CN111094752A - 拖曳泵和包括拖曳泵的真空泵组 - Google Patents

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Abstract

公开了一种用于泵送气体的拖曳泵和一种包括该拖曳泵的真空泵组。该拖曳泵包括：转子，所述转子构造成在定子部件内旋转并且将待泵送气体从气体入口驱动至气体出口；磁轴承，所述磁轴承用于将转子可旋转地安装在泵内；其中，转子和定子部件的构造成接触待泵送气体的至少一部分构造成在高于130℃的温度下操作。

Description

拖曳泵和包括拖曳泵的真空泵组
技术领域
本发明涉及拖曳泵领域，尤其涉及用于降低涡轮分子泵的排放口处的压力的拖曳泵的说明性示例。本发明还涉及用于在半导体处理腔室中提供真空的真空泵组的领域。
背景技术
涡轮分子泵用于提供半导体制造所需的高真空。半导体工艺越来越需要泵和泵送线路保持在高温以防止工艺副产物冷凝。冷凝物形成的风险随着气体流过泵送系统以及压力的增加而增加。
涡轮分子泵是昂贵的泵，其设计成用于洁净室以及用于在高尖端速度下操作。它们的转子可旋转地安装在磁轴承上，以避免需要润滑并减少振动，这使得它们适合于洁净室操作。然而，涡轮分子泵在较高压力下不能很好地操作，因此通常这些泵包括一些形式的辅助泵（backing pump）级以降低涡轮级的排放口处的压力。这些辅助级通常包括拖曳级，该拖曳级位于涡轮分子级的下游并集成在泵内且安装在同一轴上。泵也可以具有远离洁净室的另外的（一个或多个）辅助泵。
在涡轮分子泵具有拖曳泵辅助级的情况下，该级的转子由铝形成，作为与涡轮分子转子成一体的转子，转子被机械加工成单件。选择铝是因为其具有高的强度重量比，这对于涡轮分子泵的高尖端速度操作是重要的。
辅助泵不适合于洁净室操作，并定位成远离洁净室，并且经由泵送线路或管道连接到洁净室泵。为了避免或至少减少工艺副产物的冷凝，这些连接管道应当保持在高温下。
如前所述，涡轮分子泵通常由铝制成，铝在高于130 ℃时会失去其大部分强度。这将涡轮泵操作限制到130 ℃，这可能不足以防止泵的排放级中的冷凝。排放级通常是拖曳级，通常是霍尔维克（Holweck）类型的级。涡轮级在足够低的压力下操作，以便在130 ℃下没有冷凝问题。然而，拖曳级有时可能会冷凝工艺副产物，并且这可能导致堵塞。
通常相当长（例如10 m）且具有相对大的直径（例如100 mm）的管道连接用于将洁净室内的涡轮分子泵连接到远离洁净室的罗茨鼓风机（roots blower）和干式辅助泵。该管道以及罗茨鼓风机和辅助泵二者都被加热到高温，通常160 ℃以避免冷凝。吹扫气体也被引入辅助泵中以稀释气流并减少冷凝问题。
大直径管道的购买和安装成本高，并且加热成本高。
希望提供一种适于洁净室操作并能抵抗工艺副产物冷凝且不会过度昂贵的泵。
发明内容
第一方面提供了一种用于泵送气体的拖曳泵，所述拖曳泵包括：转子，所述转子构造成在定子部件内旋转；磁轴承，用于利用磁悬浮将所述转子可旋转地安装在所述泵内；其中，至少所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的那部分构造成在高于130 ℃的温度下操作，并且所述转子至少部分地由钢制成。
本发明的发明人认识到，如果高真空泵的拖曳泵级被从涡轮分子泵中去除并构造成单独的泵，则可以解决该拖曳泵级中的冷凝物问题。这将允许泵由更多选择的材料制造，并且因此将允许泵构造成用于更高温度的操作。然而，由于需要额外的轴和马达，因此存在对这样做的技术偏见。此外，为了使两个泵有效地操作，在这些低压下将泵连接起来所需的泵送线路将需要具有显著大的直径并且被加热以减少冷凝。此外，如果单独的泵像单独的辅助泵那样常规地位于洁净室的外部，则这些泵送线路或管道将需要具有显著大的长度，从而增加了管道和加热二者的成本。然而，发明人还认识到，为了使这种泵有效并且为了降低与泵送线路和这种线路的加热相关联的成本，泵可以通过使其设置有磁轴承而构造成适于洁净室操作。磁轴承允许泵在没有润滑且振动减小的情况下操作。
因此，提供了一种适合在较高温度下和在洁净室内使用的单独的拖曳泵，从而作为高真空涡轮分子泵的辅助泵而言，该泵是理想的。
在一些实施例中，所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的所述部分构造成在高于150 ℃的温度下操作，优选在160 ℃和180 ℃之间的温度下操作。
保持温度高于150 ℃并且在一些实施例中保持温度在160 ℃和180 ℃之间，这允许泵在半导体工艺气体处于较高压力的情况下有效地操作，从而允许通向辅助泵的管道的直径减小。
在一些实施例中，所述转子至少部分地由沉淀硬化不锈钢制成。在一些实施例中，转子的大部分由钢形成。在一些实施例中，定子也由沉淀硬化不锈钢制成。
转子可以部分地由能够在高温下操作的钢制成，并且对于形成能够在较高温度下操作的转子特别有效的一种钢是沉淀硬化钢。钢比铝更耐高温，并且容易获得，并且具有合适的机械性能。钢的强度重量比的性能不如铝的那些性能，然而，由于其在比涡轮分子泵更高的压力下操作并且不安装在同一轴上，因此其可以在较低的旋转速度下操作，从而使得钢能够用于其制造。
在一些实施例中，所述泵包括加热器，该加热器构造成加热所述拖曳泵，使得所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的所述至少一部分在操作期间被维持在高于130 ℃的温度。
为了使工艺气体保持在工艺副产物不冷凝的温度，则可以提供加热器以将定子和转子的温度保持高于130 ℃，并且优选地高于150 ℃，并且在一些实施例中在160-180 ℃之间。这些温度不会削弱钢部件并且足以在拖曳泵的操作压力下将工艺气体副产物保持高于其冷凝温度。
在一些实施例中，所述拖曳泵还包括至少一个热绝缘构件，该至少一个热绝缘构件构造成将所述转子和定子与包括所述拖曳泵的所述马达的区域热隔离。
尽管转子和定子可以构造成在该较高温度下操作，但是应当保护马达和对轴进行支撑的轴承免于较高温度的操作，以便避免损坏它们而减少它们的寿命。为了做到这一点，一个或多个热绝缘构件可以用作隔热件以在这些部件之间提供热隔离。
在一些实施例中，所述至少一个热绝缘构件包括在所述定子部件和所述泵的基部之间的热绝缘构件，以及在所述转子和所述转子的驱动轴之间的热绝缘构件。
定子部件可以安装在泵的基部上，并且可以在这两个部件之间使用热绝缘构件以减少它们之间的热流。该热绝缘构件可以具有多种形式，并且可以是例如陶瓷垫圈。另一个热路径在转子和驱动轴之间，并且热绝缘构件可以放置在这两个部件之间以阻止在该区域中的热传导。
另外，可以在泵的转子和定子部件与马达区域之间放置热屏蔽件。
在一些实施例中，所述拖曳泵包括至少一个拖曳级和至少一个再生级。
尽管拖曳泵可仅由一个或多个拖曳级形成，但在一些实施例中，它另外包括至少一个再生级，该再生级通常定位成该泵中的（一个或多个）最终级。有时被称为侧通道或周边流动泵送级的再生泵送级可以在比大多数拖曳泵更高的压力下有效地操作，并且因此通过在拖曳泵中的较后级提供这种再生泵送级，可以提供操作至更高排放压力的拖曳泵。这种较高的排放压力可以允许不需要下游辅助泵中的一个或多个，使得真空泵组中的泵的数量可以减少，并且泵组的总成本相应地降低。此外，通过在排放级提供较高的压力，将气体从该泵传输到随后的辅助泵所需的管道的横截面较低。考虑到随后的辅助泵可以远离该泵，因为它们通常不在洁净室内，这种尺寸的减小可以显著地节约成本。
在一些实施例中，所述再生级的转子至少部分地由钢形成。在一些实施例中，所述转子的大部分由钢形成。
再生泵通常是以高尖端速度操作的泵，并且因此传统上由铝制成。使用再生级作为拖曳泵的最终级允许其以更高的排放压力操作。
尽管拖曳泵的一个或多个拖曳级可包括许多不同的构造，但在一些实施例中，它们包括一个或多个霍尔维克泵级或者一个或多个西格巴恩（Siegbahn）泵级或者每一者的一个或多个的组合。
在一些实施例中，所述至少一个再生级和所述至少一个拖曳级安装在同一驱动轴上。
将（一个或多个）再生级和（一个或多个）拖曳级安装在同一驱动轴上允许泵的简单且低成本的设计，该泵为每个泵级使用相同的驱动马达和磁轴承。
在一些实施例中，泵包括串联布置的至少两个拖曳级。
尽管如上所述，泵可以形成为单个拖曳级，但是在许多实施例中，它包括串联布置的两个或更多个拖曳级，从而允许泵上的较大压差。一种泵可提供处于高真空的入口并因而是用于涡轮分子泵的有效辅助泵，并且在出口处具有增大的压力，这样的泵允许泵连接到较小直径的管道，并且允许减小所需的附加辅助泵的容量和/或数量。
在一些实施例中，所述拖曳泵包括并联布置的至少两个拖曳级，每个拖曳级可操作以从相应的气体输入部接收气体。
提供可操作以在较高温度下操作的拖曳泵可能需要降低操作速度，以便允许诸如钢的材料用于与气体接触的部件中的至少一些。这种材料可能不具有非常高的尖端速度操作所需的强度重量比，并且因此为了提供足够的气流以支持可在这种速度下操作的涡轮分子泵，如果拖曳级与可操作以从相应的气体输入部接收气体的每一级并联布置，则可能是有利的。以这种方式，可以增加气体流速并提供有效的泵。
在一些实施例中，该拖曳泵包括邻近所述输入部的转子叶片，所述转子叶片包括涡轮分子泵级，该涡轮分子泵级具有成角度的叶片以将气体推送到所述泵中。
如前所述，在可能较低的转速下提供足够的气流并提供允许气体进入泵的有效入口可能是一个挑战。一种改善气流进入泵的方法可以是将涡轮分子泵的一个或多个级设置在泵的输入部上。涡轮分子泵级具有叶片，该叶片成角度以将气体推送到泵中并帮助气体在入口处流动。
一般而言，可存在单个涡轮分子泵级，尽管在一些实施例中可存在2个或3个涡轮分子泵级。该级的转子构造成在泵的温度下操作，并且可至少部分地由钢形成。
在一些实施例中，所述拖曳泵构造成在入口处的0.1-0.5 mbar和出口处的0.5-3mbar之间操作。
该拖曳泵构造成进行操作，使得其适合作为涡轮分子泵的直接辅助泵，并且还提供足够高的出口压力，以避免对大直径管道的需要并降低辅助泵要求，并且可能允许单个主泵而不是传统的罗茨鼓风机和主泵。以这种方式，泵送系统的总成本可以降低。
在一些实施例中，所述拖曳泵包括入口，该入口构造成连接到直径在80 mm和160mm之间的管道。
在一些实施例中，所述拖曳泵包括排放口，所述排放口构造成连接到直径在30至60 mm之间的管道。
如前所述，将拖曳泵连接到涡轮分子泵的管道可能需要具有大的直径，并且因此提供大的入口。出口的较高压力允许较小直径的管道，并因此允许较小的出口。由于拖曳泵构造成适合于在一个洁净室中操作并且具有磁轴承，较大直径的管道可以比较小直径的管道短得多，使得这种布置方式是一种成本有效的布置方式。
在一些实施例中，所述拖曳泵构造成作为用于至少一个高真空涡轮分子泵的辅助泵来操作。
在一些实施例中，所述拖曳泵构造成作为用于两个或更多个高真空涡轮分子泵的辅助泵来操作。
通过将拖曳泵设置为单独的泵，需要额外的一组轴承和马达。通过减少对另外的辅助泵的需要并允许更小的管道和更低的加热要求，可以抵消用于此目的额外成本。降低泵成本的另一方法是在两个或更多个高真空涡轮分子泵之间共享拖曳泵，并且合适的尺寸和操作参数可以使这成为可能。
本发明的第二方面提供了用于在半导体处理腔室内提供高真空的泵组，所述泵组包括：至少一个高真空涡轮分子泵，用于抽空处理腔室；以及拖曳泵，包括：转子，所述转子构造成在定子部件内旋转并且将待泵送气体从气体入口驱动至气体出口；磁轴承，所述磁轴承用于利用磁悬浮将所述转子可旋转地安装在所述泵内，所述拖曳泵经由至少一个第一导管连接到所述至少一个涡轮分子泵的排放口。
形成拖曳泵使得使用磁轴承来安装转子，这使得其适于安装在洁净室中，并且因此，泵可位于涡轮分子泵附近但与其分开。这允许它在低压下用作有效的辅助泵，同时与涡轮分子泵分开。这允许它在不同的温度、不同的转速下操作，并且由与涡轮分子泵不同的材料形成。
在一些实施例中，所述拖曳泵包括根据如以上段落中所述的第一方面的拖曳泵。
在一些实施例中，所述泵组包括阀装置，该阀装置构造成选择性地经由至少一个另外的导管将所述拖曳泵的入口与所述真空腔室连接或隔离，并且将所述拖曳泵的所述入口与所述涡轮分子泵的所述排放口隔离或连接。
将拖曳泵作为单独的泵允许它与涡轮分子泵分开操作。因此，通过使用合适的导管和阀，在拖曳泵被连接作为辅助泵的情况下，拖曳泵可用于直接抽空该真空腔室并提供初始真空，然后将该涡轮分子泵连接到该腔室以抽空到更高的真空。这样，提供了一种泵送组，其适于在洁净室内操作，并且可以从比泵是传统的组合涡轮分子和拖曳泵的情况更高的压力抽空腔室。
在一些实施例中，所述泵组还包括通过第二管道连接到所述拖曳泵的排放口的辅助泵；其中，所述至少一个第一管道比所述第二管道更短并且具有比所述第二管道更大的直径。
如前所述，由于拖曳泵增大气体输出的压力，因此将它连接到另外的辅助泵的管道可以具有比将拖曳泵连接到涡轮分子泵的管道更小的直径。此外，由于拖曳泵构造成在洁净室内操作，该管道可以比该大直径泵更短，因此节省成本。
在所附独立和从属权利要求中阐述了进一步的特定和优选方面。从属权利要求的特征可以与独立权利要求的特征适当地组合，并且可以与除了在权利要求中明确阐述的那些特征之外的特征进行组合。
在设备特征被描述为可操作以提供功能的情况下，将会理解的是，这包括提供该功能的设备特征或者被适配或构造成提供该功能的设备特征。
附图说明
现在将参考附图进一步描述本发明的实施例，附图中：
图1示出了根据实施例的拖曳泵；
图2a示出了根据现有技术的用于抽空高真空半导体处理腔室的真空泵组；
图2b示出了根据实施例的用于抽空高真空半导体处理腔室的真空泵组；并且
图3示意性地示出了根据另一实施例的真空泵组。
具体实施方式
在更详细地讨论实施例之前，首先将提供概述。
实施例提供了一种用于真空泵系统的拖曳泵，以使得能够泵送包含可冷凝产物的工艺气体流。这是通过将不同的泵加热到足够高的温度以避免冷凝来实现的。一种具有再生排放级的新型高温拖曳泵被用于支持涡轮泵。该新型泵可以使用具有钢结构的转子以承受更高的温度和应力。
实施例还提供了包括单独的拖曳泵和涡轮分子泵的泵组，用于在半导体处理系统的真空腔室中产生和保持真空。
在实施例中，所使用的涡轮泵不具有集成的拖曳级。该涡轮泵可以在高达130 ℃的温度下操作，并且不会遭受冷凝。高于该温度，铝失去其强度。具有新设计的第二泵安装成紧邻涡轮泵，并且在一些实施例中具有拖曳级和再生级二者。该泵具有由钢区段制成的转子，以承受较高的操作温度，通常为150 ℃至180 ℃。
为了使泵能够在高温下有效地操作，可以设置隔热件以减少通向马达和轴承部件的热流。一个热绝缘构件可位于驱动主轴的顶部，以限制从转子的顶部凸缘到驱动主轴的热流。第二热绝缘构件可位于热泵定子和冷却器基部和驱动柱（drive column）之间。可以使用热屏蔽件来减少从转子到中心驱动柱的热传递。
当在用于半导体处理腔室的真空系统中使用时，长管道将该泵连接到干式辅助泵。在这种传统辅助泵系统中使用的罗茨鼓风机不是必需的，因为新型拖曳/再生泵的排放压力足够高而不需要增压器。该管道可以具有与传统使用的管道相比相对小的直径，例如与100 mm直径对照的40至50 mm直径。这节省了成本和加热功率。
该泵可用于在低流量应用中支持两个或更多个涡轮泵。
由于没有拖曳级，涡轮泵可以制造得更紧凑。
工具上（On Tool）的增压器或拖曳泵是磁悬浮的机器，具有与半导体处理中使用的涡轮泵类似的磁轴承系统。
转子结构由高强度钢部件制成。典型的设计将使用气缸来支撑许多西格巴恩或霍尔维克拖曳级以及在排放口处的一个或多个再生级。该气缸本身被支撑在连接到中心驱动轴的顶部凸缘上。顶部凸缘可用于提供双入口西格巴恩盘。
可以将一个或多个钢制涡轮级添加到入口，以增加在低压下的速度并帮助气体进入，然而，考虑到通常将使用单独的涡轮泵，并且将不需要额外的入口涡轮级。
在典型的泵中，由于钢相对于铝的强度重量比减小，因此尖端速度将小于由铝制成的泵的尖端速度。为了应对这个问题，入口拖曳级可以是2个或更多个并行级，例如图1中所示的2个西格巴恩级。这之后将是串联的另外的西格巴恩或霍尔维克级。最后，提供通常由2级组成的再生区段。
图1示出了根据实施例的拖曳泵。该拖曳泵具有用于允许从涡轮分子泵输出的气体进入的入口6。气体流入两个并行的西格巴恩级8。西格巴恩级8包括围绕盘布置的螺旋路径，转子31沿着这些螺旋路径推送气体。在该实施例中，存在两个并行的西格巴恩级，因为在转子上方和下方存在两组螺旋路径，并且转子的旋转沿着它们中的每一个推送气体。因此，气体被输入到两个输入部10、12中，所述两个输入部10、12一个在另一个之上，并且定子20和22中的螺旋路径形成了气体被旋转的转子31所沿着推送的路径。
然后气体进入下一级，该级是霍尔维克级。霍尔维克级具有在定子部件30上的螺旋路径，并且气体由转子32的竖直部分沿着这些路径朝向该级34的出口驱动并且进入泵的再生级。
再生级37的入口在这些级的侧壁上，并且未示出。从转子31、32延伸的叶片36的旋转驱动气体围绕外部再生级的圆形通道，并且进入内部再生级，然后通过排放口排出。
驱动轴54安装转子，并且自身安装在磁轴承56上，使得它在操作期间是磁悬浮的并且不需要油润滑，并且产生非常少的振动。
存在用于加热泵的加热器58，并且这向与被泵送的气体接触的定子和转子部件提供热量，并且将它们保持在大于130 ℃的温度，以便避免或至少减少工艺副产物的冷凝。在泵的基部和定子之间以及在驱动轴和转子之间分别存在隔热件50、52。这些有助于将驱动轴和其它马达部件保持在低于转子和定子温度的温度。还存在热屏蔽件53，其保护驱动轴和马达不受定子和转子影响。
在该实施例中，霍尔维克级是单级，在一些实施例中，它可以是多级，可能是竖直转子气缸的任一侧上的两级，使得存在两个螺旋定子部件，气体通过转子的旋转被引导通过所述两个螺旋定子部件。冷却部55被提供给磁轴承组件56。
图2示出了该泵被布置在用于抽空制造工厂中的半导体腔室的泵组内。图2a示出了现有技术的泵组，其中，拖曳泵与涡轮分子泵60成一体，并且在该泵的较低操作温度下操作且具有低排放压力以避免副产物的冷凝。该泵组具有长且宽直径的管道62，以将低压气体朝向远离洁净室定位的增压器罗茨增压泵64和干式主泵66排放。
图2b示出了根据实施例的包括拖曳泵61的不同布置。在该布置中，包括两个拖曳泵级以及一个或多个再生级的拖曳泵61构造为与涡轮分子泵60a分开的泵。它构造有磁轴承，并且因此可位于洁净室内，并且因此在它和涡轮分子泵之间需要较短的管道。此外，由于它是单独的泵，所以它可由与涡轮分子泵60a不同的材料构成，从而允许它在较高温度下并因此在较高压力下操作。因此，由拖曳泵输出的排气处于比由现有技术的涡轮/拖曳泵输出的排气显著更高的温度和压力。因此，具有较少加热需求的较小直径管道可用于将该泵连接到另外的辅助泵。此外，由于在该单独的拖曳泵的输出部处的较高压力，可以省去在常规系统中使用的罗茨增压泵。
因此，尽管可能考虑到增加成本以提供作为单独泵的拖曳级，因为它需要额外的马达和磁轴承，但是它允许更高的温度并且因此允许更高的操作压力，并且因此它允许具有更低热需求的更小直径的连接管道。此外，在一些实施例中，它可允许省去传统辅助泵系统的辅助泵（例如罗茨增压泵）中的一个或多个。
图3示出了用于另一实施例的泵组。在该实施例中，存在涡轮分子泵60a，其构造为抽空真空腔室90。还存在拖曳泵61，其经由导管和阀80连接到涡轮分子泵60a的排放口，并经由另外的导管和阀80连接到真空腔室90。在真空腔室90和涡轮分子泵60a之间存在阀80。
阀可设置成使得拖曳泵连接到真空腔室并且涡轮分子泵与其隔离。阀也可以设置成使得腔室与拖曳泵的直接连接隔离，但是与涡轮分子泵连接，并且涡轮分子泵排放口连接到拖曳泵，使得它由拖曳泵支持。
实际上，通过将拖曳泵61设置为与涡轮分子泵60a分开的泵，拖曳泵可用于与涡轮分子泵独立地抽空该腔室。因此，它可以用于当腔室处于比涡轮泵单独作用的情况下更高的压力时抽空腔室。当腔室压力降低至一定值时，可以切换所述阀，并且由拖曳泵61支持的涡轮泵60a可以用于产生和保持较高的真空。
尽管拖曳泵可以由与涡轮泵不同且耐受较高温度的材料制成，但是在该泵组的实施例中，拖曳泵可以由与涡轮泵类似的材料形成。
尽管在本文中参考附图详细公开了本发明的说明性实施例，但是应当理解的是，本发明不仅仅限于这些实施例，并且本领域技术人员可以在其中实现各种改变和修改，而不偏离由所附权利要求及其等同物限定的本发明的范围。
参考标记
6 入口
8 并行的西格巴恩级
10、12 并行的西格巴恩级的气体入口
20、22 西格巴恩级定子
30 霍尔维克级定子
31 转子的西格巴恩部分
32 转子的霍尔维克级部分
34 霍尔维克级的气体出口
36 再生级的转子叶片
37 再生级
50、52 热绝缘构件
53 热屏蔽件
54 转子驱动轴
55 冷却部
56 磁轴承组件
60 组合的涡轮分子和拖曳泵
60a 涡轮分子泵
61 拖曳/再生泵
62 连接管道
64 罗茨增压泵
66 干式主泵
80 阀
90 真空腔室

Claims (23)

1.一种用于泵送气体的拖曳泵，所述拖曳泵包括：
转子，所述转子构造成在定子部件内旋转并且将待泵送气体从气体入口驱动至气体出口；
磁轴承，所述磁轴承用于利用磁悬浮将所述转子可旋转地安装在所述泵内；
其中，至少所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的那部分构造成在高于130 ℃的温度下操作，并且所述转子至少部分地由钢制成。
2. 根据权利要求1所述的拖曳泵，其中，所述转子和定子部件的构造成接触所述待泵送气体的所述部分构造成在高于150 ℃的温度下操作。
3.根据权利要求1或2所述的拖曳泵，其中，所述转子至少部分地由沉淀硬化不锈钢制成。
4. 根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括加热器，所述加热器构造成加热所述拖曳泵，使得构造成接触所述待泵送气体的所述转子和定子部件在操作期间被维持在高于130 ℃的温度。
5.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，所述拖曳泵还包括至少一个热绝缘构件，所述至少一个热绝缘构件构造成将所述转子和定子部件与包括所述拖曳泵的所述马达的区域热隔离。
6.根据权利要求5所述的拖曳泵，其中，所述至少一个热绝缘构件包括在所述定子部件和所述泵的基部之间的热绝缘构件以及在驱动轴和所述转子之间的热绝缘构件，所述转子安装在所述驱动轴上。
7.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括至少一个拖曳级和至少一个再生级。
8.根据权利要求7所述的拖曳泵，其中，所述再生级的转子至少部分地由钢形成。
9.根据权利要求7或8所述的拖曳泵，其中，所述至少一个拖曳级包括霍尔维克泵级和西格巴恩泵级中的至少一者。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的拖曳泵，其中，所述至少一个再生级和所述至少一个拖曳级安装在同一驱动轴上。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的拖曳泵，包括串联布置的至少两个拖曳级。
12.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括并联布置的至少两个拖曳级，每个拖曳级可操作以从相应的气体输入部接收气体。
13.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，包括邻近所述输入部的转子叶片，所述转子叶片包括涡轮分子泵级，其具有成角度的叶片以将气体推送到所述泵中。
14. 根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵构造成在入口处的0.1-0.5 mbar和出口处的0.5-3 mbar之间操作。
15. 根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括入口，所述入口构造成连接到直径在80 mm和160 mm之间的管道。
16. 根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵包括排放出口，所述排放出口构造成连接到直径在30 mm至60 mm之间的管道。
17.根据任一前述权利要求所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵构造成作为用于至少一个高真空涡轮分子泵的辅助泵来操作。
18.根据权利要求17所述的拖曳泵，其中，所述拖曳泵构造成作为用于两个或更多个高真空涡轮分子泵的辅助泵来操作。
19. 一种用于在半导体处理腔室内提供高真空的泵组，所述泵组包括：
至少一个高真空涡轮分子泵，用于抽空处理腔室；以及
拖曳泵，包括：
转子，所述转子构造成在定子部件内旋转并且将待泵送气体从气体入口驱动至气体出口；
磁轴承，所述磁轴承用于利用磁悬浮将所述转子可旋转地安装在所述泵内，所述拖曳泵经由至少一个第一管道连接到所述至少一个涡轮分子泵的排放口。
20.根据权利要求19所述的泵组，其中，所述拖曳泵包括根据权利要求17或18所述的拖曳泵。
21.根据权利要求19或20所述的泵组，其中，所述泵组包括阀装置，所述阀装置构造成选择性地经由至少一个另外的管道将所述拖曳泵的入口与所述真空腔室连接或隔离，并且将所述拖曳泵的所述入口与所述涡轮分子泵的所述排放口隔离或连接。
22. 根据权利要求19至21中任一项所述的泵组，所述泵组还包括：
辅助泵，所述辅助泵通过第二管道连接到所述拖曳泵的排放口；其中
所述至少一个第一管道比所述第二管道更短且具有比所述第二管道更大的直径。
23.根据权利要求19至22中任一项所述的泵组，其中，所述至少一个涡轮分子泵构造成在比所述拖曳泵更低的温度下操作。
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