JPH04301197A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH04301197A JPH04301197A JP6683391A JP6683391A JPH04301197A JP H04301197 A JPH04301197 A JP H04301197A JP 6683391 A JP6683391 A JP 6683391A JP 6683391 A JP6683391 A JP 6683391A JP H04301197 A JPH04301197 A JP H04301197A
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- Japan
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- turbo
- rotors
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- pump
- screw rotor
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- Granted
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- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims 1
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- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
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Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等に適
用することによりプロセスガス等の排気を好適に行い得
るターボ分子ポンプに関するものである。
用することによりプロセスガス等の排気を好適に行い得
るターボ分子ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置等の排気系を構成するた
めに、タービン機構にねじロータ機構を組み合わせた広
域型のターボ分子ポンプが使用されることが多い。図２
に例示する従来のターボ分子ポンプは、ベース１０１上
に軸受１０２、１０３を介して高速回転可能にシャフト
１０４を枢支し、このシャフト１０４に回転翼１０５を
有したロ−タ１０６を固設し、このロータ１０６に、固
定翼１０７、スペ−サ１０８並びに外筒１０９からなる
ステ−タ部材１１０を近接配置してタービン機構ｔを構
成している。また、ロータ１０６の外周下半部にねじ溝
１１１が刻設してあり、前記ステータ部材１１０を組付
けたときにこのねじ溝１１１とスペーサ１０８の間にね
じロータ機構ｓが構成されるようにしている。そして、
吸気口１１２から吸入したガス分子を先ずタービン機構
ｔで叩き飛ばし、次にねじロータ機構ｓで粘性により連
行して、排気口１１３まで圧縮排気し得るようにしてい
る。
めに、タービン機構にねじロータ機構を組み合わせた広
域型のターボ分子ポンプが使用されることが多い。図２
に例示する従来のターボ分子ポンプは、ベース１０１上
に軸受１０２、１０３を介して高速回転可能にシャフト
１０４を枢支し、このシャフト１０４に回転翼１０５を
有したロ−タ１０６を固設し、このロータ１０６に、固
定翼１０７、スペ−サ１０８並びに外筒１０９からなる
ステ−タ部材１１０を近接配置してタービン機構ｔを構
成している。また、ロータ１０６の外周下半部にねじ溝
１１１が刻設してあり、前記ステータ部材１１０を組付
けたときにこのねじ溝１１１とスペーサ１０８の間にね
じロータ機構ｓが構成されるようにしている。そして、
吸気口１１２から吸入したガス分子を先ずタービン機構
ｔで叩き飛ばし、次にねじロータ機構ｓで粘性により連
行して、排気口１１３まで圧縮排気し得るようにしてい
る。
【０００３】このターボ分子ポンプが例えばアルミドラ
イエッチングの排気手段として使用される場合、吸気口
１１２に接続される図示されないチャンバ内の圧力を略
一定に保持してエッチングガスである塩素系プロセスガ
ス（ＣＣｌ４、ＢＣｌ３ 、Ｃｌ２ など）をポンプ内
に導き、大気圧に近い状態にして外部に排気する役割を
果たす。
イエッチングの排気手段として使用される場合、吸気口
１１２に接続される図示されないチャンバ内の圧力を略
一定に保持してエッチングガスである塩素系プロセスガ
ス（ＣＣｌ４、ＢＣｌ３ 、Ｃｌ２ など）をポンプ内
に導き、大気圧に近い状態にして外部に排気する役割を
果たす。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、塩素系プロ
セスガスの中には、プロセスガスがＡｌと反応すること
による反応生成物（ＡｌＣｌ３ など）が混在してくる
。 このＡｌＣｌ３ 等は蒸気圧特性上、固相となる温度が
ターボ分子ポンプの使用温度以下にあることが多い。こ
のため、ガス状でターボ分子ポンプの吸気口１１２から
流入したＡｌＣｌ３ が排気口１１３を出るまでの間に
徐々に圧縮されながら昇華温度以下に冷却されることに
より、最もガス密度の高くなる排気口１１３付近やねじ
ロータ機構ｓの出口付近に固相状態となって堆積する現
象を生じる。このため、放置すれば排気口１１３につな
がる流路が閉塞して排気作用が妨げられたり、堆積が進
んだときにねじロータ機構ｓの回転側と固定側が堆積物
を介して接触しロータ１０６が回転できなくなる等の事
態を生じる。
セスガスの中には、プロセスガスがＡｌと反応すること
による反応生成物（ＡｌＣｌ３ など）が混在してくる
。 このＡｌＣｌ３ 等は蒸気圧特性上、固相となる温度が
ターボ分子ポンプの使用温度以下にあることが多い。こ
のため、ガス状でターボ分子ポンプの吸気口１１２から
流入したＡｌＣｌ３ が排気口１１３を出るまでの間に
徐々に圧縮されながら昇華温度以下に冷却されることに
より、最もガス密度の高くなる排気口１１３付近やねじ
ロータ機構ｓの出口付近に固相状態となって堆積する現
象を生じる。このため、放置すれば排気口１１３につな
がる流路が閉塞して排気作用が妨げられたり、堆積が進
んだときにねじロータ機構ｓの回転側と固定側が堆積物
を介して接触しロータ１０６が回転できなくなる等の事
態を生じる。
【０００５】そこで、従来から定期的にターボ分子ポン
プの分解清掃を行い、ポンプ内に堆積したＡｌＣｌ３
を取り除く作業を行うようにしていた。しかし、従来の
ポンプ構造は図に明らかなようにタービン機構ｔとねじ
ロータ機構ｓを構成するステータ部材１１０が一体をな
しているため、当該外筒１０９、スペーサ１０８、固定
翼１０７などかなりの部分を分解しなければ堆積物を表
出させることができず、これを再組立する際にも固定翼
１０７と回転翼１０５の隙間が極めて小さいため誤って
組立てるとそれらの破損につながる可能性があり、ユー
ザー側で容易に作業を行うことができない等の不都合が
あった。
プの分解清掃を行い、ポンプ内に堆積したＡｌＣｌ３
を取り除く作業を行うようにしていた。しかし、従来の
ポンプ構造は図に明らかなようにタービン機構ｔとねじ
ロータ機構ｓを構成するステータ部材１１０が一体をな
しているため、当該外筒１０９、スペーサ１０８、固定
翼１０７などかなりの部分を分解しなければ堆積物を表
出させることができず、これを再組立する際にも固定翼
１０７と回転翼１０５の隙間が極めて小さいため誤って
組立てるとそれらの破損につながる可能性があり、ユー
ザー側で容易に作業を行うことができない等の不都合が
あった。
【０００６】本発明は、このような課題に着目してなさ
れたものであって、ポンプの分解、組立作業を容易に行
うことができるようにしたターボ分子ポンプを提供する
ことを目的としている。
れたものであって、ポンプの分解、組立作業を容易に行
うことができるようにしたターボ分子ポンプを提供する
ことを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような構成を採用したものである
。
達成するために、次のような構成を採用したものである
。
【０００８】すなわち、本発明のターボ分子ポンプは、
ベースを貫通して設けたシャフトの両端部に一対のロー
タを固設し、それらのロータにそれぞれ別体をなすステ
ータ部材を近接配置してタービン機構またはねじロータ
機構を構成したものであって、両機構により直列排気作
用を営むようにしたことを特徴とする。
ベースを貫通して設けたシャフトの両端部に一対のロー
タを固設し、それらのロータにそれぞれ別体をなすステ
ータ部材を近接配置してタービン機構またはねじロータ
機構を構成したものであって、両機構により直列排気作
用を営むようにしたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】このような構成のものであると、プロセスガス
を排気した場合のＡｌＣｌ３ などは排気口付近やねじ
ロータ機構の出口付近に集中して堆積するため、ねじロ
ータ機構を構成するステータ部材を取り外すだけで堆積
物の除去ができ、タービン機構を構成するステータ部材
まで取り外す必要がなくなる。
を排気した場合のＡｌＣｌ３ などは排気口付近やねじ
ロータ機構の出口付近に集中して堆積するため、ねじロ
ータ機構を構成するステータ部材を取り外すだけで堆積
物の除去ができ、タービン機構を構成するステータ部材
まで取り外す必要がなくなる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１を参照して説
明する。
明する。
【００１１】このターボ分子ポンプは、ベース１を貫通
して設けたシャフト２を両側に配設した軸受室３、４で
支持しており、シャフト両軸端部に一対のロータ５、６
を固設している。ロータ５の外周には回転翼７が突設さ
れ、ロータ６の外周にはねじ溝８が刻設されている。そ
して、ロータ５に固定翼９、スペーサ１０および外筒１
１からなるステータ部材１２を近接配置してタービン機
構Ｔを構成し、ロータ６にスペーサ１３および外筒１４
からなるステータ部材１５を近接配置してねじロータ機
構Ｓを構成している。そして、両機構Ｔ、Ｓの間をベー
ス１に穿設した中間連通路１ａを介して接続し、吸気口
１６から吸入したガスをタービン機構Ｔ、ねじロータ機
構Ｓの順に直列排気して、最終的に排気口１７から圧縮
排気し得るようになっている。
して設けたシャフト２を両側に配設した軸受室３、４で
支持しており、シャフト両軸端部に一対のロータ５、６
を固設している。ロータ５の外周には回転翼７が突設さ
れ、ロータ６の外周にはねじ溝８が刻設されている。そ
して、ロータ５に固定翼９、スペーサ１０および外筒１
１からなるステータ部材１２を近接配置してタービン機
構Ｔを構成し、ロータ６にスペーサ１３および外筒１４
からなるステータ部材１５を近接配置してねじロータ機
構Ｓを構成している。そして、両機構Ｔ、Ｓの間をベー
ス１に穿設した中間連通路１ａを介して接続し、吸気口
１６から吸入したガスをタービン機構Ｔ、ねじロータ機
構Ｓの順に直列排気して、最終的に排気口１７から圧縮
排気し得るようになっている。
【００１２】このような構成のものであると、プロセス
ガスを排気した場合のＡｌＣｌ３ などは最もガス密度
の高くなる排気口１７付近やねじロータ機構Ｓの出口付
近に集中して堆積することになるが、この構造ではねじ
ロータ機構Ｓを構成するステータ部材１５を取り外すだ
けで堆積物たるＡｌＣｌ３ が付着した部位を表出させ
ることができ、タービン機構Ｔを構成するステータ部材
１２には一切、手を触れる必要がなくなる。この結果、
このものは従来のポンプに比べて、ＡｌＣｌ３ 等を取
り除く際の分解、組立作業を極めて簡単かつ短時間で済
ませることができ、タービン機構Ｔの翼７、９を傷つけ
るようなこともなく、ユーザー側でも手軽に行える優れ
たメリットを得ることができる。また、このような構造
は軸方向に若干長寸化する不都合はあるが、軸受室３、
４がシャフト２を両持ち的に支持でき、偏荷重を受けな
いので、回転の安定性が向上する点でも望ましいものと
なる。
ガスを排気した場合のＡｌＣｌ３ などは最もガス密度
の高くなる排気口１７付近やねじロータ機構Ｓの出口付
近に集中して堆積することになるが、この構造ではねじ
ロータ機構Ｓを構成するステータ部材１５を取り外すだ
けで堆積物たるＡｌＣｌ３ が付着した部位を表出させ
ることができ、タービン機構Ｔを構成するステータ部材
１２には一切、手を触れる必要がなくなる。この結果、
このものは従来のポンプに比べて、ＡｌＣｌ３ 等を取
り除く際の分解、組立作業を極めて簡単かつ短時間で済
ませることができ、タービン機構Ｔの翼７、９を傷つけ
るようなこともなく、ユーザー側でも手軽に行える優れ
たメリットを得ることができる。また、このような構造
は軸方向に若干長寸化する不都合はあるが、軸受室３、
４がシャフト２を両持ち的に支持でき、偏荷重を受けな
いので、回転の安定性が向上する点でも望ましいものと
なる。
【００１３】なお、各部の具体的な構造などは図示例に
限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範
囲で種々変形が可能である。
限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範
囲で種々変形が可能である。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、以上のような構成であるから
、ポンプ内に堆積したＡｌＣｌ３ 等の除去を行う際の
分解、組立作業を極めて容易に行い得る効果がある。
、ポンプ内に堆積したＡｌＣｌ３ 等の除去を行う際の
分解、組立作業を極めて容易に行い得る効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す全体縦断面図。
【図２】従来例を示す全体縦断面図。
Ｔ…タービン機構
Ｓ…ねじロータ機構
１…ベース
２…シャフト
５、６…ロータ
１２、１５…ステータ部材
Claims (1)
- 【請求項１】ベースを貫通して設けたシャフトの両端部
に一対のロータを固設し、それらのロータにそれぞれ別
体をなすステータ部材を近接配置してタービン機構また
はねじロータ機構を構成したものであって、両機構によ
り直列排気作用を営むようにしたことを特徴とするター
ボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6683391A JP2906714B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6683391A JP2906714B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04301197A true JPH04301197A (ja) | 1992-10-23 |
| JP2906714B2 JP2906714B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=13327240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6683391A Expired - Fee Related JP2906714B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2906714B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002115692A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-19 | Osaka Vacuum Ltd | 複合真空ポンプ |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP6683391A patent/JP2906714B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002115692A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-19 | Osaka Vacuum Ltd | 複合真空ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2906714B2 (ja) | 1999-06-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |