JPH03124998A - ドライ真空ポンプ - Google Patents
ドライ真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH03124998A JPH03124998A JP26003589A JP26003589A JPH03124998A JP H03124998 A JPH03124998 A JP H03124998A JP 26003589 A JP26003589 A JP 26003589A JP 26003589 A JP26003589 A JP 26003589A JP H03124998 A JPH03124998 A JP H03124998A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- water
- stator
- cooling gas
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 21
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、排気口を大気圧とする真空ポンプに係り、特
にクリーンな真空を得るのに好適なドライ真空ポンプに
関するものである。
にクリーンな真空を得るのに好適なドライ真空ポンプに
関するものである。
ドライ真空ポンプは、吸気口から流入する気体が通過す
る流路に浦や水が無いため、クリーンな真空が得られる
という優れた特徴をもつが、一方気体を圧縮する際の発
熱を取り去る効果が無くなるため、ポンプ内の温度が高
くなってしまう。そこで従来は、発熱部の外側に水冷ジ
ャケットを設けて冷却していた。
る流路に浦や水が無いため、クリーンな真空が得られる
という優れた特徴をもつが、一方気体を圧縮する際の発
熱を取り去る効果が無くなるため、ポンプ内の温度が高
くなってしまう。そこで従来は、発熱部の外側に水冷ジ
ャケットを設けて冷却していた。
第２図は、従来技術のドライブ真空ポンプを示す図であ
る。吸気口１．排気口２を有するケーシング３の内部に
、軸受６によって回転自在に支承されたロータ４と、静
止しているステータ５とが設けられている。吸気口１か
ら吸い込まれた気体は、ロータ４とステータ５の作用に
より順次圧縮され、排気口２から大気へ排気される。そ
の圧縮過程におい′Ｃは、気体の圧縮熱が発生するが、
排気口２に近い程その圧縮熱量を多くなる。この圧給熱
を取り去るために、第２図の例ではステータ５の外側に
水冷ジャケット７を設け、給水口８から供給される水で
冷却するようになっている。なお、この種の装置として
関連するものには、例えば、特開昭６１−２４７８９３
号公報がある。
る。吸気口１．排気口２を有するケーシング３の内部に
、軸受６によって回転自在に支承されたロータ４と、静
止しているステータ５とが設けられている。吸気口１か
ら吸い込まれた気体は、ロータ４とステータ５の作用に
より順次圧縮され、排気口２から大気へ排気される。そ
の圧縮過程におい′Ｃは、気体の圧縮熱が発生するが、
排気口２に近い程その圧縮熱量を多くなる。この圧給熱
を取り去るために、第２図の例ではステータ５の外側に
水冷ジャケット７を設け、給水口８から供給される水で
冷却するようになっている。なお、この種の装置として
関連するものには、例えば、特開昭６１−２４７８９３
号公報がある。
上記従来技術では、冷却水に水道水を用いることが一般
的であるが、他の設備で大量に水を使用すると真空ポン
プの冷却水量が減少する。ある量以上に減少すると、ポ
ンプ性能の低下や、部品の熱膨張による回転体と静止体
の接触などが起こるので、給水口８の上流側に接点付流
量計を設けて、ある値以下まで水量が低下すると警報信
号を発したり、ポンプを自動的に停止させたりしていた
。
的であるが、他の設備で大量に水を使用すると真空ポン
プの冷却水量が減少する。ある量以上に減少すると、ポ
ンプ性能の低下や、部品の熱膨張による回転体と静止体
の接触などが起こるので、給水口８の上流側に接点付流
量計を設けて、ある値以下まで水量が低下すると警報信
号を発したり、ポンプを自動的に停止させたりしていた
。
上述の冷却水量減少は、−数的な設備の場合、頻繁に起
こることがあり、その場合は、始終警報が鳴ったりポン
プが停止したりするという問題があった。
こることがあり、その場合は、始終警報が鳴ったりポン
プが停止したりするという問題があった。
本発明の目的は、冷却水量が低下しても真空ポンプが停
止したり、警報を発したりしないようにすることにある
。
止したり、警報を発したりしないようにすることにある
。
上記目的を達成するために、冷却水量が低下した場合に
、空気又は窒素を流すことによって冷却作用を助けるよ
うにしたものである。
、空気又は窒素を流すことによって冷却作用を助けるよ
うにしたものである。
また、上記目的を自動的に達成するためには、接点付流
量計と電磁弁を設けたものである。
量計と電磁弁を設けたものである。
ケーシングに設けた冷却ガス入口から、空気。
又は窒素を流入すると、ステータ外面に設けた冷却フィ
ンの助けで、ステータを冷却する効果が発生する。また
、冷却水系統に接点付流量計を設け、冷却ガス供給系統
に電磁弁を設け、冷却水量低下により電磁弁を開くよう
に設定しておけば、冷却能力を一定に保つことができ、
冷却水量が低下しても、警報が発せられたり、ポンプが
停止したりすることがない。
ンの助けで、ステータを冷却する効果が発生する。また
、冷却水系統に接点付流量計を設け、冷却ガス供給系統
に電磁弁を設け、冷却水量低下により電磁弁を開くよう
に設定しておけば、冷却能力を一定に保つことができ、
冷却水量が低下しても、警報が発せられたり、ポンプが
停止したりすることがない。
Ｃ実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
吸気口１．排気口２を有するケーシング３の内部に、軸
受６によって回転自在に支承されたロータ４と静止して
いるステータ５とが設けられている。吸気口１から吸い
込まれた気体は、ロータ４とステータ５の作用により順
次圧縮され、排気口２から大気へ排気される。ステータ
５の外側には水冷ジャケット７が設けてあり、給水口８
から流入した冷却水により、気体の圧縮によって発生す
る熱を取り去る。冷却水は排水口（図示せず）より排出
される。ケーシング３には、冷却ガス入口１０、及び冷
却ガス出口１１が設けられており、冷却ガス入口１ｏか
ら供給された空気、又は窒素は、ステータ５を冷却し、
冷却ガス出口１１から排出されるようになっている。な
お、ステータ５の外側には、冷却フィン９が設けてあり
、冷却を助けるようにしである。
受６によって回転自在に支承されたロータ４と静止して
いるステータ５とが設けられている。吸気口１から吸い
込まれた気体は、ロータ４とステータ５の作用により順
次圧縮され、排気口２から大気へ排気される。ステータ
５の外側には水冷ジャケット７が設けてあり、給水口８
から流入した冷却水により、気体の圧縮によって発生す
る熱を取り去る。冷却水は排水口（図示せず）より排出
される。ケーシング３には、冷却ガス入口１０、及び冷
却ガス出口１１が設けられており、冷却ガス入口１ｏか
ら供給された空気、又は窒素は、ステータ５を冷却し、
冷却ガス出口１１から排出されるようになっている。な
お、ステータ５の外側には、冷却フィン９が設けてあり
、冷却を助けるようにしである。
冷却水供給系路には、給水口８の上流に接点付流量計１
２を設けてあり、冷却水流量が設定値以下に低下すると
接点１３から信号が発せられる。
２を設けてあり、冷却水流量が設定値以下に低下すると
接点１３から信号が発せられる。
一方、冷却ガス供給系路には、冷却ガス供給口１０の上
流に電磁弁１４が設けてあり、通常は閉となっているが
、接点１３から信号が発せられると開となり、ケーシン
グ３の内部に冷却ガスを供給するようになっている。
流に電磁弁１４が設けてあり、通常は閉となっているが
、接点１３から信号が発せられると開となり、ケーシン
グ３の内部に冷却ガスを供給するようになっている。
本実施例によれば、給水系統の圧力変動等により冷却水
量が低下した場合、自動的に冷却ガスが供給されて冷却
を助けるため、冷却水量低下により警報を発したり、ポ
ンプを停止させたりする必要はない。
量が低下した場合、自動的に冷却ガスが供給されて冷却
を助けるため、冷却水量低下により警報を発したり、ポ
ンプを停止させたりする必要はない。
なお、本発明の対象であるドライ真空ポンプは。
主に半導体製造設備に使用されるが、このような設備で
はほとんどの場合、パージ用等に窒素奈用いているため
、冷却ガスとしても窒素を使用することが比較的容易に
できる。
はほとんどの場合、パージ用等に窒素奈用いているため
、冷却ガスとしても窒素を使用することが比較的容易に
できる。
本発明によれば、冷却水量が低下しても、警報を発した
り、ポンプを停止させたりする必・要が無いので、真空
ポンプを使用している設備の動作に障害を与えたり、生
産を阻害したりしないという効果がある。
り、ポンプを停止させたりする必・要が無いので、真空
ポンプを使用している設備の動作に障害を与えたり、生
産を阻害したりしないという効果がある。
第１図は、本発明の一実施例のドライ真空ポンプの縦断
面図、第２図は、従来技術のドライ真空ポンプの縦断面
図である。
面図、第２図は、従来技術のドライ真空ポンプの縦断面
図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、吸気口と排気口を有するケーシング内に、軸受によ
つて支承され回転するロータと、水で冷却するステータ
とを有し、前記吸込口から吸込まれた気体が前記吐出口
から大気へ排出される真空ポンプにおいて、前記ステー
タの水冷ジャケット外面に冷却フィンを設け、前記ケー
シングに冷却ガス供給口と冷却ガス排出口を設けたこと
を特徴とするドライ真空ポンプ。 ２、前記のステータの冷却水経路に接点付圧力計を設け
、前記ケーシングの冷却ガス供給口に電磁弁を設け、前
記接点付流量計の信号により前記電磁弁が開閉するよう
にしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
ドライ真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26003589A JPH03124998A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | ドライ真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26003589A JPH03124998A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | ドライ真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03124998A true JPH03124998A (ja) | 1991-05-28 |
Family
ID=17342398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26003589A Pending JPH03124998A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03124998A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05215099A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-24 | Iwatani Internatl Corp | 低温液体圧送ポンプの軸封部での氷着防止方法及びその装置 |
| US6824357B2 (en) * | 2001-08-30 | 2004-11-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolecular pump |
| US6926493B1 (en) * | 1997-06-27 | 2005-08-09 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| WO2006061558A1 (en) * | 2004-12-08 | 2006-06-15 | The Boc Group Plc | Vacuum pump with heat sink on rotor shaft |
| JP2007255223A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| JP2007285134A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ、及び真空装置 |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP26003589A patent/JPH03124998A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05215099A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-24 | Iwatani Internatl Corp | 低温液体圧送ポンプの軸封部での氷着防止方法及びその装置 |
| US6926493B1 (en) * | 1997-06-27 | 2005-08-09 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| US6824357B2 (en) * | 2001-08-30 | 2004-11-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolecular pump |
| WO2006061558A1 (en) * | 2004-12-08 | 2006-06-15 | The Boc Group Plc | Vacuum pump with heat sink on rotor shaft |
| JP2007255223A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| JP2007285134A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ、及び真空装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW449644B (en) | Method for cooling the flow in radial gaps formed between rotors and stators of turbomachines | |
| EP1213444A3 (en) | Shroud segment for a turbine | |
| US6173564B1 (en) | Apparatus for monitoring wet compression gas turbine power augmentation-related casing distortions | |
| JPS6060293A (ja) | 無給油式回転形圧縮機装置 | |
| JPH03124998A (ja) | ドライ真空ポンプ | |
| KR970060379A (ko) | 성막처리장치용 배기 시스템 | |
| JPS5879465A (ja) | 超電導回転子の冷媒給排装置 | |
| JPH11280681A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2003097487A (ja) | 遠心圧縮機 | |
| JPH06147027A (ja) | 排気再循環装置 | |
| JPH0932580A (ja) | ガスタービン翼チップクリアランス制御装置 | |
| JP4300064B2 (ja) | 密閉型モータブロア | |
| JPH0960532A (ja) | 軸シール用空気供給装置 | |
| JP2875335B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2721132B2 (ja) | オイルフリースクリュー圧縮機 | |
| Ando et al. | Gradational lead screw vacuum pump development | |
| US6769461B1 (en) | Apparatus for discharging waste gas in semiconductor manufacturing process | |
| JP4584238B2 (ja) | 排ガスの冷却方法及びその装置 | |
| JPS6085286A (ja) | オイルフリ−スクリユ−圧縮機 | |
| JP3097386B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| KR19980065203A (ko) | 반도체 HDP-CVD(High Density Plasma-Chemical Vapour Deposition) 장치의 플레이트 냉각라인 | |
| JPH02291494A (ja) | 真空ポンプの運転方法 | |
| JP2003343282A (ja) | ガスタービン | |
| JPH09151897A (ja) | 真空ポンプ | |
| TW202405214A (zh) | 高壓基板處理裝置 |