CN101709713A - 高流量环形拖动复合分子泵 - Google Patents

Abstract

本发明为高流量环形拖动复合分子泵解决已有复合盘拖分子泵结构复杂，成本高，抽气槽的当量通道长度较短，对分子量较小的气体的压缩比低的问题。高流量环形拖动复合分子泵，其特征在于泵体(1)内沿主轴的轴向从进气口到排气口依次串联有涡轮组件、牵引组件，每个组件由一级单元或串联的多级单元构成，涡轮组件的每级单元由涡轮动叶片和涡轮静叶片配合组成，牵引组件的每级单元由光面动叶片和抽气盘组成，牵引组件的末级单元的抽气盘在单面有环形抽气槽，其它单元的抽气盘在上、下面有环形抽气槽，涡轮动叶片和光面动叶片与主轴连接成转子体，涡轮静叶片和抽气盘与泵体(1)的内壁固连，主轴与电机组件(8)连接，抽气盘的形环抽气槽底壁上有通孔(13)，涡轮动叶片和光面动叶片与抽气盘的连接处有抽气通道，与环形抽气槽相通，相邻单元的抽气通道相通。

Description

高流量环形拖动复合分子泵

技术领域：

本发明与盘形分子泵有关，尤其与多级串联构成的复合盘拖泵有关。

背景技术：

分子泵是一种工艺要求高、高速旋转的精密机械，从结构上分为两大类：普通涡轮分子泵和复合分子泵，前者的泵芯部分全部由涡轮叶片动静相间匹配组成，后者的泵芯部分则由涡轮级合理串接分子牵引级组成，而牵引级又分为筒式牵引级(柱拖泵)和盘式牵引级(盘拖泵)；目前盘拖泵或串接有盘式牵引结构的复合分子泵中的抽气盘盘面上的抽气沟槽通常由若干个均布的同类型沟槽组成，其沟槽槽壁型线为阿基米德螺旋线、渐开线、圆弧线或直线几种，这几种型线的抽气通道由于是若干个抽气槽均布组成，槽壁的首尾两端分别位于环形抽气圆盘的内外圆周上，对每一级来说，这些均布的每一个抽气槽对气体的牵引拖动效果是等同的，这样一来，抽气槽的当量通道长度较短，抽气性能不佳，而且由于泵的结构属性所限，这类盘拖泵或串接有这类盘式牵引结构的复合分子泵对分子量较小的气体(如氢气等)的压缩比较低，再者，阿基米德螺旋线和渐开线槽壁的加工工艺复杂，制造麻烦，不易实现。

发明内容：

本发明的目的是提供一种结构简单，制造容易，成本低廉，抽气性能良好的高流量环形拖动复合分子泵。

本发明是这样实现的：

本发明高流量环形拖动复合分子泵，泵体1内沿主轴的轴向从进气口到排气口依次串联有涡轮组件、牵引组件，每个组件由一级单元或串联的多级单元构成，涡轮组件的每级单元由涡轮动叶片和涡轮静叶片配合组成，牵引组件的每级单元由光面动叶片和抽气盘组成，牵引组件的末级单元的抽气盘在单面有环形抽气槽，其它单元的抽气盘在上、下面有环形抽气槽，涡轮动叶片和光面动叶片与主轴连接成转子体，涡轮静叶片和抽气盘与泵体1的内壁固连，主轴与电机组件8连接，抽气盘的形环抽气槽底壁上有通孔13，涡轮动叶片和光面动叶片与抽气盘的连接处有抽气道通。

涡轮组件与牵引组件之间有过渡组件，过渡组件的每级单元由涡轮动叶片和上、下面开有环形抽气槽的抽气盘组成，抽气盘的环形抽气槽内有隔板12将环形抽气槽截断，隔板一侧的抽气槽底壁有通孔13，只有下面的抽气槽的外侧壁有缺口14位于隔板另一侧。

抽气盘的环形抽气槽内有断头12，断头12一侧的抽气槽内有通孔13，另一侧的抽气槽有缺口14，缺口的外槽壁靠近抽气盘的外圆周，与动叶片的外圆柱面形成抽气通道。

相邻的两抽气盘的通孔13和缺口14错位构成圆周角。

抽气盘的单面有内圆台阶15与动叶片间隙配合。

涡轮组件由五级串联的单元构成，涡轮静叶片3之间有隔环4、过渡组件由一级单元构成，牵引组件由六级串联的单元构成，末级单元的抽气盘6的光面上的通孔13通水平轴向的排气口16，涡轮组件的上面单元与竖直轴向的进气口17相通。

主轴与光面动叶片为整体，涡轮动叶片为组合体。

抽气盘上的环形抽气槽的深度有差别。

本发明由于采用了上述技术方案，所提供的复合分子泵结构比较简单、工艺性良好、便于加工制造、造价低；更为重要的是：本发明的复合分子泵由于抽气槽的当量通道长，抽气通道错开，抽气性能优越，工作范围宽，返流量低、泄漏量小，在低真空区域和高真空区域工作时，即使是对分子量较小的气体(如氢气等)，也均能获得很高的排气量和很大的压缩比。

附图说明：

图1为本发明总体结构示意图，其中：1为泵体、2为涡轮动叶片、3为涡轮静叶片、4为隔环、5为过渡级盘形拖动抽气盘、6为牵引级盘形拖动抽气盘、7为牵引组件末级拖动抽气盘、8为电机组件、9为底盘、10为油杯组件、11为地脚组件。

图2为本发明用作过渡组件(涡轮级过渡到盘形拖动牵引级)的定抽气盘结构示意图。

图3为图2的右视图。

图4为图2的左视图。

图5为本发明牵引组件抽气盘结构示意图。

图6为图5的右视图。

图7为图5的左视图。

图8为本发明牵引组件最后一级(最终排气级)的抽气盘结构示意图。

图9为图8的右视图。

具体实施方式：

以下结合附图对本发明进一步的说明：

图1为本发明一种总体结构示意图，其中：1为泵体、2为涡轮动叶片、3为涡轮静叶片、4为隔环、5为过渡组件的抽气盘、6为牵引组件的抽气盘、7为牵引组件末级单元抽气盘、8为电机组件、9为底盘、10为油杯组件、11为地脚组件。

本实施例中，涡轮组件为五单元，过渡组件为1单元，牵引组件为六单元。

本实施例中，六层涡轮动叶片叠加，通过螺栓和垫圈与主轴联接。六个光面动叶片与主轴为一体。

本实施例中，过渡组件的抽气盘5和牵引组合前三个单元的抽气盘6的槽深制成同一深度，牵引组件后三单元的抽气盘6槽深另制成同一深度。

图2为本发明用作过渡组件(涡轮级过渡到盘形拖动牵引级)的抽气盘5结构示意图，其上侧面不开缺口，下侧开有缺口，本实施例中为扇形缺口，供气体从本级抽气通道流到下级抽气通道用；抽气槽上开有通孔13，本实施例中为扇形通孔。

图5为本发明用作盘形拖动牵引级的环形圆盘结构示意图，其上下两侧面开有缺口，本实施例中为扇形缺口，供气体从上级抽气通道引入到本级抽气通道或供气体从本级抽气通道流到下级抽气通道用；抽气槽上开有通孔，本实施例中为扇形通孔。

图8为本发明用作盘形拖动牵引组件最后一级(最终排气级)的抽气盘7结构示意图，其下侧为光平面，不开抽气槽及缺口，上侧开有抽气槽及其缺口，本实施例中为扇形缺口，供气体从上级抽气通道引入到本级抽气通道用；抽气槽上开有通孔13，作为牵引级最终排气孔，本实施例中为扇形通孔。

相邻两抽气盘的通孔13错位，同一抽气盘的正面和背面的缺口错位。

Claims (8)

1.高流量环形拖动复合分子泵，其特征在于泵体(1)内沿主轴的轴向从进气口到排气口依次串联有涡轮组件、牵引组件，每个组件由一级单元或串联的多级单元构成，涡轮组件的每级单元由涡轮动叶片和涡轮静叶片配合组成，牵引组件的每级单元由光面动叶片和抽气盘组成，牵引组件的末级单元的抽气盘在正面有环形抽气槽，背面为光面，牵引组件的其它单元的抽气盘在正面和背面面有环形抽气槽，涡轮动叶片和光面动叶片与主轴连接成转子体，涡轮静叶片和抽气盘与泵体(1)的内壁固连，主轴与电机组件(8)连接，抽气盘的形环抽气槽底壁上有通孔(13)，抽气盘的环形抽气槽内有隔板(12)将环形抽气槽截断，隔板(12)一侧的抽气槽内有通孔(13)，另一侧的抽气槽外侧壁上有缺口(14)，缺口的外槽壁靠近抽气盘的外圆周，与动叶片的外圆柱面形成抽气通道，相邻两抽气盘中，位于前面的抽气盘的缺口与位于后面的抽气盘的缺口对齐。

2.根据权利要求1所述的复合分子泵，其特征在于涡轮组件与牵引组件之间有过渡组件，过渡组件的每级单元由涡轮动叶片和上、下面开有环形抽气槽的抽气盘组成，抽气盘的环形抽气槽内有隔板(12)将环形抽气槽截断，隔板一侧的抽气槽底壁有通孔(13)，只有下面的抽气槽的外侧壁有缺口(14)位于隔板另一侧。

3.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于相邻的两抽气盘的通孔(13)错位。

4.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于同一抽气盘的正面和背面的缺口错位。

5.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于抽气盘的单面有内圆台阶(15)与动叶片间隙配合。

6.根据权利要求2所述的复合分子泵，其特征在于涡轮组件由多级串联的单元构成，涡轮静叶片(3)之间有隔环(4)、过渡组件由至少一级单元构成，牵引组件由多级串联的单元构成，末级单元的抽气盘(6)的光面上的通孔(13)通水平轴向的排气口(16)，涡轮组件的上面单元与竖直轴向的进气口(17)相通。

7.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于主轴与光面动叶片为整体，涡轮动叶片为组合体，通过螺栓和垫圈与主轴连接。

8.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于抽气盘上的环形抽气槽的深度有差别。

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