JP6885851B2 - 真空ポンプ、ロータ、ロータフィン、およびケーシング - Google Patents
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Description
3a ロータ翼部
4 ロータ軸
7 吸気口
11 ロータ
12 ロータ中心部
21 ロータフィン
31,41,51,61,71 フィン軸部
32,42,52,62,72 移送翼
Claims (9)
- ロータ中心部と、前記ロータ中心部から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部とを備えるロータと、
前記ロータを収容するケーシングとを備えた真空ポンプにおいて、
前記ロータは、ロータフィンをさらに備え、
前記ロータフィンは、前記ロータ中心部の端部に接続されるフィン軸部と、前記フィン軸部から延び、吸気口を介して前記端部に向かって落下してくるパーティクルを前記ロータの外周方向に向けて反跳させる移送翼とを備え、
前記移送翼のロータ軸方向の高さおよび枚数は、前記パーティクルが前記移送翼に衝突せずに前記端部に落下しないように、前記パーティクルの落下速度および前記ロータの回転速度に基づいて設定されていること、
を特徴とする真空ポンプ。 - 前記移送翼は、前記移送翼から反跳した前記パーティクルが別の前記移送翼に衝突しないように、配置されていることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- 前記移送翼は、90度未満の仰角で配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の真空ポンプ。
- 前記移送翼の上端の少なくとも一部は、断面が鋭角な上端エッジとなっていることを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか1項記載の真空ポンプ。
- 前記移送翼の上面の少なくとも一部は、半径方向に沿って傾斜していることを特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載の真空ポンプ。
- 前記ケーシングの内周面は、高さ方向において、前記移送翼の上端より低くかつ初段の前記ロータ翼部より高い位置に、傾斜面を有し、
前記傾斜面は、前記移送翼から反跳した前記パーティクルを前記ロータ翼部へ反跳または落下させること、
を特徴とする請求項1から請求項5のうちのいずれか1項記載の真空ポンプ。 - ロータ中心部と、前記ロータ中心部から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部とを備える真空ポンプのロータにおいて、
前記ロータは、ロータフィンを備え、
前記ロータフィンは、前記ロータ中心部の端部に接続されるフィン軸部と、前記フィン軸部から延び、吸気口を介して前記端部に向かって落下してくるパーティクルを前記ロータの外周方向に向けて反跳させる移送翼とを備え、
前記移送翼のロータ軸方向の高さおよび枚数は、前記パーティクルが前記移送翼に衝突せずに前記端部に落下しないように、前記パーティクルの落下速度および前記ロータの回転速度に基づいて設定されていること、
を特徴とする真空ポンプのロータ。 - ロータ中心部と、前記ロータ中心部から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部とを備える真空ポンプのロータにおけるロータフィンであって、
前記ロータフィンは、前記ロータ中心部の端部に接続されるフィン軸部と、前記フィン軸部から延び、吸気口を介して前記端部に向かって落下してくるパーティクルを前記ロータの外周方向に向けて反跳させる移送翼とを備え、
前記移送翼のロータ軸方向の高さおよび枚数は、前記パーティクルが前記移送翼に衝突せずに前記端部に落下しないように、前記パーティクルの落下速度および前記ロータの回転速度に基づいて設定されていること、
を特徴とするロータフィン。 - ロータ中心部と、前記ロータ中心部から延び、所定の仰角を有する複数段のロータ翼部とを備えるロータを収容する真空ポンプのケーシングにおいて、
前記ケーシングは、当該ケーシングの内周面に傾斜面を備え、
前記ロータは、ロータフィンをさらに備え、前記ロータフィンは、前記ロータ中心部の端部に接続されるフィン軸部と、前記フィン軸部から延び、吸気口を介して前記端部に向かって落下してくるパーティクルを前記ロータの外周方向に向けて反跳させる移送翼とを備え、
前記傾斜面は、高さ方向において、前記移送翼の上端より低くかつ初段の前記ロータ翼部より高い位置にあり、
前記傾斜面は、前記移送翼から反跳した前記パーティクルを前記ロータ翼部へ反跳または落下させること、
を特徴とする真空ポンプのケーシング。
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