JPH0988872A - ターボ真空ポンプ - Google Patents
ターボ真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0988872A JPH0988872A JP23807095A JP23807095A JPH0988872A JP H0988872 A JPH0988872 A JP H0988872A JP 23807095 A JP23807095 A JP 23807095A JP 23807095 A JP23807095 A JP 23807095A JP H0988872 A JPH0988872 A JP H0988872A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- impeller
- pump stage
- compression pump
- centrifugal
- core plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】遠心圧縮ポンプ段１３は、前面に回転方向に対
して内向きの羽根を複数個有し、回転軸１２に取り付け
られたオープン羽根車１３Ａと、ハウジング１１内壁に
取り付けられ、かつ羽根車１３Ａの裏面（羽根を設けな
い面）と対向する面に回転方向に対して内向きの羽根を
複数個設けた固定円板１３Ｂとを配置して構成される。
円周流圧縮ポンプ段１４は、回転軸１２に取り付けら
れ、外周面に複数個の羽根を放射状に設けた羽根車１４
Ａと、ハウジング１１内壁に取り付けられ、羽根車１４
Ａの表面（羽根を設けている面）と対向する面にＵ字状
の溝を有する固定円板１４Ｂとを交互に配置して構成さ
れる。 【効果】オープン羽根車の遠心力による反りを小さく抑
え、羽根車と固定円板の隙間の拡大も抑えることができ
る。
して内向きの羽根を複数個有し、回転軸１２に取り付け
られたオープン羽根車１３Ａと、ハウジング１１内壁に
取り付けられ、かつ羽根車１３Ａの裏面（羽根を設けな
い面）と対向する面に回転方向に対して内向きの羽根を
複数個設けた固定円板１３Ｂとを配置して構成される。
円周流圧縮ポンプ段１４は、回転軸１２に取り付けら
れ、外周面に複数個の羽根を放射状に設けた羽根車１４
Ａと、ハウジング１１内壁に取り付けられ、羽根車１４
Ａの表面（羽根を設けている面）と対向する面にＵ字状
の溝を有する固定円板１４Ｂとを交互に配置して構成さ
れる。 【効果】オープン羽根車の遠心力による反りを小さく抑
え、羽根車と固定円板の隙間の拡大も抑えることができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ターボ真空ポンプに関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の排気口を大気圧としたドライター
ボ真空ポンプは、特公平3−7039 号公報に記載されてい
るものが知られている。この真空ポンプの構造を、図４
から図７により説明する。この真空ポンプは、吸気口１
１Ａ及び排気口１１Ｂを有するハウジング１１と、この
ハウジング内に軸受２１を介して回転自在に支持された
回転軸１２と、吸気口１１Ａ側から排気口１１Ｂ側に至
る間のハウジング１１内に順次配設された遠心圧縮ポン
プ段１３及び円周流圧縮ポンプ段１４とを備えている。
回転軸１２はこれに連結したモータ１５により駆動され
るようになっている。遠心圧縮ポンプ段のオープン形羽
根車１３Ａは円板状の心板の片面に、羽根１６がついて
いる。羽根１６のついたオープン形羽根車１３Ａ前面で
は中心軸から外周方向へ、オープン形羽根車１３Ａ後面
では固定円板１３Ｂの羽根１７との相互作用で外周から
中心のほうへと分子ドラッグポンプ作用で気体を圧縮す
る。遠心圧縮ポンプ段１３で圧縮された気体は、円周流
圧縮ポンプ段で更に圧縮されて排気口１１Ｂから大気に
排気される。
ボ真空ポンプは、特公平3−7039 号公報に記載されてい
るものが知られている。この真空ポンプの構造を、図４
から図７により説明する。この真空ポンプは、吸気口１
１Ａ及び排気口１１Ｂを有するハウジング１１と、この
ハウジング内に軸受２１を介して回転自在に支持された
回転軸１２と、吸気口１１Ａ側から排気口１１Ｂ側に至
る間のハウジング１１内に順次配設された遠心圧縮ポン
プ段１３及び円周流圧縮ポンプ段１４とを備えている。
回転軸１２はこれに連結したモータ１５により駆動され
るようになっている。遠心圧縮ポンプ段のオープン形羽
根車１３Ａは円板状の心板の片面に、羽根１６がついて
いる。羽根１６のついたオープン形羽根車１３Ａ前面で
は中心軸から外周方向へ、オープン形羽根車１３Ａ後面
では固定円板１３Ｂの羽根１７との相互作用で外周から
中心のほうへと分子ドラッグポンプ作用で気体を圧縮す
る。遠心圧縮ポンプ段１３で圧縮された気体は、円周流
圧縮ポンプ段で更に圧縮されて排気口１１Ｂから大気に
排気される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来技術の特公平3−7
039 号公報に記載の真空ポンプはターボ形で、図４の吸
気口１１Ａから吸入された気体は、遠心圧縮ポンプ段１
３の分子ドラッグ作用で圧縮されて分子流から粘性流に
かわり、円周流圧縮ポンプ段１４で大気圧まで圧縮され
て排気口１１Ｂから排気される。ターボ形の真空ポンプ
は、その排気原理から高回転で運転される。径が大きく
平板円板の片面にのみ羽根１６がついている遠心圧縮ポ
ンプ段オープン形羽根車１３Ａは、定格の高速回転時
は、羽根にかかる遠心力によって心板の羽根１６のつい
た面の伸びが後面よりも大きく、心板は後面側に反った
状態で運転される。オープン形羽根車１３Ａは漏れ流量
を少なくするために、前後面ともに固定円板１３Ｂと細
隙を保つ必要があるが、静止時に対して運転時に羽根車
１３Ａの心板が反るという変形を生じると、あらかじめ
変形代を加えて隙間を設定しなければならないので隙間
が大きくなってしまい、遠心圧縮ポンプ段の性能が悪く
なってしまうという問題があった。特にオープン形羽根
車１３Ａ前面外周側隙間が大きくなることを防止するこ
とが困難であった。
039 号公報に記載の真空ポンプはターボ形で、図４の吸
気口１１Ａから吸入された気体は、遠心圧縮ポンプ段１
３の分子ドラッグ作用で圧縮されて分子流から粘性流に
かわり、円周流圧縮ポンプ段１４で大気圧まで圧縮され
て排気口１１Ｂから排気される。ターボ形の真空ポンプ
は、その排気原理から高回転で運転される。径が大きく
平板円板の片面にのみ羽根１６がついている遠心圧縮ポ
ンプ段オープン形羽根車１３Ａは、定格の高速回転時
は、羽根にかかる遠心力によって心板の羽根１６のつい
た面の伸びが後面よりも大きく、心板は後面側に反った
状態で運転される。オープン形羽根車１３Ａは漏れ流量
を少なくするために、前後面ともに固定円板１３Ｂと細
隙を保つ必要があるが、静止時に対して運転時に羽根車
１３Ａの心板が反るという変形を生じると、あらかじめ
変形代を加えて隙間を設定しなければならないので隙間
が大きくなってしまい、遠心圧縮ポンプ段の性能が悪く
なってしまうという問題があった。特にオープン形羽根
車１３Ａ前面外周側隙間が大きくなることを防止するこ
とが困難であった。
【０００４】本発明の目的は、運転時の心板の反りを少
なくして、オープン形羽根車前後面の隙間を小さく保て
るようにし、良好な性能のターボ真空ポンプを提供する
ことにある。
なくして、オープン形羽根車前後面の隙間を小さく保て
るようにし、良好な性能のターボ真空ポンプを提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の真空ポンプでは、オープン形羽根車の心
板を後傾させて、あるいはオープン形羽根車心板の後面
に環状の部材を設けて、心板付根より外側の羽根車部材
の断面重心が、心板付根板厚中心の半径方向延長上にあ
るようにしたものである。
めに、本発明の真空ポンプでは、オープン形羽根車の心
板を後傾させて、あるいはオープン形羽根車心板の後面
に環状の部材を設けて、心板付根より外側の羽根車部材
の断面重心が、心板付根板厚中心の半径方向延長上にあ
るようにしたものである。
【０００６】
【作用】高速の定格運転状態で、径が大きい遠心圧縮ポ
ンプ段オープン形羽根車は遠心力により変形するが、心
板付根より外側の羽根車部材の断面重心が、心板付根板
厚中心の半径方向延長上にあるので、羽根車の心板の前
後への反りが小さく抑えられ、半径方向への伸びが主な
変形となる。遠心圧縮ポンプ段は、半径方向へは厳しい
細隙はもたないので、半径方向への変形は問題となら
ず、心板の反りが小さいことにより、性能に大きな影響
を与える羽根車前後の隙間を小さく設定することができ
る。
ンプ段オープン形羽根車は遠心力により変形するが、心
板付根より外側の羽根車部材の断面重心が、心板付根板
厚中心の半径方向延長上にあるので、羽根車の心板の前
後への反りが小さく抑えられ、半径方向への伸びが主な
変形となる。遠心圧縮ポンプ段は、半径方向へは厳しい
細隙はもたないので、半径方向への変形は問題となら
ず、心板の反りが小さいことにより、性能に大きな影響
を与える羽根車前後の隙間を小さく設定することができ
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。図１は本発明による真空ポンプの全体構造を示す
もので、図１で、この真空ポンプは、吸気口１１Ａ及び
排気口１１Ｂを有するハウジング１１と、このハウジン
グ１１内に軸受２１を介して回転自在に支持された回転
軸１２と、吸気口１１Ａ側から排気口１１Ｂ側に至る間
のハウジング１１内に順次配設された遠心圧縮ポンプ段
１３及び円周流圧縮ポンプ段１４とを備え、回転軸１２
はこれに連結したモータ１５により駆動される。
する。図１は本発明による真空ポンプの全体構造を示す
もので、図１で、この真空ポンプは、吸気口１１Ａ及び
排気口１１Ｂを有するハウジング１１と、このハウジン
グ１１内に軸受２１を介して回転自在に支持された回転
軸１２と、吸気口１１Ａ側から排気口１１Ｂ側に至る間
のハウジング１１内に順次配設された遠心圧縮ポンプ段
１３及び円周流圧縮ポンプ段１４とを備え、回転軸１２
はこれに連結したモータ１５により駆動される。
【０００８】遠心圧縮ポンプ段１３は、前面に回転方向
に対して内向きの羽根を複数個有し、回転軸１２に取り
付けられたオープン羽根車１３Ａと、ハウジング１１内
壁に取り付けられ、かつ羽根車１３Ａの裏面（羽根を設
けない面）と対向する面に回転方向に対して内向きの羽
根を複数個設けた固定円板１３Ｂとを配置して構成され
る。
に対して内向きの羽根を複数個有し、回転軸１２に取り
付けられたオープン羽根車１３Ａと、ハウジング１１内
壁に取り付けられ、かつ羽根車１３Ａの裏面（羽根を設
けない面）と対向する面に回転方向に対して内向きの羽
根を複数個設けた固定円板１３Ｂとを配置して構成され
る。
【０００９】円周流圧縮ポンプ段１４は、回転軸１２に
取り付けられ、外周面に複数個の羽根を放射状に設けた
羽根車１４Ａと、ハウジング１１内壁に取り付けられ、
羽根車１４Ａの表面（羽根を設けている面）と対向する
面にＵ字状の溝を有する固定円板１４Ｂとを交互に配置
して構成される。
取り付けられ、外周面に複数個の羽根を放射状に設けた
羽根車１４Ａと、ハウジング１１内壁に取り付けられ、
羽根車１４Ａの表面（羽根を設けている面）と対向する
面にＵ字状の溝を有する固定円板１４Ｂとを交互に配置
して構成される。
【００１０】次に本実施例の作用について説明する。
【００１１】ポンプ運転初期の過渡状態では、ポンプ内
部は全体が大気圧に近い高い圧力下にあり、気体の流れ
は粘性流となるので、遠心圧縮ポンプ段１３は遠心圧縮
機として働く。ポンプ回転数が上昇し、円周流圧縮ポン
プ段１４の圧縮比が大きくなって、円周流圧縮ポンプ段
の入口の圧力が十分に低くなった状態では、遠心圧縮ポ
ンプ段１３は、ジーグバーン分子ポンプとして働く。本
実施例は、真空から大気圧まで非常に大きな圧縮比を必
要とするが、本実施例の圧縮比は羽根車と固定円板間の
漏れ流れひいては羽根車と固定円板間の隙間に大きく影
響され、隙間が広がると圧縮比が低下する。径が大きい
オープン形羽根車１３Ａは特に遠心力により変形しやす
いが、図２のように羽根車の心板を後方へ傾けて心板付
根板厚中心と心板付根より外側の部分の断面重心が心板
付根板厚中心の半径方向延長上にあるようにしたことに
より、オープン形羽根車１３Ａの遠心力による反りを小
さく抑え、羽根車と固定円板の隙間の拡大も抑えること
ができて圧縮比の高い遠心圧縮ポンプ段１３を形成する
ことができる。遠心圧縮ポンプ段１３と円周流圧縮ポン
プ段１４の段数及びポンプ回転数は、定常運転状態で、
両段の境の圧力が粘性流と中間流の切り替わり点、すな
わち数Torrになるように設定する。
部は全体が大気圧に近い高い圧力下にあり、気体の流れ
は粘性流となるので、遠心圧縮ポンプ段１３は遠心圧縮
機として働く。ポンプ回転数が上昇し、円周流圧縮ポン
プ段１４の圧縮比が大きくなって、円周流圧縮ポンプ段
の入口の圧力が十分に低くなった状態では、遠心圧縮ポ
ンプ段１３は、ジーグバーン分子ポンプとして働く。本
実施例は、真空から大気圧まで非常に大きな圧縮比を必
要とするが、本実施例の圧縮比は羽根車と固定円板間の
漏れ流れひいては羽根車と固定円板間の隙間に大きく影
響され、隙間が広がると圧縮比が低下する。径が大きい
オープン形羽根車１３Ａは特に遠心力により変形しやす
いが、図２のように羽根車の心板を後方へ傾けて心板付
根板厚中心と心板付根より外側の部分の断面重心が心板
付根板厚中心の半径方向延長上にあるようにしたことに
より、オープン形羽根車１３Ａの遠心力による反りを小
さく抑え、羽根車と固定円板の隙間の拡大も抑えること
ができて圧縮比の高い遠心圧縮ポンプ段１３を形成する
ことができる。遠心圧縮ポンプ段１３と円周流圧縮ポン
プ段１４の段数及びポンプ回転数は、定常運転状態で、
両段の境の圧力が粘性流と中間流の切り替わり点、すな
わち数Torrになるように設定する。
【００１２】図３は図１の実施例の遠心圧縮ポンプ段の
別の実施例で、オープン形羽根車の心板の後面に環状の
部材を設け、羽根車の心板付根より外側の部分の断面重
心が心板付根板厚中心の半径方向延長上にあるようにし
たことにより、オープン形羽根車１３Ａの遠心力による
反りを小さく抑え、羽根車と固定円板の隙間の拡大も抑
えることができて圧縮比の高い遠心圧縮ポンプ段１３を
形成することができる。
別の実施例で、オープン形羽根車の心板の後面に環状の
部材を設け、羽根車の心板付根より外側の部分の断面重
心が心板付根板厚中心の半径方向延長上にあるようにし
たことにより、オープン形羽根車１３Ａの遠心力による
反りを小さく抑え、羽根車と固定円板の隙間の拡大も抑
えることができて圧縮比の高い遠心圧縮ポンプ段１３を
形成することができる。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、遠心圧縮ポンプ段のオ
ープン羽根車の心板付根より外側の部分の断面重心が心
板付根板厚中心の半径方向延長上にあるようにしたこと
により、オープン羽根車の遠心力による反りを小さく抑
え、羽根車と固定円板の隙間の拡大も抑えることができ
る。
ープン羽根車の心板付根より外側の部分の断面重心が心
板付根板厚中心の半径方向延長上にあるようにしたこと
により、オープン羽根車の遠心力による反りを小さく抑
え、羽根車と固定円板の隙間の拡大も抑えることができ
る。
【図１】本発明の一実施例の縦断面図。
【図２】図１に示した実施例の遠心圧縮ポンプ段の説明
図。
図。
【図３】遠心圧縮ポンプ段の別の実施例の説明図。
【図４】従来の真空ポンプの縦断面図。
【図５】従来の真空ポンプの遠心圧縮ポンプ段の縦断面
図。
図。
【図６】図５のIII−III矢視図。
【図７】図６のIV−IV矢視図。
１１…ハウジング、１１Ａ…吸気口、１１Ｂ…排気口、
１２…回転軸、１３…遠心圧縮ポンプ段、１３Ａ…オー
プン形羽根車、１３Ｂ…固定円板、１４…円周流圧縮ポ
ンプ段、１６，１７…羽根。
１２…回転軸、１３…遠心圧縮ポンプ段、１３Ａ…オー
プン形羽根車、１３Ｂ…固定円板、１４…円周流圧縮ポ
ンプ段、１６，１７…羽根。
Claims (1)
- 【請求項１】吸気口及び排気口を有するハウジングと、
前記ハウジング内に回転自在に支持された回転軸と、前
記回転軸に支持された遠心オープン形羽根車と、前記ハ
ウジング内に前記羽根車とともに遠心圧縮ポンプ段を形
成する固定円板とを有し、この遠心圧縮ポンプ段の排気
口側に円周流圧縮ポンプ段が配設され、前記吸気口から
吸入した気体を排気口から大気に排気するターボ真空ポ
ンプにおいて、 遠心圧縮ポンプ段のオープン形羽根車の心板を後傾させ
て、羽根車の心板付根より外側の部分の断面重心が、心
板付根板厚中心の半径方向延長上にあるようにしたこと
を特徴とするターボ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23807095A JPH0988872A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | ターボ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23807095A JPH0988872A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | ターボ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0988872A true JPH0988872A (ja) | 1997-03-31 |
Family
ID=17024715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23807095A Pending JPH0988872A (ja) | 1995-09-18 | 1995-09-18 | ターボ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0988872A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1205667A2 (de) * | 2000-11-13 | 2002-05-15 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Gasreibungspumpe |
-
1995
- 1995-09-18 JP JP23807095A patent/JPH0988872A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1205667A2 (de) * | 2000-11-13 | 2002-05-15 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Gasreibungspumpe |
| EP1205667A3 (de) * | 2000-11-13 | 2002-11-20 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Gasreibungspumpe |
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