JP5906776B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Description
請求項2の発明は、請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、リング部に、軸方向に対して角度の異なる2種類の溝を形成したものである。
請求項3の発明は、請求項2に記載のターボ分子ポンプにおいて、2種類の溝の一方を、リング部を一周するリング溝としたものである。
請求項4の発明は、請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、溝は軸方向に対して傾いた斜め溝であり、リング部は、斜め溝が形成された溝形成領域と、溝形成領域の軸方向両端に接してそれぞれ設けられ、回転円筒部に対するインロー部として機能するインロー部領域と、を有することを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、溝は軸方向に対して傾いているとともに、該溝の延在方向の一端から他端にかけて溝深さが減少するように形成された斜め溝であり、リング部は、斜め溝が形成された溝形成領域と、斜め溝の一端側であって溝形成領域の軸方向に接して設けられ、回転円筒部に対するインロー部として機能するインロー部領域と、を有することを特徴とする。
Claims (5)
- 複数段の回転翼が形成されるとともに、軸方向一端にリング部が形成された金属製のロータと、
前記回転翼に対して軸方向に交互に配置された複数段の固定翼と、
繊維強化プラスチックで形成され、前記リング部に外挿されるように接着された回転円筒部と、
前記回転円筒部の外周側に隙間を介して配置された固定円筒部と、を備え、
前記リング部の接着部には、接着剤が充填され、前記回転円筒部のずれを阻止するための溝が少なくとも一つ形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記リング部には、軸方向に対して角度の異なる2種類の前記溝が形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項2に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記2種類の溝の一方は、前記リング部を一周するリング溝であることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記溝は軸方向に対して傾いた斜め溝であり、
前記リング部は、
前記斜め溝が形成された溝形成領域と、
前記溝形成領域の軸方向両端に接してそれぞれ設けられ、前記回転円筒部に対するインロー部として機能するインロー部領域と、を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記溝は軸方向に対して傾いているとともに、該溝の延在方向の一端から他端にかけて溝深さが減少するように形成された斜め溝であり、
前記リング部は、
前記斜め溝が形成された溝形成領域と、
前記斜め溝の前記一端側であって前記溝形成領域の軸方向に接して設けられ、前記回転円筒部に対するインロー部として機能するインロー部領域と、を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。
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JP2012021789A JP5906776B2 (ja) | 2012-02-03 | 2012-02-03 | ターボ分子ポンプ |
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Family Applications (1)
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