JP3484371B2

JP3484371B2 - ターボ分子ポンプ

Info

Publication number: JP3484371B2
Application number: JP8788399A
Authority: JP
Inventors: 隆志岡田; 敏明川島
Original assignee: ビーオーシーエドワーズテクノロジーズ株式会社
Priority date: 1999-03-30
Filing date: 1999-03-30
Publication date: 2004-01-06
Anticipated expiration: 2019-03-30
Also published as: JP2000283087A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
及びターボ分子ポンプ装置に関し、例えば、半導体製造
装置や電子顕微鏡などの真空装置として使用されるター
ボ分子ポンプ及びターボ分子ポンプ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体や液晶の製造において、
ドライエッチング、ＣＶＤ等を行う場合には、チャンバ
内にプロセスガスを導入し、このプロセスガスをターボ
分子ポンプにより吸引排出するターボ分子ポンプ装置が
用いられている。このターボ分子ポンプは、高速回転す
るロータ軸に取付けられたロータ翼と、ケーシングに固
定されたステータ翼とが交互に配置され、ロータ翼とス
テータ翼との対が複数段設けられている。

【０００３】そして、各段のロータ翼には、吸気口側が
進行方向（回転方向）に向かって傾斜したブレード（羽
根）が放射状に設けられ、各段のステータ翼には、ロー
タ翼のブレードと反対方向に傾斜したブレード（羽根）
が放射状に設けられている。そして、ロータ翼により気
体分子に排気口方向への運動量を与えることで移送され
た気体分子はステータ翼のブレードの傾斜面で斜めに反
射することで次段に移動する。このようにして、気体分
子は、順次各段のロータ翼とステータ翼により気体分子
を吸気口側から排気口まで移送され、排気される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図１４は、従来のター
ボ分子ポンプのロータ翼１ａとステータ翼２ａの一対
と、からなるブレードの断面形状と、そのブレードへ吸
着し、離脱する、分子流領域における気体分子の挙動を
表したものである。図１４に示すように、気体分子（３
ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ）に着目すると、高真空状態の分
子流領域では、ロータ翼１ａ若しくはステータ翼２ａ
の、ロータの回転方向に対して所定角度Ａ又はＢの角度
で傾斜されたブレード面に、気体分子が吸着後、脱離す
る。このとき、ブレードが、一般に均一の材質で作られ
ているので、翼表面の温度も全体に渡って均一であり、
その結果、気体分子が、ブレードの吸気口側の面と排気
口側の面から脱離する際、排気口側の面の気体分子（３
ａ、４ａ）と吸気口側の面の気体分子（３ｂ、４ｂ)の
脱離時の最大確率速度は実質的に同速度となる。このた
め、吸気口側に気体分子が進む速度分だけ、排気速度に
ロスがあった。。

【０００５】そこで、本発明はこのような従来技術の課
題を解決するためになされた装置を提供することを目的
とする。すなわち、本発明の目的は、ロータ翼若しくは
ステータ翼に気体分子が吸着され離脱する際の、翼の排
気口側の分子の最大確率速度を、翼の吸気口側の分子の
最大確率速度よりも、速くすることが可能なターボ分子
ポンプを提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明では、モータにより回転されるロータ本体
と、このロータ本体の回転軸方向に複数段、配設され、
前記ロータ本体の回転軸に対して所定角度で傾斜させて
放射状に複数のロータブレードが設けられたロータ翼
と、ロータ翼の間で、このロータ本体の回転軸方向に複
数段、固定されて配設され、かつ、前記ロータ本体の回
転軸に対して所定角度で傾斜させて放射状に複数のステ
ータブレードが設けられたステータ翼と、前記ロータブ
レード及び前記ステータブレードの前記ポンプの排気口
側の面の少なくとも一部の面の温度が前記ポンプの吸気
口側の面より高くなるように温度差を設けるヒータ又は
熱電変換部材と、を具備するターボ分子ポンプを提供す
る。

【０００７】

【発明の実施の形態】（１）実施の形態の概要本発明に係る実施形態は、ターボ分子ポンプの、ロータ
翼又はステータ翼のブレードの、ポンプの排気口側の面
を、熱電交換部材又はヒータを、ブレードの内部に埋設
することにより加熱する。その結果、ポンプの吸気口側
の面と排気口側の面の温度差をもたらし、吸気口側より
も排気口側から脱離する気体分子の最大確率速度を上
げ、真空引時の排気を促進するものである。さらには、
ヒータのポンプの吸気口側の面に、断熱材を隣接させ
る。この際、ヒータと断熱材とが接する面において、ヒ
ータの面積が断熱材の面積と実質同一若しくは、ヒータ
の面積が断熱材の面積より小さく設定する。このよう
に、断熱材をヒータに対し吸気口側に配置し、この温度
差に、更に有意差をつけ、より排気を促進するものであ
る。

【０００８】（２）実施の形態の詳細以下、本発明の好適な実施の形態を、図１から図１３を
参照して詳細に説明する。図１は、本発明の真空ポンプ
の一実施形態の全体構成の断面を表したものである。こ
のターボ分子ポンプ１は、例えば半導体製造装置内等に
設置され、チャンバ等からプロセスガスの排出を行うも
のである。また、このターボ分子ポンプ１は、チャンバ
等からのプロセスガスをステータ翼７２とロータ翼６２
とにより下流側へ移送するターボ分子ポンプ部Ｔと、タ
ーボ分子ポンプ部Ｔからプロセスガスが送り込まれ、こ
のプロセスガスをネジ溝ポンプにより更に移送して排出
するネジ溝ポンプ部Ｓとを備えている。なお、このネジ
溝ポンプ部Ｓを省略して、ポンプ１の全長に渡って、タ
ーボ分子ポンプ部Ｔとしてもよい。

【０００９】図１に示すように、ターボ分子ポンプ１
は、略円筒形状の外装体１０と、この外装体１０の中心
部に配置される略円柱形状のロータ軸１８と、ロータ軸
１８に固定配置されロータ軸１８とともに回転するロー
タ６０と、ステータ７０とを備えている。外装体１０
は、その上端部に半径方向外方へ延設されたフランジ１
１を有しており、このフランジ１１をボルト等によって
半導体製造装置等に取り付けてフランジ１１の内側に形
成される吸入口１６とチャンバ等の容器の排出口とを連
接し、容器の内部と外装体１０の内部とを連通させるよ
うになっている。

【００１０】ロータ６０は、ロータ軸１８の外周配置さ
れた断面略逆Ｕ字状のロータ本体６１を備えている。こ
のロータ本体６１は、ロータ軸１８の上部にボルト１９
で取り付けられている。ロータ本体６１は、ターボ分子
ポンプ部Ｔにおいては、ロータ翼６２が多段に形成され
てる。

【００１１】図２は、ロータ６０をロータ翼６２の上下
面に沿って切断した場合の断面斜視図である。この図２
に示すように、各ロータ翼６２は、ロータ本体６１の外
周面に環装されるロータ円環部６４と、このロータ円環
部６４の外周等間隔に径方向放射状に設けられた複数の
ロータブレード（羽根）６３とから構成されている。こ
のロータブレード６３は、吸気口側（図面上側）が回転
方向に傾斜している。

【００１２】図１において、ステータ７０は、ターボ分
子ポンプ部Ｔにおいては、スペーサ７１と、このスペー
サ７１、７１間に外周側が支持されることでロータ翼６
２の各段の間に配置されるステータ翼７２とを備えてい
る。ネジ溝ポンプ部Ｓにおいては、スペーサ７１に連設
するネジ溝部スペーサ８０を備えている。スペーサ７１
は段部を有する円筒状であり、外装体１０の内側に積み
重ねられている。各スペーサ７１の内側に位置する段部
の軸方向の長さはロータ翼６２における各段の間隔に応
じた長さになっている。

【００１３】図３は、ステータ翼７２の一部を表した斜
視図である。ステータ翼７２は、外周側の一部がスペー
サ７１によって周方向に挟持される外側円環部７３と、
内側円環部７４と、外側円環部７３と内側円環部７４と
により両端が放射状に所定角度で支持された複数のステ
ータブレード７５とから構成されている。内側円環部７
４の内径は、ロータ本体６１の外径よりも大きく形成さ
れ、内側円環部７４の内周面７７とロータ本体６１の外
周面６５とが接触しないようになっている。

【００１４】このステータ翼７２は、各段のロータ翼６
２間に配置される。例えば、このステータ翼７２は円周
が２分割されている。そして、ステータ翼７２は、この
２分割された例えばステンレス鋼製又はアルミニウム製
の薄肉の板から、エッチング法等により半円環状の外形
部分とステータブレード７５の部分を切り出し、ステー
タブレード７５の部分をプレス加工により所定角度に曲
げることで図３に示す形状に形成される。ステータブレ
ード７５は、図３に示されるように、ロータブレード６
３と反対方向に傾斜するように形成されている。そし
て、本実施形態のステータブレード７５とロータブレー
ド６３には、後述するように、温度上昇手段としてのヒ
ータ等が取り付けられている。

【００１５】なお、図２、図３及び後述の図４から図１
４における、翼ブレードの断面形状（本明細書における
断面形状は、ロータ６０の回転軸方向に切り取った断面
における形状とする。）を平行四辺形としているが、こ
の形状に限定されるものではない。さらに、ヒータ、熱
伝交換素子、断熱材の形状についても同様に以下に記述
する形状に限定されるものではない。

【００１６】図１において、ネジ溝スペーサ部８０は、
スペーサ７１に連設され、スペーサ７１とステータ翼７
２と、の下方に配設されている。このネジ溝スペーサ部
８０は、内径壁がロータ本体６１の外周面と近接する位
置まで張り出した厚みを有しており、内径壁に螺旋構造
のネジ溝８１が複数条形成されている。このネジ溝８１
は、上記ステータ翼７２とロータ翼６２との間と連通さ
れており、移送排出されてきた気体がネジ溝８１に導入
されるようになっている。なお、この実施形態では、ネ
ジ溝８１をステータ７０側に形成したが、ネジ溝８１を
ロータ本体６１の外径壁に形成するようにしてもよい。
またネジ溝８１をネジ溝スペーサ部８０に形成すると共
に、ロータ本体６１の外径壁にも形成するようにしても
よい。

【００１７】ターボ分子ポンプ１は、更に、軸受、例え
ば、ロータ軸１８を磁力により支持する磁気軸受２０
と、ロータ軸１８にトルクを発生させるモータ３０を備
えている。磁気軸受２０は、５軸制御の磁気軸受であ
り、ロータ軸１８に対して半径方向の磁力を発生させる
半径方向電磁石２１、２４と、ロータ軸１８の半径方向
の位置を検出する半径方向センサ２２、２６と、ロータ
軸１８に対して軸方向の磁力を発生させる軸方向電磁石
３２、３４と、軸方向電磁石３２、３４による軸方向の
力が作用するアーマチュアディスク３１、回路基板収納
部４０内からロータ軸１８の軸方向の位置を検出する軸
方向センサ３６と、を備えている。

【００１８】半径方向電磁石２１は、互いに直交するよ
うに配置された２対の電磁石で構成されている。各対の
電磁石は、ロータ軸１８のモータ３０よりも上部の位置
に、ロータ軸１８を挟んで対向配置されている。この半
径方向電磁石２１の上部には、半径方向電磁石２１側に
隣接し、ロータ軸１８を挟んで対向する半径方向センサ
２２が２対設けられている。２対の半径方向センサ２２
は、２対の半径方向電磁石２１に対応して、互いに直交
するように配置されている。

【００１９】さらに、ロータ軸１８のモータ３０よりも
下部の位置には、同様に２対の半径方向電磁石２４が互
いに直交するように配置されている。この半径方向電磁
石２４の下部にも、同様に半径方向電磁石２４に隣接し
て半径方向センサ２６が２対設けられている。これら半
径方向電磁石２１、２４に励磁電流が供給されることに
よって、ロータ軸１８が磁気浮上される。この励磁電流
は、磁気浮上時に、半径方向センサ２２、２６からの位
置検知信号に応じて制御され、これによってロータ軸１
８が半径方向の所定位置に保持されるようになってい
る。

【００２０】ロータ軸１８の下部には、磁性体で形成さ
れた円盤状のアーマチュアディスク３１が固定されてお
り、このアーマチュアディスク３１を挟み、且つ対向し
た一対ずつの軸方向電磁石３２、３４が配置されてい
る。さらにロータ軸１８の下端部に対向して軸方向セン
サ３６が配置されている。この軸方向電磁石３２、３４
の励磁電流は、軸方向センサ３６からの位置検知信号に
応じて制御され、これによりロータ軸１８が軸方向の所
定位置に保持されるようになっている。磁気軸受２０
は、これら半径方向センサ２２、２６、および軸方向セ
ンサ３６の検出信号を基に、半径方向電磁石２１、２４
および軸方向電磁石３２、３４などの励磁電流をそれぞ
れフィードバック制御することでロータ軸１８を磁気浮
上させる磁気軸受制御部を制御系４５内に備えている。

【００２１】さらに、本実施形態のターボ分子ポンプ１
では、ロータ軸１８の上部側及び下部側には保護用ベア
リング３８、３９が配置されている。通常、ロータ軸１
８及びこれに取り付けられている各部からなるロータ部
は、モータ３０により回転している間、磁気軸受２０に
よりステータ部と非接触状態で軸支される。保護用ベア
リング３８、３９は、外部からの衝撃等でロータの異常
な変位によりタッチダウンが発生した場合に磁気軸受２
０に代わってロータ部を軸支することで装置全体を保護
するためのベアリングである。従って保護ベアリング３
８、３９は、内輪がロータ軸１８には非接触状態になる
ように配置されている。

【００２２】モータ３０は、外装体１０の内側の半径方
向センサ２２と半径方向センサ２６との間で、ロータ軸
１８の軸方向ほぼ中心位置に配置されている。このモー
タ３０に通電することによって、ロータ軸１８および、
これに固定されたロータ６０、ロータ翼６２が回転する
ようになっている。この回転の回転数は回転数センサ４
１により検出され、この回転数センサ４１からの信号に
基づいて制御系４５によって制御されるようになってい
る。ターボ分子ポンプ１の外装体１０の下部には、ネジ
溝ポンプ部Ｓにより移送されてきた気体を外部へ排出す
る排気口５２が配置されている。また、ターボ分子ポン
プ１は、コネクタおよびケーブルを介して制御系４５に
接続されている。

【００２３】次に、本実施形態における、ブレードの加
熱面について説明する。図４と図５は、本実施形態にお
けるターボ分子ポンプのロータ翼ブレード１０１、１０
２と、ステータ翼ブレード２０１、２０２のロータ６０
の回転軸方向の断面図である。本実施形態では、ロータ
翼ブレード１０１、１０２及びステータ翼ブレード２０
１、２０２の少なくとも一方の、排気口側の面、すなわ
ち、図４と図５の、２点鎖線１５１、２５１、１５２、
２５２で表される直線と平行な面に相当する部分である
排気口側の温度を吸気口側の面の温度よりも高く設定す
る。

【００２４】具体的には、ヒータを用いて、排気口側の
面、即ち、２点鎖線１５１、２５１、１５２、２５２と
平行な両ブレードの面に相当する部分をヒータを用いて
加熱する。又は、ペルチェ素子からなる熱伝変換素子を
用いて、ブレード１０１、１０２、２０１、２０２につ
いて、ブレードの排気口側の面、即ち、２点鎖線１５
１、２５１、１５２、２５２と平行な両ブレードの面に
相当する部分を加熱し、ブレードの吸気口側の面を冷却
する。

【００２５】さらに、図６から図１３を用いて、本実施
形態におけるブレードの具体的加熱方法について説明す
る。なお、図６から図８と、図１０から図１２の実施形
態が、上記図４の具体的改良に相当し、図９と図１３の
実施形態が、上記図５の具体的改良に相当する。ここで
は、ステータ翼のブレード１枚を例にして、その構造を
説明する。なお、当該構造は、ロータ翼とステータ翼の
双方に適用してもよいし、一方にのみ適用してもよい。
また、すべてのブレードについて適用してもよいし、一
部のブレードについて適用してもよい。また、ブレード
内に配置されるヒータ等へ給電は以下のように設定する
ことが好適である。即ち、ステータブレードのヒータ等
については、外部から給電し、また、ロータブレードの
ビータ等については、ロータ６０のいずれかの箇所に電
池等の電源を配置し、そこから給電するか、ブラシ手段
をロータ６０に接触させ、外部から給電する。ヒータへ
の給電は、連続的であってもよいし、断続的であっても
よく、図１の制御系により適宜制御される。

【００２６】図６は、本発明の実施形態である翼のブレ
ードの断面構造である。このブレード３１０は、断熱材
３１２と、断熱材３１２の排気口側の面上の一部又は全
部に隣接かつ固着されたヒータ３１３と、これら部材の
両面から同延状に挟み込むように、固着された断面平行
四辺形の六面体の金属部材３１１、３１４と、からな
る。この場合の固着手段は、例えば、接着材により互い
を接着させるか若しくは、各部材に貫通孔を開けて、ボ
ルト・ナットで締め込む。ここにおいて、断熱材３１２
については、平板状の、例えば、ロータの回転軸方向の
断面が平行四辺形の六面体の、熱伝導率の低い部材が使
用される。断熱材としての機能を有する低熱伝導率層の
好適な材質としては、断熱性のあるセラミックス（例え
ば、Ｋ２Ｏ・ｎＴｉＯ２、ＣａＯ・ＳｉＯ２等）や樹脂
（例えば、テフロン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹
脂、その他耐熱樹脂等）が使用できる。

【００２７】一方、ヒータ３１３については、その形状
は問わない。なお、ヒータ３１３は、排気口側の金属材
料部材３１４に嵌合穴を設け、この嵌合穴に埋設させて
もよいし、断熱材３１２に嵌合穴を設け、そこへ埋設さ
せてもよい。ただし、ブレード面から露出しないように
する。

【００２８】図７は、本発明の実施形態である翼のブレ
ードのロータ６０の断面構造である。このブレード３２
０は、上述の第１の実施形態において、ヒータ３２３を
板状に形成し、かつ、ヒータ３２３を断熱材３２２と排
気口側の金属部材３２４との間に配置させた構造で、他
の構成や各部材の固着方法は、第１の実施形態と同様で
ある。図６又は図７の実施形態から、ブレードの排気口
側の面を選択的に加熱することができ、吸気口側の面と
の温度差をもたらすことができる。

【００２９】図８は、本発明の実施形態である翼のブレ
ードの断面構造である。このブレード３３０は、ペルチ
ェ素子からなる熱電変換部材３３２と、この熱電変換部
材３３２の両面から同延状に挟み込むように、固着され
た断面平行四辺形等の六面体の２枚の金属材料部材から
なる。この熱電変換部材３３２は、ペルチェ素子の物性
を利用したものであって、ポンプの吸気口側のブレード
面を冷却し、同時に、ポンプの排気口側のブレード面を
加熱するように通電する。なお、熱電変換部材３３２
は、金属材料部材３３１、３３３と隣接するが、熱電変
換部材３３２の隣接面と、金属材料部材３３１、３３３
の隣接面とが、実質同一の面積を有していることが好ま
しい。

【００３０】この構造により、吸気口側のブレード面３
３１を冷却し、かつ、排気口側のブレード面３３３を加
熱することができる。よって、上述のヒータと断熱材を
用いた場合と比較すると、吸気口側の面温度と排気口側
の面温度との差を、断熱材を用いることなく容易にもた
らすことができる。また、その温度差もより大きくする
ことができる。さらには、その温度差の制御も可能とな
る。また、ブレードの内部構造もシンプルなものとなる
ため製造コストの削減にもつながる。なお、各部材の固
着方法は、第１の実施形態と同様である。

【００３１】次の３つの実施形態においては、上述の実
施形態のそれぞれの断熱材３１２、３２２とヒータ３１
３、３２３や熱電変換部材３３２を、図９に示すよう
に、２つの断面三角形からなる、５面体の金属材料部材
３４１、３４３により挟持して配置させたものである。
すなわち、排気口側の面であるブレードの下側の面３４
４も加熱されるように断熱材をブレードの断面の対角線
上配置させたものである。したがって、このような配置
で有れば、金属材料部材３４１、３４３の形状は、特
に、断面三角形からなる、５面体に限定する必要はな
い。

【００３２】この構成から、ブレードの排気口方向の長
手方向の面のみならず、ブレードのの排気口側にある、
ブレードの厚さ方向の側面（底面）も、温度を向上させ
ることができ、尚一層、真空引きの効率が向上する。以
上の実施形態において、断熱材を図６、図７、図９に示
すブレードに適用したが、断熱材を使用しなくても、ヒ
ータの設置位置により、排気口側のブレード面と吸気口
側のブレード面に温度差を設けることができる。例え
ば、ヒータをブレードの排気口側の面になるべく近い所
に配置する。

【００３３】さらに、以上の実施形態において、それぞ
れが各部材の厚さ方向の側面部の露出部があるが、その
露出部も、ブレードの金属材料部材で覆い隠すこともで
きる。図６から図９に対応する同様の構造４１０、４２
０、４３０、４４０を、図１０から図１３に示す。これ
らの図において、４１１、４２１、４３１、４４１はブ
レードの金属材料部材であり、４１２、４２２は、断熱
材であり、４１３、４２３は、ヒータであり、４３２、
４４２は、ペルチェ素子からなる熱伝交換素子である。

【００３４】この場合は、一面が開放されている、同じ
大きさの２つの箱状の金属材料部材で、ヒータ等を覆っ
た後、２つの箱の両端を溶接や半田付けや接着剤等で固
着したり、１つの箱状の金属材料部材の一部を直線上に
切断し、そこからヒータ等を埋め込み、その後、切断部
を溶接や半田付けや接着剤等で固着したり、又は、図６
等のブレードにおいて、各部材が露出する面を覆うよう
に蓋部材を固着する等により作成する。この実施形態に
よれば、排気口側の面と吸気口側の面との間に、温度差
を持つ翼ブレードの構造を有しつつ、翼ブレードの高速
回転により、相当の圧力をブレードの断層部が受けたと
しても、より耐久性のある構造が得られる。

【００３５】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、ターボ分子ポンプ１において、目的とするチャンバ
内を真空状態に導くべく、ロータ翼６２が、所定の方向
に回転移動することにより、チャンバ内の気体分子に、
ロータ翼６２と同方向の運動量を与えつつ、翼ブレード
のの排気口側の面に気体分子が吸着・脱離する確率を上
げることができる。即ち、気体分子を排気する際に、ロ
ータブレード６２及びステータブレード７２の面の少な
くとも一方の、ポンプの排気口側のブレード面の温度
を、ポンプの吸気口側の面の温度よりも、ヒータ３１
３、３２３、４１３、４２３又はペルチェ素子３３２、
４３２による温度上昇手段により、高く設定することが
でき、排気口側のブレード面から脱離する気体分子の最
大確率速度を速めることができる。

【００３６】温度上昇手段として、ヒータ３１３、３２
３、４１３、４２３を用いた場合には、断熱材との組み
合わせにより、若しくは、断熱材を使用することなくブ
レードの排気口側の面の近傍にヒータを配置することに
より、ブレードの排気口側の面を、選択的に加熱するこ
とができ、従来のブレード構造を有するターボ分子ポン
プより、排気速度を向上させることができる。また、同
手段として、ペルチェ素子３３２、４３２を用いた場合
には、常に断熱材を用いることなく、ブレードの排気口
側の面を加熱し、かつ、ブレードの吸気口側の面を冷却
することができ、同様に上記目的を達成できる。

【００３７】

【発明の効果】以上述べたように、本発明のターボ分子
ポンプによれば、同ポンプのロータブレード及びステー
タブレードの少なくとも一方に対しポンプの排気口側の
少なくとも一部の面の温度を上昇させてロータブレード
及びステータブレードの排気口側の面の少なくとも一部
の面の温度が吸気口側の面より高くなるように温度差を
設けることにより、この面から吸着後、脱離する気体分
子の最大確率速度を速め、もって、排気速度のさらなる
促進を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態のターボ分子ポンプの全体断
面図である。

【図２】本発明の実施形態のロータ翼の斜視図である。

【図３】本発明の実施形態のステータ翼の部分斜視図で
ある。

【図４】本発明の実施形態の概略を説明するためのロー
タ翼ブレードとステータ翼ブレードの断面図である。

【図５】本発明の実施形態の概略を説明するためのロー
タ翼ブレードとステータ翼ブレードの断面図である。

【図６】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレー
ドの実施形態を示す断面図である。

【図７】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレー
ドの実施形態を示す断面図である。

【図８】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレー
ドの実施形態を示す断面図である。

【図９】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレー
ドの実施形態を示す断面図である。

【図１０】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレ
ードの実施形態を示す断面図である。

【図１１】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレ
ードの実施形態を示す断面図である。

【図１２】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレ
ードの実施形態を示す断面図である。

【図１３】本発明のロータ翼ブレードとステータ翼ブレ
ードの実施形態を示す断面図である。

【図１４】従来のターボ分子ポンプのロータ翼ブレード
とステータ翼ブレードの断面図である。

【符号の説明】

１６吸気口３０モータ５２排気口６０ロータ６２ロータ翼７０ステータ７２ステータ翼３１３、３２３、４１３、４２３ヒータ３３２、４３２熱電交換素子

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F04D 19/04

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】モータにより回転されるロータ本体と、このロータ本体の回転軸方向に複数段、配設され、前記
ロータ本体の回転軸に対して所定角度で傾斜させて放射
状に複数のロータブレードが設けられたロータ翼と、前記ロータ本体の回転軸方向において、ロータ翼の間
に、複数段、固定配設され、かつ、前記ロータ本体の回
転軸に対して所定角度で傾斜させて放射状に複数のステ
ータブレードが設けられたステータ翼と、前記ロータブレード及び前記ステータブレードの少なく
とも一方に対しポンプの排気方向側の少なくとも一部の
面の温度が前記ポンプの吸気口側の面より高くなるよう
に温度差を設けるヒータ又は熱電変換部材と、を具備することを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】前記ヒータ又は熱電変換部材が、前記ロ
ータブレード又はステータブレードの内部に配設されて
いることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポン
プ。
【請求項３】前記ロータブレード又はステータブレー
ドは、２つの板状の金属材料部材を有し、前記ヒータ又は熱電変換部材は、前記２つの金属材料部
材に挟持されていることを特徴とする請求項２に記載の
ターボ分子ポンプ。
【請求項４】吸気口側に配設された前記金属材料部材
と前記ヒータとの間に断熱材を配設したことを特徴とす
る請求項３に記載のターボ分子ポンプ。