JP2003254285A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 一端の側に吸気口が形成され、他端の側に排気口が形成されたケーシングと、
   前記ケーシングの前記他端の側の基底をなすベース部材と、
   前記ベース部材に固着され、軸受とモータを収納した円筒部材と、
   前記軸受により前記円筒部材に回転自在に収納され、前記モータにより回転するロータ軸と、
   前記ロータ軸に配設されたロータと、
   前記ロータと所定の間隙を隔てて、前記ケーシングの内周面に配設されたステータと、
   前記ロータと前記ステータとの間隙に形成された気体移送手段と、
   前記円筒部材で発生する発熱量を制御する発熱制御手段と、
   を備えたことを特徴とするポンプ装置。
2. 前記軸受は磁気軸受であり、
   前記発熱制御手段は、前記磁気軸受の制御電流に重畳されたバイアス電流を制御することを特徴とする請求項１に記載のポンプ装置。
3. 前記軸受は磁気軸受であり、
   前記発熱制御手段は、前記磁気軸受の制御電流に重畳された高周波電流を制御することを特徴とする請求項１に記載のポンプ装置。
4. 前記発熱制御手段は、前記モータの回転数を変動させることにより、前記モータの発熱量を制御することを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載のポンプ装置。
5. 前記円筒部材、前記ベース部材、前記ロータ、及び前記ステータがアルミニウム、又はアルミニウム合金で構成されていることを特徴とする請求項１から請求項４までのうちの何れか１の請求項に記載のポンプ装置。
6. 前記モータの周囲に配設された補強部材、又は前記軸受の外装部材が、アルミニウム、又はアルミニウム合金で構成されていることを特徴とする請求項５に記載のポンプ装置。
7. 前記ステータと前記ロータの対向する面の少なくとも一部に、熱の輻射効率を高めるためのコーティングがなされていることを特徴とする請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載のポンプ装置。
8. 前記円筒部材の外周面の少なくとも一部は、前記ロータの内周面に所定の間隙を隔てて対向しており、
   前記円筒部材と前記ロータの対向する面の少なくとも一部に、熱の輻射効率を高めるためのコーティングがなされていることを特徴とする請求項１から請求項７までのうちの何れか１の請求項に記載のポンプ装置。
9. 前記ポンプ装置に形成された冷却手段と、
   前記ポンプ装置の所定の個所に設置した温度検出手段によって検出した温度に関連して前記冷却手段を制御する冷却制御手段と、
   を更に具備したことを特徴とする請求項１から請求項８までのうちの何れか１の請求項に記載のポンプ装置。