JP2002242876A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 吸気口及び排気口が形成された略円筒状のケーシングと、
   前記ケーシング内に形成されたステータと、
   前記ケーシングの中心軸上に回転自在に軸支されたシャフトと、
   前記シャフトに取り付けられ、前記シャフトと一体になって回転するロータと、
   前記シャフトを駆動して回転させるモータと、
   前記シャフトの所定の部位の周囲に、シャフトと所定の間隙を隔てて配置された複数の電磁石と、前記シャフトの前記電磁石と対向する部位に形成された電磁石ターゲットから構成された磁気軸受部と、
   前記磁気軸受部の近傍に配設され、前記シャフトの周囲に所定の間隙を隔てて配設されたラジアルセンサと、前記シャフトの前記ラジアルセンサに対向する部分に形成されたラジアルセンサターゲットとから構成されたラジアルセンサ部と、
   前記シャフトをスラスト方向に保持するスラスト軸受部とを備え、
   前記シャフトの前記電磁石ターゲットと前記ラジアルセンサターゲットの間を絶縁材を介して積層した積層鋼板部で形成したことを特徴とする磁気軸受式ポンプ。
2. 前記積層鋼板部は前記シャフトの軸方向に鋼板が積層されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気軸受式ポンプ。
3. 前記電磁石ターゲットと前記ラジアルセンサターゲットは、積層鋼板によって形成され、前記積層鋼板部は、前記電磁石ターゲット及び前記ラジアルセンサターゲットと一体となって形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の磁気軸受式ポンプ。
4. 前記鋼板は、ケイ素鋼板であることを特徴とする請求項１から請求項３のうちの何れかの１の請求項に記載の磁気軸受式ポンプ。
5. 前記磁気軸受式ポンプは、前記ロータにロータ翼を備え、前記ステータにステータ翼を備えたターボ分子ポンプ、又は前記ロータと前記ステータの少なくとも一方にねじ溝が形成されたねじ溝式ポンプ、又は前記吸気口側に前記ターボ分子ポンプが形成され、前記排気口側に前記ねじ溝式ポンプが形成された磁気軸受式ポンプによって構成されたことを特徴とする請求項１から請求項４のうちの何れかの１の請求項に記載の磁気軸受式ポンプ。