JP2002115692A - 複合真空ポンプ - Google Patents
複合真空ポンプInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 凝縮性を有するシステムガスの排気におい
て、背圧（排気口圧力）を上げてもシステムガスが凝着
を起こさないような複合真空ポンプを提供する。 【解決手段】 回転軸８の一端部にターボ分子ポンプ部
２を配置し、該回転軸８の他端部にねじ溝真空ポンプ部
３を配置すると共に該回転軸８の中間部に軸受ユニット
４を配置し、更に前記ねじ溝真空ポンプ部３のロータ３
ａ及びステータ３ｂ、３ｃを耐熱性を有する鉄合金材に
より形成すると共にヒータ３ｄ、３ｅを用いて前記ねじ
溝真空ポンプ部３を１３０℃以上に加熱するようにし
た。
て、背圧（排気口圧力）を上げてもシステムガスが凝着
を起こさないような複合真空ポンプを提供する。 【解決手段】 回転軸８の一端部にターボ分子ポンプ部
２を配置し、該回転軸８の他端部にねじ溝真空ポンプ部
３を配置すると共に該回転軸８の中間部に軸受ユニット
４を配置し、更に前記ねじ溝真空ポンプ部３のロータ３
ａ及びステータ３ｂ、３ｃを耐熱性を有する鉄合金材に
より形成すると共にヒータ３ｄ、３ｅを用いて前記ねじ
溝真空ポンプ部３を１３０℃以上に加熱するようにし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の製造装置
等における凝縮性を有するプロセスガスの排気に最適な
複合真空ポンプの構造に関する。
等における凝縮性を有するプロセスガスの排気に最適な
複合真空ポンプの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の複合真空ポンプの一例の縦断面図
を図２に示した。
を図２に示した。
【０００３】図２において、ａが複合真空ポンプの吸気
口、ｂが排気口である。
口、ｂが排気口である。
【０００４】ロータｃの吸気口ａに近い側（高真空側）
には多数の動翼ｄが放射状に多段に形成されていて、静
翼ｅと共にターボ分子ポンプ部を形成している。
には多数の動翼ｄが放射状に多段に形成されていて、静
翼ｅと共にターボ分子ポンプ部を形成している。
【０００５】前記ロータｃの排気口ｂに近い側（低真空
側）の外周部には、前記多段の動翼ｄの翼列に続いてね
じ溝ｆが凹設されており、該ねじ溝ｆを有するロータｃ
の部分とステータｇとでねじ溝真空ポンプ部を形成して
いる。
側）の外周部には、前記多段の動翼ｄの翼列に続いてね
じ溝ｆが凹設されており、該ねじ溝ｆを有するロータｃ
の部分とステータｇとでねじ溝真空ポンプ部を形成して
いる。
【０００６】前記ロータｃは回転軸ｉの一端部に固着さ
れており、該回転軸ｉは駆動用モータと軸受とからなる
軸受ユニットｊを介してハウジングｈに回動自在に支承
されている。
れており、該回転軸ｉは駆動用モータと軸受とからなる
軸受ユニットｊを介してハウジングｈに回動自在に支承
されている。
【０００７】尚、前記複合真空ポンプの動翼ｄや静翼
ｅ、ロータｃ及びステータｇ等は、一般に加工性の良い
アルミ合金系の材料を用いて形成されている。
ｅ、ロータｃ及びステータｇ等は、一般に加工性の良い
アルミ合金系の材料を用いて形成されている。
【０００８】この複合真空ポンプを半導体製造装置の如
く高真空を必要とするプロセスガスの排気に用いるとき
には、該複合真空ポンプの背圧側（排気口側）に油回転
真空ポンプ又はメカニカルブースタポンプなどの補助ポ
ンプを接続して、これら補助ポンプを含めた全体のポン
プ装置によって、所要の圧力比でプロセスガスの排気を
行なうようにしている。
く高真空を必要とするプロセスガスの排気に用いるとき
には、該複合真空ポンプの背圧側（排気口側）に油回転
真空ポンプ又はメカニカルブースタポンプなどの補助ポ
ンプを接続して、これら補助ポンプを含めた全体のポン
プ装置によって、所要の圧力比でプロセスガスの排気を
行なうようにしている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】前記補助ポンプを含め
た真空ポンプ装置全体のコストを下げるためには、複合
真空ポンプの背圧（排気口圧力）を大きくして、補助ポ
ンプの容量を小さくすることが望ましい。
た真空ポンプ装置全体のコストを下げるためには、複合
真空ポンプの背圧（排気口圧力）を大きくして、補助ポ
ンプの容量を小さくすることが望ましい。
【００１０】即ち、複合真空ポンプ内の圧力比を高くと
ることができれば、小型の補助ポンプで済むので、全体
として低コストになる。
ることができれば、小型の補助ポンプで済むので、全体
として低コストになる。
【００１１】しかし、一般に半導体製造装置から排出す
るプロセスガスは凝縮性を有する成分を含んでおり、複
合真空ポンプの排気口圧力が排気する反応生成物の蒸気
圧力より高くなると、複合真空ポンプの内部で凝縮が起
こるという問題があった。
るプロセスガスは凝縮性を有する成分を含んでおり、複
合真空ポンプの排気口圧力が排気する反応生成物の蒸気
圧力より高くなると、複合真空ポンプの内部で凝縮が起
こるという問題があった。
【００１２】この凝縮を避けるために、複合真空ポンプ
の低真空側（ねじ溝真空ポンプ側）を加熱することは、
従来から行なわれていた。
の低真空側（ねじ溝真空ポンプ側）を加熱することは、
従来から行なわれていた。
【００１３】しかし、従来のねじ溝真空ポンプは、ロー
タもステータも高温強度の低いアルミ合金材からなり、
又、そのロータの内側に軸受ユニットを包蔵している構
造上からも加熱温度は１２０℃乃至１３０℃に迄上げる
のが限界であり、これでは凝縮防止に必要充分な温度に
達しないという問題があった。
タもステータも高温強度の低いアルミ合金材からなり、
又、そのロータの内側に軸受ユニットを包蔵している構
造上からも加熱温度は１２０℃乃至１３０℃に迄上げる
のが限界であり、これでは凝縮防止に必要充分な温度に
達しないという問題があった。
【００１４】本発明はこれらの問題点を解消し、複合真
空ポンプの排気口圧力を従来より高くしても、凝縮性を
有するプロセスガスに凝縮を起こさせないような複合真
空ポンプを提供することを目的とする。
空ポンプの排気口圧力を従来より高くしても、凝縮性を
有するプロセスガスに凝縮を起こさせないような複合真
空ポンプを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成すべく、高真空側ポンプ部と低真空側ポンプ部とから
なる複合真空ポンプにおいて、回転軸の一端部に高真空
側ポンプ部を配置し該回転軸の他端部に低真空側ポンプ
部を配置すると共に該回転軸の中間部に駆動用モータと
軸受とからなる軸受ユニットを配置し、更に前記低真空
側ポンプ部のロータとステータとを耐熱性を有する金属
材料により形成すると共に該低真空側真空ポンプ部を加
熱するヒータを具備したことを特徴とする。
成すべく、高真空側ポンプ部と低真空側ポンプ部とから
なる複合真空ポンプにおいて、回転軸の一端部に高真空
側ポンプ部を配置し該回転軸の他端部に低真空側ポンプ
部を配置すると共に該回転軸の中間部に駆動用モータと
軸受とからなる軸受ユニットを配置し、更に前記低真空
側ポンプ部のロータとステータとを耐熱性を有する金属
材料により形成すると共に該低真空側真空ポンプ部を加
熱するヒータを具備したことを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１によ
り説明する。
り説明する。
【００１７】図１は本実施の形態の複合真空ポンプ１の
縦断面図であり、２が高真空側ポンプ部であるターボ分
子ポンプ部、３が低真空側ポンプ部であるねじ溝真空ポ
ンプ部、４が軸受ユニットである。
縦断面図であり、２が高真空側ポンプ部であるターボ分
子ポンプ部、３が低真空側ポンプ部であるねじ溝真空ポ
ンプ部、４が軸受ユニットである。
【００１８】ターボ分子ポンプ部２は、多数の動翼２ｂ
を放射状に多段に外方へ突出させたロータ２ａと、同じ
く多段に配置された多数の静翼２ｃとからなり、これら
ターボ分子ポンプ部２はアルミ合金材により形成されて
いる。
を放射状に多段に外方へ突出させたロータ２ａと、同じ
く多段に配置された多数の静翼２ｃとからなり、これら
ターボ分子ポンプ部２はアルミ合金材により形成されて
いる。
【００１９】前記ロータ２ａは回転軸８の一端部に固定
されており、又、該回転軸８の他端部には、ねじ溝真空
ポンプ部３のロータ３ａが固定されている。
されており、又、該回転軸８の他端部には、ねじ溝真空
ポンプ部３のロータ３ａが固定されている。
【００２０】該ロータ３ａは円板部３ａａの外周側面か
ら軸方向へ向かって突出する円筒状部３ａｂを有してい
て、該円筒状部３ａｂの外側に配置された第１ステータ
３ｂに形成されているねじ溝３ｂａと該円筒状部３ａｂ
の外周面とにより、第１ねじ溝真空ポンプ部が形成され
ている。
ら軸方向へ向かって突出する円筒状部３ａｂを有してい
て、該円筒状部３ａｂの外側に配置された第１ステータ
３ｂに形成されているねじ溝３ｂａと該円筒状部３ａｂ
の外周面とにより、第１ねじ溝真空ポンプ部が形成され
ている。
【００２１】又、円筒状部３ａｂの内側に配置された第
２ステータ３ｃに形成されているねじ溝３ｃａと該円筒
状部３ａｂの内周面とにより、第２ねじ溝真空ポンプ部
が形成されている。
２ステータ３ｃに形成されているねじ溝３ｃａと該円筒
状部３ａｂの内周面とにより、第２ねじ溝真空ポンプ部
が形成されている。
【００２２】即ち、これら第１ねじ溝真空ポンプ部及び
第２ねじ溝真空ポンプ部の２つがねじ溝真空ポンプ部３
を形成している。
第２ねじ溝真空ポンプ部の２つがねじ溝真空ポンプ部３
を形成している。
【００２３】尚、前記ロータ３ａ、第１ステータ３ｂ及
び第２ステータ３ｃは、鉄合金等の耐熱性を有する材料
により形成されている。
び第２ステータ３ｃは、鉄合金等の耐熱性を有する材料
により形成されている。
【００２４】又、前記ロータ３ａと回転軸８との間に断
熱スリーブ３ｆを介在させて、ロータ３ａと回転軸８と
の間の熱伝達が少なくなるようにしている。
熱スリーブ３ｆを介在させて、ロータ３ａと回転軸８と
の間の熱伝達が少なくなるようにしている。
【００２５】前記ねじ溝真空ポンプ部３は、外側ヒータ
３ｄと内側ヒータ３ｅとからなる加熱用ヒータを具備し
ている。
３ｄと内側ヒータ３ｅとからなる加熱用ヒータを具備し
ている。
【００２６】これらヒータ３ｄ、３ｅは各々円筒状に形
成された発熱体で、外側ヒータ３ｄが前記第１ステータ
３ｂの外周部に装着されていると共に内側ヒータ３ｅが
前記第２ステータ３ｃ内に嵌め込んだ状態に装着されて
おり、これらヒータ３ｄ、３ｅにより２重円筒構造を形
成している。
成された発熱体で、外側ヒータ３ｄが前記第１ステータ
３ｂの外周部に装着されていると共に内側ヒータ３ｅが
前記第２ステータ３ｃ内に嵌め込んだ状態に装着されて
おり、これらヒータ３ｄ、３ｅにより２重円筒構造を形
成している。
【００２７】前記軸受ユニット４は、上部保護軸受４
ａ、上部ラジアルセンサ４ｂ、上部ラジアル電磁石４
ｃ、モータステータ４ｄ、下部ラジアル電磁石４ｅ、下
部ラジアルセンサ４ｆ、スラスト電磁石４ｇ、下部保護
軸受４ｈ、スラストセンサ４ｉ、及び回転軸８側の軸ユ
ニット４ｊ等からなる。
ａ、上部ラジアルセンサ４ｂ、上部ラジアル電磁石４
ｃ、モータステータ４ｄ、下部ラジアル電磁石４ｅ、下
部ラジアルセンサ４ｆ、スラスト電磁石４ｇ、下部保護
軸受４ｈ、スラストセンサ４ｉ、及び回転軸８側の軸ユ
ニット４ｊ等からなる。
【００２８】ここで上部保護軸受４ａ及び下部保護軸受
４ｈは、回転軸８の回転立上り時又は停止時のタッチダ
ウン軸受であり、定常運転状態では前記各電磁石４ｃ、
４ｅ、４ｇ等による磁気軸受により回転軸８が軸支され
ている。
４ｈは、回転軸８の回転立上り時又は停止時のタッチダ
ウン軸受であり、定常運転状態では前記各電磁石４ｃ、
４ｅ、４ｇ等による磁気軸受により回転軸８が軸支され
ている。
【００２９】尚、５は吸気口、６は排気口、７は排気の
流路であり、又、９は断熱用のスペーサである。
流路であり、又、９は断熱用のスペーサである。
【００３０】次に本実施の形態の複合真空ポンプ１の作
動及び効果について説明する。
動及び効果について説明する。
【００３１】当該複合真空ポンプ１は、油真空ポンプ又
はメカニカルブースタポンプなどの補助の真空ポンプに
接続していて、これら真空ポンプ全体で所要の排気圧力
比となるように形成されている。
はメカニカルブースタポンプなどの補助の真空ポンプに
接続していて、これら真空ポンプ全体で所要の排気圧力
比となるように形成されている。
【００３２】装置全体のコスト低減のため、複合真空ポ
ンプ１が分担する圧力比を従来よりは大きく取ってお
り、同時にヒータ３ｄ、３ｅによってねじ溝真空ポンプ
部３の温度を２００℃以上に加熱して運転するようにし
ている。
ンプ１が分担する圧力比を従来よりは大きく取ってお
り、同時にヒータ３ｄ、３ｅによってねじ溝真空ポンプ
部３の温度を２００℃以上に加熱して運転するようにし
ている。
【００３３】このように加熱することによって、ねじ溝
真空ポンプ部３及びその付近の流路にシステムガス中の
凝縮性ガスが凝着したり反応成生物を成生したりするこ
とはない。
真空ポンプ部３及びその付近の流路にシステムガス中の
凝縮性ガスが凝着したり反応成生物を成生したりするこ
とはない。
【００３４】又、このようにねじ溝真空ポンプ部３を加
熱してもターボ分子ポンプ部２及び軸受ユニット４を前
記ヒータ３ｄ、３ｅから離れて配置する構造としたの
で、当該複合真空ポンプの機能に悪影響を及ぼすことは
ない。
熱してもターボ分子ポンプ部２及び軸受ユニット４を前
記ヒータ３ｄ、３ｅから離れて配置する構造としたの
で、当該複合真空ポンプの機能に悪影響を及ぼすことは
ない。
【００３５】
【発明の効果】このように本発明によれば、複合真空ポ
ンプの低真空側ポンプ部であるねじ溝真空ポンプ部を１
３０℃以上に加熱して運転することが可能なので、複合
真空ポンプ内に凝縮性ガスが凝縮するのを防止できると
共に、補助の真空ポンプを含めた真空ポンプ装置全体の
コストを低減させることができる効果を有する。
ンプの低真空側ポンプ部であるねじ溝真空ポンプ部を１
３０℃以上に加熱して運転することが可能なので、複合
真空ポンプ内に凝縮性ガスが凝縮するのを防止できると
共に、補助の真空ポンプを含めた真空ポンプ装置全体の
コストを低減させることができる効果を有する。
【図１】本発明の複合真空ポンプの一実施の形態の縦断
面図である。
面図である。
【図２】従来の複合真空ポンプの一例の縦断面図であ
る。
る。
１ 本発明の一実施の形態の複合真空ポンプ ２ ターボ分子ポンプ部 ３ ねじ溝真空ポンプ部 ３ａ ねじ溝真空ポンプ部のロータ ３ｂ、３ｃ ねじ溝真空ポンプ部のステータ ３ｄ、３ｅ ヒータ ３ｆ 断熱スリーブ ４ 軸受ユニット ８ 回転軸
Claims (6)
- 【請求項１】 高真空側ポンプ部と低真空側ポンプ部と
からなる複合真空ポンプにおいて、回転軸の一端部に高
真空側ポンプ部を配置し該回転軸の他端部に低真空側ポ
ンプ部を配置すると共に該回転軸の中間部に駆動用モー
タと軸受とからなる軸受ユニットを配置し、更に前記低
真空側ポンプ部のロータとステータとを耐熱性を有する
金属材料により形成すると共に該低真空側真空ポンプ部
を加熱するヒータを具備したことを特徴とする複合真空
ポンプ。 - 【請求項２】 前記高真空側ポンプ部はターボ分子ポン
プ部からなると共に、前記低真空側ポンプ部はねじ溝真
空ポンプ部からなることを特徴とする請求項１に記載の
複合真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記ねじ溝真空ポンプ部は、円筒状のロ
ータの外側に配置された第１ステータと該ロータの外周
面とにより形成される第１ねじ溝真空ポンプ部と、該ロ
ータの内側に配置された第２ステータと該ロータの内周
面とにより形成される第２ねじ溝真空ポンプとからな
り、前記ターボ分子ポンプ部から排出される排気ガスは
第１ねじ溝真空ポンプ部に導かれ、続いて該第１ねじ溝
真空ポンプ部から排出される排気ガスが第２ねじ溝真空
ポンプ部へ導かれる構造に形成したことを特徴とする請
求項２に記載の複合真空ポンプ。 - 【請求項４】 前記加熱用ヒータは、円筒状の外側ヒー
タと円筒状の内側ヒータとからなる２重円筒構造を有
し、外側ヒータが前記ねじ溝真空ポンプ部を外周側から
加熱を行なうと共に内側ヒータが前記ねじ溝真空ポンプ
部を内周側から加熱を行なう構造に形成したことを特徴
とする請求項２又は請求項３に記載の複合真空ポンプ。 - 【請求項５】 前記ヒータの加熱によって、前記ねじ溝
真空ポンプ部のロータ及びステータの温度を少なくとも
１３０℃以上に保持可能に形成したことを特徴とする請
求項１又は請求項４に記載の複合真空ポンプ。 - 【請求項６】 前記ねじ溝真空ポンプ部のロータと前記
回転軸との間に断熱スリーブを介在させたことを特徴と
する請求項１乃至請求項５のうちのいずれか１に記載の
複合真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000304666A JP2002115692A (ja) | 2000-10-04 | 2000-10-04 | 複合真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000304666A JP2002115692A (ja) | 2000-10-04 | 2000-10-04 | 複合真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002115692A true JP2002115692A (ja) | 2002-04-19 |
Family
ID=18785673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000304666A Pending JP2002115692A (ja) | 2000-10-04 | 2000-10-04 | 複合真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002115692A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105358835A (zh) * | 2013-07-31 | 2016-02-24 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵 |
| WO2019058117A1 (en) * | 2017-09-20 | 2019-03-28 | Edwards Limited | TRUNK PUMP AND VACUUM PUMPS PACKAGE COMPRISING A TRUCK PUMP |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62159133A (ja) * | 1986-01-07 | 1987-07-15 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | カメラの撮影情報設定装置 |
| JPH04301197A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-23 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
| JPH10205486A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
-
2000
- 2000-10-04 JP JP2000304666A patent/JP2002115692A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62159133A (ja) * | 1986-01-07 | 1987-07-15 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | カメラの撮影情報設定装置 |
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| EP3029328A4 (en) * | 2013-07-31 | 2017-03-22 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| US10954962B2 (en) | 2013-07-31 | 2021-03-23 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
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| CN111094752A (zh) * | 2017-09-20 | 2020-05-01 | 爱德华兹有限公司 | 拖曳泵和包括拖曳泵的真空泵组 |
| US11143191B2 (en) | 2017-09-20 | 2021-10-12 | Edwards Limited | Drag pump and a set of vacuum pumps including a drag pump |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
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