JPS63223394A - タ−ボ真空ポンプ - Google Patents
タ−ボ真空ポンプInfo
- Publication number
- JPS63223394A JPS63223394A JP5659187A JP5659187A JPS63223394A JP S63223394 A JPS63223394 A JP S63223394A JP 5659187 A JP5659187 A JP 5659187A JP 5659187 A JP5659187 A JP 5659187A JP S63223394 A JPS63223394 A JP S63223394A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- blade
- stator
- vacuum pump
- turbo vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ターボ真空ポンプに係り、特に圧力制御が可
能であるターボ真空ポンプに関する。
能であるターボ真空ポンプに関する。
ドライエツチング、ＣＶＤ等の半導体プロセスでは、高
真空から低真空までのさまざまな圧力条件下で真空ポン
プが使用されている。従来は、ロータリポンプと複合分
子の組み合わせ等の排気システム等によりさまざまな圧
力条件に対応している。また、特開昭６０−１２５７９
５号に開示されるような１台で大気圧から高真空ポンプ
まで排気可能なポンプが提案されている。
真空から低真空までのさまざまな圧力条件下で真空ポン
プが使用されている。従来は、ロータリポンプと複合分
子の組み合わせ等の排気システム等によりさまざまな圧
力条件に対応している。また、特開昭６０−１２５７９
５号に開示されるような１台で大気圧から高真空ポンプ
まで排気可能なポンプが提案されている。
上記従来技術は、圧力制御の点については十分配慮され
ておらず、配管系と圧力制御のシーフェンスが複雑にな
り、また特開昭６０−１２５７９５号については別にリ
ークバルブ等を設けて圧力制御をしなければならないと
いう問題があった。
ておらず、配管系と圧力制御のシーフェンスが複雑にな
り、また特開昭６０−１２５７９５号については別にリ
ークバルブ等を設けて圧力制御をしなければならないと
いう問題があった。
本発明の目的は、ポンプ自体に圧力制御機能を持たせ、
配管系と圧力制御のシーフェンスを簡略化できるターボ
真空ポンプを提供することにある。
配管系と圧力制御のシーフェンスを簡略化できるターボ
真空ポンプを提供することにある。
上記目的は、ロータ翼とロータ翼に対向するステータの
間の軸方向隙が細隙である翼車がら成るターボ真空ポン
プにおいて、ロータ翼と前記ステータの軸方向の相対位
置を制御する手段を持たせることにより達成される。
間の軸方向隙が細隙である翼車がら成るターボ真空ポン
プにおいて、ロータ翼と前記ステータの軸方向の相対位
置を制御する手段を持たせることにより達成される。
渦流翼等のロータ翼とロータ翼に対向するステータの間
の軸方向隙が細隙である翼車の圧縮比はその軸方向隙に
対して非常に敏感であり、第２図に示すようにロータ翼
とステータの相対位置が基準位置よりずれると急激に減
少する。従って、ロータ翼とステータの軸方向の相対位
置を制御すると翼車の圧縮化が変更できるのでポンプに
圧力制御機能を持たせることができる。
の軸方向隙が細隙である翼車の圧縮比はその軸方向隙に
対して非常に敏感であり、第２図に示すようにロータ翼
とステータの相対位置が基準位置よりずれると急激に減
少する。従って、ロータ翼とステータの軸方向の相対位
置を制御すると翼車の圧縮化が変更できるのでポンプに
圧力制御機能を持たせることができる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
第１図において、ロータ１は、ケーシング２内に配置さ
れている。ロータ１の吸気側には軸流翼のロータ羽根３
が備えられ、これに対向してステータリング４に支えら
れる軸流翼のステータ羽根５が備えられている。ロータ
１の中間部には、遠心羽根ロータ６が備えられ、これと
対向して遠心羽根ステータ７が備えられている。ロータ
１の排気側には渦流翼のロータ翼８が備えられ、これを
取り囲んで通風路１０を形成する渦流翼ステータ９が備
えられている。渦流翼ステータ９には、第３図に示すよ
うに周方向１ケ所に仕切部１１が設けられ、その前後に
吸入口１２．吐出口１３が備えられている。仕切部１１
以外では第４図に示すように通風路１０が形成されるが
、仕切部１１では第５図に示すようにロータ翼８とステ
ータ９の間に細隙１４，１．５が形成される。渦流翼の
圧縮比は、細隙１４，１．５により大きく左右される。
れている。ロータ１の吸気側には軸流翼のロータ羽根３
が備えられ、これに対向してステータリング４に支えら
れる軸流翼のステータ羽根５が備えられている。ロータ
１の中間部には、遠心羽根ロータ６が備えられ、これと
対向して遠心羽根ステータ７が備えられている。ロータ
１の排気側には渦流翼のロータ翼８が備えられ、これを
取り囲んで通風路１０を形成する渦流翼ステータ９が備
えられている。渦流翼ステータ９には、第３図に示すよ
うに周方向１ケ所に仕切部１１が設けられ、その前後に
吸入口１２．吐出口１３が備えられている。仕切部１１
以外では第４図に示すように通風路１０が形成されるが
、仕切部１１では第５図に示すようにロータ翼８とステ
ータ９の間に細隙１４，１．５が形成される。渦流翼の
圧縮比は、細隙１４，１．５により大きく左右される。
また、渦流翼の周囲には圧縮熱を取り去るためにウォー
タジャケット２８が備えられている。ローり１は、シャ
フト１６にナツトにより締結される。
タジャケット２８が備えられている。ローり１は、シャ
フト１６にナツトにより締結される。
シャフト１６は、ベース２０に支えられる制御形のラジ
アルベアリング１７．１８及び制御形のスラストベアリ
ング１９により支えられる。また、運搬時及び制御不能
時にシャフト１６を支えるものとして、タッチダウンベ
アリング２１．２２が備えられている。制御のためのシ
ャフト１６の位置検出として、ラジアルセンサ２４，２
５．スラストセンサ２６が備えられている。シャツ１−
の駆動は、高周波モータ１７で行なわれる。
アルベアリング１７．１８及び制御形のスラストベアリ
ング１９により支えられる。また、運搬時及び制御不能
時にシャフト１６を支えるものとして、タッチダウンベ
アリング２１．２２が備えられている。制御のためのシ
ャフト１６の位置検出として、ラジアルセンサ２４，２
５．スラストセンサ２６が備えられている。シャツ１−
の駆動は、高周波モータ１７で行なわれる。
以上の構成により、ロータ１を高速駆動すると、気体分
子は、吸気口２９よりセンターケース３０に設けられた
排気口２３に排気され、吸気口２９は、高真空となる。
子は、吸気口２９よりセンターケース３０に設けられた
排気口２３に排気され、吸気口２９は、高真空となる。
ここで、スラストベアリング１９のバイアス電圧を変化
させることによりロータ１の軸方向の位置を制御すると
、渦流翼の圧縮比は、第２図に示すように変化するので
吸気口２９の圧力を低真空から高真空まで制御すること
ができる。この圧力制御方法は、インバータにより回転
数を変化させて圧力を制御する方法に比べて極めて短時
間に圧力制御できるとともに広範囲に圧力制御できると
いう特徴をもっている。また、本実施例では、軸方向の
位置の制御手段として電磁軸受を用いているので、オイ
ルフリーとなる特徴も有している。
させることによりロータ１の軸方向の位置を制御すると
、渦流翼の圧縮比は、第２図に示すように変化するので
吸気口２９の圧力を低真空から高真空まで制御すること
ができる。この圧力制御方法は、インバータにより回転
数を変化させて圧力を制御する方法に比べて極めて短時
間に圧力制御できるとともに広範囲に圧力制御できると
いう特徴をもっている。また、本実施例では、軸方向の
位置の制御手段として電磁軸受を用いているので、オイ
ルフリーとなる特徴も有している。
本発明によれば、ポンプ自体に圧力制御機能を持たせる
ことができるので、配管系及び圧力制御のシーフェンス
が簡略化できるという効果がある。
ことができるので、配管系及び圧力制御のシーフェンス
が簡略化できるという効果がある。
第１図から第５図は本発明のターボ真空ポンプに係る説
明図で、第１図は、本発明の一実施例の断面図、第２図
は翼車の性能の説明図、第３図は、渦流翼の軸方向矢視
図、第４図は、渦流翼の仕切部以外のロータ翼及びステ
ータの断面図、第５図は、渦流翼の仕切部のロータ翼及
びステータの断面図である。 １・・・ロータ、２・・・ケーシング、３・・・軸流翼
ロータ羽根、４・・・ステータリング、５・・・軸流翼
ステータ羽根、６・・・遠心羽根ロータ、７・・・遠心
羽根ステー夕、８・・・渦流翼ロータ、９・・・渦流翼
ステータ、１０・・・通風路、１１・・・仕切部、・・
・１２・・・吸込口。 １３・・・吐出口、１４．．１５・・・細隙、１６・・
・シャフト、１７．１８・・・制御形ラジアルベアリン
グ。 ］９・・制御形スラストベアリング、２０・・・ベース
、２１．２２・・・タッチダウンベアリング、２３・・
・排気口、２４．２５・・・ラジアルセンサ、２６・・
・スラストセンサ、２７・・・高周波モータ、２８・・
・ウォータジャケット、２９・・・吸気口、３０・・・
センターケース。
明図で、第１図は、本発明の一実施例の断面図、第２図
は翼車の性能の説明図、第３図は、渦流翼の軸方向矢視
図、第４図は、渦流翼の仕切部以外のロータ翼及びステ
ータの断面図、第５図は、渦流翼の仕切部のロータ翼及
びステータの断面図である。 １・・・ロータ、２・・・ケーシング、３・・・軸流翼
ロータ羽根、４・・・ステータリング、５・・・軸流翼
ステータ羽根、６・・・遠心羽根ロータ、７・・・遠心
羽根ステー夕、８・・・渦流翼ロータ、９・・・渦流翼
ステータ、１０・・・通風路、１１・・・仕切部、・・
・１２・・・吸込口。 １３・・・吐出口、１４．．１５・・・細隙、１６・・
・シャフト、１７．１８・・・制御形ラジアルベアリン
グ。 ］９・・制御形スラストベアリング、２０・・・ベース
、２１．２２・・・タッチダウンベアリング、２３・・
・排気口、２４．２５・・・ラジアルセンサ、２６・・
・スラストセンサ、２７・・・高周波モータ、２８・・
・ウォータジャケット、２９・・・吸気口、３０・・・
センターケース。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ロータ翼とロータ翼に対向するステータの間の軸方
向隙が細隙である翼車から成るターボ真空ポンプにおい
て、ロータ翼と前記ステータの軸方向の相対位置を制御
する手段を設けたことを特徴とするターボ真空ポンプ。 ２、特許請求の範囲第１項のターボ真空ポンプにおいて
、ロータ翼と前記ステータの軸方向の相対位置の制御手
段が、磁気軸受であることを特徴とするターボ真空ポン
プ。 ３、特許請求の範囲第１項或いは第２項のターボ真空ポ
ンプにおいて、ロータ翼が渦流翼であることを特徴とす
るターボ真空ポンプ。 ４、特許請求の範囲第３項のターボ真空ポンプにおいて
、渦流翼の高真空側に、遠心羽根、ねじ溝分子ポンプ混
流翼、軸流翼のうちの一つ或いは複数を備えたことを特
徴とするターボ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5659187A JPS63223394A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | タ−ボ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5659187A JPS63223394A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | タ−ボ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63223394A true JPS63223394A (ja) | 1988-09-16 |
Family
ID=13031433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5659187A Pending JPS63223394A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | タ−ボ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63223394A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5219269A (en) * | 1988-07-13 | 1993-06-15 | Osaka Vacuum, Ltd. | Vacuum pump |
| US6926493B1 (en) * | 1997-06-27 | 2005-08-09 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| US7938619B2 (en) * | 2005-04-28 | 2011-05-10 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP5659187A patent/JPS63223394A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5219269A (en) * | 1988-07-13 | 1993-06-15 | Osaka Vacuum, Ltd. | Vacuum pump |
| US6926493B1 (en) * | 1997-06-27 | 2005-08-09 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| US7938619B2 (en) * | 2005-04-28 | 2011-05-10 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20020012586A1 (en) | Compressor | |
| JP6331491B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP3038432B2 (ja) | 真空ポンプ及び真空装置 | |
| JPS63223394A (ja) | タ−ボ真空ポンプ | |
| US7140833B2 (en) | Integrated turbo/drag/regenerative pump with counter-rotating turbo blades | |
| JP4907774B2 (ja) | ガス摩擦ポンプ | |
| JPH0219694A (ja) | オイルフリー型真空ポンプ | |
| US20010022941A1 (en) | Turbo molecular pump | |
| JPS60204997A (ja) | 複合真空ポンプ | |
| JPS6355396A (ja) | タ−ボ真空ポンプ | |
| JPS62282194A (ja) | タ−ボ分子ポンプ装置 | |
| JPH02264196A (ja) | ターボ真空ポンプ | |
| JP2001003890A (ja) | 磁気軸受式ターボ分子ポンプ | |
| JPS6336096A (ja) | 渦流型真空ポンプ | |
| JPH0617035Y2 (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| KR100702948B1 (ko) | 터보 분자 펌프 | |
| JPS61215495A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| JP3446917B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH0353037Y2 (ja) | ||
| JPH03237297A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2006152994A (ja) | 遠心圧縮機 | |
| JP3734616B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPS63266190A (ja) | タ−ボ真空ポンプ | |
| JPS62279282A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| JPH05106587A (ja) | ターボ分子ポンプ |