JP4805515B2 - 動力学的なシール部材 - Google Patents
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Description
本発明は、回転する構成部材と固定された構成部材との間に設けられる動力学的なシール部材であって、前記構成部材のうち少なくとも一方に、シール間隙内に突入する凸部が設けられている形式のものに関する。
【0002】
真空ポンプにおいて特に、しばしば、異なる圧力を有する2つの室の間に設けられた仕切り壁を貫通するシャフトをシールする必要が生じる。このためには通常、ラビリンスシールが使用され、これは、たとえば米国特許第3399827号明細書からも公知である。
【0003】
ほぼ半径方向に延びる間隙シーリングでは、洗浄ガス(Spuelgas、窒素、アルゴンまたはこれに類するもの)を使用することが公知であり(欧州特許公開第408791号明細書、図5の間隙シール部材43参照)、これにより、たとえば軸受け・モータ室は、有害なガスの進入から保護される。洗浄ガスは、軸受け・モータ室に流入せしめられて、間隙シール部材を通って搬送室へ到達する。これにより、搬送室からのガスは、モータ室へは到達不能となることが保証される。
【0004】
本発明の課題は、回転する構成部材と固定された構成部材との間にほぼ半径方向に延びる間隙のための、効果的な動力学的なシール部材を得ることである。
【0005】
この課題は、本発明の請求項の特徴部に記載された構成によって解決される。
【0006】
互いに内外に入り込む翼列として形成されている凸部を使用することによって、所望のシール作用が向上するばかりでなく、さらに、それぞれの応用に対して有利である搬送特性をシール部材に付与する手段も得られる。たとえば室を、ガスの進入から保護することが望まれる場合には、翼列もしくはこれらの翼列を形成する翼の設定角度が、シール部材が、有害なガスの流れ方向とは反対側を向いた搬送方向を有するように選択されていてよい。
【0007】
本発明の別のさらなる利点および詳細を、図1から図9に基づき説明する。
【0008】
図1および図2に、本発明によるシール部材1を示す。このシール部材1は、固定された翼列2と回転する翼列3とを有しており、これらの翼列の長手方向軸線は、回転する構成部材の回転軸線4に対して平行に延びている。翼列は、回転軸線4を中心とした同心的な列になるように配置されていて、シールされるべき間隙5内へと延びている。シール間隙5によって分離される、互いにシールされるべき室は、全体を通じて符号8,9で示される。ロータ翼2の列およびステータ翼3の列は、交互に並んでいる。これらの翼列は、シールされるべき間隙5の領域で互いに内外に入り組んでおり、搬送作用が所望される場合には、自体公知の形式で、流れ方向で異なる設定角度を有している。図2より、翼2,3が、構成部材を制限している構成部材、すなわち回転する構成部材6および固定された構成部材7であることが分かる。これらの構成部材6,7の間に、シールされるべき間隙5が存在する。
【0009】
図3および図4に、本発明によるシール部材1のダブルフロー型の構成を示す。翼列の内側のグループは、ガスを半径方向に内方に向かって(矢印11)搬送し、翼列の外側のグループは、ガスを内方から外方に向かって(矢印12)搬送する。これによって、同様に、シールされるべき室8,9が効果的に分離される。この配置により得られる利点は、保護されるべき室(たとえば室8)内で、この室内の成分の蒸気圧が所定の基準値を下回ることがないということである。さらに、この分離は、不活性ガスを両グループの間に流入させることによって補助されてよい。この不活性ガスの搬送は、固定された構成部材6を介して行われる。流入孔を図示し(複数の流入孔が設けられていてもよい)、これを符号14により表す。
【0010】
図5には、ブロワ20において本発明が使用されている実施例を示す。ブロア20は、駆動部分21と、ガス搬送部分22とから成っており、駆動部分21内には、駆動モータ(図示せず)が設けられている。この駆動モータは、シャフト23を駆動し、このシャフト23は、できるだけガス密に(ラビリンスシール24)、駆動ケーシングのフランジ25を貫通して案内されている。シャフト23の自由な端部には、ブロワホイール26が固定されている。ラビリンスシール24の補助のために、ブロワホイール26の下側とフランジ25との間の間隙5には、本発明によるシール部材1が実現されている。フランジ25は、ステータ翼列2を有していて、ブロワホイール26は、回転する翼列3を有している。これらの翼列は、シャフト23の周りに同心的に配置されていて、間隙5の領域では、互いに内外に入り組んでいる。ブロワホイール26から搬送されるガスがモータ室内に到達できないようにする作用を、シール部材1が有することが望ましいのであれば、シール部材が、半径方向に外方に向かう搬送作用を有しているように構成されると有利である。
【0011】
図6に、ターボ分子ポンプ31の部分的な断面図を示し、そのベース部分を、符号32で表す。駆動モータ33を備えたこのベース部分32には、シャフト34が、軸受け35により支持されている。このシャフト34は、ロータ翼37を備えたロータ36を有しており、これらのロータ翼37は、搬送室39に設けられたステータ翼38と共に設けられている。この搬送室39を、モータ・軸受け室41から効果的に分離するために、本発明によって構成されたシールシステム1が設けられている。このシールシステム1は、2つの平面に配置されたステータ翼2を有していて、このステータ翼2は、ケーシングに固定されていて断面がL字形であってシャフト34の周りを取り囲んでいる環状構成部材42に設けられている。ロータ36には、環状構成部材42の形状に適合する切欠き43が設けられている。ロータ36には、ステータ翼2が配設されたロータ翼3が固定されている。このような構成において、室39と室41との確実な分離を得ようとする場合には、内側(上側)の翼列グループ2,3が、モータ室41の方向への搬送作用を有するように、かつ外側(下側)の翼列グループ2,3が、搬送室39の方向に搬送方向を有するように、シール部材1が構成されていると有利である。両方の翼列グループの間に不活性ガスを流入させると、この分離作用がさらに向上せしめられる。モータ・軸受け室41から搬送室39への炭化水素の進入、および搬送室39からモータ室41への有害な(たとえば腐食性のまたは有害な)ガスの進入を、確実に回避できる。図3および図4に関連して述べた利点は同様に得られる。
【0012】
図7は、本発明によるシール部材が、従来技術に基づく軸方向に圧縮を行う摩擦ポンプ51で使用されている図である。この摩擦ポンプ51は、吸込側に配置されたターボ分子ポンプ段52と、吐出側に配置された分子ポンプ段53とから成る。この分子ポンプ段53は、図示のようなホルヴェックポンプ(Holweckpumpe)として、またはゲーデ型(Gaede-)、ジークバーン型(Siegbahn-)、エングレンダー型(Englaender-)ポンプまたはサイドチャネルポンプとしても形成されていてよい。
【0013】
シール部材1および摩擦ポンプ51は、側面に設けられた流入口56を備えたほぼ円筒状の共通のケーシング55内に設けられている。両端面に(軸受け57,58により)支承されたシャフト59は、それぞれ回転する構成部材(シール部材1のロータ板6、ターボ分子ポンプ段52のロータ61およびホルヴェックポンプ段53のシリンダ62)を有している。ポンプ51の側方に設けられた流入口56は、シール部材1と軸方向に圧縮を行うポンプ段52,53との間に通じている。ポンプ51の流出口64は、分子ポンプ段53の吐出側に設けられている。
【0014】
図7による解決方法の特別な点は、駆動モータ68が、軸方向に搬送が行われるポンプ51の高真空側に存在すること(通常のようにホルヴェックポンプ段53の吐出側でないこと)である。シール部材1が流入口56と駆動モータ68との間に存在することによって、モータ室41内で比較的より高い圧力を保持することができる(たとえば1×10−2mbar)。したがって、モータ室41内で、高真空での使用が可能な材料を使用する必要はない。
【0015】
図8に示した構成は、シール部材1が、半径方向に外方から内方に向かって搬送作用を有しているという点で、図7に基づく構成と相違する。さらに、バイパス67が、モータ室41に接続されており、このバイパス67は、分子ポンプ段62の吸込側と接続されている。図示された矢印69にしたがって、シール部材1から搬送されたガスは、モータ室41を通って、バイパス67へ、さらにそこから分子ポンプ段53へ到達する。モータ室41内の前真空圧の保持は、これにより保証される。さらに、シール部材1は、ターボ分子ポンプ段52の搬送導管を補助し、これにより、ポンプ51の構成長さはあまり大きくならずに済む。
【0016】
図9に、複数の室を備えたシステム、ここでは2つの室を備えたシステムの場合のポンプ51の構成を示す。これは、たとえば種々異なる圧力になるように排気しなくてはならない複数の室を備えた分析装置である。したがって、吸い込み管片の間に間隔が設けられている。このことは、従来の技術においてはしばしば、コストのかかる支承システムを必要としていてかつ片持ち式に支承される比較的長いロータシステムが必要となってしまう。
【0017】
図9の構成は、2つの側方の流入口56,56′を有している。これらの流入口56,56′は、少なくとも1つのシール部材1によって互いに分離されている。シール部材1は、外方から内方に向かって搬送作用を有するように形成されている。流入口56は、軸方向に搬送を行う摩擦ポンプ51の入口領域および半径方向に外方から内方に向かって搬送を行うシール部材1の周辺部に設けられている。半径方向に搬送を行うシール部材1の流出口は、第2のターボ分子ポンプ52′の流入領域に開口しており、このターボ分子ポンプ52′には、第2の流入口56′が接続されている。シール部材1により、流入口56での圧力が、流入口56′での圧力よりも小さくなるようになる。ターボ分子ポンプ段52′の吐出側には、駆動モータ68が設けられている。この吐出側は、バイパス67を介して分子ポンプ段53の吸込側と接続されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるシール部材の構成の断面図である。
【図2】 図1のシール部材の構成の別の断面図である。
【図3】 ダブルフロー型の構成の断面図である。
【図4】 図3の構成の別の断面図である。
【図5】 単に片持ち式に支承されたロータを備えた機械で本発明のシール部材が使用された実施例の図である。
【図6】 単に片持ち式に支承されたロータを備えた機械で本発明のシール部材が使用された別の実施例の図である。
【図7】 両端面で支承されたロータシステムを備えた真空ポンプで本発明のシール部材が使用された実施例の図である。
【図8】 両端面で支承されたロータシステムを備えた真空ポンプで本発明のシール部材が使用された別の実施例の図である。
【図9】 両端面で支承されたロータシステムを備えた真空ポンプで本発明のシール部材が使用されたさらに別の実施例の図である。
Claims (9)
- 回転する構成部材と固定された構成部材との間に設けられるシール部材であって、少なくとも1つの構成部材に、シール間隙内に突入する凸部が設けられている形式のものにおいて、
シール間隙(5)がほぼ半径方向に延びており、両方の構成部材が凸部を備えていて、これらの凸部が、軸方向に延びていて、回転する構成部材の回転軸線と同心的に配置されていてかつ互いに内外に入り込んでおり、さらに、翼列として形成されており、該翼列(2,3)が搬送作用を有しており、当該シール部材が、ダブルフロー型に形成されており、シール部材を形成している翼列(2,3)の特性が、外側に位置する翼列が、内側に位置する翼列とは反対の方向に搬送を行うように選択されていることを特徴とする、動力学的なシール部材。 - 内側に位置する翼列は、ガスを半径方向内方(矢印11)に向かって搬送し且つ外側に位置する翼列は、ガスを半径方向外方(矢印12)に向かって搬送する、請求項1記載のシール部材。
- ダブルフロー型のシール部材(1)を形成する両翼列グループの間に、不活性ガス流入口(14)が設けられている、請求項1記載のシール部材。
- 当該シール部材が、ブロワ(20)またはポンプ(31)の構成部材であって、搬送室とモータ室との間に位置している、請求項1から3までのいずれか1項記載のシール部材。
- 当該シール部材が、搬送作用を、吸込み室の方向に有している、請求項4記載のシール部材。
- 当該シール部材が、ターボ分子真空ポンプの構成部材であって、さらに、モータ室の方向に搬送作用を有しており、モータ室が、バイパス(67)を介して前真空ポンプ段と接続されている、請求項4記載のシール部材。
- モータ室(41)が、ターボ分子真空ポンプの吸込側に位置している、請求項6記載のシール部材。
- 当該シール部材が、少なくとも2つの流入口(56,56′)を備えたターボ分子真空ポンプの構成部材であって、これらの流入領域の間に位置している、請求項1から3までのいずれか1項記載のシール部材。
- 当該シール部材が搬送作用を有しており、シール部材の周辺部が第1の流入領域と接続されていて、シール部材の中心部が第2の流入領域と接続されている、請求項8記載のシール部材。
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