JP2014196724A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空ポンプは、外周に複数段の回転翼が形成されたアルミ合金製のポンプロータ30と、複数段の回転翼に対して軸方向に交互に配設される複数段の固定翼と、複数段の回転翼よりも排気下流側においてポンプロータ30の外周に外挿固定され、ポンプロータ軸芯と同心の環状凸部33bが少なくとも一つ形成されたアルミ合金製の支持板33と、環状凸部33bに外挿されるように嵌合される繊維強化プラスチック製の円筒部32と、円筒部32の内周面および外周面と所定隙間を介して配置されるネジステータ24a,24bと、を備え、支持板33には、回転翼および固定翼が配設される空間と所定隙間とを連通する連通開口33aが、複数形成されている。
【選択図】図2
Description
さらに好ましい実施形態では、環状部材が外挿固定された部分よりも排気上流側において、ポンプロータの外周に形成された複数段の回転翼と、複数段の回転翼に対して軸方向に交互に配設される複数段の固定翼と、をさらに備える。
さらに好ましい実施形態では、複数の連通開口は、環状部材の外径側に偏って配置されるとともに、軸対称に配置されている。
また、環状嵌合部として環状部材の外周に凹凸面が形成されるとともに、円筒部材が凹凸面に外挿されるように嵌合され、円筒部材の内周面と凹凸面とで囲まれた領域が連通開口を構成するようにしても良い。
さらに好ましい実施形態では、円筒部材の内周面と凹凸面とで囲まれた領域とは別に、環状部材の凹凸面を構成する凸面の先端近傍に連通開口がさらに形成されている。
さらに好ましい実施形態では、ポンプロータの前記外周には、側方に突出するフランジ部が形成され、環状部材は前記フランジ部の外周に外挿固定される、ターボ分子ポンプ。
また、ポンプロータは、環状部材が外挿固定された外周よりも排気下流側に一体に形成されるとともに、円筒部材の内周側に配置される円筒ロータ部を有し、ステータは、円筒部材の内外周面および円筒ロータ部の内外周面と所定隙間を介して配置されるようにしても良い。
さらに好ましい実施形態では、ポンプロータと環状部材とが一体形成されている。
さらに好ましい実施形態では、環状部材の外周面には凸部が形成され、円筒部材の内周面には、凸部が挿入される凹部が形成されている。
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図1は、磁気浮上式ターボ分子ポンプの概略構成を示す断面図である。ターボ分子ポンプ1には不図示の電源装置が接続され、その電源装置により駆動制御される。
図4は、支持部33とロータ30との取り付け構造の変形例を示す図である。ロータ30の下部には、環状のフランジ部300が、ポンプロータの外周面から径方向外側に突出するように形成されている。フランジ部300の外周面には支持板33が外挿されるように嵌合している。支持板33のフランジ部300への固定には、上述した実施形態の場合と同様に、焼きばめまたは冷やしばめによる嵌合を用いることができる。
図5に示す変形例2では、ロータ30の下部には、一般的な複合型ターボ分子ポンプの場合と同様に、ドラッグポンプ部を構成する円筒ロータ部301が一体に形成されている。さらに、円筒ロータ部301の外周面に、図2に示したものと同様の構成の支持板33が嵌合されている。嵌合構造は、上述した実施の形態(例えば、図2の構成)の場合と同様である。ネジステータ24bは、外周面(円筒部32と対向する面)および内周面(円筒ロータ部301と対向する面)には、ネジ溝が形成されている。
変形例3では、図6に示すように、支持板33に取り付けられる円筒部を2個としたものである。すなわち、支持部33の下面には、2つの環状凸部33b,33cが同心円状に形成されている。円筒部32aは環状凸部33bに外挿固定され、円筒部32bは環状凸部33cに外挿固定されている。いずれも、冷やしばめによる嵌合が用いられる。支持板33には、環状凸部33b,33cに対応させて円周上に複数配置された連通開口33aと同様に複数配置された連通開口33dとが形成されている。円筒部32aの外周側にはネジステータ24aが設けられ、円筒部32a,32b間にはネジステータ24bが設けられ、円筒部32bの内周側にはネジステータ24cが設けられている。
図7,8は、本発明の第2の実施の形態を示す図である。図7は、ロータ30,支持板33,円筒部32を示す断面図(水平断面)である。図8は図7のA−A断面に相当する図であって、ロータ30,支持板33,円筒部32,ネジステータ24a,24bを示す図である。
図10,11は、第3の実施の形態を説明する図である。第3の実施の形態では、ロータ30に環状支持部30cを一体に形成する構成とした。環状支持部30cの下面外周側には環状凸部307が形成されている。環状凸部307の構成および機能は上述した環状凸部33b(図2参照)と同様である。図11に示すように、環状支持部30cには上述した連通開口33aと同様の連通開口306が複数形成されている。図11では、連通開口306は環状支持部30cの外周側に偏って配置されている。なお、図10,11では、円筒部32を一つとしたが、図6のように2つ以上設けても良い。
図12〜17を参照して、本発明の第4の実施の形態について説明する。図12は、円筒部32と支持板33との嵌合部の断面図である。なお、上述したように円筒部32と支持板33とは冷やしばめにより圧入されているので、円筒部32の内周面と支持板33の外周面とは隙間なく嵌合しているが、図12では、内周面と外周面とが分かりやすいように隙間を開けて図示している。
Claims (9)
- アルミ合金製のポンプロータと、
前記ポンプロータの外周に外挿固定され、ポンプロータ軸芯と同心の環状嵌合部が少なくとも一つ形成されたアルミ合金製の環状部材と、
前記環状嵌合部に外挿されるように嵌合される繊維強化プラスチック製の円筒部材と、
前記円筒部材の内周面および外周面と所定隙間を介して配置されるステータと、を備え、
前記環状部材には、該環状部材よりも排気上流側の空間と、前記円筒部材の内周面と前記ステータとの間の前記所定隙間とを連通する連通開口が、複数形成されている、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記環状部材が外挿固定された部分よりも排気上流側において、前記ポンプロータの外周に形成された複数段の回転翼と、
前記複数段の回転翼に対して軸方向に交互に配設される複数段の固定翼と、をさらに備える、真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記複数の連通開口は、前記環状部材の外径側に偏って配置されるとともに、軸対称に配置されている、真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記環状嵌合部として前記環状部材の外周に凹凸面が形成されるとともに、前記円筒部材が前記凹凸面に外挿されるように嵌合され、
前記円筒部材の内周面と前記凹凸面とで囲まれた領域が前記連通開口を構成する、真空ポンプ。 - 請求項4に記載の真空ポンプにおいて、
前記円筒部材の内周面と前記凹凸面とで囲まれた領域とは別に、前記環状部材の前記凹凸面を構成する凸面の先端近傍に前記連通開口がさらに形成されている、真空ポンプ。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプロータの前記外周には、側方に突出するフランジ部が形成され、
前記環状部材は前記フランジ部の外周に外挿固定される、真空ポンプ。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプロータは、前記環状部材が外挿固定された前記外周よりも排気下流側に一体に形成されるとともに、前記円筒部材の内周側に配置される円筒ロータ部を有し、
前記ステータは、前記円筒部材の内外周面および前記円筒ロータ部の内外周面と所定隙間を介して配置される、真空ポンプ。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記ポンプロータと前記環状部材とが一体形成されている、真空ポンプ。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記環状部材の外周面には凸部が形成され、
前記円筒部材の内周面には、前記凸部が挿入される凹部が形成されている、真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013073284A JP6142630B2 (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 真空ポンプ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013073284A JP6142630B2 (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 真空ポンプ |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2014196724A true JP2014196724A (ja) | 2014-10-16 |
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JP2013073284A Active JP6142630B2 (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3067567A1 (de) * | 2015-03-11 | 2016-09-14 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
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JP2008531909A (ja) * | 2005-02-25 | 2008-08-14 | エーリコン ライボルト ヴァキューム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ホルウェック型真空ポンプ |
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-
2013
- 2013-03-29 JP JP2013073284A patent/JP6142630B2/ja active Active
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