JPH0510289A - 複合形ドライ真空ポンプ - Google Patents

複合形ドライ真空ポンプ

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Publication number
JPH0510289A
JPH0510289A JP3165822A JP16582291A JPH0510289A JP H0510289 A JPH0510289 A JP H0510289A JP 3165822 A JP3165822 A JP 3165822A JP 16582291 A JP16582291 A JP 16582291A JP H0510289 A JPH0510289 A JP H0510289A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pump
casing
cylindrical
discs
static
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3165822A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshio Nemoto
利夫 根本
Kintaro Mori
金太郎 森
Mitsuo Ogura
光雄 小倉
Takeshi Toyoshima
威 豊島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koki Holdings Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Koki Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Koki Co Ltd filed Critical Hitachi Koki Co Ltd
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Publication of JPH0510289A publication Critical patent/JPH0510289A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08Centrifugal pumps
    • F04D17/16Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168Pumps specially adapted to produce a vacuum

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子顕微鏡や質量分析計等において、油蒸気
発生のないクリーン真空の得られる真空ポンプを提供す
るために大気圧から10~4Pa台まで、1台のポンプで
直接クリーン排気できるようにする。 【構成】 上部にポンプ1、下部に駆動モータ2を配置
している。該駆動モータ2の回転軸3には渦流円盤6を
固定し、2個の該渦流円盤6の間には半割した静止円盤
7を一定間隔で挿入する。渦流円盤6と静止円盤7を円
筒状静止カバー10で覆い、更にその外側を吸気穴8と
排気穴9を有した円筒状ケーシング12で覆い、静止カ
バー10とケーシング12の間には、円筒状回転体14
を配設する。ケーシング12の内面及び静止カバー10
の外面にはネジ溝を形成し、真空側をネジ溝、大気側を
ジークバーン形にして大気圧から直接作動可能にした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は大気圧からクリーンな真
空が得られるドライ真空ポンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のポンプは図3に示すように駆動モ
ータ2から突出した回転軸3にネジ溝11を設けた回転
体4を固定した。そしてケーシング内周面19と回転体
4のネジ溝11の作用により排気していた。しかしネジ
溝ポンプの排気口9には大気圧から排気可能な別の真空
ポンプを接続する必要があった。そのため騒音大、振動
大、据付面積大等の問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来のネジ溝方式真空
ポンプは大気圧から直接作動することはできなかった。
本発明の目的はネジ溝ポンプの後段に大気圧から作動で
きる渦流溝円盤式のジークバーンポンプを設けて複合さ
せることである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的はネジ溝ポンプ
の排気口に渦流溝円盤式のジークバーンポンプを設けて
複合させることにより大気圧から直接排気できる。
【0005】
【作用】ネジ溝ポンプはケーシング内周面とケーシング
内側に同心状に挿入された静止カバー外周に設けたネジ
溝との粘性ポンプ作用により排気する。また渦流溝円盤
式ジークバーンポンプは渦流溝円盤の上下に配置された
静止円盤との粘性ポンプ作用により大気圧から直接作動
できる。従ってネジ溝ポンプの後段に渦流溝円盤式ジー
クバーンポンプを複合させることにより大気圧から直接
作動できる。
【0006】
【実施例】本発明は図1に示すように上部にポンプ1、
下部に駆動モータ2を配置している。前記駆動モータ2
から垂直上方へ突出した回転軸3に上下面中心部が開口
した円筒状の回転体4を固定する。該回転体4の外周面
には図2〜図4に示すように渦流溝5を上下面に施した
渦流溝円盤6を軸方向に一定間隔で複数個圧入固定す
る。2個の渦流溝円盤6の中間には、半割した静止円盤
7が挿入される。静止円盤7の半割部は接着真空シール
する。渦流溝円盤6と静止円盤7は上部中心部に吸気穴
8下部中心部に排気穴9を設けた円筒状の静止カバー1
0で覆い、該静止カバー10の外周面にはネジ溝11を
設ける。更に静止カバー10の外周面から一定間隔を設
けて静止カバー10と同心円状の位置に上下面を開口し
た円筒状のケーシング12で覆い、静止カバー10の外
周面ネジ溝とケーシング12の内周面ネジ溝13の中間
位置に上面閉塞円筒状回転体14を回転軸3に固定し
て、真空側をネジ溝ポンプ、大気側を渦流溝円盤ポンプ
に配列して大気圧から直列作動可能にした。駆動モータ
2はモータハウジング15に水冷ジャケット16を設け
て冷却している。またケーシング12の外周も水冷パイ
プ17を巻いて冷却している。回転軸3の下部には、駆
動モータ2の回転を検出するための回転検出センサ18
が取付けられている。
【0007】
【発明の効果】本発明によれば、次のような効果を奏す
ることができる。 1)ネジ溝ポンプの後段に渦流溝円盤方式のポンプを複
合させたので直接大気圧から作動できる。 2)ネジ溝ポンプの内側に渦流溝円盤ポンプを組込んだ
ためポンプの高さが低くできるのでコンパクトになる。 3)渦流溝円盤ポンプを複合させることにより、据付面
積が小さくできる。 4)渦流溝円盤ポンプを複合させることにより、真空ホ
ース等の配管が不要となるので、排気抵抗が小さくでき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明複合ドライ真空ポンプの一実施例を示
す縦断面図である。
【図2】 本発明に使用されるの渦流溝円盤の平面図で
ある。
【図3】 図2の縦断面図である。
【図4】 図3の底面図である。
【図5】 従来の真空ポンプの一実施例を示す縦断面図
である。
【符号の説明】
1はポンプ、2は駆動ポンプ、6は渦流溝円盤、7は静
止円盤、14は円筒状回転体である。
フロントページの続き (72)発明者 豊島 威 茨城県勝田市武田1060番地 日立工機株式 会社内

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 回転軸に回転円盤を軸方向に複数個固定
    し、回転円盤と回転円盤の間には、静止円盤を交互に配
    設し、少なくとも一方の円盤にスパイラル状溝を形成
    し、前記回転円盤と静止円盤を円筒状静止カバーで覆
    い、更にその外側を吸気口と排気口を設けた円筒状ケー
    シングで覆い、静止カバーとケーシングの間には、円筒
    状回転体を配設して、ケーシング内面及び静止カバー外
    面あるいは円筒状回転体内外周面のいずれかの面にネジ
    溝を形成し、真空側をネジ溝形、大気側をジークバーン
    形にして大気圧から直接作動可能にしたことを特徴とす
    る複合形ドライ真空ポンプ。
JP3165822A 1991-07-05 1991-07-05 複合形ドライ真空ポンプ Withdrawn JPH0510289A (ja)

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JPH0510289A true JPH0510289A (ja) 1993-01-19

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010031857A (ja) * 2008-07-26 2010-02-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh 真空ポンプ
WO2017099182A1 (ja) 2015-12-09 2017-06-15 エドワーズ株式会社 連結型ネジ溝スペーサ、および真空ポンプ

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Effective date: 19981008