JPH10122179A

JPH10122179A - 真空ポンプ

Info

Publication number: JPH10122179A
Application number: JP8276055A
Authority: JP
Inventors: Masashi Iguchi; 昌司井口; Masatomo Okamoto; 正智岡本
Original assignee: OSAKA SHINKU KIKI SEISAKUSHO; OSAKA SHINKU KIKI SEISAKUSHO KK
Current assignee: OSAKA SHINKU KIKI SEISAKUSHO; OSAKA SHINKU KIKI SEISAKUSHO KK
Priority date: 1996-10-18
Filing date: 1996-10-18
Publication date: 1998-05-12
Anticipated expiration: 2016-10-18
Also published as: JP3792318B2

Abstract

(57)【要約】【課題】真空ポンプにおける放熱効率の向上を図った
り、ポンプを構成する部材間に閉じ込められたエアを迅
速に排気できるようにして到達圧力の低下を防止し、所
定の高真空排気を達成することができるようにする。【解決手段】吸気口２及び排気口３とを有するケーシ
ング１内に、多段状の複数の動翼11を有するロータ９が
駆動装置12のシャフト12ａに回転自在に支持され、該動
翼11と、動翼11間に嵌入される静翼13とからターボ分子
ポンプ段６が構成され、しかも、前記ロータ９の動翼11
よりも排気口３側には筒状ロータ部15が形成され、該筒
状ロータ部15と筒状ロータ部15に対面するように設けら
れたステータ24との少なくとも一方の周面にはねじ溝23
が形成され、筒状ロータ部15とステータ24とからねじ溝
ポンプ段７が構成されている真空ポンプにおいて、前記
動翼11及び静翼13における排気口３側の一部の対向面
と、前記筒状ロータ部15及びステータ24の対向面と、前
記シャフト12ａの表面には、熱放射率の高い物質からな
る被膜30，34がそれぞれ設けられていることことにあ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空ポンプに係
り、特にそのロータの熱放射による熱伝達効率を向上さ
せて極高真空排気ができるようにした真空ポンプ並びに
その放熱構造及びエア抜き構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、超高真空排気用に使用される真空
ポンプとして、複合分子ポンプが公知である。かかる複
合分子ポンプは、吸気口及び排気口とを有するケーシン
グ内に、多段状の複数の動翼を有するロータが駆動装置
のシャフトに回転自在に支持され、該動翼と、該動翼間
に嵌入される静翼とからターボ分子ポンプ段が構成さ
れ、しかも、前記ロータの動翼よりも排気口側には筒状
ロータ部が形成され、該筒状ロータ部と筒状ロータ部に
対面するように設けられたステータとの少なくとも一方
の周面にはねじ溝が形成され、筒状ロータ部とステータ
とからねじ溝ポンプ段が構成されたものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記複合分子ポンプ
は、ポンプ稼働中、モータにおける渦電流損失に伴う発
熱現象が起こる他、ロータを回転させるシャフトを軸支
する軸受等が発熱する。特に、軸受がロータを非接触で
支持する磁気軸受である場合には、渦電流による回転抵
抗に伴う発熱現象が、シャフト側に生じ、かかる発熱現
象はモータ部における発熱現象よりも顕著である。

【０００４】このように発生した熱がロータに伝わるた
めロータが高温となる。ロータの温度上昇は、ロータか
らガス放出が起こり易くなり極高真空への到達能力が低
下するおそれがあり、望ましいものではない。

【０００５】しかしながら、通常、ロータ及びステータ
は、熱放射率の小さなアルミニウム合金製であるため、
ロータとステータ間における放射による熱伝達は期待で
きず、特に、ロータが磁気軸受により支持される場合に
は、ロータは真空中に完全に浮上した状態で回転するた
め、ケーシングと非接触状態となり、熱伝達も悪くな
り、ロータの冷却は困難である。

【０００６】また、例えば、前記シャフトの上端を被覆
すべくローターカバーをロータにボルトで固定する場
合、ロータ側に設けられたねじ穴にボルトを螺合するこ
とにより行っているが、ねじ穴にはエアが閉じ込められ
溜まることとなる。従って、ポンプ稼働中にかかるエア
が少しずつ吸気口側を介して排気路に漏れ出て、到達圧
力に悪影響を及ぼす。また、ケーシングとステータとの
関係においても、両者間に閉じ込められたエアにより同
様の問題を有している。

【０００７】本発明は、上記の如き従来の問題点に鑑み
てなされたもので、真空ポンプにおける放熱効率の向上
を図ったり、ポンプを構成する部材間に閉じ込められた
エアを迅速に排気できるようにして到達圧力の低下を防
止し、所定の高真空排気を達成することができるように
することを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明が上記課題を解決
するために講じた技術的手段は以下の通りである。

【０００９】即ち、吸気口２及び排気口３とを有するケ
ーシング１内に、多段状の複数の動翼11を有するロータ
９が駆動装置12のシャフト12ａに回転自在に支持され、
該動翼11と、動翼11間に嵌入される静翼13とからターボ
分子ポンプ段６が構成され、しかも、前記ロータ９の動
翼11よりも排気口３側には筒状ロータ部15が形成され、
該筒状ロータ部15と筒状ロータ部15に対面するように設
けられたステータ24との少なくとも一方の周面にはねじ
溝23が形成され、筒状ロータ部15とステータ24とからね
じ溝ポンプ段７が構成されている真空ポンプにおいて、
前記動翼11及び静翼13における排気口３側の一部の対向
面と、前記筒状ロータ部15及びステータ24の対向面と、
前記シャフト12ａの表面には、熱放射率の高い物質から
なる被膜30，34がそれぞれ設けられていることことにあ
る。

【００１０】ここで、熱放射率の高い物質からなる被膜
とは、カーボン、ニッケルクロム鋼あるいはセラミック
ス等の放射率の高い物質をコーティングにより設けた
り、黒ぞめメッキや黒体塗料等の黒体処理してなる被膜
等をいい、該被膜が設けられるロータ９及びステータ24
等の部材の材料よりも放射率の高い物質からなるものを
いう。

【００１１】また、ロータ９の表面及び前記シャフト12
ａの表面には、熱放射率の高い物質からなる被膜30，34
がそれぞれ設けられていることにある。

【００１２】しかも、前記ディスタンスピース13ａに
は、ケーシング１内面とディスタンスピース13ａの排気
路となる内側とを連通させるエア抜き孔21が形成されて
いることにある。

【００１３】また、前記ステータ24には、ケーシング１
内面と排気路となるステータ24の内側とを連通させるエ
ア抜き孔28が形成されていることにある。

【００１４】更に、前記ロータ９に形成されたねじ穴27
には、前記シャフト12ａ用のロータカバー18を取り付け
るためのボルト19が螺合され、該ボルト19には、該ねじ
穴27と排気路となるロータカバー18の外側とを連通する
ためのエア抜き孔31が形成されていることにある。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に従って説明する。図１において、１はケーシン
グで、その上部には真空用チャンバー４に取付けられる
フランジ1aを有するアルミニウム合金製等の本体ケーシ
ング5aと該本体ケーシング5aの下方にシール25を介して
嵌合され下部ハウジング5bとからなり、本体ケーシング
5aのフランジ1aには吸気口２が、下部ハウジング5bには
排気口３がそれぞれ形成されている。

【００１６】また、本体ケーシング5aの下端と下部ハウ
ジング5bとの間には、間隙８が形成されており、本体ケ
ーシング5aのベーキング時に、本体ケーシング5aの熱が
下部ハウジング5b側に伝わり難くなっている。

【００１７】６は吸気口２側のターボ分子ポンプ段で、
７は該ターボ分子ポンプ段６よりも下方（下流側）に配
置されたねじ溝ポンプ段をそれぞれ示し、回転自在なロ
ータ９は、吸気口２側の動翼11と排気口３側の筒状ロー
タ部15とを一体に形成した複合型のものであり、筒状ロ
ータ部15は、内側の筒状ロータ部15ａ及び外側の筒状ロ
ータ部15ｂの内外２重筒状に形成されている。ロータ９
は、外側の筒状ロータ部15ｂが炭素繊維強化プラスチッ
ク材料から構成され、動翼11を含むその他の部分はアル
ミニウム合金材料からなっている。

【００１８】外側の筒状ロータ部15ｂを炭素繊維強化プ
ラスチック材料から構成した理由は次の通りである。即
ち、ロータ９には、高速回転により周速に応じた応力が
発生するので、仮にロータ９全体をアルミニウム合金か
ら構成した場合、かかる合金の材料強度に応じて筒状ロ
ータ部15の周速の上限が決定する。

【００１９】アルミ合金製複合分子ポンプの場合、上記
の応力の制限から前記動翼11の外径に比し、筒状ロータ
部15の外径は、20〜30％程度小さく設計されるのが現状
である。筒状ロータ部15を多重円筒にする場合、筒状ロ
ータ部15の外径には限界があるため、その内側に複数の
円筒を配置することとなる。もともと狭い空間しかない
筒状ロータ部15の内側に更に円筒を配置しなければなら
ず、設計上困難となることが多い。また、強度面から周
速を速くできず、周速の低下により圧縮性能の十分な向
上が図れない。

【００２０】炭素繊維強化プラスチックはアルミニウム
合金に比べ、比強度（強度／比重）が大きいため、高速
回転に耐え得ることができ、空間に余裕のあるアルミニ
ウム合金製の筒状ロータ部15ａの外側に、炭素繊維強化
プラスチックからなる筒状ロータ部15ｂを配置すること
が可能となると共に、より速い周速とすることができる
のである。

【００２１】また、前記ロータ９は、前記下部ハウジン
グ5b側に支持された駆動装置12により回転自在に設けら
れている。駆動装置12は、下部ハウジング5bに固定され
た装置ハウジング36内に、モータ35により回転するシャ
フト12ａを非接触状態で軸受支持する磁気軸受形のもの
で、ロータ９は駆動装置12を構成する回転自在なシャフ
ト12ａの上端にボルト16を介して取付けられている。37
は図２に示す如く上部ラジアル軸受で、シャフト12ａの
半径方向の偏位を検出する上部ラジアルセンサ37ａと、
該センサ37ａの信号により応答する上部ラジアル電磁石
37ｂとからなる。

【００２２】38は前記ハウジング36側に固定された下部
ラジアル電磁石39を有する下部ラジアル軸受で、更に下
方には、上下一対のスラスト電磁石40と該電磁石40介在
されるようにシャフト12ａの下部に設けられた円板41か
らスラスト軸受43が設けられている。尚、44はホルダ
ー、45はシャフト12ａの円板41よりも下方に突出する部
分が挿入される下部タッチダウン軸受である。

【００２３】前記シャフト12ａ略全長の表面には、カー
ボン、ニッケルクロム鋼等のセラミックス等の放射率の
高い物質をコーティングにより設けたり、黒ぞめメッキ
や黒体塗料等の黒化処理してなる被膜34が設けられてい
る。尚、この被膜34はシャフト12ａのロータ９の嵌合さ
れる上部テーパ部12ｂと、上記ラジアルセンサ37ａの対
向面12ｃと、下部タッチダウン軸受45を除く部分の表面
（図２にＤで示す範囲）に設けるのが好ましい。

【００２４】前記ロータ９の上面には凹部9aが形成さ
れ、該凹部9aの底面9bには、前記シャフト12ａの上端及
びボルト16を気密状に覆うシャフト12ａ用のロータカバ
ー18が、複数のボルト19により固定されている。

【００２５】即ち、図３に示す如くロータカバー18のフ
ランジ部18ａの周方向には、等間隔を有してボルト挿通
孔19ａが上下方向に形成され、一方、ロータ９の凹部9a
の底面9bにはねじ穴27が上下方向に形成されている。そ
して、前記ボルト19がロータカバー18のフランジ部18ａ
のボルト挿通孔19ａに挿通され、且つ、ロータ９の凹部
9aの底面9bのねじ穴27に螺合されている。

【００２６】各ボルト19の軸心には、ボルト19の全長
（ヘッド部からねじ部19ｂの先端）にわたってエア抜き
孔31が形成されている。従って、ねじ部19ｂの先端とね
じ穴27とで形成される空間32と排気路となる吸気口２側
とは、前記エア抜き孔31を介して連通することとなる。

【００２７】前記本体ケーシング5a内周には、前記多段
の動翼11間に嵌入される静翼13、各静翼13間に介在され
たディスタンスピース13a が設けられ、前記動翼11及び
静翼13により前記ターボ分子ポンプ段６が構成されてい
る。

【００２８】21は図４に示す如く、本体ケーシング5aと
ディスタンスピース13a との間のエアを抜くためのエア
抜き孔で、本体ケーシング5aの内面と排気路となる静翼
13間の空間13ｂとを連通するように、略中段に位置する
ディスタンスピース13a に貫通状に形成されている。
尚、エア抜き孔21は一個のディスタンスピース13a に形
成するだけでなく、適宜複数のディスタンスピース13a
に形成することも可能である。

【００２９】前記筒状のロータ部15のそれぞれの内外面
に対向するように、アルミニウム合金製のねじ溝ステー
タ（ステータ）24が配置されている。即ち、ねじ溝ステ
ータ24は、外側の筒状ロータ部15ｂの外面と対向するよ
うに本体ケーシング5aの内面に設けられた円筒状の外ス
テータ24ａと、外側の筒状ロータ部15ｂ及び内側の円筒
ロータ部15ａの間に位置するように、下部ハウジング5b
に固定された円筒状の中ステータ24ｂと、更に、内側の
円筒ロータ部15ａの内側に位置する内ステータ24ｃとか
らなる。

【００３０】外ステータ24ａの内周面、中ステータ24ｂ
の内外周面及び内ステータ24ｃの外周面には、螺旋状の
ねじ溝23がそれぞれ形成され、筒状のロータ部15及びね
じ溝ステータ24により前記ねじ溝ポンプ段７が構成され
ている。従って、通常の高流量対応型複合分子ポンプで
は、ねじ溝ロータは単体の円筒で、その外面のみをねじ
溝ポンプとして用いるが、本実施の形態では約４倍のね
じ溝流路長を持つこととなる。

【００３１】28は図５に示す如く、本体ケーシング１と
外ステータ24ａとの間に閉じ込められたエアを抜くため
のエア抜き孔で、本体ケーシング１の内面と排気路とな
る外ステータ24ａの内側とを連通するように、外ステー
タ24ａの下部に形成されている。このエア抜き孔28は１
個であっても複数であっても良い。尚、ねじ溝ポンプ段
７において、ねじ溝は筒状のロータ部15側にも形成して
も、あるいは、筒状のロータ部15側にのみ形成すること
も可能である。

【００３２】30はカーボン、ニッケルクロム鋼等のセラ
ミックス等の熱放射率の高い物質をコーティングしてな
る被膜で、該被膜30は、前記ねじ溝ポンプ段７の内外側
の筒状ロータ部15ａ、15ｂ及び外，中，内ステータ24
ａ，24ｂ，24ｃの対向面全体と、ターボ分子ポンプ段に
おける前記ねじ溝ポンプ段に近い側の複数段の動翼11及
び静翼13の対向面に設けられている（図１にＡで示す範
囲）。尚、動翼11及び静翼13に設ける被膜30は、動翼11
及び静翼13の全段数の40〜60％であるのが好ましい。

【００３３】かかる被膜30は、放射率の高い物質をコー
ティングしてあれば良く、例えば、静翼13にはカーボン
又はニッケルクロム鋼をコーティングし、ねじ溝ポンプ
段７及びターボ分子ポンプ段６の動翼11にはその他のセ
ラミックスをコーティングするようにしても良い。

【００３４】31は真空中での放出ガスが少ない被膜（緻
密な酸化被膜又は緻密な金属膜）で、前記ターボ分子ポ
ンプ段における被膜の設けられていない動翼11及び静翼
13の対向面に設けられている（図１にＢで示す範囲）。
かかる酸化被膜31は、アルコール等を切削材として使用
する清浄加工により動翼11及び静翼13を加工するときに
それぞれの表面に形成されるものである。また、金属膜
31とは、ピンポールのない緻密な金属又は金属の化合物
の薄い被膜を形成してなるもので、例えば、チタン、チ
タンの窒化物またはクロム窒化物等が挙げられる。被覆
する方法としては、物理的気相蒸着法（ＰＶＤ法）ある
いは化学的気相蒸着法（ＣＤＶ法）の何れでもよいが、
後者の方が均一に被覆できるので望ましい。

【００３５】また、酸化被膜31は上記動翼11及び静翼13
以外に、例えば、本体ケーシング5aにおける吸気口２の
フランジ1aから最上段の動翼11の上面（図１にＣで示す
範囲）までの内面、及び好ましくはロータカバー18の表
面にも設けられている。

【００３６】次に、以上の構成における真空ポンプにお
いては、以下のような作用効果が得られる。即ち、先
ず、真空ポンプの使用に先立って、ロータ９等の表面に
付着したガスを放出させるためのベーキング処理を行
う。かかる処理は、本体ケーシング5aの外周にヒータを
巻き、本体ケーシング5aを加熱して行うのであるが、デ
ィスタンスピース13a 及び外ステータ24ａは本体ケーシ
ング5aに接触しており、ディスタンスピース13a は放射
率の高い物質をコーティングしている静翼13と接触して
いる。また、外ステータ24ａは放射率の高い物質をコー
ティングしているので、熱放射及び熱伝導により、本体
ケーシング5aの熱は放射率の高い物質がコーティングさ
れたロータ９に伝わり、本体ケーシング5a内のロータ９
等の部品が効率良く加熱され、ベーキング処理が行われ
る。

【００３７】また、本体ケーシング5aの下端と下部ハウ
ジング5bとに間隙８が設けられているので、ベーキング
作業の際に、本体ケーシング5aが加熱されるにもかかわ
らず、その熱が下部ハウジング5bに伝わり難くなり、下
部ハウジング5bが不用意に加熱されるのを防止すること
ができる。従って、下部ハウジング5b内に収められ支持
された駆動装置12のモータ35及び軸受等を過熱から保護
することができ、これら部品が熱により故障するのを防
止することができ、運転に支障をきたすおそれもない。

【００３８】次に、真空ポンプを稼働させた際に、仮
に、上記ロータ９のねじ穴27の空間32にエアが閉じ込め
られていた場合には、このエアはポンプ作用によりエア
抜き孔31を介して迅速に排気路となっているロータカバ
ー18の外側の吸気口２側に排気される。

【００３９】また、本体ケーシング１とディスタンスピ
ース13a との間に、エアが閉じ込められていた場合であ
っても、同様の作用によりこのエアはディスタンスピー
ス13a のエア抜き孔21を介して排気路となっている静翼
13間に排気される。

【００４０】更に、本体ケーシング１と外ステータ24ａ
との間に閉じ込められたエアは、エア抜き孔28を介して
排気路となっている外ステータ24ａの内側に排気され
る。

【００４１】次に、モータ35や軸受が発熱すると、その
熱がシャフト12ａに伝わるが、シャフト12ａの表面に
は、放射率の高い物質が設けられていることから、仮に
シャフト12ａが加熱された場合でも、その熱が放射及び
伝導により、装置ハウジンク36に伝達され放熱される。
この結果、シャフト12ａの温度は、シャフト12ａの表面
に放射率の高い物質を設けていない場合に比し低下す
る。

【００４２】放熱されなかったシャフト12ａの熱はロー
タ９に伝わり、ロータ９を加熱することとなるが、ロー
タ９の動翼11の一部及び内外側の筒状ロータ部15ａ、15
ｂと、これらに対面する静翼13及び外，中，内ステータ
24ａ，24ｂ，24ｃに放射率の高い物質をそれぞれ設けて
いるので、この物質の設けられた部分から熱放射により
ロータ９側から静翼13及び外，中，内ステータ24ａ，24
ｂ，24ｃへ熱移動が効率良く行われる。

【００４３】しかも、静翼13とディスタンスピース13a
は接触しているので、熱移動が効果的におこなわれるの
である。また、ねじ溝ポンプ段７を筒状のロータ部15及
びねじ溝ステータ24を内外複数重構造としているので、
ねじ溝ポンプ段７での放熱できる表面積が大きくなり、
ロータ９の放熱効果も向上する。更に、吸気口２側の動
翼11及び静翼13の表面及び本体ケーシング１の吸気口２
側は、ガス放出を抑える緻密な酸化被膜31等が形成さ
れ、ガス放出を起こしやすいセラミックス等の表面には
なっていないので、極高真空が容易に得られる。

【００４４】本発明は上記複合分子ポンプに限らず、例
えば、前記熱放射率の高い物質30はねじ溝ポンプ段７に
のみ設けても良い。即ち、図６に示す如くねじ溝ポンプ
段７の筒状のロータ部15とねじ溝ステータ24の螺旋状の
ねじ溝23の対向面に熱放射率の高い物質30（特に、セラ
ミックスが望ましい）を設け（図６にＡ１で示す範
囲）、且つ、ターボ分子ポンプ段６のガス放出を抑える
緻密な酸化被膜31等が形成されていない一部には、金属
メッキ（図６にＢ１で示す範囲）を設けることも可能で
ある。

【００４５】また、前記熱放射率の高い物質30はねじ溝
ポンプ段７にのみ設け、且つ、放出ガスが少ない被膜31
を、前記ターボ分子ポンプ段の全段（図６にＢ２に示す
範囲）に設けることもできる。

【００４６】更に、本発明は、ターボ分子ポンプ段６の
みからなるターボ分子ポンプ、またはねじ溝ポンプ段７
のみからなるねじ溝真空ポンプにおいても採用可能であ
る。

【００４７】

【発明の効果】以上のように本発明は、ロータの表面及
び前記駆動装置のシャフトの表面には、熱放射率の高い
物質からなる被膜がそれぞれ設けられているので、ポン
プ稼働中にシャフトが発熱しても、その熱を効果的に放
熱させることができると共に、放熱されなかった熱がロ
ータを加熱するようなことがあっても、放射率の高い物
質の被膜から良好に放熱することができる。

【００４８】しかも、前記ディスタンスピースには、ケ
ーシング内面とディスタンスピースの内側とを連通させ
るエア抜き孔を形成しているので、ポンプ稼働初期にケ
ーシング内面とディスタンスピースとの間に閉じ込めら
れていたエアを迅速に排気することが可能となる。

【００４９】また、前記ステータには、ケーシング内面
とステータの内側とを連通させるエア抜き孔が形成され
ているので、ケーシング内面とステータとの間に閉じ込
められていたエアを迅速に排気することが可能となる。

【００５０】更に、ロータに形成されたねじ穴には、前
記ロータが固定される駆動装置のシャフト用のロータカ
バーを取り付けるためのボルトが螺合され、該ボルトに
は、該ねじ穴とロータカバーの外側とを連通するための
エア抜き孔が形成されているので、ねじ穴内に閉じ込め
られていたエアを迅速に排気することが可能となる。

【００５１】この結果、真空ポンプにおける放熱効率の
向上を図ったり、ポンプを構成する部材間に閉じ込めら
れたエアを迅速に排気できるようになり、到達圧力の悪
化を防止し、所定の高真空排気を達成することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示す縦断面図。

【図２】駆動装置の断面図。

【図３】ロータカバーの取付け部分におけるエア抜き構
造を示す要部断面図。

【図４】ディスタンスピースにおけるエア抜き構造を示
す要部断面図。

【図５】ステータにおけるエア抜き構造を示す要部断面
図。

【図６】本発明の他の実施の形態を示す要部断面図。

【符号の説明】

１…ケーシング、２…吸気口、３…排気口、5a…本体ケ
ーシング、5b…ハウジング、６…ターボ分子ポンプ段、
７…ねじ溝ポンプ段、９…ロータ、11…動翼、12ａ…シ
ャフト、13…静翼、13ａ…ディスタンスピース、15…筒
状ロータ部、23…ねじ溝、24…ステータ、21，28，31…
エア抜き孔、27…ねじ穴、30，34…被膜、31…酸化被膜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吸気口（２）及び排気口（３）とを有す
るケーシング（１）内に、多段状の複数の動翼（11）を
有するロータ（９）が駆動装置（12）のシャフト（12
ａ）に回転自在に支持され、該動翼（11）と、動翼（1
1）間に嵌入される静翼（13）とからターボ分子ポンプ
段（６）が構成され、しかも、前記ロータ（９）の動翼
（11）よりも排気口（３）側には筒状ロータ部（15）が
形成され、該筒状ロータ部（15）と筒状ロータ部（15）
に対面するように設けられたステータ（24）との少なく
とも一方の周面にはねじ溝（23）が形成され、筒状ロー
タ部（15）とステータ（24）とからねじ溝ポンプ段
（７）が構成されている真空ポンプにおいて、前記動翼
（11）及び静翼（13）における排気口（３）側の一部の
対向面と、前記筒状ロータ部（15）及びステータ（24）
の対向面と、前記シャフト（12ａ）の表面には、熱放射
率の高い物質からなる被膜（30），（34）がそれぞれ設
けられていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】吸気口（２）及び排気口（３）とを有す
るケーシング（１）内に、多段状の複数の動翼（11）を
有するロータ（９）が駆動装置（12）のシャフト（12
ａ）に回転自在に支持され、各動翼（11）間に嵌入され
る複数の静翼（13）がディスタンスピース（13ａ）を介
して多段状に設けられている真空ポンプにおいて、前記
ロータ（９）の表面及び前記シャフト（12ａ）の表面に
は、熱放射率の高い物質からなる被膜（30），（34）が
それぞれ設けられていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項３】前記ディスタンスピース（13ａ）には、
ケーシング（１）内面とディスタンスピース（13ａ）の
排気路となる内側とを連通させるエア抜き孔（21）が形
成されている請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】吸気口（２）及び排気口（３）とを有す
るケーシング（１）内に固定されたステータ（24）と、
駆動装置（12）のシャフト（12ａ）に回転自在に支持さ
れているロータ（９）とを備えた真空ポンプにおいて、
前記ロータ（９）の表面及び前記シャフト（12ａ）の表
面には、熱放射率の高い物質からなる被膜（30），（3
4）がそれぞれ設けられていることを特徴とする真空ポ
ンプ。
【請求項５】前記ステータ（24）には、ケーシング
（１）内面と排気路となるステータ（24）の内側とを連
通させるエア抜き孔（28）が形成されている請求項４に
記載の真空ポンプ。
【請求項６】前記ロータ（９）に形成されたねじ穴（2
7）には、前記シャフト（12ａ）用のロータカバー（1
8）を取り付けるためのボルト（19）が螺合され、該ボ
ルト（19）には、該ねじ穴（27）と排気路となるロータ
カバー（18）の外側とを連通するためのエア抜き孔（3
1）が形成されている請求項２又は４に記載の真空ポン
プ。
【請求項７】吸気口（２）及び排気口（３）とを有す
るケーシング（１）内に、多段状の複数の動翼（11）を
有するロータ（９）が駆動装置（12）のシャフト（12
ａ）に回転自在に支持され、各動翼（11）間に嵌入され
る複数の静翼（13）がディスタンスピース（13ａ）を介
して多段状に設けられている真空ポンプにおいて、前記
ディスタンスピース（13ａ）には、ケーシング（１）内
面と排気路となるディスタンスピース（13ａ）の内側と
を連通させるエア抜き孔（21）が形成されていることを
特徴とする真空ポンプ。
【請求項８】吸気口（２）及び排気口（３）とを有す
るケーシング（１）内に固定されたステータ（24）と、
駆動装置（12）のシャフト（12ａ）に回転自在に支持さ
れているロータ（９）とを備えた真空ポンプにおいて、
前記ステータ（24）には、ケーシング（１）内面と排気
路となるステータ（24）の内側とを連通させるエア抜き
孔（28）が形成されていることを特徴とする真空ポン
プ。
【請求項９】吸気口（２）及び排気口（３）とを有す
るケーシング（１）内に固定されたステータ（24）と、
駆動装置（12）のシャフト（12ａ）に回転自在に支持さ
れているロータ（９）とを備えた真空ポンプにおいて、
前記ロータ（９）に形成されたねじ穴（27）には、前記
シャフト（12ａ）用のロータカバー（18）を取り付ける
ためのボルト（19）が螺合され、該ボルト（19）には、
ねじ穴（27）と排気路となるロータカバー（18）の外部
とを連通するためのエア抜き孔（31）が形成されている
ことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項１０】前記ロータ（９）は内外複数の筒状ロ
ータ部（15ａ），（15ｂ）を有し、最外側の筒状ロータ
部（15ｂ）は炭素繊維強化プラスチック材料から構成さ
れている請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項１１】前記熱放射率の高い物質からなる被膜
（30），（34）がそれぞれ設けられていない吸気口
（２）側には、真空中での放出ガスが少ない被膜（31）
が設けられている請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項１２】吸気口（２）及び排気口（３）とを有
するケーシング（１）内に、多段状の複数の動翼（11）
を有するロータ（９）が駆動装置（12）のシャフト（12
ａ）に回転自在に支持され、該動翼（11）と、動翼（1
1）間に嵌入される静翼（13）とからターボ分子ポンプ
段（６）が構成され、しかも、前記ロータ（９）の動翼
（11）よりも排気口（３）側には筒状ロータ部（15）が
形成され、該筒状ロータ部（15）と筒状ロータ部（15）
に対面するように設けられたステータ（24）との少なく
とも一方の周面にはねじ溝（23）が形成され、筒状ロー
タ部（15）とステータ（24）とからねじ溝ポンプ段
（７）が構成されている真空ポンプにおいて、前記ねじ
溝ポンプ段（７）の筒状ロータ部（15）及びステータ
（24）の対向面にのみ、熱放射率の高い物質からなる被
膜（30），（34）がそれぞれ設けられていることを特徴
とする真空ポンプ。