CN116591994A - 一种新型磁悬浮复合分子泵 - Google Patents
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- 239000000725 suspension Substances 0.000 title claims abstract description 93
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 29
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 89
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 52
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 25
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 18
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 12
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims description 5
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 abstract description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/5806—Cooling the drive system
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Abstract
本发明涉及磁悬浮复合分子泵冷却设备技术领域,且公开了一种新型磁悬浮复合分子泵,包括磁悬浮分子泵主体和底座,所述底座设置在所述磁悬浮分子泵主体的底部,磁悬浮分子泵主体的外壁设置有冷却组件,该装置通过冷却组件对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温,便于使磁悬浮分子泵主体长时间工作,且通过使冷却板固定在磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁,并在冷却板内通过导流孔输送冷却液,从而使冷却液对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温,且减少冷却液与磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成之间的阻隔,提高散热效果,且通过第二螺孔和第一安装孔等结构,便于调整进水管和出水管的角度位置,便于实际使用。
Description
技术领域
本发明涉及磁悬浮复合分子泵冷却设备技术领域,具体而言,涉及一种新型磁悬浮复合分子泵。
背景技术
磁悬浮分子泵是利用无摩擦磁悬浮原理实现长期安全、可靠、节能的实验室和工业的稳定流量控制的一种全新的分子泵技术。它是一种分子泵,可以输送液体和气体;它将电机、变频器和线性滑动马达等相结合,实现压力、流量调节,建立完整的闭环控制系统,从而有效控制利稳定流量,磁悬浮分子泵是一种通过连续的高速运转以获取真空环境的重要设备。由于其工作状态为持续高速旋转,因此磁悬浮分子泵泵体上必设有水冷却系统。
申请号为202020865280.3公开了一种磁悬浮分子泵水冷却装置,其背景技术中提出的问题为;现有的水冷却系统通常为在泵体的底座上开槽将冷却水管安装其内并用整体式压环固定或者采用铸件形式的泵体底座将冷却水管铸在体内。这两种形式的冷却水管的进出水方向均已经固定,不能调整方向。这样就需要要求磁悬浮分子泵在使用场所下的水路安装方向了,这种情况下就需要考虑外供冷却水水管的干涉,给磁悬浮分子泵的安装和使用造成不便。另外,磁悬浮分子泵使用环境冷却系统所需的冷却水也未必都是纯净水,会存在高沉淀水或含有腐蚀的水质,分子泵在使用一段时间后,冷却系统中冷却水管就有腐蚀坏的情况,现场更换冷却水管就非常不方便,而将冷却水管铸在泵体内的分子泵是无法更换的,只能更换全新的分子泵,维护成本会很高,但是其存在以下问题;
其通过冷却管缠绕在磁悬浮分子泵的外壁,并通过压环固定冷却管,导致磁悬浮分子泵与冷却管内的冷却液之间的阻碍较多,影响冷却液的冷却效果,存在一定的不足,为解决上述问题,提出一种新型磁悬浮复合分子泵。
发明内容
本发明的目的在于一种新型磁悬浮复合分子泵,为了克服上述现有技术的不足,本发明通过冷却组件对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温,便于使磁悬浮分子泵主体长时间工作,且通过使冷却板固定在磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁,并在冷却板内通过导流孔输送冷却液,从而使冷却液对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温,且减少冷却液与磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成之间的阻隔,提高散热效果。
本发明的上述目的是这样实现的:
一种新型磁悬浮复合分子泵,包括磁悬浮分子泵主体和底座,所述底座设置在所述磁悬浮分子泵主体的底部,底座的底部设置有安装组件,磁悬浮分子泵主体的正面设有排水管,排水管的排水端设置有辅助组件,磁悬浮分子泵主体的外壁设置有冷却组件;
所述冷却组件包括第一冷却板、第二冷却板、第一安装孔、第一螺孔、第二螺孔、进水管、出水管、第一固定板、第二固定板、安装槽、安装块、连接件和导流孔,安装块和安装槽均设有两个,两个安装块分别固定设在第一冷却板的两端,两个安装槽分别开设在第二冷却板的两端,两个安装块的侧壁分别与两个安装槽的内壁相适配,导流孔开设在安装块、第一冷却板和第二冷却板内。
进一步,所述导流孔呈螺旋形设计,所述进水管和出水管均固定设在第二冷却板的凸面处,且进水管和排水管均延伸至导流孔内。
进一步,所述第一冷却板和第二冷却板均呈弧形设计,且第一冷却板和第二冷却板均位于磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁,第一冷却板和第二冷却板相适配。
进一步,所述一固定板和第二固定板均设有两个,两个第一固定板分别固定设在第一冷却板的两侧,两个第二固定板分别固定设在第二冷却板的两侧,第一螺孔矩形阵列开设在第一固定板的一侧,且第一螺孔贯穿至第二固定板远离第一固定板的一侧。
进一步,所述连接件和第一安装孔均设有两个,两个连接件分别固定设在位于磁悬浮分子泵一侧的第一固定板和第二固定板的底部,两个第一安装孔分别开设在两个连接件的顶部,所述第二螺孔呈环形阵列开设在磁悬浮分子泵的侧壁,第二螺孔与第一安装孔相适配。
进一步,所述辅助组件包括导水管、第一限位圈、第二限位圈、固定圈、固定槽、密封圈和密封槽,第一限位圈的内壁固定设在排水管的外壁,第二限位圈的内壁固定设在导水管的外壁,固定圈固定设在第一限位圈靠近第二限位圈的一侧,固定槽开设在第二限位圈靠近第一限位圈的一侧,固定圈的侧壁与固定槽的内壁相适配。
进一步,所述密封槽呈矩形阵列开设在固定圈的外壁,所述密封圈呈矩形阵列分别固定套设在密封槽内。
进一步,所述第一限位圈和第二限位圈相适配,且第一限位圈和第二限位圈通过螺栓固定连接,所述导水管呈U形设计。
进一步,所述安装组件包括第三螺孔、第二安装孔和螺杆,第三螺孔开设在底座的底部,且第三螺孔延伸至磁悬浮分子泵主体内,第二安装孔开设在底座的底部,且第二安装孔位于第三螺孔的外侧,螺杆的侧壁与第三螺孔的内壁相适配。
进一步,所述螺杆采用内六角螺杆,所述螺杆的螺杆头部与第二安装孔的内壁相适配。
与现有技术相比,本发明提供的一种新型磁悬浮复合分子泵,具备以下有益效果:
1、该装置通过冷却组件对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温,便于使磁悬浮分子泵主体长时间工作,且通过使冷却板固定在磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成的底座的外壁,并在冷却板内通过导流孔输送冷却液,从而使冷却液对磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成进行降温,且减少冷却液与磁悬浮分子泵主体的磁悬浮电机总成之间的阻隔,提高散热效果,且通过第二螺孔和第一安装孔等结构,便于调整进水管和出水管的角度位置,便于实际使用。
2、该装置通过辅助组件使排水管在与用水位置是相反位置时,通过导水管进行排水,且通过导水管呈U形设计,保证水流在导水管与排水管的连接处流动的流畅性,并便于调整与排水管反向导流的方向,通过调整导水管的方向与排水管相反的排水角度,便于实际使用。
3、该装置通过安装组件便于调整磁悬浮分子泵主体在底座顶部的角度位置,从而便于根据实际使用情况调整磁悬浮分子泵主体的安装位置,便于实际使用,且可调整排水管的角度,从而适用于磁悬浮分子泵主体的不同排水方向。
附图说明
图1是本发明提供的一种新型磁悬浮复合分子泵的整体结构示意图;
图2是本发明提供的一种新型磁悬浮复合分子泵的安装组件爆炸结构示意图;
图3是本发明提供的一种新型磁悬浮复合分子泵的安装组件底部结构示意图;
图4是本发明提供的一种新型磁悬浮复合分子泵的辅助组件爆炸结构示意图;
图5是本发明提供的一种新型磁悬浮复合分子泵图4中A的放大结构示意图;
图6是本发明提供的一种新型磁悬浮复合分子泵的冷却组件爆炸正视结构示意图;
图7是本发明提供的一种新型磁悬浮复合分子泵的冷却组件爆炸背视结构示意图。
上述附图中涉及的附图标记:
1、磁悬浮分子泵主体;2、冷却组件;201、第二螺孔;202、第一冷却板;203、连接件;204、第一固定板;205、第一螺孔;206、出水管;207、进水管;208、第二冷却板;209、安装槽;2010、第一安装孔;2011、安装块;2012、导流孔;2013、第二固定板;3、辅助组件;301、导水管;302、第一限位圈;303、密封槽;304、固定圈;305、密封圈;306、固定槽;307、第二限位圈;4、排水管;5、底座;6、安装组件;601、第三螺孔;602、螺杆;603、第二安装孔。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
以下结合具体实施例对本发明的实现进行详细的描述。
本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件;在本发明的描述中,需要理解的是,若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明,不能理解为对本专利的限制,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
以下为本发明提供的较佳实施例。
实施例一:
请参阅图1,一种新型磁悬浮复合分子泵,包括磁悬浮分子泵主体1和底座5,底座5设置在磁悬浮分子泵主体1的底部,底座5的底部设置有安装组件6,磁悬浮分子泵主体1的正面设有排水管4,排水管4的排水端设置有辅助组件3,磁悬浮分子泵主体1的外壁设置有冷却组件2。
在具体实施时,通过安装组件6将磁悬浮分子泵主体1根据实际使用位置安装在底座5的顶部,并通过底座5顶部且靠近端角处的通孔安装至指定位置,从而将磁悬浮分子泵主体1安装在指定位置,安装完成后,根据实际排水位置并通过辅助组件3调整磁悬浮分子泵主体1的排水方向,从而便于实际使用,且可通过使磁悬浮分子泵主体1通过排水管4排水,从而使磁悬浮分子泵主体1通过排水管4向排水管4的长度方向排水,提高磁悬浮分子泵主体1排水方向的灵活性,在磁悬浮分子泵主体1使用过程中,通过冷却组件2对磁悬浮分子泵主体1的磁悬浮电机总成进行降温冷却,便于磁悬浮分子泵主体1长时间使用,方便长期使用。
实施例二:
请参阅图6和7,冷却组件2包括第一冷却板202、第二冷却板208、第一安装孔2010、第一螺孔205、第二螺孔201、进水管207、出水管206、第一固定板204、第二固定板2013、安装槽209、安装块2011、连接件203和导流孔2012,安装块2011和安装槽209均设有两个,两个安装块2011分别固定设在第一冷却板202的两端,两个安装槽209分别开设在第二冷却板208的两端,两个安装块2011的侧壁分别与两个安装槽209的内壁相适配,导流孔2012开设在安装块2011、第一冷却板202和第二冷却板208内,第一冷却板202和第二冷却板208均呈弧形设计,且第一冷却板202和第二冷却板208均位于磁悬浮分子泵主体1的磁悬浮电机总成的底座5的外壁,第一冷却板202和第二冷却板208相适配,一固定板和第二固定板2013均设有两个,两个第一固定板204分别固定设在第一冷却板202的两侧,两个第二固定板2013分别固定设在第二冷却板208的两侧,第一螺孔205矩形阵列开设在第一固定板204的一侧,且第一螺孔205贯穿至第二固定板2013远离第一固定板204的一侧,连接件203和第一安装孔2010均设有两个,两个连接件203分别固定设在位于磁悬浮分子泵一侧的第一固定板204和第二固定板2013的底部,两个第一安装孔2010分别开设在两个连接件203的顶部,第二螺孔201呈环形阵列开设在磁悬浮分子泵的侧壁,第二螺孔201与第一安装孔2010相适配。
在具体实施时,按照进水管207和出水管206的进出冷却液的角度将第一冷却板202和第二冷却板208放置在磁悬浮分子泵主体1的磁悬浮电机总成的底座5的外壁,在安装第一冷却板202和第二冷却板208时将安装块2011插入安装槽209内,此时,第一固定板204和第二固定板2013重叠,通过外接螺栓旋入第一螺孔205,并旋紧螺母,从而对第一固定板204和第二固定板2013进行固定,进而对第一冷却板202和第二冷却板208进行固定,随即,通过外接螺栓插入第一安装孔2010内,并旋入第二螺孔201内,旋紧外接螺栓,从而将连接件203与磁悬浮分子泵主体1固定,即将第一冷却板202和第二冷却板208固定在磁悬浮分子泵主体1的磁悬浮电机总成的底座5上,安装完成后,通过通过进水管207和出水管206外接冷却液,使冷却液在第一冷却板202和第二冷却板208内循环流动,从而对磁悬浮分子泵主体1的磁悬浮电机冷却降温。
在本实施例中,导流孔2012呈螺旋形设计,保证冷却液与磁悬浮分子泵主体1的磁悬浮电机总成的底座5的接触面积,进水管207和出水管206均固定设在第二冷却板208的凸面处,且进水管207和排水管4均延伸至导流孔2012内,便于输送冷却液。
实施例三:
请参阅图4和5,辅助组件3包括导水管301、第一限位圈302、第二限位圈307、固定圈304、固定槽306、密封圈305和密封槽303,第一限位圈302的内壁固定设在排水管4的外壁,第二限位圈307的内壁固定设在导水管301的外壁,固定圈304固定设在第一限位圈302靠近第二限位圈307的一侧,固定槽306开设在第二限位圈307靠近第一限位圈302的一侧,固定圈304的侧壁与固定槽306的内壁相适配,导水管301呈U形设计。
在具体实施时,当将导水管301的角度按照指定位置放置后,通过外接螺栓固定第一限位圈302和第二限位圈307,从而使导水管301与排水管4连接,且第一限位圈302和第二限位圈307固定后,固定圈304插入固定槽306内,并且密封圈305对固定圈304与固定槽306的连接处进行分密封,避免第一限位圈302和第二限位圈307的连接处渗漏。
在本实施例中,密封槽303呈矩形阵列开设在固定圈304的外壁,密封圈305呈矩形阵列分别固定套设在密封槽303内,起密封作用,避免渗漏。
在本实施例中,第一限位圈302和第二限位圈307相适配,且第一限位圈302和第二限位圈307通过螺栓固定连接,便于安装。
实施例四:
请参阅图2和3,安装组件6包括第三螺孔601、第二安装孔603和螺杆602,第三螺孔601开设在底座5的底部,且第三螺孔601延伸至磁悬浮分子泵主体1内,第二安装孔603开设在底座5的底部,且第二安装孔603位于第三螺孔601的外侧,螺杆602的侧壁与第三螺孔601的内壁相适配。
在具体实施时,将磁悬浮分子泵主体1按照指定安装角度放置在底座5的顶部,随即将螺杆602贯穿第二安装孔603并旋入第三螺孔601内,并旋紧螺杆602,即对底座5和磁悬浮分子泵主体1进行固定,旋紧螺杆602后,螺杆602的螺杆602头部位于第二安装孔603内,从而使底座5的底部水平,避免影响底座5安装。
在本实施例中,螺杆602采用内六角螺杆602,便于拆装,螺杆602的螺杆602头部与第二安装孔603的内壁相适配。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种新型磁悬浮复合分子泵,包括磁悬浮分子泵主体(1)和底座(5),其特征在于:所述底座(5)设置在所述磁悬浮分子泵主体(1)的底部,底座(5)的底部设置有安装组件(6),磁悬浮分子泵主体(1)的正面设有排水管(4),排水管(4)的排水端设置有辅助组件(3),磁悬浮分子泵主体(1)的外壁设置有冷却组件(2);
所述冷却组件(2)包括第一冷却板(202)、第二冷却板(208)、第一安装孔(2010)、第一螺孔(205)、第二螺孔(201)、进水管(207)、出水管(206)、第一固定板(204)、第二固定板(2013)、安装槽(209)、安装块(2011)、连接件(203)和导流孔(2012),安装块(2011)和安装槽(209)均设有两个,两个安装块(2011)分别固定设在第一冷却板(202)的两端,两个安装槽(209)分别开设在第二冷却板(208)的两端,两个安装块(2011)的侧壁分别与两个安装槽(209)的内壁相适配,导流孔(2012)开设在安装块(2011)、第一冷却板(202)和第二冷却板(208)内。
2.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵,其特征在于:所述导流孔(2012)呈螺旋形设计,所述进水管(207)和出水管(206)均固定设在第二冷却板(208)的凸面处,且进水管(207)和排水管(4)均延伸至导流孔(2012)内。
3.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵,其特征在于:所述第一冷却板(202)和第二冷却板(208)均呈弧形设计,且第一冷却板(202)和第二冷却板(208)均位于磁悬浮分子泵主体(1)的磁悬浮电机总成的底座(5)的外壁,第一冷却板(202)和第二冷却板(208)相适配。
4.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵,其特征在于:所述一固定板和第二固定板(2013)均设有两个,两个第一固定板(204)分别固定设在第一冷却板(202)的两侧,两个第二固定板(2013)分别固定设在第二冷却板(208)的两侧,第一螺孔(205)矩形阵列开设在第一固定板(204)的一侧,且第一螺孔(205)贯穿至第二固定板(2013)远离第一固定板(204)的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵,其特征在于:所述连接件(203)和第一安装孔(2010)均设有两个,两个连接件(203)分别固定设在位于磁悬浮分子泵一侧的第一固定板(204)和第二固定板(2013)的底部,两个第一安装孔(2010)分别开设在两个连接件(203)的顶部,所述第二螺孔(201)呈环形阵列开设在磁悬浮分子泵的侧壁,第二螺孔(201)与第一安装孔(2010)相适配。
6.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵,其特征在于:所述辅助组件(3)包括导水管(301)、第一限位圈(302)、第二限位圈(307)、固定圈(304)、固定槽(306)、密封圈(305)和密封槽(303),第一限位圈(302)的内壁固定设在排水管(4)的外壁,第二限位圈(307)的内壁固定设在导水管(301)的外壁,固定圈(304)固定设在第一限位圈(302)靠近第二限位圈(307)的一侧,固定槽(306)开设在第二限位圈(307)靠近第一限位圈(302)的一侧,固定圈(304)的侧壁与固定槽(306)的内壁相适配。
7.根据权利要求6所述的一种新型磁悬浮复合分子泵,其特征在于:所述密封槽(303)呈矩形阵列开设在固定圈(304)的外壁,所述密封圈(305)呈矩形阵列分别固定套设在密封槽(303)内。
8.根据权利要求6所述的一种新型磁悬浮复合分子泵,其特征在于:所述第一限位圈(302)和第二限位圈(307)相适配,且第一限位圈(302)和第二限位圈(307)通过螺栓固定连接,所述导水管(301)呈U形设计。
9.根据权利要求1所述的一种新型磁悬浮复合分子泵,其特征在于:所述安装组件(6)包括第三螺孔(601)、第二安装孔(603)和螺杆(602),第三螺孔(601)开设在底座(5)的底部,且第三螺孔(601)延伸至磁悬浮分子泵主体(1)内,第二安装孔(603)开设在底座(5)的底部,且第二安装孔(603)位于第三螺孔(601)的外侧,螺杆(602)的侧壁与第三螺孔(601)的内壁相适配。
10.根据权利要求9所述的一种新型磁悬浮复合分子泵,其特征在于:所述螺杆(602)采用内六角螺杆(602),所述螺杆(602)的螺杆(602)头部与第二安装孔(603)的内壁相适配。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310816723.8A CN116591994A (zh) | 2023-07-05 | 2023-07-05 | 一种新型磁悬浮复合分子泵 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310816723.8A CN116591994A (zh) | 2023-07-05 | 2023-07-05 | 一种新型磁悬浮复合分子泵 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116591994A true CN116591994A (zh) | 2023-08-15 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN202310816723.8A Pending CN116591994A (zh) | 2023-07-05 | 2023-07-05 | 一种新型磁悬浮复合分子泵 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN116591994A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117118138A (zh) * | 2023-10-24 | 2023-11-24 | 北京中科九微科技有限公司 | 一种磁悬浮分子泵用的电机外壳及其制造方法 |
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DE10142567A1 (de) * | 2001-08-30 | 2003-03-20 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Turbomolekularpumpe |
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2023
- 2023-07-05 CN CN202310816723.8A patent/CN116591994A/zh active Pending
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