JPH0710493U - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 生成物の堆積による弊害、特にロータの回転
障害によるポンプ排気動作の停止等を防止した信頼性の
高いターボ分子ポンプを提供する。 【構成】 段部３の表面とこれに対向するステータ翼５
との隙間Ｇ１はその上方に位置するステータ翼５とロー
タ翼６との隙間ｇ３に比し大きく設けると共に、分子の
平均自由行程と反応性生成物の堆積とを考慮し、ポンプ
の排気性能を損なわずかつ生成物を介し段部３の表面と
ステータ翼５とが接触しない程度に大きく設定する。こ
のような隙間Ｇ１は、段部３の表面に生成物が堆積した
場合でも、生成物を介する段部３の表面とステータ翼５
との接触を回避することができ、ロータ２のスムーズな
回転が得られるように設ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、生成物の堆積による弊害、特にロータの回転障害によるポンプ排 気動作の停止を防止した信頼性の高いターボ分子ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種のターボ分子ポンプは図６に示す如くケーシング１の内部に筒状 のロータ２が回転可能に配設されており、ロータ２の外周面には環状の段部３を 有し、段部３からロータ２の下部に至るまでの範囲にはロータ２の外周面にねじ 溝４が形成されている一方、上記段部３からロータ２の上部に至るまでの範囲に は段部３の表面側からロータ２の軸線に沿ってステータ翼５、ロータ翼６、ステ ータ翼５という具合にステータ翼５とロータ翼６とが交互に設けられており、ス テータ翼５はスペーサリング７を介してケーシング１の内壁に固定され、ロータ 翼６はロータ２の外周面に配設されている。

【０００３】 ロータ２の内側にはロータシャフト８が配設されていると共に、このロータシ ャフト８はロータ２と同軸状に配設された状態で先端がロータ２に一体に取り付 けられており、ロータシャフト８とロータ２との間にはステータコラム９が設置 されている。

【０００４】 ステータコラム９とロータシャフト８との間には２組のラジアル磁気軸受部１ ０，１０が設置されており、一方のラジアル磁気軸受部１０はロータシャフト８ の先端外周面側に、また他方のラジアル磁気軸受部１０はロータシャフト８の後 端外周面側に位置し、これらの両ラジアル磁気軸受部１０，１０はともに径方向 センサ１０ａ及び径方向電磁石１０ｂから形成されている。

【０００５】 なお、径方向センサ１０ａはロータシャフト８の径方向変位量を検出するよう に構成されており、径方向電磁石１０ｂは径方向センサ１０ａでの検出結果に基 づき励磁され、その励磁による磁力でロータシャフト８を介しロータ２を径方向 に支持するように構成されている。

【０００６】 ステータコラム９とロータシャフト８との間にはモータ１１やアキシャル磁気 軸受部１２も配設されており、モータ１１はロータシャフト８と一体にロータ２ を軸心回りに回転させるように構成され、アキシャル磁気軸受部１２はロータシ ャフト８の後端外周面側に位置しかつスラストディスク１２ａ、軸方向センサ１ ２ｂ、及び２組の軸方向電磁石１２ｃ，１２ｃから形成されており、その両軸方 向電磁石１２ｃ，１２ｃはスラストディスク１２ａを介して互いに対向するよう に設けられている。

【０００７】 なお、スラストディスク１２ａはロータシャフト８の外周面に一体に取り付け られ、軸方向センサ１２ｂはロータシャフト８の軸線方向変位量を検出するよう に構成されており、各軸方向電磁石１２ｃ，１２ｃは軸方向センサ１２ｂでの検 出結果に基づき励磁され、その励磁による磁力でスラストディスク１２ａやロー タシャフト８を介してロータ２を軸線方向に支持するように構成されている。

【０００８】 上記のような２組のラジアル磁気軸受部１０，１０及びアキシャル磁気軸受部 １２によりロータ２が支持された状態で回転する場合においては、段部３の表面 とこれに対向するステータ翼５との間、ケーシング１の内壁側とロータ翼６の先 端面との間、及びステータ翼５とロータ翼６との間には常時一定の隙間ｇ１，ｇ ２，ｇ３が形成されている。

【０００９】 このようなターボ分子ポンプにおいては、その運転開始の当初、ロータ２が低 速で回転すると、特にねじ溝４の部分で分子を吸入口１ａから排気口１ｂ側へ排 気し、またロータ２の回転数が次第に高くなり、ロータ２が高速で回転すると、 ステータ翼５とロータ翼６との間に分子流が誘発され、分子を吸入口１ａから排 気口１ｂ側へ排気する。

【００１０】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記のような従来のターボ分子ポンプにあっては、段部３の表 面とこれに対向するステータ翼５との隙間ｇ１や、ケーシング１の内壁側とロー タ翼６の先端面との隙間ｇ２、及びステータ翼５とロータ翼６との隙間ｇ３は、 反応性生成物の堆積を何等考慮せず、単に分子の平均自由行程だけを考慮し、ポ ンプの排気性能を損なわないように設けられているため、半導体製造行程のプロ セスガスとして反応性ガスを排気する場合には、反応性生成物が段部３の表面や ステータ翼５又はロータ翼６上に堆積し、上記隙間ｇ１，ｇ３を埋める、あるい は段部３の表面やステータ翼５上に堆積した生成物がロータ翼６で吹き飛ばされ 、上記隙間ｇ２を埋めるという不具合が生じることは避けられず、これにより生 成物を介してステータ翼５とロータ翼６とが接触し、あるいはロータ翼６の先端 面とケーシング１の内壁側とが接触し、ロータ２のスムーズな回転が妨げられる ので、ロータ２の回転障害によりポンプ排気動作が停止し、また最悪の場合には 上記のような接触によりステータ翼５やロータ翼６が破損したり、その破片で他 の部品が破壊されることもあり、ポンプの信頼性が欠ける等の問題点がある。

【００１１】 特に、段部３の表面については、単体のステータ翼５やロータ翼６に比し表面 積が大きいこと、及びステータ翼５やロータ翼６より温度の低い排気口１ｂ側に 位置することから、他の部分に比し生成物が最も堆積し易く、その生成物を介し てステータ翼５の外周面と接触し、ロータ２のスムーズな回転を妨げるため、こ のような生成物の堆積による弊害、つまりロータ２の回転障害によりポンプ排気 動作が停止する等の不具合を最初に生じさせる場所でもあり、その改善が急務と されている。

【００１２】 この考案は上述の事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、生 成物の堆積による弊害、特にロータの回転障害によるポンプの排気動作の停止等 を防止した信頼性の高いターボ分子ポンプを提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】 上記目的を達成するために、請求項１に記載の考案は、ケーシングの内部に回 転可能に配設されかつ外周面に段部を有するロータを具備し、上記段部からロー タの下部に至るまでの範囲にはロータの外周面あるいはケーシングの内壁にねじ 溝を備え、上記段部からロータの上部に至るまでの範囲にはケーシングの内壁に 固定されたステータ翼とロータの外周面に配設されたロータ翼とがロータの軸線 に沿って交互に設けられ、かつ上記ロータの回転によりねじ溝の部分及びステー タ翼とロータ翼との間に分子流を誘発させて分子を排気するターボ分子ポンプに おいて、上記段部の表面とこれに対向するステータ翼との隙間を、それより上の ステータ翼とロータ翼との隙間より大きく設けたことを特徴とする。

【００１４】 請求項２に記載の考案は、ケーシングの内部に回転可能に配設されたロータと 、このロータの軸線に沿って交互に設けられると共に上記ケーシングの内壁に固 定されたステータ翼及び上記ロータの外周面に配設されたロータ翼とを備え、上 記ロータの回転によりステータ翼とロータ翼との間に分子流を誘発させて分子を 排気するターボ分子ポンプにおいて、上記ケーシングの内壁側に、ロータ翼の先 端面と対向する溝部を形成したことを特徴とする。

【００１５】 請求項３に記載の考案は、ケーシングの内部に回転可能に配設されたロータと 、このロータの軸線に沿って交互に設けられると共に上記ケーシングの内壁に固 定されたステータ翼及び上記ロータの外周面に配設されたロータ翼とを備え、上 記ロータの回転によりステータ翼とロータ翼との間に分子流を誘発させて分子を 排気するターボ分子ポンプにおいて、上記ケーシングの内壁とロータ翼の先端面 との隙間を、最上位のロータ翼またはステータ翼側から最下位のロータ翼または ステータ翼側に向かって順に大きくなるように設けたことを特徴とする。

【００１６】 請求項４に記載の考案は、ケーシングの内部に回転可能に配設されたロータと 、このロータの軸線に沿って交互に設けられると共に上記ケーシングの内壁に固 定されたステータ翼及び上記ロータの外周面に配設されたロータ翼とを備え、上 記ロータの回転によりステータ翼とロータ翼との間に分子流を誘発させて分子を 排気するターボ分子ポンプにおいて、上記ステータ翼とロータ翼との隙間を、最 上位のロータ翼またはステータ翼側から最下位のロータ翼またはステータ翼側に 向かって順に大きくなるように設けたことを特徴とする。

【００１７】

【作用】

請求項１に記載の考案によれば、半導体製造行程のプロセスガスとして反応性 ガスを排気する際において、段部の表面に生成物が堆積した場合でも、生成物を 介する段部の表面とステータ翼との接触を回避することができ、ロータのスムー ズな回転が得られる。

【００１８】 請求項２及び請求項３に記載の考案によると、両考案とも生成物を介するケー シングの内壁側とロータ翼の先端面との接触を回避することができ、上記と同様 にロータのスムーズな回転が得られる。

【００１９】 請求項４に記載の考案によれば、生成物を介するステータ翼とロータ翼との接 触を回避することができ、上記と同様にロータのスムーズな回転が得られる。

【００２０】

【実施例】

以下、この考案に係るターボ分子ポンプの実施例について図１ないし図５を用 いて詳細に説明する。

【００２１】 なお、図１に示すターボ分子ポンプの基本的な構成、例えばケーシング１の内 部にロータ２が回転可能に配設されており、ロータ２の外周面には環状の段部３ を有すること、段部３からロータ２の下部に至るまでの範囲にはロータ２の外周 面にねじ溝４が形成されている一方、段部３からロータ２の上部に至るまでの範 囲にはステータ翼５とロータ翼６とが交互に設けられており、ステータ翼５はス ペーサリング７を介してケーシング１の内壁に固定され、ロータ翼６はロータ２ の外周面に配設されていること、並びに、ロータ２が低速で回転すると、特にね じ溝４の部分で分子を吸入口１ａから排気口１ｂ側へ排気し、またロータ２の回 転数が次第に高くなり、ロータ２が高速で回転すると、ステータ翼５とロータ翼 ６との間に分子流が誘発され、分子を吸入口１ａから排気口１ｂ側へ排気するこ と等は前述した従来の技術の内容と同様なため、同一部材には同一符号を付して おり、その詳細説明は省略する。

【００２２】 同図に示すターボ分子ポンプにおいては、段部３の表面とこれに対向するステ ータ翼との隙間Ｇ１が、その上方に位置するステータ翼５とロータ翼６との隙間 ｇ３に比し大きく設けられていると共に、その隙間Ｇ１は分子の平均自由行程と 反応性生成物の堆積とを考慮し、ポンプの排気性能を損なわずかつ生成物を介し 段部３の表面とこれに対向するステータ翼５とが接触しない程度に大きく設定さ れている。

【００２３】 つまり、上記隙間Ｇ１は、反応性生成物の堆積を何等考慮せず単に分子の平均 自由行程だけを考慮してポンプの排気性能を損なわないように設けた従来の狭い 隙間ｇ１（図６参照）とは異なり、分子の平均自由行程のみならず反応性生成物 の堆積も考慮して、その従来の隙間ｇ１より大きく設けられている。

【００２４】 次に、上記の如く構成されたターボ分子ポンプの動作について図１を基に説明 する。

【００２５】 なお、ターボ分子ポンプの基本動作、即ち運転開始の当初、ロータ２が低速で 回転すると、特にねじ溝４の部分で分子を吸入口１ａから排気口１ｂ側へ排気し 、またロータ２の回転数が次第に高くなり、ロータ２が高速で回転すると、ステ ータ翼５とロータ翼６との間に分子流が誘発され、分子を吸入口１ａから排気口 １ｂ側へ排気することは前述した従来の技術の内容と同様なため、その詳細説明 は省略する。

【００２６】 このターボ分子ポンプによれば、半導体製造行程のプロセスガスとして反応性 ガスを排気する際において、生成物が最も堆積し易い場所、つまり単体のステー タ翼５やロータ翼６に比し表面積が大きく、かつステータ翼５やロータ翼６より 温度の低い排気口１ｂ側に位置する段部３の表面に、生成物が堆積した場合でも 、段部３の表面とこれに対向するステータ翼５との隙間Ｇ１は従来に比し大きく 設けられているため、生成物を介する段部３の表面とステータ翼５との接触を回 避することができ、これによりロータ２のスムーズな回転が得られる。

【００２７】 したがって、上記実施例のターボ分子ポンプによれば、段部の表面とこれに対 向するステータ翼との隙間をそれより上のステータ翼とロータ翼との隙間より大 きく設けたため、半導体製造行程のプロセスガスとして反応性ガスを排気する際 において、段部の表面に生成物が堆積した場合でも、生成物を介する段部の表面 とステータ翼との接触を回避することができ、ロータのスムーズな回転が得られ るので、生成物の堆積による弊害、特にロータの回転障害によるポンプ排気動作 の停止、並びに上記のような接触によるステータ翼等の破損を防止することがで きる。

【００２８】 なお、この実施例ではねじ溝をロータの外周面に形成したが、これに限定され ることはなく、ねじ溝はケーシングの内壁に設けてもよく、このようにねじ溝を ケーシングの内壁に備えるターボ分子ポンプにあっても上記と同様な効果が得ら れる。

【００２９】 図２はこの考案に係る第２の実施例を示すもので、同図に示すターボ分子ポン プの基本的な構成は上記実施例と同様なため、同一部材には同一符号を付し、そ の詳細説明は省略する。

【００３０】 このターボ分子ポンプはケーシング１の内壁側に溝部１３を有し、溝部１３は 最上位のロータ翼６の先端面と対向するケーシング１の内壁、及びその他のロー タ翼６の先端面と対向するスペーサリング７の内周面にケーシング１の内壁に沿 って環状に形成されている。

【００３１】 上記溝部１３により拡大されたケーシング１の内壁側とロータ翼６の先端面と の隙間Ｇ２は、分子の平均自由行程と反応性生成物の堆積とを考慮し、ポンプの 排気性能を損なわずかつ生成物を介してケーシング１の内壁側とロータ翼６の先 端面とが接触しない程度に設定されている。

【００３２】 つまり、上記隙間Ｇ２は、反応性生成物の堆積を何等考慮せず単に分子の平均 自由行程だけを考慮してポンプの排気性能を損なわないように設けた従来の狭い 隙間ｇ２（図６参照）とは異なり、分子の平均自由行程と反応性生成物の堆積と を考慮し、その従来の隙間ｇ２より大きく設けられている。

【００３３】 上記の如く構成されたターボ分子ポンプにあっては、隙間Ｇ２が従来の隙間ｇ ２より大きく設けられているため、特に生成物を介するケーシング１の内壁側と ロータ翼６の先端面との接触を回避することができ、これによりロータ２のスム ーズな回転が得られる。

【００３４】 図３はこの考案に係る第３の実施例を示すもので、同図に示すターボ分子ポン プの基本的な構成は上記実施例と同様なため、同一部材には同一符号を付し、そ の詳細説明は省略する。

【００３５】 このターボ分子ポンプはケーシング１の内壁側にテーパ１４を有し、テーパ１ ４は最上位のロータ翼６の先端と対向するケーシング１の内壁、及びスペーサリ ング７の内周面にそれぞれ形成されていると共に、最上位のステータ翼５または ロータ翼６側から最下位のステータ翼５またはロータ翼６側に向かって連続的に 拡がるように構成されており、このテーパ１４により、ケーシング１の内壁とロ ータ翼６の先端面との隙間Ｇ２は最上位のステータ翼５またはロータ翼６側から 最下位のステータ翼５またはロータ翼６側に向かって順に大きくなるように設け られている。

【００３６】 このような隙間Ｇ２は、分子の平均自由行程と反応性生成物の堆積とを考慮し 、ポンプの排気性能を損なわずかつ生成物を介してケーシング１の内壁側とロー タ翼６の先端面とが接触しない程度に設定されている。

【００３７】 つまり、上記隙間Ｇ２は、反応性生成物の堆積を何等考慮せず単に分子の平均 自由行程だけを考慮してポンプの排気性能を損なわないように設けた従来の狭い 隙間ｇ３（図６参照）とは異なり、分子の平均自由行程と反応性生成物の堆積と を考慮し、ポンプの排気性能を損なわずかつ生成物を介してケーシング１の内壁 側とロータ翼６の先端面とが接触しない程度に従来の隙間ｇ２より大きく設定さ れている。

【００３８】 このように、隙間Ｇ２を最上位のステータ翼５またはロータ翼６側から最下位 のステータ翼５またはロータ翼６側に向かって順に大きくなるように設けたのは 吸入口１ａ側より温度の低い排気口１ｂ側の方が生成物が堆積し易いこと等を考 慮したためである。

【００３９】 上記の如く構成されたターボ分子ポンプにあっては、隙間Ｇ２が従来の隙間ｇ ２より大きく設けられているため、特に生成物を介するケーシング１の内壁側と ロータ翼６の先端面との接触を回避することができ、これによりロータ２のスム ーズな回転が得られる。

【００４０】 なお、この実施例ではケーシング１の内壁側にテーパ１４を設けたが、これに 限定されることはなく、そのテーパ１４は図４に示すようにロータ翼６の先端面 側に形成してもよく、この場合においては、テーパ１４は最上位のステータ翼５ またはロータ翼６側から最下位のステータ翼５またはロータ翼６側に向かって連 続的に狭くなるように構成し、これにより、ケーシング１の内壁とロータ翼６の 先端面との隙間Ｇ２が最上位のステータ翼５またはロータ翼６側から最下位のス テータ翼５またはロータ翼６側に向かって順に大きくなるように設けることも可 能である。

【００４１】 したがって、上記第２及び第３の実施例のターボ分子ポンプにあっては、第２ の実施例ではケーシングの内壁側にロータ翼の先端面と対向する溝部を形成し、 また第３の実施例ではケーシングの内壁とロータ翼の先端面との隙間を最上位の ステータ翼またはロータ翼側から最下位のステータ翼またはロータ翼側に向かっ て順に大きくなるように設けたため、両実施例のターボ分子ポンプとも生成物を 介するケーシングの内壁側とロータ翼の先端面との接触を回避することができ、 ロータのスムーズな回転が得られるので、生成物の堆積による弊害、特にロータ の回転障害によるポンプ排気動作の停止、並びに上記のような接触によるロータ 翼等の破損を防止することができる。

【００４２】 図５はこの考案に係る第４の実施例を示すもので、同図に示すターボ分子ポン プの基本的な構成は上記実施例と同様なため、同一部材には同一符号を付し、そ の詳細説明は省略する。

【００４３】 同図に示すターボ分子ポンプにおいては、ステータ翼５とロータ翼６との隙間 Ｇ３が、最上位のステータ翼５またはロータ翼６側から最下位のステータ翼５ま たはロータ翼６側に向かって順に大きくなるように設けられていると共に、その 隙間Ｇ３は分子の平均自由行程と反応性生成物の堆積とを考慮し、ポンプの排気 性能を損なわずかつ生成物を介してステータ翼５とロータ翼６とが接触しない程 度に大きく設定されている。

【００４４】 つまり、この隙間Ｇ３は、反応性生成物の堆積を何等考慮せず単に分子の平均 自由行程だけを考慮してポンプの排気性能を損なわないように設けた従来の狭い 隙間ｇ３（図６参照）とは異なり、分子の平均自由行程と反応性生成物の堆積と を考慮して、その従来の隙間ｇ３より大きく設けられている。

【００４５】 このように、隙間Ｇ３を最上位のステータ翼５またはロータ翼６側から最下位 のステータ翼５またはロータ翼６側に向かって順に大きくなるように設けたのは 吸入口１ａ側より温度の低い排気口１ｂ側の方が生成物が堆積し易いこと等を考 慮したためである。

【００４６】 上記の如く構成されたターボ分子ポンプにあっては、隙間Ｇ３が従来の隙間ｇ ３より大きく設定されているため、生成物を介するステータ翼５とロータ翼６と の接触を回避することができ、ロータ２のスムーズな回転が得られる。

【００４７】 したがって、上記第４の実施例のターボ分子ポンプによれば、ステータ翼とロ ータ翼との隙間を最上位のステータ翼またはロータ翼側から最下位のステータ翼 またはロータ翼側に向かって順に大きくなるように設けたため、生成物を介する ステータ翼とロータ翼との接触を回避することができ、ロータのスムーズな回転 が得られるので、生成物の堆積による弊害、特にロータの回転障害によるポンプ 排気動作の停止、並びに上記のような接触によるステータ翼やロータ翼等の破損 を防止することができる。

【００４８】

【考案の効果】

この考案に係るターボ分子ポンプにあっては、上記の如く段部の表面とこれに 対向するステータ翼との隙間をそれより上のステータ翼とロータ翼との隙間より 大きく設けたため、半導体製造行程のプロセスガスとして反応性ガスを排気する 際において、段部の表面に生成物が堆積した場合でも、生成物を介する段部の表 面とステータ翼との接触を回避することができ、ロータのスムーズな回転が得ら れるので、生成物の堆積による弊害、特にロータの回転障害によるポンプ排気動 作の停止を防止することができ、ターボ分子ポンプの信頼性が向上する。

【００４９】 請求項２及び請求項３に記載の考案においては、請求項２に記載の考案ではケ ーシングの内壁側にロータ翼の先端面と対向する溝部を形成し、また、請求項３ に記載の考案ではケーシングの内壁とロータ翼の先端面との隙間を最上位のステ ータ翼またはロータ翼側から最下位のステータ翼またはロータ翼側に向かって順 に大きくなるように設けたため、両考案とも生成物を介するケーシングの内壁側 とロータ翼の先端面との接触を回避することができ、上記と同様にロータのスム ーズな回転が得られるので、生成物の堆積による弊害、特にロータの回転障害に よるポンプ排気動作の停止を防止することができ、ターボ分子ポンプの信頼性が 向上する。

【００５０】 請求項４に記載の考案にあっては、ステータ翼とロータ翼との隙間を最上位の ステータ翼またはロータ翼側から最下位のステータ翼またはロータ翼側に向かっ て順に大きくなるように設けたため、生成物を介するステータ翼とロータ翼との 接触を回避することができ、上記と同様にロータのスムーズな回転が得られるの で、生成物の堆積による弊害、特にロータの回転障害によるポンプ排気動作の停 止を防止することができ、ターボ分子ポンプの信頼性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す断面図。

【図２】本考案の第２の実施例を示す断面図。

【図３】本考案の第３の実施例を示す断面図。

【図４】図３に示す第３の実施例の変形仕様例を示す断
面図。

【図５】本考案の第４の実施例を示す断面図。

【図６】従来のターボ分子ポンプの断面図。

【符号の説明】

２ ロータ ３ 段部 ４ ねじ溝 ５ ステータ翼 ６ ロータ翼 １３ 溝部

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケーシングの内部に回転可能に配設され
   かつ外周面に段部を有するロータを具備し、上記段部か
   らロータの下部に至るまでの範囲にはロータの外周面あ
   るいはケーシングの内壁にねじ溝を備え、上記段部から
   ロータの上部に至るまでの範囲にはケーシングの内壁に
   固定されたステータ翼とロータの外周面に配設されたロ
   ータ翼とがロータの軸線に沿って交互に設けられ、かつ
   上記ロータの回転によりねじ溝の部分及びステータ翼と
   ロータ翼との間に分子流を誘発させて分子を排気するタ
   ーボ分子ポンプにおいて、 上記段部の表面とこれに対向するステータ翼との隙間
   を、それより上のステータ翼とロータ翼との隙間より大
   きく設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. 【請求項２】 ケーシングの内部に回転可能に配設され
   たロータと、このロータの軸線に沿って交互に設けられ
   ると共に上記ケーシングの内壁に固定されたステータ翼
   及び上記ロータの外周面に配設されたロータ翼とを備
   え、上記ロータの回転によりステータ翼とロータ翼との
   間に分子流を誘発させて分子を排気するターボ分子ポン
   プにおいて、 上記ケーシングの内壁側に、ロータ翼の先端面と対向す
   る溝部を形成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
3. 【請求項３】 ケーシングの内部に回転可能に配設され
   たロータと、このロータの軸線に沿って交互に設けられ
   ると共に上記ケーシングの内壁に固定されたステータ翼
   及び上記ロータの外周面に配設されたロータ翼とを備
   え、上記ロータの回転によりステータ翼とロータ翼との
   間に分子流を誘発させて分子を排気するターボ分子ポン
   プにおいて、 上記ケーシングの内壁とロータ翼の先端面との隙間を、
   最上位のロータ翼またはステータ翼側から最下位のロー
   タ翼またはステータ翼側に向かって順に大きくなるよう
   に設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
4. 【請求項４】 ケーシングの内部に回転可能に配設され
   たロータと、このロータの軸線に沿って交互に設けられ
   ると共に上記ケーシングの内壁に固定されたステータ翼
   及び上記ロータの外周面に配設されたロータ翼とを備
   え、上記ロータの回転によりステータ翼とロータ翼との
   間に分子流を誘発させて分子を排気するターボ分子ポン
   プにおいて、 上記ステータ翼とロータ翼との隙間を、最上位のロータ
   翼またはステータ翼側から最下位のロータ翼またはステ
   ータ翼側に向かって順に大きくなるように設けたことを
   特徴とするターボ分子ポンプ。