CN102472288A - 真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能使用在泵中配置的数量比温度传感器的数量少的加热装置或冷却装置来进行温度控制的真空泵。针对本泵内的各目标，温度传感器分别被1个1个地配置，另一方面，加热器（147）以及电磁阀（163）仅配置一组。基于这样的多个温度传感器输出信号，在对温度传感器赋予优先级的形式下控制一组加热器和电磁阀。像这样，通过对温度传感器赋予优先级，从而首先先对配置有优先级高的温度传感器的目标施加迅速的开关控制，使温度收敛在控制范围内，之后，对配置有优先级低的温度传感器的目标使温度收敛在控制范围内。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及具备加热装置或冷却装置的真空泵，特别是涉及能使用在泵中配置的数量比温度传感器的数量少的加热装置或冷却装置来进行温度控制的真空泵。

背景技术

伴随着近年来的电子学（electronic）的发展，存储器、集成电路等的半导体的需要急剧地增大。

这些半导体以如下等方式进行制造：通过在纯度极高的半导体基板中掺杂杂质而赋予电的性质、或通过蚀刻在半导体基板上形成微小的电路等。

而且，这些作业为了避免空气中的尘埃等导致的影响而需要在高真空状态的室内进行。在该室的排气中，通常使用真空泵，但特别是从残留气体少、维护容易等方面出发，多是使用作为真空泵中的一种的涡轮（turbo）分子泵。

此外，在半导体的制造工序中，使各种处理（process）气体与半导体的基板作用的工序有很多，涡轮分子泵不仅在使室内成为真空的情况下使用，而且在从室内对这些处理气体进行排气的情况下也会使用。图6表示该涡轮分子泵的纵剖面图。

在图6中，涡轮分子泵100在圆筒状的外筒127的上端形成有吸气口101。在外筒127的内部具备用于对气体进行吸引排气的向周部呈放射状并且多级地形成了利用涡轮叶片（turbine blade）的多个旋翼102a、102b、102c…的旋转体103。

在该旋转体103的中心安装有转子（rotor）轴113，该转子轴113例如利用所谓的5轴控制的磁性轴承而在空中悬浮支承并且进行位置控制。

上侧径向电磁铁104的4个电磁铁在转子轴113的径向的坐标轴即彼此正交的X轴和Y轴上成对配置。与该上侧径向电磁铁104接近并且对应地具备由4个电磁铁构成的上侧径向传感器107。该上侧径向传感器107以检测旋转体103的径向位移并向未图示的控制装置发送的方式构成。

在控制装置中，基于上侧径向传感器107检测出的位移信号，经由具有PID调节功能的补偿电路，控制上侧径向电磁铁104的励磁，调整转子轴113的上侧的径向位置。

转子轴113由高磁导率材料（铁等）等形成，被上侧径向电磁铁104的磁力吸引。这样的调整在X轴方向和Y轴方向分别独立进行。

此外，下侧径向电磁铁105以及下侧径向传感器108与上侧径向电磁铁104以及上侧径向传感器107同样地配置，使转子轴113的下侧的径向位置与上侧的径向位置同样地进行调整。

进而，轴向电磁铁106A、106B上下夹着配置有在转子轴113的下部具备的圆板状的金属圆盘（disk）111。金属圆盘111由铁等的高磁导率材料构成。为了检测转子轴113的轴向位移而具备轴向传感器109，以向控制装置发送该轴向位移信号的方式构成。

而且，轴向电磁铁106A、106B基于该轴向位移信号，经由控制装置的具有PID调节功能的补偿电路进行励磁控制。轴向电磁铁106A和轴向电磁铁106B利用磁力使金属圆盘111分别处于上方和下方。

像这样，控制装置适当地调节该轴向电磁铁106A、106B对金属圆盘111产生的磁力，使转子轴113在轴向磁悬浮，在空间中呈非接触地进行保持。

电动机121具备以包围转子轴113的方式呈圆周状配置的多个磁极。各磁极由控制装置控制以使经由在与转子轴113之间作用的电磁力对转子轴113进行旋转驱动。

进而，例如在下侧径向传感器108的附近，安装未图示的相位传感器，检测转子轴113的旋转相位。

与旋翼102a、102b、102c…隔开微小的空隙地配设有多片固定翼123a、123b、123c…。旋翼102a、102b、102c…由于利用碰撞分别将排气气体的分子向下方移送，所以从与转子轴113的轴线垂直的平面起倾斜规定的角度而形成。

此外，固定翼123也同样地从与转子轴113的轴线垂直的平面起倾斜规定的角度而形成，并且朝向外筒127的内部与旋翼102的级彼此不同地配设。

而且，固定翼123的一端以在多个阶梯式的固定翼隔离物125a、125b、125c…之间嵌插的状态下被支承。

固定翼隔离物125是环状的构件，例如由铝、铁、不锈钢、铜等金属、或者包含这些金属作为成分的合金等的金属构成。

在固定翼隔离物125的外周，隔开微小的空隙固定有外筒127。在外筒127的底部配设有基部129，在固定翼隔离物125的下部和基部129之间配设有带有螺钉的隔离物131。而且，在基部129中的带有螺钉的隔离物131的下部形成有排气口133，与外部连通。

带有螺钉的隔离物131是由铝、铜、不锈钢、铁、或者以这些金属为成分的合金等的金属构成的圆筒状的构件，在其内周面刻有多条螺旋状的螺钉槽131a。

螺钉槽131a的螺旋方向是在排气气体的分子在旋转体103的旋转方向上移动时，该分子向排气口133那边移送的方向。

在旋转体103的接着旋翼102a、102b、102c…的最下部垂下有旋翼102d。该旋翼102d的外周面是圆筒状的，并且朝向带有螺钉的隔离物131的内周面伸出，与该带有螺钉的隔离物131的内周面隔开规定的间隙地接近。

基部129是构成涡轮分子泵100的基底部的圆盘状的构件，通常由铁、铝、不锈钢等金属构成。

基部129在物理上保持涡轮分子泵100，并且也兼备热传导路径的功能，因此优选使用铁、铝、铜等具有刚性、热传导率也高的金属。

在这样的结构中，当旋翼102通过电动机121驱动并与转子轴113一起旋转时，利用旋翼102和固定翼123的作用，通过吸气口101对来自室内的排气气体进行吸气。

从吸气口101吸气的排气气体通过旋翼102和固定翼123之间，向基部129移送。此时，排气气体与旋翼102接触或碰撞时产生的摩擦热、在电动机121产生的热的传导、辐射等会引起旋翼102的温度上升，但该热会利用辐射或排气气体的气体分子等的传导而传递到固定翼123侧。

固定翼隔离物125在外周部彼此接合，固定翼123将从旋翼102受到的热、排气气体与固定翼123接触或碰撞时产生的摩擦热等向外筒127、带有螺钉的隔离物131传递。

向带有螺钉的隔离物131移送来的排气气体一边被引导至螺钉槽131a一边被送至排气口133。

再有，在上面的叙述中，设为带有螺钉的隔离物131配设于旋翼102d的外周、在带有螺钉的隔离物131的内周面刻有螺钉槽131a，进行了说明。可是，与此相反地也存在在旋翼102d的外周面刻有螺钉槽、在其周围配置具有圆筒状的内周面的隔离物的情况。

此外，为了不使从吸气口101吸引的气体侵入到由电动机121、下侧径向电磁铁105、下侧径向传感器108、上侧径向电磁铁104、上侧径向传感器107等构成的电装部一侧，电装部的周围被定子柱（stator column）122覆盖，该电装部内通过吹扫（purge）气体而保持在规定压力。

因此，在基部129配设未图示的配管，通过该配管导入吹扫气体。被导入的吹扫气体通过保护轴承（bearing）120和转子轴113间、电动机121的转子和定子间、定子柱122和旋转体103间的间隙向排气口133送出。

在此，涡轮分子泵100需要基于被个别地调整的固有参数（例如，机种的特别指定、与机种对应的各特性）的控制。为了储存该控制参数、错误历史等的维护信息等，上述涡轮分子泵100在其主体内具备电子电路部141。电子电路部141由EEP-ROM等的半导体存储器以及其访问用的半导体元件等的电子部件、其安装用的基板143等构成。

该电子电路部141收容在构成涡轮分子泵100的下部的基部129的中央附近，被气密性的底盖145盖上。

可是，存在为了提高反应性而将处理气体在高温的状态下向室内导入的情况。而且，存在这些处理气体在被排气时变为被冷却的温度而成为固体并在排气系统中析出生成物的情况。

而且，存在这种处理气体在涡轮分子泵100内变为低温而成为固体状并附着堆积在涡轮分子泵100内部的情况。

当在涡轮分子泵100内部堆积处理气体的析出物时，该堆积物使泵流道变窄，成为使涡轮分子泵100的性能降低的原因。

在此，上述的生成物处于容易在排气口附近温度低的部分特别是在旋翼102d以及带有螺钉的隔离物131附近凝固、附着的状况。为了解决该问题，以往在基部129等的外周环绕有加热器147、环状的水冷管149，并且例如在基部129中埋入温度传感器151（例如热敏内阻），以基于该温度传感器151的信号将基部129的温度保持在一定的高温（设定温度）的方式进行加热器147的加热、水冷管149的冷却的控制（以下称为TMS。TMS：Temperature Management System，温度管理系统）。

由于TMS的设定温度高则更难以堆积生成物，所以优选使设定温度尽可能高。

另一方面，像这样在使基部129成为高温时，电子电路部141在因排气负荷的变动等导致周围温度变化成高温的情况下等超过了极限温度，存在利用了半导体存储器的存储单元被破坏的担忧。此时，半导体存储器损坏，存储在该存储器中的控制参数、泵起动时间、错误历史等的维护信息数据消失。

在维护信息数据消失的情况下，维护检查的时期、涡轮分子泵100的交换时期等的判断也无法进行。因此，在涡轮分子泵100的运用上产生了较大的障碍。

此外，在半导体存储器中写入有泵ID（识别信息），在电源接通时与控制装置进行匹配，基于该结果，实施运转。因此，在该泵ID等的数据消失的情况下，涡轮分子泵100的再起动无法进行。

此外，同样地，在使基部129成为高温时，存在电动机121由于排气负荷的变动等导致流到构成磁极的电磁铁线圈的电流增大而超过容许温度的担忧。此时，电磁铁线圈断线，电动机停止。

进而，通过电磁铁线圈的成型材料熔化，从而该成型材料的保持力降低。其结果是，电磁铁的配设位置偏离，电动机的旋转驱动力降低、或电动机的旋转停止。

而且，作为该TMS的一个控制方法，公开了如现有专利文献1所示那样的控制方法。即，该专利文献1的控制单元预先对设定下限温度和设定上限温度进行设定来作为温度的阈值，仅在泵主体内的温度比该设定下限温度低时，使加热器成为工作状态，仅在比设定上限温度高时，使冷却单元成为工作状态，由此在处于设定下限温度和设定上限温度间时，使加热器和控制阀双方成为非通电状态，使温度控制能量损失变小。

此外，设定加热器以及阀的最低运转时间，控制单元使加热器成为工作状态起到接着成为非工作状态为止的时间以及使控制阀成为开状态起到成为接着的闭状态为止的时间分别比设定的最低工作状态长，由此能防止加热器以及控制阀的抖动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-257079。

发明内容

发明要解决的课题

可是，在专利文献1中，对作为应当进行温度控制的对象的1个目标，存在1组（set）加热器和水冷管的设备、以及控制该加热器和水冷管的控制装置。即，是需要目标的数量的加热单元、冷却单元和控制装置的组的系统。因此，在泵内设定多个目标并分别配置温度传感器的情况下，需要数量相同的加热单元、冷却单元和控制装置的组。因此，存在系统大型化以及复杂化、设备投资费用增大的问题。

此外，在为了多个目标的温度控制而存在数量相同的加热单元和冷却单元的情况下，当同时存在进行加热和冷却的定时时，各自的加热能量和冷却能量相抵消，存在产生能量损失的担忧。

本发明正是鉴于这样的现有课题而做成的，其目的在于提供一种能使用在泵中配置的数量比温度传感器的数量少的加热装置或冷却装置来进行温度控制的真空泵。

用于解决课题的方案

因此，本发明（方案1）是一种真空泵，对被排气装置的气体进行排气，其中，构成为具备：多个温度传感器，被配置在该真空泵的不同部位；以及冷却单元和/或加热单元，其数量比该温度传感器的数量少；以及温度控制单元，基于所述多个温度传感器所输出的多个温度信号，控制所述冷却单元和/或所述加热单元。

冷却单元、加热单元的数量比温度传感器的数量少。在此之前的对真空泵的控制方法中总是需要将控制对象与冷却单元或加热单元的数量设成相同，但在本发明中，通过基于预先设定的规则来生成控制信号，从而能弥补该数量的差异。

根据以上，对多个目标，能减少加热单元或冷却单元的数量，能实现温度控制系统的小型化以及成本降低。此外，即使在基于用多个温度传感器检测的温度信息，对加热单元或冷却单元同时导出相反的控制指令的情况下，也不会使用无用的加热能量或冷却能量。

此外，在本发明（方案2）中，其特征在于，所述温度控制单元将所述多个温度信号中的、处于被预先设定了温度信号值的容许范围之外的温度信号作为控制对象的温度信号，基于该控制对象的温度信号，控制所述冷却单元和/或所述加热单元。

像这样，预先对各温度传感器设定该温度传感器输出的温度信号的值的容许范围，将温度信号的值上升或下降并在该容许范围之外出现的温度信号作为控制对象的温度来控制冷却单元或加热单元，由此能以比温度传感器的数量少的冷却单元或加热单元来控制真空泵的配置有温度传感器的多处的温度。

进而，在本发明（方案3）中，其特征在于，所述温度控制单元按照预先设定的所述多个温度信号的优先级，从所述多个温度信号中的、处于被预先设定了温度信号值的容许范围之外的多个温度信号中，选择温度信号作为所述控制对象的温度信号，基于所述控制对象的温度信号，控制所述冷却单元和/或所述加热单元。

像这样，通过对温度传感器赋予优先级，从而首先先对配置有优先级高的温度传感器的目标施加迅速的控制，使温度收敛在容许范围内，之后，使配置有优先级次高的温度传感器的目标的温度收敛在容许范围内。

根据以上，能得到对多个目标减少加热单元或冷却单元的数量，实现温度控制系统的小型化以及成本降低等的效果。

进而，在本发明（方案4）中，其特征在于，所述温度控制单元分别基于所述多个温度信号中的、处于被预先设定了温度信号值的容许范围之外的多个温度信号，导出多个控制指令，基于该多个控制指令的合成结果，控制所述冷却单元和/或所述加热单元。

在作为上述多个控制指令的合成结果，对上述多个控制指令的值的合计值、乘法值、平均值、对上述多个控制指令的值的每一个进行加权后的合计值、乘法值、平均值、上述冷却单元和/或上述加热单元进行开关控制的情况下，可举出开指令或关指令的“或”、“与”等。

像这样基于多个控制指令的合成结果，控制上述冷却单元和/或上述加热单元，由此能一边不对温度传感器赋予优劣地维持对等的关系，一边对多个目标减少加热单元或冷却单元的数量，因此能得到实现温度控制系统的小型化以及成本降低等的效果。

发明效果

如以上说明的那样，根据本发明，冷却单元或加热单元以数量比温度传感器的数量少的方式构成，因此能实现温度控制系统的小型化以及成本降低。此外，即使在基于用多个温度传感器检测的温度信息，对加热单元或冷却单元同时导出相反的控制指令的情况下，也不会使用无用的加热能量或冷却能量。

附图说明

图1是作为本发明第一实施方式的涡轮分子泵的结构图（温度传感器配置）。

图2是概略整体系统结构图。

图3是在对温度传感器赋予优先级的形式下的温度控制时间图例。

图4是作为本发明第二实施方式的涡轮分子泵的时间图。

图5是作为本发明第三实施方式的涡轮分子泵的时间图。

图6是涡轮分子泵的纵剖面图。

具体实施方式

以下，针对本发明第一实施方式进行说明。图1表示作为本发明第一实施方式的涡轮分子泵的结构图，图2表示概略整体系统结构图。再有，图1以及图2对以后的各实施方式也同样适用。

在图1以及图2中，在电动机121中内置有测定其温度的电动机温度传感器153（例如热敏内阻）。此外，基部129的内部侧温度通过TMS温度传感器151来测定，并进行监视以使气体流道温度不会成为设定温度以下，另一方面，基部129的外部侧温度通过OP传感器155来测定、监视。而且，将这些电动机温度传感器153、TMS温度传感器151、OP传感器155的检测信号向控制装置161发送。

此外，能从控制装置161对加热器147发送开（on）关（off）控制指令信号、或从控制装置161对控制向水冷管149的冷却水的流动的电磁阀163发送开关控制指令信号。当对电磁阀163发送开指令信号时，阀开启，冷却水流过水冷管149，当发送关指令信号时，阀关上，冷却水不流过水冷管149。

接着，针对温度控制的时间图进行说明。对本泵内的各目标（target），温度传感器分别被1个1个地配置，另一方面，加热器147以及电磁阀163仅被配置一组。本实施方式1的控制基于这样的多个温度传感器输出信号，在对温度传感器赋予优先级的形式下控制一组加热器和电磁阀。

图3表示在对温度传感器赋予优先级的形式下的温度控制时间图例。图3揭示了基于分别在上级的TMS温度传感器151的检测信号和在下级的OP传感器155的检测信号的该各检测信号来进行信号生成的电磁阀控制指令信号和加热器控制指令信号。对TMS温度传感器151的检测信号和OP传感器155的检测信号分别设有设定温度201、211。

而且，为了使基部129的内部侧温度稳定在该设定温度201，在以TMS温度传感器151检测出的该内部侧温度上升时，为了关闭加热器147并且打开电磁阀163而设有设定温度上限值203。而且，与此相反地在内部侧温度下降时，为了打开加热器147而设有设定温度下限值205。

同样地，为了使基部129的外部侧温度稳定在设定温度211，在以OP传感器155检测出的该外部侧温度上升时，为了打开电磁阀163而设有设定温度上限值213。而且，与此相反地在外部侧温度下降时，为了关闭电磁阀163而设有设定温度下限值215。

在此，在控制加热器147和电磁阀163时，使基于TMS温度传感器151的检测信号而导出的控制指令比基于OP传感器155的检测信号而导出的控制指令优先。

再有，假设电磁阀163的关仅基于OP传感器155侧进行控制。此外，将设定温度上限值203和设定温度下限值205间的区域A以及设定温度上限值213和设定温度下限值215间的区域B设为温度传感器的检测信号的容许范围，在温度传感器的检测信号处于该区域时，不导出加热器147和电磁阀163的控制指令，而是继续之前的指示。

以下，按照时间序列进行说明。首先，通过在时刻t1，TMS温度传感器151的检测信号（基部129的内部侧温度）超过了设定温度上限值203，从而导出电磁阀163的开指令、加热器147的关指令。此外，OP传感器155的检测信号（基部129的外部侧温度）在该t1超过设定温度上限值213，在该时刻导出电磁阀163的开指令，但由于和TMS温度传感器151的检测信号（电磁阀163的开指令）是相同的，所以作为电磁阀163的控制信号而生成开指令信号，作为加热器147的控制信号而生成关指令信号。

该状态持续到t2为止，在t2，OP传感器155的检测信号进入到不足设定温度上限值213的区域B，但在区域B中继续之前的指示，因此到t3之前继续电磁阀163的开信号、加热器147的关信号。

在t3，由于OP传感器155的检测信号不足设定温度下限值215，所以导出电磁阀163的关指令，但按照温度信号的优先级，使TMS温度传感器151的检测信号比OP传感器155的检测信号优先，因此到在t4，TMS温度传感器151的检测信号不足设定温度上限值203之前继续电磁阀163的开信号、加热器147的关信号。

在TMS温度传感器151的检测信号处于区域A时，基于OP传感器155的检测信号而导出的电磁阀163的指令为关，因此到t5之前作为电磁阀163的控制指令信号而生成关指令信号。t5到t6是区域A和区域B重叠的区域，由于继续之前的指示，所以作为电磁阀163的控制指令信号而继续关指令信号。

再有，尽管在t3到t5之间关闭了加热器147，但OP传感器155的检测信号从下降转成了上升。这是因为即使关闭加热器147，由于电动机和磁性轴承的电流、转子的气体的摩擦等也会导致某种程度地加热泵，进而通过在t3关闭电磁阀163，从而冷却水不会流过泵。

在t6，OP传感器155的检测信号再次超过了设定温度上限值213，导出电磁阀163的开指令，但由于此时TMS温度传感器151的检测信号处于区域A，所以作为电磁阀163的控制指令信号而生成开信号。在t7，由于TMS温度传感器151的检测信号不足设定温度下限值205，所以生成加热器147的开信号。以下，重复进行同样的处理。

像这样，通过对温度传感器赋予优先级，从而首先先对配置有优先级高的温度传感器的目标施加迅速的开关控制，使温度收敛在容许范围内，之后，使配置有优先级低的温度传感器的目标的温度收敛在容许范围内。

根据以上，对多个目标，能减少加热器和电磁阀的数量，能实现温度控制系统的小型化以及成本降低。此外，即使在针对基于用多个温度传感器检测的温度信息而导出的加热单元、冷却单元的控制指令，同时导出相反的控制指令的情况下，也不会使用无用的加热能量、冷却能量。

再有，在上面的叙述中说明了针对2个温度传感器在对温度传感器赋予优先级的形式下控制一组加热器和电磁阀的情况，但针对3个以上的温度传感器也能进行同样的控制。

接着，针对本发明第二实施方式进行说明。图4表示作为本发明第二实施方式的涡轮分子泵的时间图。再有，本实施方式的结构图和图1、图2是相同的，因此进行省略。图4揭示了基于在上级的电动机温度传感器153和在下级的TMS温度传感器151的检测信号的该各检测信号来进行信号生成的电磁阀控制指令信号和加热器控制指令信号。其中，针对加热器控制指令信号，和实施方式1是相同的，因此进行省略。

对电动机温度传感器153的检测信号和TMS温度传感器151的检测信号分别设置有设定温度301、311。而且，为了使电动机121的温度稳定在该设定温度301，在以电动机温度传感器153检测出的温度上升时，为了打开电磁阀163而设有设定温度上限值303。而且，与此相反地在温度下降时，为了关闭电磁阀163而设有设定温度下限值305。

同样地，为了使基部129的内部侧温度稳定在设定温度311，在以TMS温度传感器151检测出的温度上升时，为了打开电磁阀163而设有设定温度上限值313。而且，与此相反地在温度下降时，为了关闭电磁阀163而设有设定温度下限值315。

在此，在本实施方式中，在控制加热器147和电磁阀163时，使开指令优先。即，针对开指令以取“或”的形式生成控制信号。

此外，使根据电动机温度传感器153的电磁阀163的控制指令在超过了设定温度上限值303的情况下直到低于设定温度下限值305之前继续，进而，在成为设定温度下限值305以下的情况下直到高于设定温度上限值303之前使上述控制指令继续。针对该方面，不适用于根据TMS温度传感器151的电磁阀163的控制指令。

再有，和实施方式1同样地，假设在TMS温度传感器151的检测信号处于设定温度上限值313和设定温度下限值315间的区域A时，根据TMS温度传感器151的电磁阀163的控制指令继续之前的指令。

以下，按照时间序列进行说明。首先，通过在时刻t1电动机温度传感器153的检测信号超过了设定温度上限值303，从而导出电磁阀163的开指令。而且，到低于设定温度下限值305之前继续该开指令。

此外，TMS温度传感器151的检测信号在该t1超过设定温度上限值313，在该时刻导出电磁阀163的开指令，但由于和电动机温度传感器153的检测信号是相同的，所以作为电磁阀163的控制信号而生成开指令信号。在控制电磁阀163时，使开指令优先，因此电磁阀163的开指令信号到电动机温度传感器153的检测信号低于设定温度下限值305的t2之前继续。

之后，到t3之前，在电动机温度传感器153的检测信号侧导出电磁阀163的关指令，但由于在TMS温度传感器151的检测信号侧超过设定温度上限值313的状况持续，所以导出电磁阀163的开指令。在该情况下，电磁阀163的控制指令信号作为两指令的“或”而生成电磁阀163的开指令信号。在t3以后到t4之前，在电动机温度传感器153的检测信号侧导出电磁阀163的关指令。另一方面，由于TMS温度传感器151的检测信号侧为区域A，所以生成电磁阀163的关指令信号。

在t4以后到t5之前，在TMS温度传感器151的检测信号侧导出电磁阀163的关指令，并且在电动机温度传感器153侧导出电磁阀163的关指令，因此作为结果而继续电磁阀163的关指令信号。

在t5以后到t6之前，TMS温度传感器151侧处于区域A，在电动机温度传感器153侧导出电磁阀163的关指令，因此作为电磁阀163的控制指令信号，继续关指令信号。而且，在t6，TMS温度传感器151侧超过设定温度上限值313，导出电磁阀163的开指令，另一方面，在电动机温度传感器153侧导出电磁阀163的关指令，因此取两者的“或”，生成电磁阀163的开指令信号。

在t7以后到t8之前，在电动机温度传感器153侧导出电磁阀163的开指令，TMS温度传感器151侧处于区域A，因此接着继续电磁阀163的开指令信号。

在t8以后，TMS温度传感器151侧低于设定温度下限值315，但由于电动机温度传感器153侧依然导出电磁阀163的开指令，所以继续电磁阀163的开指令信号。根据以上，即使是优先开指令的控制也能得到和实施方式1同样的效果。即，能起到基于多个温度传感器来实现电磁阀163以及加热器147的控制等的效果。

再有，在本实施方式中，以针对电磁阀163，取基于电动机温度传感器153的检测信号的开指令和基于TMS温度传感器151的检测信号的开指令的“或”来生成开指令信号的情况为例进行了说明，但针对加热器147，取基于电动机温度传感器153的检测信号的关指令和基于TMS温度传感器151的检测信号的关指令的“或”来生成关指令信号也可。

接着，针对本发明第三实施方式进行说明。图5表示作为本发明第三实施方式的涡轮分子泵的时间图。再有，本实施方式的结构图和图1、图2是相同的，因此省略。图5揭示了基于在上级的电动机温度传感器153的检测信号和在下级的TMS温度传感器151的检测信号的该各检测信号来进行信号生成的电磁阀控制指令信号和加热器控制指令信号。

对电动机温度传感器153的检测信号和TMS温度传感器151的检测信号分别设有设定温度301、321。而且，为了使电动机121的温度稳定在该设定温度301，在以电动机温度传感器153检测出的温度上升时，为了打开电磁阀163而设有设定温度上限值303。而且，与此相反地在温度下降时，为了关闭电磁阀163而设有设定温度下限值305。

同样地，为了使基部129的内部侧温度稳定在设定温度321，在TMS温度传感器151的检测信号超过了设定温度321的情况下关闭加热器147。而且，在暂时关闭加热器147的情况下，到低于设定温度下限值325之前使该关继续。之后，在检测信号低于设定温度下限值325时，打开加热器147。此外，在超过了设定温度上限值323时，进行打开电磁阀163的控制，如果温度低于设定温度321，则进行关闭电磁阀163的控制。之后，在超过设定温度上限值323时，打开电磁阀163。

在此，在本实施方式中，和第二实施方式同样地，在控制电磁阀163时，使开指令优先。即，针对开指令信号以取“或”的形式来生成控制指令信号。

再有，只要不产生异常加热，就可以和电磁阀163同样地，以取针对多个温度传感器的检测信号的每一个导出的开指令的“或”的形式来生成加热器147的开指令信号。

此外，使根据电动机温度传感器153的电磁阀163的控制指令在超过了设定温度上限值303的情况下，到低于设定温度下限值305之前继续。进而，使根据电动机温度传感器153的电磁阀163的控制指令在成为设定温度下限值305以下的情况下，到超过设定温度上限值303之前继续。针对该方面，不适用于根据TMS温度传感器151的电磁阀163的控制指令。

以下，按照时间序列进行说明。首先，由于在时刻t1，TMS温度传感器151的检测信号超过了设定温度321，所以关闭加热器147。此外，关闭电磁阀163。通过在t2，电动机温度传感器153的检测信号超过了设定温度上限值303，从而导出电磁阀163的开指令。而且，该电动机温度传感器153侧的开指令到低于设定温度下限值305之前继续。另一方面，在TMS温度传感器151侧在时刻t2导出电磁阀163的关指令，因此取双方的开指令的“或”的结果是生成电磁阀163的开信号。

由于在t3，TMS温度传感器151侧超过了设定温度上限值323，所以导出电磁阀163的开指令，但由于在电动机温度传感器153侧也导出电磁阀163的开指令，所以一起导出开指令的结果是取“或”、生成电磁阀163的开信号。

由于在t4，TMS温度传感器151侧低于设定温度321，所以导出电磁阀163的关指令，但由于在电动机温度传感器153侧导出电磁阀163的开指令，所以取双方的指令的“或”，开指令被优先，电磁阀163生成开信号。

在t5，TMS温度传感器151的检测信号低于设定温度下限值325，导出加热器147的开指令，生成加热器147的开信号。此时，在电动机温度传感器153侧，电磁阀163保持开指令，因此对电磁阀163继续生成开信号。

由于在t6，TMS温度传感器151的检测信号超过了设定温度321，所以导出加热器147的关指令，关闭加热器147。由于电动机温度传感器153的检测信号使得继续导出电磁阀163的开指令，所以对电磁阀163接着继续开信号。

在t7，在TMS温度传感器151侧导出电磁阀163的关指令。此时，由于在电动机温度传感器153侧，低于设定温度下限值305，所以导出电磁阀163的关指令，一起导出关指令的结果是取其“或”，作为控制指令信号而生成电磁阀163的关信号。

由于在t8，电动机温度传感器153的检测信号低于设定温度下限值305，所以继续判断电磁阀163的关指令，但由于在TMS温度传感器151侧判断出电磁阀163的开指令，所以取双方的指令的“或”，生成电磁阀163的开信号。

由于在t9，TMS温度传感器151侧的检测信号低于设定温度321，所以导出电磁阀163的关指令。与此相对地，在电动机温度传感器153侧，导出电磁阀163的关指令，由于两指令均为关，所以关闭电磁阀163。以下同样地重复进行。根据以上，在第三实施方式中也能得到和第二实施方式同样的效果。

附图标记的说明

100 涡轮分子泵；

121 电动机；

129 基部；

147 加热器；

149 水冷管；

151 TMS温度传感器；

153 电动机温度传感器；

155 OP传感器；

161 控制装置；

163 电磁阀；

201、211、301、311、321 设定温度；

203、213、303、313、323 设定温度上限值；

205、215、305、315、325 设定温度下限值。

Claims (4)

1.一种真空泵（100），对被排气装置的气体进行排气，其特征在于，具备：

多个温度传感器（151、153、155），被配置在该真空泵（100）的不同部位；以及

冷却单元（149）和/或加热单元（147），其数量比该温度传感器（151、153、155）的数量少；以及

温度控制单元（161），基于所述多个温度传感器所输出的多个温度信号，控制所述冷却单元（149）和/或所述加热单元（147）。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述温度控制单元（161）将所述多个温度信号中的、处于被预先设定了温度信号值的容许范围之外的温度信号作为控制对象的温度信号，基于该控制对象的温度信号，控制所述冷却单元（149）和/或所述加热单元（147）。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述温度控制单元（161）按照预先设定的所述多个温度信号的优先级，从所述多个温度信号中的、处于被预先设定了温度信号值的容许范围之外的多个温度信号中，选择温度信号作为所述控制对象的温度信号，基于所述控制对象的温度信号，控制所述冷却单元（149）和/或所述加热单元（147）。

4.根据权利要求1至3的任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述温度控制单元（161）分别基于所述多个温度信号中的、处于被预先设定了温度信号值的容许范围之外的多个温度信号，导出多个控制指令，基于该多个控制指令的合成结果，控制所述冷却单元（149）和/或所述加热单元（147）。

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