öffnung
der Verfahrenskammer 14 in Kontakt gebracht, und die Bolzen 15,
die durch den Flansch 4-1 verlaufen, sind an der Verfahrenskammer 14 festgeschraubt
und mit dieser verankert, und dadurch wird die gesamte Vakuumpumpe
mit der Verfahrenskammer 14 verbunden und verankert.
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Das
obere Ende des Pumpengehäuses 4, das
die äußere Ummantelung 1 bildet, öffnet sich
als Gas-Ansaugöffnung 16,
und eine Seite des unteren Teils des Basisgliedes 3, das
die äußere Ummantelung 1 bildet,
hat ein Ausstoßrohr,
das als Gas-Ausstoßöffnung 17 dient.
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Der
Betrieb der Vakuumpumpe, die in 1 gezeigt
ist, wird nun beschrieben werden. In der Vakuumpumpe von 1 werden,
wenn die Verfahrenskammer 14 durch Aktivieren einer mit
der Gas-Ausstoßöffnung 17 verbundenen
Hilfspumpe (nicht gezeigt) zu einem gewissen Grad evakuiert ist,
und der Antriebsmotor 8 dann aktiviert wird, die Rotorwelle 7, der
Rotor 2, der mit der Rotorwelle verbunden ist, und die
Rotorblätter
mit hoher Drehzahl gedreht.
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Das
sich mit hoher Drehzahl drehende, an der höchsten Stufe befindliche Rotorblatt 9 überträgt auf Gasmolekülen, die
durch die Gas-Ansaugöffnung 16 eingetreten
sind, einen Abwärts-Impuls
und die Gasmoleküle
mit dem Abwärts-Impuls
werden vom Statorblatt 10 an das Rotorblatt 9 der
nächsten
Stufe geschickt. Die Übertragung
des Impulses auf die Gasmoleküle
und der Schickvorgang werden auf vielfachen Stufen wiederholt, und
so werden die Gasmoleküle
nahe der Gas-Ansaugöffnung 16 nacheinander
in Richtung der Gewindenut 12 auf dem inneren Umfang des
Basisgliedes 3 bewegt und ausgestoßen. Der Vorgang des Ausstoßens der
Gasmoleküle
wird somit durch das Zusammenwirken der Rotorblätter 9 und der Statorblätter 10 durchgeführt.
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Die
Gasmoleküle,
die die Gewindenut 12 durch den Vorgang des Ausstoßens der
Gasmoleküle
erreicht haben, werden in Richtung der Gas-Ausstoßöffnung 17 bewegt,
während
sie durch das Zusammenwirken des Rotors 2 und der Gewindenut 12 von
einem mittleren Fluss zu einem dickflüssigen Fluss zusammengepresst
werden, und sie werden von der Gas-Austoßöffnung 17 durch die
Hilfspumpe (nicht gezeigt) nach draußen ausgestoßen.
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Während des
Betriebs der Vakuumpumpe wird, wenn der Rotor 2 gebrochen
ist und ein Teil des Rotors 2 mit dem inneren Umfangsabschnitt
des Basisgliedes 3 kollidiert, der dickere Teil des Basisgliedes 3,
der weiter innen als der Nutabstand 13 angeordnet ist,
das heißt,
der innere Zylinder 3-2 des Basisgliedes 3, von
der Wucht in Richtung des Nutabstandes 13 plastisch niedergedrückt, wobei
er die Drehkollisionsenergie des Rotors 2 absorbiert.
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Da
die Drehkollisionsenergie des Rotors 2 sich im Basisglied 3 abschwächt, wird
bei der in 1 gezeigten Vakuumpumpe die
Drehkollisionsenergie des Rotors 2 gemindert, die auf die
gesamte vom Basisglied 3 und dem Pumpengehäuse 4 gebildete
Ummantelung 1 übertragen
wird, und dementsprechend wird das Beschädigungsdrehmoment, das eine
Umfangstorsionsdrehung auf die äußere Ummantelung
ausübt,
reduziert, ohne dass das Beschädigungsdrehmoment
reduzierende Komponenten, wie etwa ein Sperrring, hinzugefügt werden müssten. Dementsprechend
gibt es keine Probleme wegen des Beschädigungsdrehmoments, wie den Bruch
der Verfahrenskammer 14 und den Bruch der Bolzen 15,
die das Pumpengehäuse 4 an
der Verfahrenskammer 14 befestigen.
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Während die
vorstehend beschriebene Ausführungsform
eine Doppelzylinder-Struktur
annimmt, in der das Basisglied 3 den ringförmigen Nutabstand 13 hat,
um die Drehkollisionsenergie des Rotors 2 zu absorbieren,
kann das Basisglied 3 einen Vielfachzylinderaufbau, der
doppelt so viele oder mehrere Zylinder aufweist, einsetzen, indem
ein weiterer, diesem ähnlicher
Nutabstand zu dem Basisglied 3 hinzugefügt wird.
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In
der Ausführungsform
ist der Nutabstand 13 des Basisgliedes 3 in Gestalt
eines Rings um den Umfang des Basisgliedes ausgebildet, so dass
auch dann, wenn der Rotor 2, der sich mit hoher Drehzahl dreht,
mit irgendeinem Abschnitt des inneren Umfangsabschnitts des Basisgliedes 3 kollidiert,
die Drehkollisionsenergie des Rotors 2 effizient absorbiert
werden kann. Jedoch kann ein Nutabstand, der eine andere Gestalt
hat, eingesetzt werden. Welche Gestalt diesem Typ des Nutabstandes 13 gegeben wird,
wird im Hinblick auf die Leichtigkeit der Absorption der Drehkollisionsenergie
des Rotors 2 im Basisglied 3 geeignet entschieden.
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Die
Ausführungsform
nimmt einen Aufbau an, in dem das Basisglied 3 den Nutabstand 13 zwischen
dessen inneren und äußeren Umfängen als Mittel
zur Reduktion des Beschädigungsdrehmoments
hat. Jedoch kann eine in 2 gezeigte Aussparung 18 auf
dem äußeren Umfangsabschnitt
des Basisgliedes 3 an Stelle des Nutabstands 13 oder
alternativ zusammen mit dem Nutabstand 13, vorgesehen werden.
In diesem Fall kann die Aussparung 18 in Form eines Rings
um den Umfang des Basisgliedes 3 gestaltet sein, und der
dickere Teil des Basisgliedes 3, der weiter innen als die
Aussparung 18 angeordnet ist, wird mit einer Festigkeit
eingestellt, dass er von der Wucht plastisch deformiert wird, wenn
der sich mit hoher Drehzahl drehende Rotor 2 mit dem inneren
Umfangsabschnitt des Basisgliedes kollidiert.
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Mit
einem solchen Aufbau, der die Aussparung 18 einsetzt, wird
der dickere Teil des Basisgliedes 3, der weiter innen als
die Aussparung 18 angeordnet ist, dann, wenn ein Teil des
Rotors 2 mit dem inneren Umfang des Basisgliedes 3 kollidiert,
von der Wucht, die Drehkollisionsenergie des Rotors 2 zu
absorbieren, plastisch niedergedrückt und bietet somit einen
Vorteil ähnlich
dem der vorstehenden Ausführungsform,
das heißt,
den Vorteil, das Beschädigungsdrehmoment
zu reduzieren.
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Auch
können
innerhalb der Aussparung 18 Vorsprünge 19 vorgesehen
sein, wie in 3 gezeigt. In diesem Fall ragen
die Vorsprünge 19 von
der inneren Bodenoberfläche 18a der
Aussparung 18 in Richtung des inneren Umfangs des diesem
gegenüberliegenden
Pumpengehäuses 4 hervor.
Wenn der dickere Teil des Basisgliedes 3, der weiter innen
als die Aussparung 18 angeordnet ist, plastisch niedergedrückt wird,
werden die Vorsprünge 19 von
dem dickeren Teil des Basisgliedes 3 und dem inneren Umfang
des Pumpengehäuses
sandwichartig aufgenommen und zerquetscht.
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Mit
dem vorstehenden Aufbau, der die Aussparung 18 mit den
Vorsprüngen 19 einsetzt,
kann die Drehkollisionsenergie des Rotors 2 absorbiert werden
wegen der plastischen Niederdrückung
des dickeren Teils des Basisgliedes 3, das weiter innen als
die Aussparung 18 angeordnet ist, und auch wegen der Niederdrückung der
Vorsprünge 19,
und so kann das Beschädigungsdrehmoment
effizienter reduziert werden.
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In
beiden Ausführungsformen
ist das Basisglied auf dem äußeren unteren
Umfangsabschnitt dicker als der mit dem Pumpengehäuse 4 verbundene Abschnitt
des Basisgliedes. Mit einer solchen Anordnung werden das Pumpengehäuse 4 und
das Basisglied 3 nicht getrennt, wenn Beschädigungsdrehmoment
erzeugt wird.
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Der
Nutabstand 13, die Aussparung 18, und die Aussparung 18 mit
den Vorsprüngen 19 des
Basisgliedes 3 sind in dem dickeren Teil des äußeren Umfangs
der Gewindenut 12 des Basisgliedes 3 vorgesehen.
Auch wenn der Rotor 2 gebrochen ist, um den Umfang der
Gewindenut 12 aufgrund der plastischen Deformierung zu
brechen, unterbrechen bei einer solchen Anordnung der Nutabstand 13,
die Aussparung 18 und die Aussparung 18 mit den
Vorsprüngen 19 das
Fortschreiten der plastischen Deformation und verhindern so den
Bruch des Pumpengehäuses 4 und
des äußeren Umfangsabschnitts
des Basisgliedes 3.
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Wenn
der Nutabstand 13 mit dem Abstand (dem Betriebsteil der
Turbomolekularpumpe) verbunden ist, der zwischen den Rotorblättern 9 und
den Statorblättern 10 ausgebildet
ist, wie in 1 gezeigt, sind der Nutabstand 13 und
die Gewindenut 12 durch den Abstand miteinander verbunden
und in Verbindung gesetzt, um den Differenzdruck zwischen dem Umfang
der Gewindenut 12, das heißt einem Gewindenut-Pumpenbetriebsteil,
und dem Nutabstand 13 zu vermindern. Dementsprechend kann
die Gewindenut 12 leicht plastisch deformiert werden, und
die Gewindenut 12 kann auch derart ausreichend dünn gemacht
werden, dass sie plastisch deformiert werden kann.
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Die
Vakuumpumpe gemäß der Erfindung nimmt
einen Aufbau an, in dem ein Nutabstand zwischen den inneren und äußeren Umfängen des
Basisgliedes ausgebildet ist, oder alternativ einen Aufbau, in dem
eine Aussparung auf dem äußeren Umfangsabschnitt
des Basisgliedes ausgebildet ist. Dementsprechend wird während des
Betriebs der Vakuumpumpe, wenn der Rotor gebrochen ist und ein Teil
des Rotors mit dem inneren Umfangsabschnitt des Basisgliedes kollidiert,
ein dickerer Teil des Basisgliedes, der weiter innen als der Nutabstand
in dem Pumpengehäuse
angeordnet ist, in Richtung des Nutabstands von der Wucht plastisch niedergedrückt und
absorbiert so die Drehkollisionsenergie des Rotors. Alternativ wird
ein dickerer Teil des Basisgliedes, der weiter innen als die Aussparung
angeordnet ist, plastisch niedergedrückt, um die Drehkollisionsenergie
des Rotors zu absorbieren. Folglich bieten sich die Vorteile, dass
die Drehkollisionsenergie des Rotors, die auf die ganze äußere aus dem
Basisglied und dem Pumpengehäuse
gebildete Ummantelung übertragen
wird, gemindert wird, um das Beschädigungsdrehmoment zu reduzieren,
das eine Umfangstorsionsdrehung auf die gesamte Ummantelung ausübt.