JP2005307859A - ターボ真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 2個の軸受31、33によって回転自在に支持された回転軸21と、一方の軸受31から張り出した回転軸21のオーバーハング部に、軸方向に積層して取り付けられた複数の回転翼24とを備え、回転軸21のオーバーハング部の一部または全部が中空軸構造であることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
一段目の遠心ドラッグ翼24の前端面26Aは、一段目の固定翼17の対向面17Bとポンプ1の軸方向の間隔dg1を形成して対向している。二段目から五段目の遠心ドラッグ翼24の裏面27Bは、二段目から五段目の固定翼28の渦巻状ガイド29の端面29Aと、ポンプ1の軸方向の間隔dh1、dh2、dh3,dh4をそれぞれ形成して対向している。二段目から五段目の固定翼28の裏面63Bは、二段目から四段目の遠心ドラッグ翼24の前端面26Aと、ポンプ1の軸方向の間隔dg2、dg3、dg4、dg5をそれぞれ形成して対向している。以上述べた軸方向の間隔dg1〜dg5を、以下、固定翼17、28と遠心ドラッグ翼24とのギャップと称することにする。このギャップの値は、例えば、一段目の固定翼17と一段目の遠心ドラッグ翼24の間では、数十〜数百μmである。
一段目の遠心ドラッグ翼24が回転することによって、ポンプ1の吸気ノズル23Aから図1中、略軸方向52にガスが導入される。一段目の遠心ドラッグ翼24に導入されたガスは、一段目の遠心ドラッグ翼24と一段目の固定翼17との相互作用、すなわち当該ガスの粘性によるドラッグ作用、さらに遠心ドラッグ翼24の回転による遠心作用により、一段目の遠心ドラッグ翼24の基部27の表面27Aに沿い、一段目の遠心ドラッグ翼24の外径側へ向かわせるガスの圧縮、排気が行われる。
17、19 固定翼
21 回転軸
22 切り穴
23 上ハウジング
23A 吸気ノズル
23B 排気ノズル
24 遠心ドラッグ翼(回転翼)
28 固定翼
31 上ラジアル磁気軸受
32 モータ
33 下ラジアル磁気軸受
34 アキシャル磁気軸受
37 下ハウジング
50、150 排気部
51 運動制御部
53 ケーシング
55A 吸気開口部
55B 排気開口部
70 タービン翼
71 固定翼
Claims (3)
- 2個の軸受によって回転自在に支持された回転軸と;
一方の前記軸受から張り出した前記回転軸のオーバーハング部に、軸方向に積層して取り付けられた複数の回転翼とを備え;
前記回転軸のオーバーハング部の一部または全部が中空軸構造であることを特徴とする;
ターボ真空ポンプ。 - 前記2個の軸受の間の前記回転軸に取り付けられ、前記回転軸を回転駆動するモータを備える;
請求項1に記載のターボ真空ポンプ。 - 前記回転翼にそれぞれ挟まれて配置された複数の固定翼と;
前記回転軸と、前記モータと、前記複数の回転翼とを収納するケーシングとを備え;
前記ケーシングが、流体を前記ケーシング内に吸い込む吸気開口部と、前記流体を前記ケーシング外に排気する排気開口部とを有し;
前記吸気開口部により吸い込まれ最終段の前記回転翼を出た前記流体が、前記最終段の回転翼を出た後前記排気開口部により排気されるまで、前記回転軸の中心軸線に直角な一つの面内を流れるように構成された;
請求項1または請求項2に記載のターボ真空ポンプ。
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2004
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