KR102213998B1 - 진공 배기 기구, 복합형 진공 펌프, 및 회전체 부품 - Google Patents

Abstract

진공 펌프는, 설치되는 고정 원판 또는 설치되는 회전 원판 중 적어도 어느 한쪽에, 산부와 골부를 가지는 스파이럴형상 홈이 각설(설치)되는 시그반형 분자 펌프부를 가지며, 시그반형 분자 펌프부 내의 외주(외측)의 꺽임 유로에 있어서 컨덕턴스를 크게 취하기 위한 구조를 구비한다. 이 구조는, 회전 원판에 형성되는 연통부(홈부, 슬릿), 혹은, 고정 원판에 설치되는 사판과 회전 원판에 형성되는 연통부에 의해, 진공 펌프 내부에 형성된다. 「연통부」나 「홈부」, 「슬릿」은, 「오목」 형상의 형태이며, 회전 원판(또는 고정 원판)에 있어서, 외경부로부터 내경 방향을(진공 펌프에 있어서 샤프트가 설치되어 있는 측을) 향해 홈을 각설함으로써 오목부가 설치된다.

Description

진공 배기 기구, 복합형 진공 펌프, 및 회전체 부품{VACUUM EXHAUST MECHANISM, COMPOUND VACUUM PUMP, AND ROTATING BODY COMPONENT}

본 발명은, 진공 배기 기구, 복합형 진공 펌프, 및 회전체 부품에 관한 것이다. 상세한 것은, 설치되는 진공 펌프에 있어서 배기 작용이 있는 관로와 관로를 효과적으로 연결하는 진공 배기 기구, 복합형 진공 펌프, 및 회전체 부품에 관한 것이다.

본 발명에 관한 진공 펌프는, 흡기구 및 배기구를 구비한 외장체를 형성하는 케이싱을 구비하고, 이 케이싱의 내부에, 상기 진공 펌프에 배기 기능을 발휘시키는 구조물이 수납되어 있다. 이 배기 기능을 발휘시키는 구조물은, 크게 나누어, 회전 가능하게 축지지된 회전부(로터부)와 케이싱에 대해 고정된 고정부(스테이터부)로 구성되어 있다.

또, 회전축을 고속 회전시키기 위한 모터가 설치되어 있어, 이 모터의 작동에 의해 회전축이 고속 회전하면, 로터 날개(회전 원판)와 스테이터 날개(고정 원판)의 상호 작용에 의해 기체가 흡기구로부터 흡인되어, 배기구로부터 배출되게 되어 있다.

진공 펌프 중, 시그반형의 구성을 가지는 시그반형 분자 펌프는, 회전 원판(회전 원반)과, 상기 회전 원판과 축방향으로 간극(클리어런스)을 가지고 설치된 고정 원판을 구비하고, 상기 회전 원판 혹은 고정 원판 중 적어도 어느 한쪽의 간극 대향 표면에 스파이럴형상 홈(나선홈 또는 소용돌이형상 홈이라고도 한다) 유로가 각설(刻設)되어 있다. 그리고, 스파이럴형상 홈 유로 내에 확산되어 들어 온 기체 분자에, 회전 원판에 의해 회전 원판 접선 방향(즉, 회전 원판의 회전 방향의 접선 방향)의 운동량을 부여함으로써, 스파이럴형상 홈에 의해 흡기구로부터 배기구를 향해 우위의 방향성을 부여하여 배기를 행하는 진공 펌프이다.

이러한 시그반형 분자 펌프 혹은 시그반형 분자 펌프부를 가지는 진공 펌프를 공업적으로 이용하기 위해서는, 회전 원판과 고정 원판의 단이 단단(單段)에서는 압축비가 부족하기 때문에, 다단화가 되어 있다.

여기서, 시그반형 분자 펌프는 반경류 펌프 요소이므로, 다단화하기 위해서는, 예를 들면, 외주부로부터 내주부로 배기한 후, 내주부로부터 외주부로 배기하고, 또 외주부로부터 내주부로 배기한다와 같이, 흡기구로부터 배기구(즉, 진공 펌프의 축선 방향)를 향하여, 회전 원판 및 고정 원판의 외주 단부 및 내주 단부에서 유로를 꺽어 배기하는 구성이 필요하다.

특허 문헌 1에는, 진공 펌프에 있어서, 펌프 하우징 내에, 터보 분자 펌프부와, 나선홈 펌프부와, 원심식 펌프부를 구비하는 기술이 기재되어 있다.

특허 문헌 2에는, 시그반형 분자 펌프에 있어서, 각 회전 원판 및 정지 원판의 대향면에 방향이 상이한 스파이럴형상 홈을 설치하는 기술이 기재되어 있다.

상술한 종래 기술의 구성에 있어서의 기체 분자(가스)의 흐름은 이하와 같이 된다. 상류 시그반형 분자 펌프부에서 내경부로 이송된 기체 분자는, 회전 원통과 고정 원판 사이에 형성된 공간에 배출된다. 다음에, 상기 공간에 개구된 하류 시그반형 분자 펌프부의 내경부에 의해 흡인되고, 그리고, 상기 하류 시그반형 분자 펌프부의 외경부에 이송된다. 다단화되어 있는 경우는, 이 흐름이 단마다 반복된다.

그러나, 상술한 공간(즉, 회전 원통과 고정 원판 사이에 형성된 공간)에는 배기 작용은 없기 때문에, 상류 시그반형 분자 펌프부에서 기체 분자에 부여한 배기 방향으로의 운동량은, 상기 공간에 도달했을 때에 소실되어 버리고 있었다.

일본국 특허공개 소60-204997호 일본국 실용 신안 등록 공보 제2501275호

도 7은, 종래의 시그반형 분자 펌프(1000)를 설명하기 위한 도이며, 종래의 시그반형 분자 펌프(1000)의 개략 구성예를 나타낸 도이다. 화살표는, 기체 분자의 흐름을 나타내고 있다.

또한, 이하, 1개(1단)의 고정 원판(5000)의, 흡기구(4)측을 시그반형 분자 펌프 상류 영역, 배기구(6)측을 시그반형 분자 펌프 하류 영역이라고 칭하여 설명한다.

도 8은, 종래의 시그반형 분자 펌프(1000)에 설치되는 고정 원판(5000)을 설명하기 위한 도이며, 종래의 시그반형 분자 펌프(1000)의 흡기구(4)(도 7)측으로부터 본 경우의 고정 원판(5000)의 단면도이다. 고정 원판(5000) 내의 화살표는 기체 분자의 흐름을 나타내고, 고정 원판(5000) 밖의 화살표는, 회전 원판(9000)(도 7)의 회전 방향을 나타내고 있다.

상술한 바와 같이, 시그반형 분자 펌프(1000)에 있어서, 기체 분자에 배기구(6)를 향해 우위의 운동량을 부여해도, 상기 기체 분자의 유로인 외측 꺽임 유로 b는 배기 작용이 없는 「연결」의 공간이기 때문에, 부여한 운동량이 소실되어 버린다. 그 때문에, 상기 외측 꺽임 유로 b에서 배기 작용이 중단되기 때문에, 압축한 기체 분자는 상기 외측 꺽임 유로 b를 통과할 때마다 개방되어 버려, 그 결과, 종래의 시그반형 분자 펌프(1000)에서는 양호한 배기 효율을 얻을 수 없다는 과제가 있었다.

외측 꺽임 유로 b의 유로 단면적을 작게 하면(즉, 회전 원판(9000)의 외경 부분과 스페이서(60)의 내경 부분으로 형성되는 간극이 좁아진다), 외측 꺽임 유로 b에 기체 분자가 체류하여, 시그반형 분자 펌프 하류 영역의 출구(상단의 고정 원판(5000)의 하류 영역으로부터, 하단의 고정 원판(5000)의 상류 영역으로 향하는 꺽임부)인 외측 꺽임 유로 b의 유로 압력이 상승한다. 그 결과, 압력 손실이 발생하여 진공 펌프(시그반형 분자 펌프(1000)) 전체의 배기 효율이 저하된다.

이러한 배기 효율의 저하를 막기 위해, 종래, 외측 꺽임 유로 b의 유로 단면적 및 관로 폭은, 시그반형 분자 펌프부에 있어서의 관로(회전 원판(9000)과 고정 원판(5000)의 (축방향의) 각 대향부 간에 형성되는 관로 및 간극이며, 기체 분자가 통과하는 관 형상의 유로)의 단면적 및 관로 폭보다, 충분히 크게 취할 필요가 있었다.

그러나, 외측 꺽임 유로 b의 유로의 치수를 크게 설정하려고 하면, 케이싱(2) 및 스페이서(60)의 직경 치수를 크게 하는 것에 의한 펌프 사이즈의 대형화나 재료 비용이 증대해 버린다.

또, 회전 원판(9000)이나 고정 원판(5000)의 외경을 축소하여 외측 꺽임 유로 b의 유로 단면적을 확보하면, 반경 방향의 유로 길이가 짧아져 1단당 압축 성능이 저하되기 때문에, 시그반형 분자 펌프부의 단수를 늘릴 필요가 있다.

그러나, 단수를 늘리면, 회전 원판(9000)이나 고정 원판(5000)의 재료비용·가공비용이 증대해 버린다.

또한, 고속 회전하는 회전 원판(9000)의 질량·관성 모멘트가 증대하기 때문에, 그것을 지지하는 자기 베어링 장치의 용량이 그 만큼 쓸데없이 필요해지는 등, 진공 펌프를 구성하는 구성품의 비용이 증대해 버린다는 과제가 있었다.

또, 외측 꺽임 유로 b의 유로의 치수를 크게 설정하려고 하여 외경측의 고정 원판(5000)의 직경을 작게 하면, 시그반형 분자 펌프부의 반경 방향 치수가 감소하여, 1단당 압축 성능을 충분히 얻을 수 없게 된다는 과제가 있었다.

그래서, 본 발명은, 설치되는 진공 펌프에 있어서 배기 작용이 있는 관로와 관로를 효과적으로 연결하는 진공 배기 기구, 복합형 진공 펌프, 및 회전체 부품을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 1에 기재된 본원 발명에서는, 흡기구와 배기구가 형성된 외장체와, 상기 외장체에 내포되며, 회전 가능하게 지지되는 회전축과, 상기 회전축 또는 상기 회전축에 설치된 원통체의 외주면에 설치된 회전 원판 형상부를 가지는 회전체 부품과, 상기 회전 원판 형상부와 동심 배치되며, 또한 상기 회전 원판 형상부와 간극을 통하여 축방향에 있어서 대향하는 고정 원판 형상부와, 상기 고정 원판 형상부와 별체, 또는 상기 고정 원판 형상부와 일체로 형성된, 상기 고정 원판 형상부를 고정하는 스페이서부를 구비하고, 상기 회전 원판 형상부와 상기 고정 원판 형상부의 상호 작용에 의해 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 진공 배기 기구로서, 상기 회전 원판 형상부 또는 상기 고정 원판 형상부는, 적어도 한쪽의 상기 축방향에 있어서의 대향면의 적어도 일부에, 골부와 산부를 가지는 스파이럴형상 홈이 설치되고, 상기 회전 원판 형상부는, 외주부의 적어도 일부에, 상기 회전 원판 형상부에 있어서의 상기 흡기구측의 면과 상기 배기구측의 면을 연통하는 홈부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 배기 기구를 제공한다.

청구항 2에 기재된 본원 발명에서는, 상기 홈부는, 상기 회전 원판 형상부의 중심축에 대해, 상기 진공 배기 기구에 있어서의 배기 방향으로 경사지는 경사 각도를 가지고 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 진공 배기 기구를 제공한다.

청구항 3에 기재된 본원 발명에서는, 상기 고정 원판 형상부 또는 상기 스페이서부 중 적어도 한쪽에, 상기 홈부의 상기 흡기구측 개구단 또는 상기 배기구측 개구단 중 적어도 어느 한쪽에 대향하는 사판(斜板)이 설치되고, 상기 사판은, 상기 회전 원판 형상부의 중심축에 대해, 상기 홈부의 상기 경사 각도와 역방향으로 경사지는 경사 각도를 가지고 설치되는 것을 특징으로 하는 청구항 2에 기재된 진공 배기 기구를 제공한다.

청구항 4에 기재된 본원 발명에서는, 청구항 1, 청구항 2, 또는 청구항 3에 기재된 진공 배기 기구를 포함하는 시그반형 배기 기구부와, 상기 외장체의 내측에 설치되는 고정부와, 상기 회전축에 설치되는 원통체의 외주면이 대향하는 대향면의 적어도 일부에 나사홈을 가지며, 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 진공 배기 기구인 나사홈형 분자 펌프 기구부를 복합시켜 구성되는 것을 특징으로 하는 복합형 진공 펌프를 제공한다.

청구항 5에 기재된 본원 발명에서는, 청구항 1, 청구항 2, 또는 청구항 3에 기재된 진공 배기 기구를 포함하는 시그반형 배기 기구부와, 상기 회전축 또는 상기 회전축에 설치된 원통체의 외주면으로부터 방사상으로 설치된 회전 날개와, 상기 회전 날개와 소정의 간격을 가지고 배치된 고정 날개를 구비하고, 상기 회전 날개와 상기 고정 날개의 상호 작용에 의해 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 진공 배기 기구인 터보 분자 펌프 기구부를 복합시켜 구성되는 것을 특징으로 하는 복합형 진공 펌프를 제공한다.

청구항 6에 기재된 본원 발명에서는, 청구항 1, 청구항 2, 또는 청구항 3에 기재된 진공 배기 기구를 포함하는 시그반형 배기 기구부와, 상기 외장체의 내측에 설치되는 고정부와, 상기 회전축에 설치되는 원통체의 외주면이 대향하는 대향면의 적어도 일부에 나사홈을 가지며, 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 나사홈형 분자 펌프 기구부와, 상기 회전축 또는 상기 회전축에 설치된 원통체의 외주면으로부터 방사상으로 설치된 회전 날개와, 상기 회전 날개와 소정의 간격을 가지고 배치된 고정 날개를 구비하고, 상기 회전 날개와 상기 고정 날개의 상호 작용에 의해 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 진공 배기 기구인 터보 분자 펌프 기구부를 복합시켜 구성되는 것을 특징으로 하는 복합형 진공 펌프를 제공한다.

청구항 7에 기재된 본원 발명에서는, 상기 회전축과, 상기 회전축에 설치되는 회전 원판 형상부를 가지며, 진공 펌프에 이용되는 회전체 부품으로서, 상기 회전 원판 형상부는, 외주부의 적어도 일부에, 상기 회전 원판 형상부에 있어서의 상기 진공 펌프의 흡기구측의 면과 배기구측의 면을 연통하는 홈부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1, 청구항 2, 청구항 3에 기재된 회전체 부품을 제공한다.

청구항 8에 기재된 본원 발명에서는, 상기 회전 원판 형상부는, 상기 회전 원판 형상부에 있어서의 상기 진공 펌프의 흡기구측의 면과 배기구측의 면 중 적어도 한쪽의 면의 적어도 일부에, 골부와 산부를 가지는 스파이럴형상 홈이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 7에 기재된 회전체 부품을 제공한다.

청구항 9에 기재된 본원 발명에서는, 상기 홈부는, 상기 회전 원판 형상부의 중심축에 대해 소정의 각도를 가지고 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 7 또는 청구항 8에 기재된 회전체 부품을 제공한다.

청구항 10에 기재된 본원 발명에서는, 흡기구와 배기구를 구비한 진공 펌프에 이용되며, 회전 원판 형상부를 가지는 회전체 부품으로서, 상기 회전 원판 형상부 또는 상기 회전 원판 형상부와 간극을 통하여 축방향에 있어서 대향하는 고정 원판 형상부는, 적어도 한쪽의 상기 축방향에 있어서의 대향면의 적어도 일부에, 골부와 산부를 가지는 스파이럴형상 홈을 구비하고, 상기 회전 원판 형상부는, 외주부의 적어도 일부에, 상기 회전 원판 형상부에 있어서의 상기 흡기구측의 면과 상기 배기구측의 면을 연통하는 홈부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 회전체 부품을 제공한다.

청구항 11에 기재된 본원 발명에서는, 청구항 1 내지 청구항 3에 기재된 진공 배기 기구에 이용되는 회전체 부품을 제공한다.

본 발명에 의하면, 설치되는 진공 펌프에 있어서 배기 작용이 있는 관로와 관로를 효과적으로 연결하는 진공 배기 기구 및 회전체 부품, 및, 배기 작용이 있는 관로와 관로를 효과적으로 연결하는 복합형 진공 펌프를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프의 개략 구성예를 나타낸 도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 관련된 회전 원판을 설명하기 위한 도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 관련된 홈부를 설명하기 위한 확대도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프의 개략 구성예를 나타낸 도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 관련된 회전 원판을 설명하기 위한 도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태를 설명하기 위한 확대도이다.
도 7은 종래 기술을 설명하기 위한 도이며, 시그반형 분자 펌프의 개략 구성을 나타낸 도이다.
도 8은 종래 기술을 설명하기 위한 도이며, 흡기구측으로부터 본 경우의 고정 원판의 단면도이다.

(i) 실시 형태의 개요

본 발명의 실시 형태의 진공 펌프는, 설치되는 고정 원판(고정 원판 형상부) 또는 설치되는 회전 원판(회전 원판 형상부) 중 적어도 어느 한쪽에, 산부와 골부를 가지는 스파이럴형상 홈이 각설(설치)되는 시그반형 분자 펌프부를 가지며, 시그반형 분자 펌프부 내의 외주(외측)의 꺽임 유로에 있어서 컨덕턴스를 크게 취하기 위한 구조를 구비한다.

이 컨덕턴스를 크게 취하기 위한 구조는, 본 발명의 실시 형태에서는, 회전 원판에 형성되는 연통부(홈부, 슬릿), 혹은, 고정 원판에 설치되는 사판과 회전 원판에 형성되는 연통부에 의해, 진공 펌프 내부에 형성된다.

또한, 본 발명의 실시 형태에서는, 「연통부」나 「홈부」, 「슬릿」은, 「오목」 형상의 형태를 표현하기 위해 이용하고 있다. 이 오목 형상의 부분(오목부)은, 회전 원판(또는 고정 원판)에 각설된 홈이며, 보다 상세한 것은, 회전 원판(또는 고정 원판)에 있어서의 외경부로부터 내경 방향을(진공 펌프에 있어서 샤프트가 설치되어 있는 측을) 향해 각설된 홈이다. 또한, 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이 형성된 오목 형상의 부분을, 이후 「홈부」로 통일하여 표현한다.

(ii) 실시 형태의 상세

이하, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대해서, 도 1 내지 도 6을 참조하여 상세하게 설명한다.

또한, 본 실시 형태에서는, 진공 펌프의 일례로서, 시그반형 분자 펌프를 이용하여 설명하고, 회전 원판의 직경 방향과 수직인 방향을 축선 방향으로 한다.

우선, 시그반형 분자 펌프 상류 영역의 기체를 외경측으로부터 내경측으로 배기하고, 그리고, 시그반형 분자 펌프 하류 영역의 기체를 내경측으로부터 외경측으로 배기한다는 꺽임 배기의 진공 배기 기구를 가지는 시그반형 분자 펌프의 구성예에 대해서 설명한다.

(ii-1) 구성

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프(1)의 개략 구성예를 나타낸 도이며, 시그반형 분자 펌프(1)의 축선 방향의 단면도를 나타내고 있다. 또한, 도면 중의 화살표는 기체의 흐름을 나타낸다. 또한, 이 도면에서는, 설명을 위해 기체의 흐름을 나타내는 화살표는 도면의 일부에 표시되어 있다.

시그반형 분자 펌프(1)의 외장체를 형성하는 케이싱(2)은, 대략 원통 형상의 형상을 하고 있으며, 케이싱(2)의 하부(배기구(6)측)에 설치된 베이스(3)와 함께 시그반형 분자 펌프(1)의 하우징을 구성하고 있다. 그리고, 이 하우징의 내부에는, 시그반형 분자 펌프(1)에 배기 기능을 발휘시키는 구조물인 기체 이송 기구가 수납되어 있다.

이 기체 이송 기구는, 크게 나누어, 회전 가능하게 지지(축지지)된 회전부와 하우징에 대해 고정된 고정부로 구성되어 있다.

케이싱(2)의 단부에는, 상기 시그반형 분자 펌프(1)로 기체를 도입하기 위한 흡기구(4)가 형성되어 있다. 또, 케이싱(2)의 흡기구(4)측의 단면에는, 외주측으로 튀어 나온 플랜지부(5)가 형성되어 있다.

또, 베이스(3)에는, 상기 시그반형 분자 펌프(1)로부터 기체를 배기하기 위한 배기구(6)가 형성되어 있다.

회전부(로터부)는, 회전축인 샤프트(7), 이 샤프트(7)에 설치된 로터(8), 로터(8)에 설치된 복수장의 회전 원판(9), 및 회전 원통(회전체 원통부)(10) 등으로 구성되어 있다. 또한, 샤프트(7) 및 로터(8)에 의해 로터부가 구성되어 있다.

각 회전 원판(9)은, 샤프트(7)의 축선에 대해 수직으로 방사상으로 신장한 원판 형상을 한 원판 부재로 이루어진다.

또, 회전 원통(10)은, 로터(8)의 회전축선과 동심의 원통 형상을 한 원통 부재로 이루어진다.

샤프트(7)의 축선 방향 중간 정도에는, 샤프트(7)를 고속 회전시키기 위한 모터부(20)가 설치되어 있다.

또한, 샤프트(7)의 모터부(20)에 대해 흡기구(4)측, 및 배기구(6)측에는, 샤프트(7)를 래디얼 방향(경방향)으로 비접촉으로 지지(축지지)하기 위한 경방향 자기 베어링 장치(30, 31), 샤프트(7)의 하단에는, 샤프트(7)를 축선 방향(액시얼 방향)으로 비접촉으로 지지(축지지)하기 위한 축방향 자기 베어링 장치(40)가 설치되어 있다.

하우징의 내주측에는, 고정부(스테이터부)가 형성되어 있다. 이 고정부는, 흡기구(4)측에 설치된 복수장의 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50) 등으로 구성되며, 상기 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)에는 골부 및 산부로 구성되는 스파이럴형상 홈이 각설되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 고정 원판 쪽에 스파이럴형상 홈을 각설하는 구성(스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50))으로 했지만, 이것에 한정되지 않으며, 상술한 회전 원판(9) 혹은 고정 원판 중 적어도 어느 한쪽의 간극 대향 표면에 스파이럴형상 홈 유로가 각설되어 있으면 된다.

각 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)은, 샤프트(7)의 축선에 대해 수직으로 방사상으로 신장한 원판 형상을 한 원판 부재로 구성되어 있다.

각 단의 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)은, 원통 형상을 한 스페이서(60)(스테이터부)에 의해 서로 떨어져 고정되어 있다. 도 1의 화살표는, 기체의 흐름을 나타내고 있다. 시그반형 분자 펌프(1)에서는, 회전 원판(9)과 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)이 서로 다르게 배치되어, 축선 방향으로 복수단 형성되어 있지만, 진공 펌프에 요구되는 배출 성능을 만족하기 위해, 필요에 따라 임의의 수의 로터 부품 및 스테이터 부품을 설치할 수 있다.

이와 같이 구성된 시그반형 분자 펌프(1)에 의해, 시그반형 분자 펌프(1)에 설치되는 진공실(도시하지 않음) 내의 진공 배기 처리를 행하도록 되어 있다.

그리고, 상술한 본 발명의 각 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프(1)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 홈부(900)를 가진다.

(ii-2-i) 제1 실시 형태

본 발명의 제1 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프(1)의 시그반형 분자 펌프부는, 일례로서, 고정부(스테이터부)에 스파이럴형상 홈이 형성되고, 회전부(로터부)에는 스파이럴형상 홈이 형성되어 있지 않은 구성으로 하고 있다.

본 발명의 제1 실시 형태에서는, 회전부(로터부)인 회전 원판(9)의 외경부에 홈부(900)가 설치된다.

도 2는, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련된 회전 원판(9)을 설명하기 위한 도이다. 이 도면에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 형태에서는, 회전 원판(9)의 외경은, 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)에 있어서의 스파이럴형상 홈이 각설되어 있는 면의 외경과 거의 동등하게 설계된다.

도 2(a)는, 도 1에 있어서의 A-A＇ 방향을 흡기구(4)측으로부터 본 회전 원판(9)의 단면도이며, 이 도면에는, 상기 회전 원판(9)의 하단에 설치되는 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)의 일부도 그려져 있다.

그리고, 이 도면에는, 상기 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)에 각설되는 스파이럴형상 홈을 파선으로 나타내고 있다. 또, 도면 중의 실선의 화살표는 회전 원판(9)의 회전 방향을 나타내고, 파선의 화살표는 유로 내의 기체 분자(가스)의 흐름을 나타내고 있다.

도 2(b)는, 도 2(a)에 있어서의 화살표 B방향으로부터 본 도면이며, 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)과, 상기 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)의 상류측(흡기구(4)측)면과 하류측(배기구(6)측)면 사이에 끼워지는 형태로 나타나며, 또한 홈부(900)가 형성된 회전 원판(9)이 나타나 있다. 또한, 도면 중의 실선의 화살표는 기체 분자의 흐름을 나타낸다.

도 2(c)는, 홈부(900)에 경사를 갖게 한 구성인 홈부(901)를 설명하기 위한 도이며, 상세한 것은 본 제1 실시 형태의 변형예로서 후술한다.

도 3은, 본 발명의 제1 실시 형태에 관련된 홈부(900)를 설명하기 위한, 시그반형 배기 기구(시그반형 분자 펌프부)의 일부 확대도이다.

본 발명의 제1 실시 형태에 관련된 회전 원판(9)은, 도 2(a), 도 2(b) 및 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 회전 원판(9)의 외주부(외경부)에 홈부(900)가 형성된다. 보다 상세한 것은, 시그반형 분자 펌프(1)의 기체 이송 기구(시그반형 분자 펌프부)에 있어서의 유로의 상류측과 하류측을 연통시키기 위해, 회전 원판(9)에 있어서의 시그반형 분자 펌프 상류 영역의 면(즉 흡기구측의 면)과 시그반형 분자 펌프 하류 영역의 면(즉 배기구측의 면)을 축방향으로 연통하는 홈부(900)를, 회전 원판(9)의 외경부에 각설한다.

이 홈부(900)가 형성되는 회전 원판(9)을 가지는 구성에 의해, 스페이서(60)와 회전 원판(9)으로 형성되는 외측 꺽임 유로 a(도 1)의 치수를 좁게 한 경우여도, 시그반형 분자 펌프부에 있어서의 유로의 상류측으로부터 하류측으로 향하여, 유로가 폐색되지 않도록 개구 면적을 확보하는 구성이 형성된다.

보다 상세한 것은, 기체 분자는, 홈부(900)가 형성된 공간을, 외측 꺽임 유로 a의 일부(즉, 꺽임 유로로서 추가된 유로)로서 통과할 수 있다.

한편, 회전 원판(9)의 외주부 중, 홈부(900)가 형성되어 있지 않은 부분의 면과, 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)의 상호 작용에 의해, 배기 작용이 야기된다.

즉, 시그반형 분자 펌프(1)의 상류 영역 출구로부터 하류 영역 출구로의 꺽임 유로에 있어서, 만일 홈부(900)가 형성되어 있지 않은 구성의 경우보다, 홈부(900)의 단면적분만큼 유로 면적을 크게 하는 것이 가능하게 된다. 그리고, 그 증면적분에 따라, 외측 꺽임 유로 a의 단면적을 줄이는 것이 가능하게 된다.

이 구성에 의해, 본 실시 형태에서는, 스페이서(60) 및 케이싱(2)의 외경을 축소하는 것이 가능해져, 부품의 사이즈 축소에 의한 코스트 다운 및 시그반형 분자 펌프(1)의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 홈부(900)의 폭이나 피치, 개구율 등은, 외측 꺽임 유로 a로서 필요한 단면적과, 배기 작용을 일으키기 위해 필요한, 회전 원판(9)에 있어서의 홈부(900)가 형성되지 않는 부분(면)의 비율로 적당히 설정하는 것이 바람직하다.

또, 압력이 높아지면 시그반형 분자 펌프(1)의 배기 작용에 거슬러 역류하는 기체 분자가 증가하기 때문에, 배기구(6)측에 설치하는 홈부(900)는, 흡기구(4)측에 설치하는 홈부(900)보다, 홈부(900)의 원주 방향의 폭을 좁고, 안길이(반경 방향)를 얕게, 또한 피치를 세밀하게, 그리고 개구율을 작게 설정할 필요가 있다.

본 발명의 제1 실시 형태에서는, 회전 원판(9)에 의해 기체 분자에 운동량을 부여한는 드래그 효과가 감소하거나, 하류부로부터 상류부로의 역류가 발생할 가능성을 저감시키기 위해, 홈부(900)를 내측(즉, 회전 원판(9)의 내경측)을 향하여 깊게 설치하거나(절입을 깊게 하거나), 회전 원판(9)의 원주에 대한 홈부(900)의 개구율을 너무 높게 설정하는 구성으로는 하지 않는 것이 바람직하다.

본 발명의 제1 실시 형태에 관련된 홈부(900)의 폭 및 안길이(반경 방향)는, 홈부(900)를 설치하는 개소의 압력 조건 및 주로 배기하는 가스의 특성에 따라 적당히 결정하는 것이 바람직하지만, 적어도 드래그 효과를 확보하기 위해, 홈부(900)의 깊이는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)에 각설되는 스파이럴형상 홈부의 반경 방향 치수 폭에 대해 30%　미만, 적합하게는 10%　미만이 바람직하다.

또, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 형태에서는, 스파이럴형상 홈이 없는 부분에 연장 설치해도 된다.

(ii-2-ii) 제1 실시 형태의 변형예

상술한 제1 실시 형태는, 이하와 같이 변형시킬 수 있다.

도 2(c)는, 도 2(a)에 있어서의 화살표 B방향으로부터 본 도면이며, 실선의 화살표는 기체 분자의 흐름을 나타내고 있다.

본 발명의 제1 실시 형태의 변형예에 관련된 구조에서는, 도 2(c)에 나타낸 바와 같이, 회전 원판(9)의 외주부에, 시그반형 분자 펌프(1)의 기체 이송 기구(시그반형 분자 펌프부)에 있어서의 유로의 상류측과 하류측에 연통하고, 또한, 상기 회전 원판(9)의 회전 방향을 향해 배기구(6)측으로의 경사를 가지는(즉, 시그반형 분자 펌프(1)의 축선 방향과 소정의 각도를 가진다) 홈부(901)가 설치된다. 즉, 본 변형예에서는, 홈부가 경사를 가지는(즉, 회전 원판(9)의 외경부에, 축방향 비스듬하게 홈부를 설치한다) 점이, 제1 실시 형태와 상이하다.

본 발명의 제1 실시 형태의 변형예에서는, 회전 원판(9)에 형성하는 홈부(홈부(900))를, 사면을 가지는 홈부(901)의 구성으로 함으로써, 상기 사면에 입사하는 기체 분자에 배기 방향(하류의 방향)으로 우위가 되는 운동량을 부여하여 반사·확산시킬 수 있다.

그 결과, 시그반형 분자 펌프(1)는, 보다 효율적으로 배기 작용을 발생시킬 수 있다.

이와 같이, 제1 실시 형태 및 변형예의 구성에 의해, 종래는 배기 작용이 없는 접속 관로로서 설치되어 있던 외측 꺽임 유로에 배기 작용을 갖게 하는 것이 가능해지므로, 시그반형 분자 펌프(1)의 펌프 성능이 더 향상된다.

(ii-3-i) 제2 실시 형태

도 4는, 본 발명의 제2 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프(100)의 개략 구성예를 나타낸 도이며, 시그반형 분자 펌프(100)의 축선 방향의 단면도를 나타내고 있다.

또한, 도 1과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 설명을 생략한다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프(100)에는, 시그반형 분자 펌프(100)의 축선 방향과 소정의 각도를 가지는 홈부(901)와 사판(70)이 형성된다.

도 5는, 본 발명의 제2 실시 형태에 관련된 회전 원판(9)을 설명하기 위한 도이다.

도 5(a)는, 도 4에 있어서의 A-A＇ 방향을 흡기구(4)측으로부터 본 회전 원판(9)의 단면도이며, 이 도면에는, 상기 회전 원판(9)의 하단에 설치되는 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)의 일부도 그려져 있다. 그리고, 상기 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)에 각설되는 스파이럴형상 홈이 파선으로 나타나 있다. 또, 이 도면 내에서 실선의 화살표는 회전 원판(9)의 회전 방향을 나타내고, 파선의 화살표는 유로 내의 기체 분자(가스)의 흐름을 나타내고 있다.

도 5(b)는, 도 5(a)에 있어서의 화살표 B방향으로부터 본 도면이며, 실선의 화살표는 기체 분자의 흐름을 나타내고, 파선은 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)을 나타내고 있다.

도 6(a)는, 본 발명의 제2 실시 형태를 설명하기 위한 확대도이다. 본 발명의 제2 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프(100)의 시그반형 분자 펌프부는, 일례로서, 고정부(스테이터부)에 스파이럴형상 홈이 형성되고, 회전부(로터부)에는 스파이럴형상 홈이 형성되어 있지 않은 구성으로 하고 있다.

본 발명의 제2 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프(100)에서는, 도 5(b) 및 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 스파이럴형상 홈이 형성되어 있지 않은 회전 원판(9)의 외경부에, 시그반형 분자 펌프(100)의 축선 방향과 소정의 각도를 가지는 홈부(901)가 설치된다. 그리고 또한, 스파이럴형상 홈이 형성된 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)에는, 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)에 있어서 스파이럴형상 홈이 형성되어 있지 않은 외경 단부(50a)에, 상술한 홈부(901)의 경사와 역방향(시그반형 분자 펌프(100)의 축선 방향에 대해)의 소정의 각도를 가지는 사판(70)이 설치된다.

보다 상세한 것은, 본 발명의 제2 실시 형태에 관련된 사판(70)은, 스페이서(60)측으로부터 회전 원통(10)측으로 돌출된 얇은 판 형상의 부재이며, 회전 원판(9)에 설치된 홈부(901)에 의한 유로의 상하(흡기구(4)측과 배기구(6)측)에, 상기 회전 원판(9)과 간극을 통하여 설치되도록(즉, 홈부(901)에 대해, 시그반형 분자 펌프(100)의 축방향으로 소정의 간극을 가지고 설치되도록), 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50)에 고정된다.

또한, 본 발명의 제2 실시 형태에서는, 사판(70)을, 상류(흡기구(4))측과 하류(배기구(6))측의 사이에 설치하는 구성으로 했지만, 상류측이나 하류측 중 어느 한쪽에 설치되는 구성이어도 된다.

즉, 본 발명의 제2 실시 형태에서는, 기체 이송 기구(시그반형 분자 펌프부) 영역을 흐르는 기체 분자는, 회전 원판(9)에 형성된 홈부(901) 내의 공간(간극)과, 이 홈부(901)의 경사와 축방향으로 반대의 경사를 가지며 설치된 사판(70)의 상호 작용에 의해 배기 방향으로 우위의 운동량이 부여되면서, 외경측에서 되돌아갈 때의 유로(외측 꺽임 유로 a)를 통과한다.

이 구성에 의해, 본 발명의 제2 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프(100)에서는, 외측 꺽임 유로 a(도 1과 동일 위치. 시그반형 분자 펌프(1)의 축선 방향의 유로)에 있어서, 시그반형 분자 펌프(100)의 기체 이송 기구로, 홈부(901)에 의해 배기 방향으로 우위의 운동량이 부여된 기체 분자에 대해, 또한, 사판(70)에 의해 배기 방향으로 우위가 되는 방향으로 반사·확산시킬 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 제2 실시 형태에서는, 홈부(901)와 사판(70)에 의한 상승(相乘) 효과를 가져올 수 있으므로, 운동량이 산일(散逸)되어 버리는 것을 보다 적극적으로 방지할 수 있어, 외측 꺽임 유로 a(도 1과 동일 위치)에 있어서도 중단되지 않고 연속해서 배기 작용을 일으키게 할 수 있다.

(ii-3-ii) 제2 실시 형태의 변형예

상술한 제2 실시 형태에서는, 고정부(스테이터부)인 고정 원판에 스파이럴형상 홈이 형성되는 구성으로 했지만, 회전부(로터부)에 스파이럴형상 홈이 형성되는 구성으로 해도 된다.

도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 형태의 변형예에 관련된 시그반형 분자 펌프(100)에서는, 스파이럴형상 홈이 형성된 스파이럴형상 홈이 달린 회전 원판(90)에, 시그반형 분자 펌프(100)의 축선 방향과 소정의 각도를 가지는 홈부(902)가 설치된다. 그리고 또한, 스파이럴형상 홈이 형성되어 있지 않은 고정 원판(51)의 외경 단부(51a)에, 상술한 홈부(902)의 경사와 역방향(시그반형 분자 펌프(100)의 축선 방향에 대해)의 소정의 각도를 가지는 사판(71)이 더 설치된다.

사판(71)은, 상술한 제2 실시 형태와 마찬가지로, 얇은 판 형상의 부재이며, 스파이럴형상 홈이 달린 회전 원판(90)의 홈부(902)에 의한 유로의 상하(흡기구(4)측과 배기구(6)측)에, 스파이럴형상 홈이 달린 회전 원판(90)과 간극을 통하여 설치되도록(즉, 홈부(902)에 대해, 시그반형 분자 펌프(100)의 축방향으로 소정의 간극을 가지고 설치되도록), 고정 원판(51)에 고정된다.

또한, 본 발명의 제2 실시 형태의 변형예에서는, 도 6(b)에 나타낸 바와 같이, 사판(71)을, 상류(흡기구(4))측의 스페이서(60)와 홈부(902)(스파이럴형상 홈이 달린 회전 원판(90)), 및 홈부(902)(스파이럴형상 홈이 달린 회전 원판(90))와 하류(배기구(6))측 스페이서(60) 사이에 설치하는 구성으로 했지만, 상류측이나 하류측 중 어느 한쪽에 배치되는 구성이어도 된다.

본 발명의 제2 실시 형태의 변형예에서는, 기체 분자는, 스파이럴형상 홈이 달린 회전 원판(90)에 형성된 홈부(902) 내의 공간과, 홈부(902)가 가지는 경사와 축방향 반대로 경사를 가지는 사판(71)의 상호 작용에 의해 배기 방향으로 우위의 운동량이 부가되면서, 외경측에서 되돌아갈 때의 유로(외측 꺽임 유로 a)를 통과한다. 이 상호 작용에 의한 상승 효과에 의해, 운동량이 산일되어 버리는 것을 보다 적극적으로 방지할 수 있어, 상기 외측 꺽임 유로 a에 있어서도 중단되지 않고 연속해서 배기 작용을 일으키게 할 수 있다.

이와 같이, 제2 실시 형태 및 변형예의 구성에 의해, 종래는 배기 작용이 없는 접속 관로로서 설치되어 있던 외측 꺽임 유로에 배기 작용을 갖게 하는 것이 가능해지므로, 시그반형 분자 펌프(100)의 펌프 성능이 더 향상된다.

본 발명의 각 실시 형태 및 각 변형예에 관련된 홈부(900(901, 902))는, 시그반형 분자 펌프(1, 100) 내에 있어서, 그것보다 상측에 시그반형 배기 기구 만으로 구성되는 분자 펌프부의 펌프 요소가 없는 최상류가 되는 꺽임 유로나, 그것보다 하측에 시그반형 분자 펌프부의 펌프 요소가 없는 최하류가 되는 꺽임 유로에 설치되는 원판(회전부이면 회전 원판(9)이나 스파이럴형상 홈이 달린 회전 원판(90), 또, 고정부이면 고정 원판(51)이나 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판(50))에 대해서도 적용할 수 있어, 상기 어느 하나의 원판에 형성되는 홈부에 대응하는 사판(70(71))에 대해서도, 최상류 및 최하류에도 적용할 수 있다.

본 발명의 각 실시 형태의 각 변형예에서 설명한 홈부의 경사(소정의 각도)는, 시그반형 분자 펌프(1, 100)의 축선과 수직인 방향을 수평 기준으로 하여, 하향으로, 5도에서 85도의 각도(부각·복각)로 구성하는 것이 바람직하다.

또한, 각각의 실시 형태는, 각각 조합해도 된다.

또, 상술한 본 발명의 각 실시 형태는, 시그반형 분자 펌프에 한정되지는 않는다. 시그반형 분자 펌프부와 터보 분자 펌프부를 구비하는 복합형 터보 분자 펌프나, 시그반형 분자 펌프부와 나사홈식 펌프부를 구비한 복합형 터보 분자 펌프, 혹은, 시그반형 분자 펌프부와 터보 분자 펌프부와 나사홈식 펌프부를 구비한 복합형 터보 분자 펌프(진공 펌프)에도 적용할 수 있다.

터보 분자 펌프부를 구비하는 복합형 진공 펌프의 경우는, 도시하지 않지만, 회전축 및 이 회전축에 고정되어 있는 회전체로 이루어지는 회전부가 더 구비되며, 회전체에는, 방사상으로 설치된 로터 날개(동익)가 다단으로 설치되어 있다. 또, 로터 날개에 대해 서로 다르게 스테이터 날개(정익)가 다단으로 설치되어 있는 고정부를 구비하고 있다.

나사홈식 펌프부를 구비하는 복합형 진공 펌프의 경우는, 도시하지 않지만, 회전 원통과의 대향면에 스파이럴형상 홈이 형성되며, 소정의 클리어런스를 두고 회전 원통의 외주면에 대면하는 나사홈 스페이서가 더 구비되며, 회전 원통이 고속 회전하면, 가스가 회전 원통의 회전에 수반하여 나사홈(나선홈)에 가이드되면서 배기구측으로 송출되는 기체 이송 기구를 구비하고 있다. 또한, 가스가 흡기구측으로 역류하는 힘을 저감시키기 위해, 이 클리어런스는 작으면 작을수록 좋다.

터보 분자 펌프부와 나사홈식 펌프부를 구비한 복합형 터보 분자 펌프의 경우는, 도시하지 않지만, 상술한 터보 분자 펌프부와 상술한 나사홈식 펌프부가 더 구비되며, 터보 분자 펌프부(제1 기체 이송 기구)에서 압축된 후, 나사홈식 펌프부(제2 기체 이송 기구)에서 더 압축되는 기체 이송 기구를 구비하는 구성이 된다.

이 구성에 의해, 본 발명의 각 실시 형태에 관련된 시그반형 분자 펌프(1, 100)는, 이하의 효과를 나타낼 수 있다.

(1) 외경측에 형성되는, 기체 분자가 되돌아갈 때의 유로(외측 꺽임 유로)에서의 손실을 최소한으로 할 수 있으므로, 효율이 좋은 시그반형 분자 펌프를 구축할 수 있다.

(2) 홈부(900, 901, 902)와 사판(70, 71)에 의해 배기 작용에 상승 효과를 가져올 수 있으므로, 외측 꺽임 유로에 있어서 기체 분자의 운동량이 산일되어 버리는 것을 보다 적극적으로 방지할 수 있어, 상기 외측 꺽임 유로에 있어서의 배기 작용의 연속성을 유지할 수 있다.

1: 시그반형 분자 펌프 2: 케이싱
3: 베이스 4: 흡기구
5: 플랜지부 6: 배기구
7: 샤프트 8: 로터
9: 회전 원판 10: 회전 원통
20: 모터부 30: 경방향 자기 베어링 장치
31: 경방향 자기 베어링 장치 40: 축방향 자기 베어링 장치
50: 스파이럴형상 홈이 달린 고정 원판
50a: 외경 단부 51: 고정 원판
51a: 외경 단부 60: 스페이서
70: 사판 71: 사판
90: 스파이럴형상 홈이 달린 회전 원판
100: 시그반형 분자 펌프 900: 홈부
901: 홈부 902: 홈부
1000: 시그반형 분자 펌프(종래) 5000: 고정 원판(종래)
9000: 회전 원판(종래)

Claims (11)

1. 흡기구와 배기구가 형성된 외장체와,
   상기 외장체에 내포되며, 회전 가능하게 지지되는 회전축과,
   상기 회전축 또는 상기 회전축에 설치된 원통체의 외주면에 설치된 회전 원판 형상부를 가지는 회전체 부품과,
   상기 회전 원판 형상부와 동심 배치되며, 또한 상기 회전 원판 형상부와 간극을 통하여 축방향에 있어서 대향하는 고정 원판 형상부와,
   상기 고정 원판 형상부와 별체, 또는 상기 고정 원판 형상부와 일체로 형성된, 상기 고정 원판 형상부를 고정하는 스페이서부를 구비하고,
   상기 회전 원판 형상부와 상기 고정 원판 형상부의 상호 작용에 의해 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 진공 배기 기구로서,
   상기 고정 원판 형상부는, 골부와 산부를 가지고 상기 고정 원판 형상부의 내주와 외주 사이에 연속하여 각설(刻設)된 스파이럴형상 홈이 설치되고,
   상기 회전 원판 형상부는, 외주부의 적어도 일부에, 상기 회전 원판 형상부에 있어서의 상기 흡기구측의 면과 상기 배기구측의 면을 연통하는 홈부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 배기 기구.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 홈부는, 상기 회전 원판 형상부의 중심축에 대해, 상기 진공 배기 기구에 있어서의 배기 방향으로 경사지는 경사 각도를 가지고 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 배기 기구.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 고정 원판 형상부 또는 상기 스페이서부 중 적어도 한쪽에, 상기 홈부의 상기 흡기구측 개구단 또는 상기 배기구측 개구단 중 적어도 어느 한쪽에 대향하는 사판(斜板)이 설치되고,
   상기 사판은, 상기 회전 원판 형상부의 중심축에 대해, 상기 홈부의 상기 경사 각도와 역방향으로 경사지는 경사 각도를 가지고 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 배기 기구.
4. 청구항 1, 청구항 2, 또는 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 진공 배기 기구를 포함하는 시그반형 배기 기구부와,
   상기 외장체의 내측에 설치되는 고정부와, 상기 회전축에 설치되는 원통체의 외주면이 대향하는 대향면의 적어도 일부에 나사홈을 가지며, 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 진공 배기 기구인 나사홈형 분자 펌프 기구부를 복합시켜 구성되는 것을 특징으로 하는 복합형 진공 펌프.
5. 청구항 1, 청구항 2, 또는 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 진공 배기 기구를 포함하는 시그반형 배기 기구부와,
   상기 회전축 또는 상기 회전축에 설치된 원통체의 외주면으로부터 방사상으로 설치된 회전 날개와,
   상기 회전 날개와 소정의 간격을 가지고 배치된 고정 날개를 구비하고, 상기 회전 날개와 상기 고정 날개의 상호 작용에 의해 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 진공 배기 기구인 터보 분자 펌프 기구부를 복합시켜 구성되는 것을 특징으로 하는 복합형 진공 펌프.
6. 청구항 1, 청구항 2, 또는 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 진공 배기 기구를 포함하는 시그반형 배기 기구부와,
   상기 외장체의 내측에 설치되는 고정부와, 상기 회전축에 설치되는 원통체의 외주면이 대향하는 대향면의 적어도 일부에 나사홈을 가지며, 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 나사홈형 분자 펌프 기구부와,
   상기 회전축 또는 상기 회전축에 설치된 원통체의 외주면으로부터 방사상으로 설치된 회전 날개와, 상기 회전 날개와 소정의 간격을 가지고 배치된 고정 날개를 구비하고, 상기 회전 날개와 상기 고정 날개의 상호 작용에 의해 상기 흡기구측으로부터 흡기한 기체를 상기 배기구측으로 이송하는 진공 배기 기구인 터보 분자 펌프 기구부를 복합시켜 구성되는 것을 특징으로 하는 복합형 진공 펌프.
7. 청구항 1, 청구항 2, 또는 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 진공 배기 기구를 구비한 진공 펌프에 이용되는 회전체 부품으로서,
   상기 회전 원판 형상부는, 외주부의 적어도 일부에, 상기 회전 원판 형상부에 있어서의 상기 진공 펌프의 흡기구측의 면과 배기구측의 면을 연통하는 홈부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 회전체 부품.
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 홈부는, 상기 회전 원판 형상부의 중심축에 대해 소정의 각도를 가지고 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 회전체 부품.
9. 흡기구와 배기구를 구비한 진공 펌프에 이용되며, 회전 원판 형상부를 가지는 회전체 부품으로서,
   상기 회전 원판 형상부와 간극을 통하여 축방향에 있어서 대향하는 고정 원판 형상부는, 상기 축방향에 있어서의 대향면의 적어도 일부에, 골부와 산부를 가지고 상기 고정 원판 형상부의 내주와 외주 사이에 연속하여 각설된 스파이럴형상 홈을 구비하고,
   상기 회전 원판 형상부는, 외주부의 적어도 일부에, 상기 회전 원판 형상부에 있어서의 상기 흡기구측의 면과 상기 배기구측의 면을 연통하는 홈부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 회전체 부품.
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