JP4503947B2 - 分子ポンプ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は高真空を発生させる分子ポンプにおいて、特に第1段目にターボ分子ポンプ部を配置した分子ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の複合分子ポンプの一例を図3に示した。
【0003】
該複合分子ポンプは、ターボ分子ポンプ部aとねじ溝真空ポンプ部nとからなり、竪形に形成されている。
【0004】
該ターボ分子ポンプ部aは複合分子ポンプの上方(吸気口f側)に配置されていて、ロータcの外周部に放射状に動翼を突設してなる動翼段a1、a2、a3、…、を多段に有しており、又、これら動翼段の間には放射状に静翼を配置してなる静翼段b1、b2、b3、…、を多段に有している。
【0005】
前記ねじ溝真空ポンプ部nは、前記ロータcの下方部に連設された円筒状ロータ部eの外側に外側ステータを有して形成した一次側ねじ溝真空ポンプ部n1と、前記円筒状ロータ部eの内側に内側ステータを有して形成した二次側ねじ溝真空ポンプ部n2とからなる。
【0006】
hは前記ロータcに接続する回転軸であり、該回転軸hはベアリングハウジングjに回動自在に軸支されている。
【0007】
又、kは前記ベアリングハウジングj等を冷却するためにベース部mに設けた冷却水管である。
【0008】
当該複合分子ポンプの作動は、前記吸気口fより排気を吸入し、ターボ分子ポンプ部a、一次側ねじ溝真空ポンプ部n1、次いで二次側ねじ溝真空ポンプ部n2を経て、排気口gより排気を排出する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
真空排気が行なわれる装置の中には、排気を行なう真空ポンプ側からの熱影響を嫌うものがある。
【0010】
従来の分子ポンプのロータの表面温度は40℃乃至80℃程度であるが、このような温度からの放射熱は好ましくなく、ロータの表面温度を室温又は27℃程度迄とすることが要求される場合があった。
【0011】
この様な場合、従来は分子ポンプの吸気口部にバッフルプレートを設けて、分子ポンプのロータからの放射熱を防ぐようにした例がある。
【0012】
しかし、このように吸気口部にバッフルプレートを設けると、吸気抵抗が増大するために、排気速度の大きな真空ポンプが必要になってコスト高になるという問題点があった。
【0013】
又、分子ポンプの外周部に低温の冷却水を循環させて、分子ポンプ全体の温度を下げるようにした例がある。
【0014】
しかし、このように低温の冷却水を供給するためには、更に冷却水を冷却するための装置が必要になって、不経済であるという問題があった。
【0015】
本発明は前記の問題点を解消し、バッフルプレート無しで、しかも従来程度の水温の冷却水を用いて、真空ポンプ側からの放射熱の影響が出ないような分子ポンプを提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成すべく複数の動翼をロータの外周部に放射状に突設してなる動翼段を多段に有すると共に、これら動翼段間に各々放射状に静翼を配置してなる静翼段を多段に有するターボ分子ポンプ、及び又は、該ターボ分子ポンプ部に連設されたねじ溝真空ポンプ部を有する複合分子ポンプにおいて、前記ロータを、上部動翼段を有する上部ロータと下部動翼段を有する下部ロータとに2分割可能に形成すると共に、これら上部ロータと下部ロータとの間に断熱部材を介在させて両者間の熱伝導を阻止するように形成し、更に前記静翼段を覆うケーシングに前記静翼段の一部又は全部を冷却する冷却手段を設けて、前記上部ロータを、冷却した静翼段により上端面部の表面温度の低い上部ロータに形成した。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図1により説明する。
【0018】
図1は本発明を採用した複合分子ポンプ1の縦断面図であり、該複合分子ポンプ1はターボ分子ポンプ部2とねじ溝真空ポンプ部3とを竪形に連設して形成されており、上端部に吸気口4を有し、下方部に排気口5を有する。
【0019】
前記ターボ分子ポンプ部2は、上下に2分割可能に形成されたロータアッセンブリ6を有しており、上部ロータ6aの外周部に複数の動翼を放射状に突設した多段の上部動翼段6a1、6a2、…、を有すると共に、該上部ロータ6aに連設された下部ロータ6bの外周部に複数の動翼を放射状に突設した多段の下部動翼段6b1、6b2、…、を有して、これら上部ロータ6aと下部ロータ6bとの間に断熱材製のパッキン7a、7bを介在させて両者間の熱伝導の阻止を図りつつ、両者一体のロータアッセンブリ6に形成している。
【0020】
尚、前記ロータ6a、6b即ちロータアッセンブリ6及び静翼の表面の一部又は全部には放射率が約0.9のセラミックスコーティングを施工して、ロータ等の表面の放射率を高めている。尚、セラミックスコーティングとは、アルミ合金製のロータアッセンブリ等を陽極にして高電圧で電解することにより、表面に酸化皮膜を電着形成するものである。
【0021】
前記上部動翼段6a1、6a2、…、の各動翼段間には、各々複数の静翼を放射状に配置してなる上部静翼段8a1、8a2、…、があって、これら上部静翼段8a1、8a2、…、は各々その外周部を円環状のディスタンスピース9で挟持して、その外周部を覆う上部ケーシング10a内に係止されている。
【0022】
又、前記下部動翼段6b1、6b2、…、の各動翼段間には各々複数の静翼を放射状に配置してなる下部静翼段8b1、8b2、…、があって、これら下部静翼段8b1、8b2、…、は各々その外周部を円環状のディスタンスピース9で挟持して、その外周部を覆う下部ケーシング10b内に係着されている。
【0023】
前記上部ケーシング10aと前記下部ケーシング10bとは一体に組合わさってケーシングアッセンブリ10を形成しており、これら上部ケーシング10aと下部ケーシング10bの間には断熱材製のパッキン11a、11bを介在させて、両者間の熱伝導の阻止を図っている。
【0024】
又、これら上部ケーシング10a及び下部ケーシング10bは、各々を冷却するための冷却水管12a又は12bが、それぞれ上部にケーシング10a又は下部ケーシング10bを取り巻くように設置されている。
【0025】
尚、ねじ溝真空ポンプ部3は従来のものと同様の構造で、前記下部ロータ6bの下方部に連設された円筒状ロータ部6cの外側に外側ステータ3a1を有して形成した一次側ねじ溝真空ポンプ部3aと、前記円筒状ロータ部6cの内側に内側ステータ3b1を有して形成した二次側ねじ溝ポンプ部3bとからなる。
【0026】
又、回転軸13は前記円筒状ロータ部6c内を挿通して前記下部ロータ6bの下面に接続して配置されており、該回転軸13はベアリングハウジング14に回動自在に軸支されており、該ベアリングハウジング14は前記ねじ溝真空ポンプ部3のハウジング3cの下端部に固定したベース部17の中央部に立設されている。
【0027】
尚、15は回転軸駆動用のモータであり、16は前記ベース部17に配設された冷却水管である。
【0028】
次に本実施の形態の複合分子ポンプ1の作動及びその効果について説明する。
【0029】
複合分子ポンプ1の吸気口4を真空排気が行なわれる装置に取付け、ロータアッセンブリ6を高速で回転させて前記装置の排気を行なう。
【0030】
この排気作用による発熱や駆動モータ15からの発熱、及び軸受部からの発熱等によって回転軸13やロータ部の温度が上昇し、回転軸13やロータ部が40℃乃至80℃程度となっても、前記ロータアッセンブリ6の上部ロータ6aの温度を、前記装置が許容する放射熱の温度、例えば、27℃に保つことができる。
【0031】
図2は、上部ケーシング10a及び下部ケーシング10bに設けた冷却水管12a、12bに通す冷却水の温度と、前記上部ロータ6aの表面温度との関係を示すグラフの一例である。
【0032】
即ち、図2において、X軸は上部ロータ6aの表面温度を示し、縦軸Yは前記冷却水管12a、12bに供給する冷却水の水温を示す。
【0033】
該グラフから、上部ロータ6aの表面温度を27℃にするためには、供給する冷却水の温度を26℃にすればよいことが判る。
【0034】
このように上部ケーシング10aを冷却水で冷却して、前記上部ロータ6aの周りの上部静翼段8a1、8a2、…、や環状のディスタンスピース9を冷却することにより、ロータアッセンブリ6の上部をなす上部ロータ6aの温度を排気が行われる装置側からの要求温度にまで引き下げることができる。
【0035】
尚、上部ロータ6aは、表面温度に相当する熱放射を吸気口4に向けて放射しており、前記装置に悪い熱的影響を与えない。
【0036】
又、下部ロータ6b及び回転軸13などの前記上部ロータ6aと熱的に遮断された部分は、従来の40℃乃至80℃の高温の状態のままでもよいので、前記上部ロータ6aを冷却するための僅かな冷却水量の増加だけで前記装置側の要求に応えることができる。
【0037】
尚、冷却水管12bは、無くてもよい。
【0038】
【発明の効果】
このように本発明によれば、真空排気が行なわれる装置の、分子ポンプからの放射熱の影響を嫌う要求に対して、分子ポンプの吸気口部にバッフルプレートを設ける必要がなく、又、低水温の冷却水も必要でなく、従来の分子ポンプに使われている通常温度の冷却水を用いて、ロータの上端面部の表面温度の低い分子ポンプを提供することができる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を採用した複合分子ポンプの断面図である。
【図2】前記複合分子ポンプの、冷却水温度と上部ロータの表面温度との関係を示すグラフの一例である。
【図3】従来の複合分子ポンプの一例の縦断面図である。
【符号の説明】
1 分子ポンプ(複合分子ポンプ)
2 ターボ分子ポンプ部
3 ねじ溝真空ポンプ部
6a 上部ロータ
6b 下部ロータ
7a、7b、11a、11b 断熱部材(パッキン)
10a 上部ケーシング
10b 下部ケーシング
12a、12b 冷却手段(冷却水管)
Claims (4)
- 複数の動翼をロータの外周部に放射状に突設してなる動翼段を多段に有すると共に、これら動翼段間に各々放射状に静翼を配置してなる静翼段を多段に有するターボ分子ポンプ、及び又は、該ターボ分子ポンプ部に連設されたねじ溝真空ポンプ部を有する複合分子ポンプにおいて、前記ロータを、上部動翼段を有する上部ロータと下部動翼段を有する下部ロータとに2分割可能に形成すると共に、これら上部ロータと下部ロータとの間に断熱部材を介在させて両者間の熱伝導を阻止するように形成し、更に前記静翼段を覆うケーシングに前記静翼段の一部又は全部を冷却する冷却手段を設けて、前記上部ロータを、冷却した静翼段により上端面部の表面温度の低い上部ロータに形成した分子ポンプ。
- 前記静翼段を覆うケーシングを、前記上部動翼段間に配置された上部静翼段を係着する上部ケーシングと、前記下部動翼段間に配置された下部静翼段を係着する下部ケーシングとに2分割可能に形成すると共に、これら上部ケーシングと下部ケーシングとの間に断熱部材を介在させて両者間の熱伝導を阻止するように形成した請求項1に記載の分子ポンプ。
- 前記上部ケーシング及び前記下部ケーシング、又は前記上部ケーシングに、冷却水管からなる冷却手段を設置して、これら冷却手段により前記上部ロータの温度を室温又は指定した温度に維持するように形成した請求項1又は請求項2に記載の分子ポンプ。
- 前記動翼を含む前記ロータと前記静翼の表面の一部又は全部にセラミックスコーティングを形成した請求項1乃至請求項3のいずれか1に記載の分子ポンプ。
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