JP2003148387A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims description 3
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 破壊したロータの飛び上り現象と、これによ
るロータと剛性リングまたは緩衝材との位置関係のずれ
を防止し、破壊トルクを確実に低減できる真空ポンプを
提供する。 【解決手段】 ネジステータ７の上部側７ａの強度をそ
の下部側７ｂの強度に比し高めるネジステータ強化手段
として、ネジステータ７の外側に、このネジステータ７
全体を囲む形状の剛性リング１０を設置するとともに、
この剛性リング１０の変形抵抗がネジステータ７の上部
側７ａで大きく、その下部側７ｂで小さくなるように設
ける。具体的には、剛性リング１０の内側に階段状に段
差１０−１、１０−１を設けることにより、該剛性リン
グ１０の肉厚がネジステータ７の上部側７ａで厚く、そ
の下部側７ｂで薄くなるように形成する。
るロータと剛性リングまたは緩衝材との位置関係のずれ
を防止し、破壊トルクを確実に低減できる真空ポンプを
提供する。 【解決手段】 ネジステータ７の上部側７ａの強度をそ
の下部側７ｂの強度に比し高めるネジステータ強化手段
として、ネジステータ７の外側に、このネジステータ７
全体を囲む形状の剛性リング１０を設置するとともに、
この剛性リング１０の変形抵抗がネジステータ７の上部
側７ａで大きく、その下部側７ｂで小さくなるように設
ける。具体的には、剛性リング１０の内側に階段状に段
差１０−１、１０−１を設けることにより、該剛性リン
グ１０の肉厚がネジステータ７の上部側７ａで厚く、そ
の下部側７ｂで薄くなるように形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
に用いられる真空ポンプに関し、特に、高速回転中のロ
ータが破壊した場合に生じ得る破壊トルクを確実に低減
できるようにしたものである。
に用いられる真空ポンプに関し、特に、高速回転中のロ
ータが破壊した場合に生じ得る破壊トルクを確実に低減
できるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程におけるドライエッチン
グやＣＶＤ等のプロセスのように、高真空のプロセスチ
ャンバ内で作業を行う工程では、そのプロセスチャンバ
内のガスを排気し該プロセスチャンバ内に高真空の状態
を得る手段として、ターボ分子ポンプのような真空ポン
プを使用している。
グやＣＶＤ等のプロセスのように、高真空のプロセスチ
ャンバ内で作業を行う工程では、そのプロセスチャンバ
内のガスを排気し該プロセスチャンバ内に高真空の状態
を得る手段として、ターボ分子ポンプのような真空ポン
プを使用している。
【０００３】図６および図７は、この種従来の真空ポン
プの断面図を示したものであり、これらの図の各真空ポ
ンプは、ポンプケース１上部のガス吸気口１−２側がプ
ロセスチャンバ１７に連通接続される。
プの断面図を示したものであり、これらの図の各真空ポ
ンプは、ポンプケース１上部のガス吸気口１−２側がプ
ロセスチャンバ１７に連通接続される。
【０００４】上記の如くプロセスチャンバ１７に取り付
け固定した真空ポンプは、その運転動作中、ロータシャ
フト１２と一体にロータ２およびロータ翼４が高速で回
転する。そして、この高速回転するロータ翼４と固定の
ステータ翼５との相互作用、および高速回転するロータ
２とネジ溝８を有する固定のネジステータ７との相互作
用により、プロセスチャンバ１７内のガス分子は、ポン
プケース１上部のガス吸気口１−２から該ポンプケース
１内を通ってポンプケース１下部のガス排気口１−３側
へ排気される。
け固定した真空ポンプは、その運転動作中、ロータシャ
フト１２と一体にロータ２およびロータ翼４が高速で回
転する。そして、この高速回転するロータ翼４と固定の
ステータ翼５との相互作用、および高速回転するロータ
２とネジ溝８を有する固定のネジステータ７との相互作
用により、プロセスチャンバ１７内のガス分子は、ポン
プケース１上部のガス吸気口１−２から該ポンプケース
１内を通ってポンプケース１下部のガス排気口１−３側
へ排気される。
【０００５】図６および図７に示した真空ポンプを構成
しているロータ２、ロータ翼４、ポンプケース１および
ステータ翼５等の構造材としては通常、軽合金、中でも
アルミ合金が多用されている。アルミ合金は機械加工に
優れ精密に加工しやすいからである。しかし、アルミ合
金は他の材料に比し強度が比較的低く、使用条件によっ
ては破壊を起すことがある。また、主にロータ下部に応
力集中部を起点とした脆性破壊が発生することがある。
しているロータ２、ロータ翼４、ポンプケース１および
ステータ翼５等の構造材としては通常、軽合金、中でも
アルミ合金が多用されている。アルミ合金は機械加工に
優れ精密に加工しやすいからである。しかし、アルミ合
金は他の材料に比し強度が比較的低く、使用条件によっ
ては破壊を起すことがある。また、主にロータ下部に応
力集中部を起点とした脆性破壊が発生することがある。
【０００６】ところで、ロータ２の高速回転中に上記の
ような破壊が生じると、ロータ２がネジステータ７に衝
突し、その衝撃力でネジステータ７が径方向に膨張し、
ポンプケース１のベースを構成 しているベース部材１
−１に接触すると、真空ポンプ全体を回転させようとす
る大きな回転トルク、すなわち破壊トルクが生じ、この
破壊トルクが真空ポンプに接続されたプロセスチャンバ
ー１７等に伝わってプロセスチャンバー等を破壊した
り、ポンプケース１がねじれたり、真空ポンプとプロセ
スチャンバ１７を固定している締結ボルト１５がそのね
じり力により破損する等の不具合が生じる。そこで、上
記のような破壊トルクの低減を図るために、従来の真空
ポンプでは、図６に示したように、ネジステータ７の
外側に剛性リング１０を配置する、あるいは、図７に示
したように、ネジステータ７の外側に緩衝材１１を配
置する構造を採用している。
ような破壊が生じると、ロータ２がネジステータ７に衝
突し、その衝撃力でネジステータ７が径方向に膨張し、
ポンプケース１のベースを構成 しているベース部材１
−１に接触すると、真空ポンプ全体を回転させようとす
る大きな回転トルク、すなわち破壊トルクが生じ、この
破壊トルクが真空ポンプに接続されたプロセスチャンバ
ー１７等に伝わってプロセスチャンバー等を破壊した
り、ポンプケース１がねじれたり、真空ポンプとプロセ
スチャンバ１７を固定している締結ボルト１５がそのね
じり力により破損する等の不具合が生じる。そこで、上
記のような破壊トルクの低減を図るために、従来の真空
ポンプでは、図６に示したように、ネジステータ７の
外側に剛性リング１０を配置する、あるいは、図７に示
したように、ネジステータ７の外側に緩衝材１１を配
置する構造を採用している。
【０００７】しかしながら、この種真空ポンプの運転時
にはポンプケース１内に圧力差があり、ガス吸気口１−
２が設けられているポンプケース１上部側と、ガス排気
口１−３が設けられているポンプケース１下部側とで
は、ポンプケース１上部側の圧力の方が真空に近く低圧
となっている。このため、従来の真空ポンプでは、上記
のようなロータ２の破壊が生じると、上記圧力差等によ
りロータ２が低圧のポンプケース１上部側へ瞬間的に飛
び上り、ロータ２と剛性リング１０または緩衝材１１と
の位置関係がずれてしまうことから、破壊トルクの低減
を図る剛性リング１０または緩衝材１１の機能が有効に
発揮されず、この種の剛性リング１０または緩衝材１１
が設置されているポンプケース１のベース部材１−１付
近において破壊トルクを十分に低減することができない
という問題点があった。
にはポンプケース１内に圧力差があり、ガス吸気口１−
２が設けられているポンプケース１上部側と、ガス排気
口１−３が設けられているポンプケース１下部側とで
は、ポンプケース１上部側の圧力の方が真空に近く低圧
となっている。このため、従来の真空ポンプでは、上記
のようなロータ２の破壊が生じると、上記圧力差等によ
りロータ２が低圧のポンプケース１上部側へ瞬間的に飛
び上り、ロータ２と剛性リング１０または緩衝材１１と
の位置関係がずれてしまうことから、破壊トルクの低減
を図る剛性リング１０または緩衝材１１の機能が有効に
発揮されず、この種の剛性リング１０または緩衝材１１
が設置されているポンプケース１のベース部材１−１付
近において破壊トルクを十分に低減することができない
という問題点があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点を
解決するためになされたもので、その目的とするところ
は、破壊したロータの飛び上り現象と、これによるロー
タと剛性リングまたは緩衝材との位置関係のずれを防止
し、破壊トルクを確実に低減できる真空ポンプを提供す
ることにある。
解決するためになされたもので、その目的とするところ
は、破壊したロータの飛び上り現象と、これによるロー
タと剛性リングまたは緩衝材との位置関係のずれを防止
し、破壊トルクを確実に低減できる真空ポンプを提供す
ることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ポンプケース内に回転可能に設置された
ロータと、上記ロータの上部側外周面に一体に設けた複
数のロータ翼と、上記ポンプケースの内周面側に積層設
置されたスペーサにより上記上下段のロータ翼間に位置
決め配置された複数のステータ翼と、上記ロータの下部
側外周面と対向する位置に配置されたネジステータと、
上記ネジステータの上部側の強度をその下部側の強度に
比し高めるネジステータ強化手段とを有することを特徴
とするものである。
に、本発明は、ポンプケース内に回転可能に設置された
ロータと、上記ロータの上部側外周面に一体に設けた複
数のロータ翼と、上記ポンプケースの内周面側に積層設
置されたスペーサにより上記上下段のロータ翼間に位置
決め配置された複数のステータ翼と、上記ロータの下部
側外周面と対向する位置に配置されたネジステータと、
上記ネジステータの上部側の強度をその下部側の強度に
比し高めるネジステータ強化手段とを有することを特徴
とするものである。
【００１０】本発明では、ネジステータ強化手段により
ネジステータの上部側の強度が高められているので、高
速回転しているロータが脆性破壊を起しネジステータに
衝突すると、その衝撃力によりネジステータの下部側が
最大に変形し、この変形した部分にロータの一部がめり
込むことで、ポンプケース内の圧力差等によりロータが
飛び上る現象や、これによるロータと剛性リングとの位
置関係のずれが防止される。
ネジステータの上部側の強度が高められているので、高
速回転しているロータが脆性破壊を起しネジステータに
衝突すると、その衝撃力によりネジステータの下部側が
最大に変形し、この変形した部分にロータの一部がめり
込むことで、ポンプケース内の圧力差等によりロータが
飛び上る現象や、これによるロータと剛性リングとの位
置関係のずれが防止される。
【００１１】上記ネジステータ強化手段は、上記ネジス
テータの外側に、このネジステータの上部側のみを囲む
形状の剛性リングを設置してなる構造を採用することが
できる。
テータの外側に、このネジステータの上部側のみを囲む
形状の剛性リングを設置してなる構造を採用することが
できる。
【００１２】また、上記ネジステータ強化手段は、上記
ネジステータの外側に、このネジステータ全体を囲む形
状の剛性リングを設置するとともに、この剛性リングの
変形抵抗が上記ネジステータの上部側で大きく、その下
部側で小さくなるように設けるように構成してもよい。
ネジステータの外側に、このネジステータ全体を囲む形
状の剛性リングを設置するとともに、この剛性リングの
変形抵抗が上記ネジステータの上部側で大きく、その下
部側で小さくなるように設けるように構成してもよい。
【００１３】上記ネジステータの上部側で上記剛性リン
グの変形抵抗を大きくする手段としては、上記剛性リン
グの内側に階段状に段差を設けることにより、上記剛性
リングの肉厚を上記ネジステータの上部側で厚く、その
下部側で薄くなるように形成した構造を採用することが
できる。
グの変形抵抗を大きくする手段としては、上記剛性リン
グの内側に階段状に段差を設けることにより、上記剛性
リングの肉厚を上記ネジステータの上部側で厚く、その
下部側で薄くなるように形成した構造を採用することが
できる。
【００１４】また、上記ネジステータの上部側で上記剛
性リングの変形抵抗を大きくする手段としては、上記剛
性リングの内側をテーパー形状とすることにより、上記
剛性リングの肉厚を上記ネジステータの上部側で厚く、
その下部側で薄くなるように形成した構造を採用しても
よい。
性リングの変形抵抗を大きくする手段としては、上記剛
性リングの内側をテーパー形状とすることにより、上記
剛性リングの肉厚を上記ネジステータの上部側で厚く、
その下部側で薄くなるように形成した構造を採用しても
よい。
【００１５】本発明は、ポンプケース内に回転可能に設
置されたロータと、上記ロータの上部側外周面に一体に
設けた複数のロータ翼と、上記ポンプケースの内周面側
に積層設置されたスペーサにより上記上下段のロータ翼
間に位置決め配置された複数のステータ翼と、上記ロー
タの下部側外周面と対向する位置に配置されたネジステ
ータとを具備し、上記ネジステータの外側に位置し、か
つ、上記ネジステータ側からの衝撃力により変形する緩
衝材とを具備し、上記緩衝材は、上記ネジステータの全
体を囲む形状であって、かつ、その上部側で変形抵抗が
大きく、その下部側で変形抵抗が小さいことを特徴とす
るものである。
置されたロータと、上記ロータの上部側外周面に一体に
設けた複数のロータ翼と、上記ポンプケースの内周面側
に積層設置されたスペーサにより上記上下段のロータ翼
間に位置決め配置された複数のステータ翼と、上記ロー
タの下部側外周面と対向する位置に配置されたネジステ
ータとを具備し、上記ネジステータの外側に位置し、か
つ、上記ネジステータ側からの衝撃力により変形する緩
衝材とを具備し、上記緩衝材は、上記ネジステータの全
体を囲む形状であって、かつ、その上部側で変形抵抗が
大きく、その下部側で変形抵抗が小さいことを特徴とす
るものである。
【００１６】本発明においても、ネジステータ強化手段
によりネジステータの上部側の強度が高められているの
で、高速回転しているロータが脆性破壊を起しネジステ
ータに衝突すると、その衝撃力によりネジステータの下
部側が最大に変形し、この変形した部分にロータの一部
がめり込むことで、ポンプケース内の圧力差等によりロ
ータが飛び上る現象や、これによるロータと緩衝材との
位置関係のずれが防止される。
によりネジステータの上部側の強度が高められているの
で、高速回転しているロータが脆性破壊を起しネジステ
ータに衝突すると、その衝撃力によりネジステータの下
部側が最大に変形し、この変形した部分にロータの一部
がめり込むことで、ポンプケース内の圧力差等によりロ
ータが飛び上る現象や、これによるロータと緩衝材との
位置関係のずれが防止される。
【００１７】上記緩衝材は、上記ネジステータの上下方
向に沿って穿孔形成された空洞部を有する構造とし、上
記ネジステータの上部側で変形抵抗が大きく、変形量が
小さくする手段としては、上記緩衝材内部の空洞部に階
段状に段差を設けることにより、その空洞部の壁厚を上
記ネジステータの上部側で厚く、その下部側で薄くなる
ように形成した構造を採用することができる。
向に沿って穿孔形成された空洞部を有する構造とし、上
記ネジステータの上部側で変形抵抗が大きく、変形量が
小さくする手段としては、上記緩衝材内部の空洞部に階
段状に段差を設けることにより、その空洞部の壁厚を上
記ネジステータの上部側で厚く、その下部側で薄くなる
ように形成した構造を採用することができる。
【００１８】また、上記緩衝材は、上記ネジステータの
上下方向に沿って穿孔形成された空洞部を有する構造と
し、上記ネジステータの上部側で変形抵抗が大きく、変
形量が小さくする手段としては、上記緩衝材の空洞部を
テーパー形状とすることにより、その空洞部の壁厚を上
記ネジステータの上部側で厚く、その下部側で薄くなる
ように形成した構造を採用してもよい。
上下方向に沿って穿孔形成された空洞部を有する構造と
し、上記ネジステータの上部側で変形抵抗が大きく、変
形量が小さくする手段としては、上記緩衝材の空洞部を
テーパー形状とすることにより、その空洞部の壁厚を上
記ネジステータの上部側で厚く、その下部側で薄くなる
ように形成した構造を採用してもよい。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る真空ポンプの
実施形態について図１ないし図５を基に詳細に説明す
る。
実施形態について図１ないし図５を基に詳細に説明す
る。
【００２０】図１に示した本実施形態の真空ポンプは、
円筒状のポンプケース１内に回転可能に設置された筒型
のロータ２を有し、このロータ２はその上端がポンプケ
ース１上部のガス吸気口１−２側を向くように配置され
ている。
円筒状のポンプケース１内に回転可能に設置された筒型
のロータ２を有し、このロータ２はその上端がポンプケ
ース１上部のガス吸気口１−２側を向くように配置され
ている。
【００２１】ロータ２の上部側外周面とポンプケース１
の上部側内周面との間には、加工されたブレード状のロ
ータ翼４とステータ翼５とがロータ２の回転中心軸線に
沿って交互に複数配置されている。
の上部側内周面との間には、加工されたブレード状のロ
ータ翼４とステータ翼５とがロータ２の回転中心軸線に
沿って交互に複数配置されている。
【００２２】上記ロータ翼４は、ロータ２との一体加工
により該ロータ２の上部側外周面に一体に設けられ、か
つ、ロータ２と一体的に回転することができる。
により該ロータ２の上部側外周面に一体に設けられ、か
つ、ロータ２と一体的に回転することができる。
【００２３】上記ステータ翼５は、その根元側が上下段
のリング状スペーサ６、６間に介挿されるとともに、こ
の上下段のリング状スペーサ６、６により上下段のロー
タ翼４、４間に位置決め配置されている。
のリング状スペーサ６、６間に介挿されるとともに、こ
の上下段のリング状スペーサ６、６により上下段のロー
タ翼４、４間に位置決め配置されている。
【００２４】なお、リング状スペーサ６は、ロータ２の
外周を囲む形状であって、かつ、ポンプケース１の上部
側内周面付近に積層設置されている。また、このように
積層設置された複数のリング状スペーサ６、６とポンプ
ケース１の内周面との間には一定幅の空隙Ｇが設けられ
ている。
外周を囲む形状であって、かつ、ポンプケース１の上部
側内周面付近に積層設置されている。また、このように
積層設置された複数のリング状スペーサ６、６とポンプ
ケース１の内周面との間には一定幅の空隙Ｇが設けられ
ている。
【００２５】ロータ２の下部側外周面と対向する位置に
は固定のネジステータ７が配置されており、このネジス
テータ７は、その全体形状がロータ２の下部側外周面を
囲む筒型の形状となるように形成され、かつ、ポンプケ
ース１のベースを構成するベース部材１−１に一体的に
取り付け固定されている。なお、ネジステータ７にはネ
ジ溝８が形成され、このネジ溝８はネジステータ７のロ
ータ対向面側に設けられている。
は固定のネジステータ７が配置されており、このネジス
テータ７は、その全体形状がロータ２の下部側外周面を
囲む筒型の形状となるように形成され、かつ、ポンプケ
ース１のベースを構成するベース部材１−１に一体的に
取り付け固定されている。なお、ネジステータ７にはネ
ジ溝８が形成され、このネジ溝８はネジステータ７のロ
ータ対向面側に設けられている。
【００２６】本実施形態の場合、上記ネジステータ７の
上部側７ａの強度はその下部側７ｂの強度に比し高めら
れている。このようにネジステータ７の上部側７ａの強
度を高めるネジステータ強化手段については各種考えら
れるが、本実施形態では、ネジステータ７の外側に位置
する剛性リング１０の構造との関係から、該ネジステー
タ７の上部側７ａの強度を向上させるものとしている。
上部側７ａの強度はその下部側７ｂの強度に比し高めら
れている。このようにネジステータ７の上部側７ａの強
度を高めるネジステータ強化手段については各種考えら
れるが、本実施形態では、ネジステータ７の外側に位置
する剛性リング１０の構造との関係から、該ネジステー
タ７の上部側７ａの強度を向上させるものとしている。
【００２７】すなわち、本実施形態の真空ポンプにおい
ても、ネジステータ７の外側には剛性リング１０が設置
され、この剛性リング１０はネジステータ７全体を囲む
形状に形成されており、このような剛性リング１０の変
形抵抗、変形量が従来と異なり、ネジステータ７の上部
側７ａでは変形抵抗が大きくて、変形量が小さくなり、
その下部側７ｂでは変形抵抗が小さくて、変形量が大き
くなるように設けられている。
ても、ネジステータ７の外側には剛性リング１０が設置
され、この剛性リング１０はネジステータ７全体を囲む
形状に形成されており、このような剛性リング１０の変
形抵抗、変形量が従来と異なり、ネジステータ７の上部
側７ａでは変形抵抗が大きくて、変形量が小さくなり、
その下部側７ｂでは変形抵抗が小さくて、変形量が大き
くなるように設けられている。
【００２８】上記のように剛性リング１０の変形抵抗、
変形量に傾斜をつける手段については各種考えられる
が、本実施形態においては、その変形量等の傾斜付与構
造として、剛性リング１０の内側に階段状に環状の段差
１０ａを設けることにより、剛性リング１０の肉厚がネ
ジステータ７の上部側７ａで厚く、その下部側で薄くな
る構造を採用している。
変形量に傾斜をつける手段については各種考えられる
が、本実施形態においては、その変形量等の傾斜付与構
造として、剛性リング１０の内側に階段状に環状の段差
１０ａを設けることにより、剛性リング１０の肉厚がネ
ジステータ７の上部側７ａで厚く、その下部側で薄くな
る構造を採用している。
【００２９】したがって、本実施形態の真空ポンプの場
合、上記のような剛性リング１０における変形抵抗、変
形量の傾斜付与構造との関係から、ネジステータ７の上
部側７ａと下部側７ｂでは、上部側７ａの強度の方が高
くなっており、ネジステータ７の下部側７ｂは上部側７
ａに比し強度的に低く比較的変形しやすくなっている。
合、上記のような剛性リング１０における変形抵抗、変
形量の傾斜付与構造との関係から、ネジステータ７の上
部側７ａと下部側７ｂでは、上部側７ａの強度の方が高
くなっており、ネジステータ７の下部側７ｂは上部側７
ａに比し強度的に低く比較的変形しやすくなっている。
【００３０】上記の如くネジステータ７の下部側７ｂを
変形しやすい構造としたのは、破壊したロータ２がネジ
ステータ７に衝突した場合に、その衝撃力でネジステー
タ７の下部側７ｂを積極的に変形させ、この変形した部
分にロータ２の一部がめり込むようにすることで、ポン
プケース１内の圧力差等によるロータ２の飛び上り現象
と、これによるロータ２と剛性リング１０の位置関係の
ずれを防止し、破壊トルクの低減を図る剛性リング１０
の機能を有効に発揮させ、ポンプケース１のベース部材
１−１付近において破壊トルクを確実に低減できるよう
にするためである。
変形しやすい構造としたのは、破壊したロータ２がネジ
ステータ７に衝突した場合に、その衝撃力でネジステー
タ７の下部側７ｂを積極的に変形させ、この変形した部
分にロータ２の一部がめり込むようにすることで、ポン
プケース１内の圧力差等によるロータ２の飛び上り現象
と、これによるロータ２と剛性リング１０の位置関係の
ずれを防止し、破壊トルクの低減を図る剛性リング１０
の機能を有効に発揮させ、ポンプケース１のベース部材
１−１付近において破壊トルクを確実に低減できるよう
にするためである。
【００３１】ロータ２の内側にはその回転中心軸線上に
ロータシャフト１２が一体に取り付けられており、この
ロータシャフト１２の軸受手段については、本実施形態
ではボールベアリング１３によりロータシャフト１２を
軸受け支持する構成を採用している。
ロータシャフト１２が一体に取り付けられており、この
ロータシャフト１２の軸受手段については、本実施形態
ではボールベアリング１３によりロータシャフト１２を
軸受け支持する構成を採用している。
【００３２】さらに、ロータシャフト１２は駆動モータ
１４により回転駆動される。この種の駆動モータ１４の
構造については、本実施形態ではロータ２の内側に設置
されているステータコラム１６にモータ固定子１４ａを
取り付けるとともに、このモータ固定子１４ａと対向す
るロータシャフト１２外周面にモータ回転子１４ｂを配
設するものとしている。
１４により回転駆動される。この種の駆動モータ１４の
構造については、本実施形態ではロータ２の内側に設置
されているステータコラム１６にモータ固定子１４ａを
取り付けるとともに、このモータ固定子１４ａと対向す
るロータシャフト１２外周面にモータ回転子１４ｂを配
設するものとしている。
【００３３】上記ポンプケース１上部側のガス吸気口１
−２は高真空となる真空容器、たとえば半導体製造装置
のプロセスチャンバ１７側に接続され、ポンプケース１
下部側のガス排気口１−３は低圧側に連通接続される。
−２は高真空となる真空容器、たとえば半導体製造装置
のプロセスチャンバ１７側に接続され、ポンプケース１
下部側のガス排気口１−３は低圧側に連通接続される。
【００３４】次に、上記の如く構成された本実施形態の
真空ポンプの動作について図１を用いて説明する。
真空ポンプの動作について図１を用いて説明する。
【００３５】本実施形態の真空ポンプは、たとえば半導
体製造装置のプロセスチャンバ１７内を真空に排気する
手段として使用することができ、この使用例の場合、本
真空ポンプはポンプケース１上部のガス吸気口１−２側
を図示しないプロセスチャンバ１７に連通接続するため
に、ポンプケース１上部のフランジ部１ａがプロセスチ
ャンバ１７側に締結ボルト１５で接続される。
体製造装置のプロセスチャンバ１７内を真空に排気する
手段として使用することができ、この使用例の場合、本
真空ポンプはポンプケース１上部のガス吸気口１−２側
を図示しないプロセスチャンバ１７に連通接続するため
に、ポンプケース１上部のフランジ部１ａがプロセスチ
ャンバ１７側に締結ボルト１５で接続される。
【００３６】上記のように接続された本真空ポンプにお
いて、ガス排気口１−３に接続された図示しない補助ポ
ンプを作動させ、プロセスチャンバ１７内を１０-1Ｔｏ
ｒｒ台にした後、運転開始スイッチをオンにすると、駆
動モータ１４が作動し、ロータシャフト１２と一体にロ
ータ２およびロータ翼４が高速回転する。
いて、ガス排気口１−３に接続された図示しない補助ポ
ンプを作動させ、プロセスチャンバ１７内を１０-1Ｔｏ
ｒｒ台にした後、運転開始スイッチをオンにすると、駆
動モータ１４が作動し、ロータシャフト１２と一体にロ
ータ２およびロータ翼４が高速回転する。
【００３７】そうすると、高速で回転している最上段の
ロータ翼４がガス吸気口１−２から入射したガス分子に
下向き方向の運動量を付与し、この下向き方向の運動量
を有するガス分子がステータ翼５に案内されて、次の下
段のロータ翼４側へ送り込まれ、このようなガス分子へ
の運動量の付与と送り込み動作が繰り返し行われること
により、ガス吸気口１−２側のガス分子がロータ２下部
側のネジ溝８側へ順次移行し排気されていく。このよう
なガス分子の排気の動作が回転するロータ翼４と固定の
ステータ翼５との相互作用による分子排気動作である。
ロータ翼４がガス吸気口１−２から入射したガス分子に
下向き方向の運動量を付与し、この下向き方向の運動量
を有するガス分子がステータ翼５に案内されて、次の下
段のロータ翼４側へ送り込まれ、このようなガス分子へ
の運動量の付与と送り込み動作が繰り返し行われること
により、ガス吸気口１−２側のガス分子がロータ２下部
側のネジ溝８側へ順次移行し排気されていく。このよう
なガス分子の排気の動作が回転するロータ翼４と固定の
ステータ翼５との相互作用による分子排気動作である。
【００３８】さらに、上記のような分子排気動作により
ロータ２下部側のネジ溝８側へ到達したガス分子は、回
転するロータ２とネジ溝８との相互作用により、遷移流
から粘性流に圧縮されてガス排気口１−３側へ移送さ
れ、かつ、該ガス排気口１−３から図示しない補助ポン
プによりポンプ外部へ排気される。
ロータ２下部側のネジ溝８側へ到達したガス分子は、回
転するロータ２とネジ溝８との相互作用により、遷移流
から粘性流に圧縮されてガス排気口１−３側へ移送さ
れ、かつ、該ガス排気口１−３から図示しない補助ポン
プによりポンプ外部へ排気される。
【００３９】ところで、上記の如く高速回転しているロ
ータ２が従来例と同様な脆性破壊を起し、ロータ２がネ
ジステータ７に衝突すると、このネジステータ７の内側
に加わる衝撃力（内圧）によりネジステータ７が変形す
るが、このとき、最大に変形するのはネジステータ７の
下部側７ｂであり、この最大に変形したネジステータ７
の下部側変形部にロータ２の一部がめり込むことで、ポ
ンプケース１内の圧力差等によりロータ２が飛び上る現
象や、これによるロータ２と剛性リング１０の位置関係
のずれが防止される。したがって、破壊トルクの低減を
図る剛性リング１０の機能を有効に発揮させることがで
き、ポンプケース１のベース部材１−１付近において破
壊トルクを確実に低減できる。
ータ２が従来例と同様な脆性破壊を起し、ロータ２がネ
ジステータ７に衝突すると、このネジステータ７の内側
に加わる衝撃力（内圧）によりネジステータ７が変形す
るが、このとき、最大に変形するのはネジステータ７の
下部側７ｂであり、この最大に変形したネジステータ７
の下部側変形部にロータ２の一部がめり込むことで、ポ
ンプケース１内の圧力差等によりロータ２が飛び上る現
象や、これによるロータ２と剛性リング１０の位置関係
のずれが防止される。したがって、破壊トルクの低減を
図る剛性リング１０の機能を有効に発揮させることがで
き、ポンプケース１のベース部材１−１付近において破
壊トルクを確実に低減できる。
【００４０】図４に示した真空ポンプは、上記実施形態
の剛性リング１０に代えて緩衝材１１を適用した構成例
であり、その他の構成は上記実施形態の真空ポンプと同
様なため、それと同一部材には同一符号を付し、その詳
細説明は省略する。
の剛性リング１０に代えて緩衝材１１を適用した構成例
であり、その他の構成は上記実施形態の真空ポンプと同
様なため、それと同一部材には同一符号を付し、その詳
細説明は省略する。
【００４１】この図３の真空ポンプもまた、上記実施形
態のものと同じく、ネジステータ７の下部側７ｂに比し
上部側７ａの強度が高められているが、同図の真空ポン
プにおいては、ネジステータ７の外側に位置する緩衝材
１１の構造との関係から、ネジステータ７の上部側７ａ
の強度を向上させるものとしている。
態のものと同じく、ネジステータ７の下部側７ｂに比し
上部側７ａの強度が高められているが、同図の真空ポン
プにおいては、ネジステータ７の外側に位置する緩衝材
１１の構造との関係から、ネジステータ７の上部側７ａ
の強度を向上させるものとしている。
【００４２】すなわち、この図４の真空ポンプにおいて
は、ネジステータ７の外側に緩衝材１１が設置され、こ
の緩衝材１１は、ネジステータ７の全体を囲む形状に形
成されるとともに、ロータ２が衝突したときの衝撃力を
塑性変形により吸収できるようにするために、ネジステ
ータ７の上下方向に沿って穿孔形成された空洞部１１−
１を有する構造となっているが、このような緩衝材１１
の変形抵抗、変形量が従来と異なり、ネジステータ７の
上部側７ａでは変形抵抗が大きくて、変形量が小さくな
り、その下部側７ｂでは変形抵抗が小さくて、変形量が
大きくなるように設けられている。
は、ネジステータ７の外側に緩衝材１１が設置され、こ
の緩衝材１１は、ネジステータ７の全体を囲む形状に形
成されるとともに、ロータ２が衝突したときの衝撃力を
塑性変形により吸収できるようにするために、ネジステ
ータ７の上下方向に沿って穿孔形成された空洞部１１−
１を有する構造となっているが、このような緩衝材１１
の変形抵抗、変形量が従来と異なり、ネジステータ７の
上部側７ａでは変形抵抗が大きくて、変形量が小さくな
り、その下部側７ｂでは変形抵抗が小さくて、変形量が
大きくなるように設けられている。
【００４３】上記のように緩衝材１１の変形抵抗、変形
量に傾斜をつける手段としては各種考えられるが、本実
施形態では、その変形量等の傾斜付与構造として、上記
のような緩衝材１１内部の空洞部１１−１に階段状に環
状の段差１１−２を設けることにより、その空洞部１１
−１の壁厚（緩衝材１１の肉厚）をネジステータ７の上
部側７ａで厚く、その下部側７ｂで薄くなるように形成
するという構造を採用している。
量に傾斜をつける手段としては各種考えられるが、本実
施形態では、その変形量等の傾斜付与構造として、上記
のような緩衝材１１内部の空洞部１１−１に階段状に環
状の段差１１−２を設けることにより、その空洞部１１
−１の壁厚（緩衝材１１の肉厚）をネジステータ７の上
部側７ａで厚く、その下部側７ｂで薄くなるように形成
するという構造を採用している。
【００４４】したがって、この図４の真空ポンプにあっ
ても、上記のような緩衝材１１における変形抵抗、変形
量の傾斜付与構造との関係から、ネジステータ７の上部
側７ａと下部側７ｂでは、上部側７ａの強度の方が高く
なっており、ネジステータ７の下部側７ｂは上部側７ａ
に比し強度的に低く比較的変形しやすくなっているの
で、上記実施形態のものと同様な作用効果、すなわちポ
ンプケース１内の圧力差等によるロータ２の飛び上り現
象や、これによるロータ２と緩衝材１１の位置関係のず
れが防止され、よって、破壊トルクの低減を図る緩衝材
１１の機能を有効に発揮させることができ、ポンプケー
ス１のベース部材１−１付近において破壊トルクを確実
に低減できる。
ても、上記のような緩衝材１１における変形抵抗、変形
量の傾斜付与構造との関係から、ネジステータ７の上部
側７ａと下部側７ｂでは、上部側７ａの強度の方が高く
なっており、ネジステータ７の下部側７ｂは上部側７ａ
に比し強度的に低く比較的変形しやすくなっているの
で、上記実施形態のものと同様な作用効果、すなわちポ
ンプケース１内の圧力差等によるロータ２の飛び上り現
象や、これによるロータ２と緩衝材１１の位置関係のず
れが防止され、よって、破壊トルクの低減を図る緩衝材
１１の機能を有効に発揮させることができ、ポンプケー
ス１のベース部材１−１付近において破壊トルクを確実
に低減できる。
【００４５】ところで、この図４の真空ポンプの場合
は、高速回転しているロータ２が従来例のような脆性破
壊を起しネジステータ７に衝突すると、その衝撃力によ
り緩衝材１１が潰れて塑性変形する。このような緩衝材
１１の潰れ変形により、上記衝突による衝撃力は吸収さ
れ減少する。そして、緩衝材１１が潰れきると、この時
点で残っている破壊トルクにより緩衝材１１がポンプケ
ース１のベース部材１−１と摺接しながら回転移動し、
このような緩衝材１１の摺接回転動作により破壊トルク
のエネルギーが完全に消費され消滅する。
は、高速回転しているロータ２が従来例のような脆性破
壊を起しネジステータ７に衝突すると、その衝撃力によ
り緩衝材１１が潰れて塑性変形する。このような緩衝材
１１の潰れ変形により、上記衝突による衝撃力は吸収さ
れ減少する。そして、緩衝材１１が潰れきると、この時
点で残っている破壊トルクにより緩衝材１１がポンプケ
ース１のベース部材１−１と摺接しながら回転移動し、
このような緩衝材１１の摺接回転動作により破壊トルク
のエネルギーが完全に消費され消滅する。
【００４６】なお、図１に示した真空ポンプにおいて
は、ネジステータ７の上部側７ａの強度をその下部側７
ｂの強度に比し高めるネジステータ強化手段として、ネ
ジステータ７の外側に、このネジステータ７全体を囲む
形状の剛性リング１０を設置するとともに、この剛性リ
ング１０の変形抵抗が上記ネジステータ７の上部側７ａ
で大きく、その下部側７ｂで小さくなるように設ける構
造を採用したが、この種のネジステータ強化手段として
は、図２に示したように、ネジステータ７の外側に、こ
のネジステータ７の上部側のみを囲む形状の剛性リング
を設置することにより、ネジステータ７の上部側７ａの
強度をその下部側７ｂの強度に比し高める構成を採用し
てもよく、このような構成によっても、ネジステータ７
の下部側７ｂの方が変形しやすいので、図１に示した真
空ポンプと同様の作用効果が得られる。
は、ネジステータ７の上部側７ａの強度をその下部側７
ｂの強度に比し高めるネジステータ強化手段として、ネ
ジステータ７の外側に、このネジステータ７全体を囲む
形状の剛性リング１０を設置するとともに、この剛性リ
ング１０の変形抵抗が上記ネジステータ７の上部側７ａ
で大きく、その下部側７ｂで小さくなるように設ける構
造を採用したが、この種のネジステータ強化手段として
は、図２に示したように、ネジステータ７の外側に、こ
のネジステータ７の上部側のみを囲む形状の剛性リング
を設置することにより、ネジステータ７の上部側７ａの
強度をその下部側７ｂの強度に比し高める構成を採用し
てもよく、このような構成によっても、ネジステータ７
の下部側７ｂの方が変形しやすいので、図１に示した真
空ポンプと同様の作用効果が得られる。
【００４７】また、図１に示した真空ポンプでは、ネジ
ステータ７の上部側で剛性リング１０の変形抵抗を大き
くする手段として、剛性リング１０の内側に段差１０−
１を設けて剛性リング１０の肉厚に変化をつけるという
構成を採用したが、これに代えて、図３に示したように
剛性リング１０の内側をテーパー形状とすることによ
り、その剛性リング１０の肉厚をネジステータ７の上部
側７ａで厚く、その下部側７ｂで薄くなる構造を採用し
てもよい。
ステータ７の上部側で剛性リング１０の変形抵抗を大き
くする手段として、剛性リング１０の内側に段差１０−
１を設けて剛性リング１０の肉厚に変化をつけるという
構成を採用したが、これに代えて、図３に示したように
剛性リング１０の内側をテーパー形状とすることによ
り、その剛性リング１０の肉厚をネジステータ７の上部
側７ａで厚く、その下部側７ｂで薄くなる構造を採用し
てもよい。
【００４８】さらに、図１に示した真空ポンプでは、剛
性リング１０の内側に２つの段差１０−２、１０−２を
設けることにより、３段階で剛性リング１０の肉厚が変
化するように構成したが、その段差１０−１の数を増減
することにより、２段階の肉厚変化をつけたり、３段階
以上の肉厚変化をつけることもできる。
性リング１０の内側に２つの段差１０−２、１０−２を
設けることにより、３段階で剛性リング１０の肉厚が変
化するように構成したが、その段差１０−１の数を増減
することにより、２段階の肉厚変化をつけたり、３段階
以上の肉厚変化をつけることもできる。
【００４９】図４に示した真空ポンプにおいては、ネジ
ステータ７の上部側で緩衝材１１の変形抵抗を大きくす
る手段として、緩衝材１１内部の空洞部１１−１に段差
１１−２を設けて空洞部１１−１の壁厚に変化をつける
という構成を採用したが、これに代えて、図５に示した
ように緩衝材１１内部の空洞部１１−１をテーパー形状
とすることにより、その空洞部１１−１の壁厚をネジス
テータ７の上部側７ａで厚く、その下部側７ｂで薄くな
る構造を採用してもよい。
ステータ７の上部側で緩衝材１１の変形抵抗を大きくす
る手段として、緩衝材１１内部の空洞部１１−１に段差
１１−２を設けて空洞部１１−１の壁厚に変化をつける
という構成を採用したが、これに代えて、図５に示した
ように緩衝材１１内部の空洞部１１−１をテーパー形状
とすることにより、その空洞部１１−１の壁厚をネジス
テータ７の上部側７ａで厚く、その下部側７ｂで薄くな
る構造を採用してもよい。
【００５０】また、図４に示した真空ポンプでは、緩衝
材１１内部の空洞部１１−１に２つの段差１１−２、１
１−２を設けることにより、３段階で緩衝材１１の肉厚
が変化するように構成したが、その段差１１−２の数を
増減することにより、２段階の肉厚変化をつけたり、３
段階以上の肉厚変化をつけることもできる。
材１１内部の空洞部１１−１に２つの段差１１−２、１
１−２を設けることにより、３段階で緩衝材１１の肉厚
が変化するように構成したが、その段差１１−２の数を
増減することにより、２段階の肉厚変化をつけたり、３
段階以上の肉厚変化をつけることもできる。
【００５１】上記ネジ溝８はロータ２側に設けてもよ
く、この場合はネジステータ７と対向しているロータ２
外周面にネジ溝８を形成するものとする。
く、この場合はネジステータ７と対向しているロータ２
外周面にネジ溝８を形成するものとする。
【００５２】ロータシャフト１２の軸受手段について
は、上述のボールベアリング１３の他、たとえば磁気軸
受等の非接触型軸受を適用することもできる。
は、上述のボールベアリング１３の他、たとえば磁気軸
受等の非接触型軸受を適用することもできる。
【００５３】
【発明の効果】本発明に係る真空ポンプにあっては、上
記の如く、ネジステータの上部側の強度をその下部側の
強度に比し高めるネジステータ強化手段を備える構成を
採用したものである。このため、たとえば、高速回転し
ているロータが脆性破壊を起しネジステータに衝突する
と、その衝撃力によりネジステータの下部側が最大に変
形し、この変形した部分にロータの一部がめり込むこと
で、ポンプケース内の圧力差等によりロータが飛び上る
現象や、これによるロータと剛性リングまたは緩衝材と
の位置関係のずれが防止されるから、破壊トルクの低減
を図る剛性リングまたは緩衝材の機能を有効に発揮させ
ることができ、この種の剛性リングが設置されているポ
ンプケースのベース部材付近において破壊トルクを確実
に低減できる。
記の如く、ネジステータの上部側の強度をその下部側の
強度に比し高めるネジステータ強化手段を備える構成を
採用したものである。このため、たとえば、高速回転し
ているロータが脆性破壊を起しネジステータに衝突する
と、その衝撃力によりネジステータの下部側が最大に変
形し、この変形した部分にロータの一部がめり込むこと
で、ポンプケース内の圧力差等によりロータが飛び上る
現象や、これによるロータと剛性リングまたは緩衝材と
の位置関係のずれが防止されるから、破壊トルクの低減
を図る剛性リングまたは緩衝材の機能を有効に発揮させ
ることができ、この種の剛性リングが設置されているポ
ンプケースのベース部材付近において破壊トルクを確実
に低減できる。
【図１】本発明（剛性リングを備える構造のもの）の一
実施形態を示す真空ポンプの断面図。
実施形態を示す真空ポンプの断面図。
【図２】本発明（剛性リングを備える構造のもの）の他
の実施形態を示す真空ポンプの断面図。
の実施形態を示す真空ポンプの断面図。
【図３】本発明（剛性リングを備える構造のもの）の他
の実施形態を示す真空ポンプの断面図。
の実施形態を示す真空ポンプの断面図。
【図４】本発明（緩衝材を備える構造のもの）の一実施
形態を示す真空ポンプの断面図。
形態を示す真空ポンプの断面図。
【図５】本発明（緩衝材を備える構造のもの）の他の実
施形態を示す真空ポンプの断面図。
施形態を示す真空ポンプの断面図。
【図６】従来の真空ポンプの断面図。
【図７】従来の真空ポンプの断面図。
１ ポンプケース
１ａ フランジ部
１−１ ベース部材
１−２ ガス吸気口
１−３ ガス排気口
２ ロータ
４ ロータ翼
５ ステータ翼
６ スペーサ
７ ネジステータ
７ａ ネジステータの上部側
７ｂ ネジステータの下部側
８ ネジ溝
１０ 剛性リング
１０−１段差
１１ 緩衝材
１１−１ 空洞部
１１−２ 段差
１２ ロータシャフト
１３ ボールベアリング
１４ 駆動モータ
１４ａ モータ固定子
１４ｂ モータ回転子
１５ 締結ボルト
１６ ステータコラム
１７ プロセスチャンバ
Ｇ 空隙
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｆ０４Ｄ 29/54 Ｆ０４Ｄ 29/54 Ｆ
Ｆターム(参考） 3H031 DA01 DA02 DA07 EA09 FA01
3H034 AA01 AA12 BB01 BB08 BB11
BB16 BB17 CC03 DD01 DD30
EE11 EE17
Claims (8)
- 【請求項１】 ポンプケース内に回転可能に設置された
ロータと、 上記ロータの上部側外周面に一体に設けた複数のロータ
翼と、 上記ポンプケースの内周面側に積層設置されたスペーサ
により上記上下段のロータ翼間に位置決め配置された複
数のステータ翼と、 上記ロータの下部側外周面と対向する位置に配置された
ネジステータと、 上記ネジステータの上部側の強度をその下部側の強度に
比し高めるネジステータ強化手段とを有することを特徴
とする真空ポンプ。 - 【請求項２】 上記ネジステータ強化手段は、上記ネジ
ステータの外側に、このネジステータの上部側のみを囲
む形状の剛性リングを設置してなることを特徴とする請
求項１に記載の真空ポンプ。 - 【請求項３】 上記ネジステータ強化手段は、上記ネジ
ステータの外側に、このネジステータ全体を囲む形状の
剛性リングを設置するとともに、この剛性リングの変形
抵抗が上記ネジステータの上部側で大きく、その下部側
で小さくなるように設けたことを特徴とする請求項１に
記載の真空ポンプ。 - 【請求項４】 上記ネジステータの上部側で上記剛性リ
ングの変形抵抗を大きくする手段として、上記剛性リン
グの内側に階段状に段差を設けることにより、上記剛性
リングの肉厚を上記ネジステータの上部側で厚く、その
下部側で薄くなるように形成したことを特徴とする請求
項３に記載の真空ポンプ。 - 【請求項５】 上記ネジステータの上部側で上記剛性リ
ングの変形抵抗を大きくする手段として、上記剛性リン
グの内側をテーパー形状とすることにより、上記剛性リ
ングの肉厚を上記ネジステータの上部側で厚く、その下
部側で薄くなるように形成したことを特徴とする請求項
３に記載の真空ポンプ。 - 【請求項６】 ポンプケース内に回転可能に設置された
ロータと、 上記ロータの上部側外周面に一体に設けた複数のロータ
翼と、 上記ポンプケースの内周面側に積層設置されたスペーサ
により上記上下段のロータ翼間に位置決め配置された複
数のステータ翼と、 上記ロータの下部側外周面と対向する位置に配置された
ネジステータとを具備し、 上記ネジステータの外側に位置し、かつ、上記ネジステ
ータ側からの衝撃力により変形する緩衝材とを具備し、 上記緩衝材は、上記ネジステータの全体を囲む形状であ
って、かつ、その変形抵抗が上記ネジステータの上部側
で大きく、その下部側で小さいことを特徴とする真空ポ
ンプ。 - 【請求項７】 上記緩衝材は、上記ネジステータの上下
方向に沿って穿孔形成された空洞部を有する構造であ
り、 上記ネジステータの上部側で上記緩衝材の変形抵抗を大
きくする手段として、上記緩衝材内部の空洞部に階段状
に段差を設けることにより、その空洞部の壁厚を上記ネ
ジステータの上部側で厚く、その下部側で薄くなるよう
に形成したことを特徴とする請求項６に記載の真空ポン
プ。 - 【請求項８】 上記緩衝材は、上記ネジステータの上下
方向に沿って穿孔形成された空洞部を有する構造であ
り、 上記ネジステータの上部側で上記緩衝材の変形抵抗を大
きくする手段として、上記緩衝材の空洞部をテーパー形
状とすることにより、その空洞部の壁厚を上記ネジステ
ータの上部側で厚く、その下部側で薄くなるように形成
したことを特徴とする請求項６に記載の真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001352245A JP2003148387A (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001352245A JP2003148387A (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | 真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003148387A true JP2003148387A (ja) | 2003-05-21 |
| JP2003148387A5 JP2003148387A5 (ja) | 2005-07-07 |
Family
ID=19164451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001352245A Pending JP2003148387A (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003148387A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2623791A4 (en) * | 2010-09-28 | 2018-06-27 | Edwards Japan Limited | Exhaust pump |
-
2001
- 2001-11-16 JP JP2001352245A patent/JP2003148387A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2623791A4 (en) * | 2010-09-28 | 2018-06-27 | Edwards Japan Limited | Exhaust pump |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040301 |
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| A521 | Written amendment |
Effective date: 20041102 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20041102 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070921 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080305 |