JP6079052B2

JP6079052B2 - 真空ポンプ

Info

Publication number: JP6079052B2
Application number: JP2012185509A
Authority: JP
Inventors: 修芦田; 耕平大上
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2012-08-24
Filing date: 2012-08-24
Publication date: 2017-02-15
Anticipated expiration: 2032-08-24
Also published as: CN103629146B; CN103629146A; JP2014043789A; US9714661B2; US20140056735A1

Description

本発明は、潤滑ボールベアリングによりロータを支持する構成の真空ポンプに関する。

ロータを支持する軸受にボールベアリングを用いた真空ポンプでは、ボールベアリングの潤滑が問題となる。特許文献１に記載のドライ真空ポンプでは、モータおよびボールベアリングが配置されている空間とポンプ排気口側との間にラビリンスシールが設けられている。そのような構成とすることにより、吸気口側への油蒸気の逆流を防止している。

また、特許文献２に記載の発明は、回転体の下部を球面スパイラルみぞ軸受で支持する構成の真空ポンプであるが、回転軸に対してリップシール板を設けて、油および油蒸気が油収納容器の外部に漏れ出るのを防止するようにしている。

特開２００２−３１７７９０号公報特開昭６２−２８８３８６号公報

しかしながら、特許文献１に記載の構成の場合、油蒸気はモータおよびベアリングの配置空間全体に行き渡ることになる。そのため、ポンプ排気口側の圧力変動があると、ラビリンスシールを介して上記配置空間への気体流入や配置空間からの気体流出が生じ、その気体流出に伴って配置空間の油蒸気も流出してしまうことになる。その結果、ベアリングの潤滑剤に用いられている油（グリース潤滑の場合には基油）が減少し、潤滑剤寿命の悪化を招く。

また、特許文献２に記載のリップシール板を用いる場合、高速回転にもリップシール板が耐えられるためには、リップシール板と回転軸とが接触している部分に、潤滑油の油膜が形成されていることが必要になる。そのため、この構造はグリース潤滑のボールベアリングには適用できない。

本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、回転側排気機能部および回転軸を有する回転体と、固定側排気機能部と、前記回転軸を支持する潤滑ボールベアリングと、前記回転体を回転駆動するモータと、前記モータのモータステータが配置された空間と前記潤滑ボールベアリングが配置された空間との間に設けられた第１ラビリンスシールと、前記潤滑ボールベアリングを保持するベアリングホルダと、前記回転軸の前記ベアリングホルダと対向する位置に装着され、前記回転体のバランス調整に用いられるバランス調整用部材とをさらに備え、前記第１ラビリンスシールを構成する一方の凹凸が、前記バランス調整用部材の前記ベアリングホルダと対向する面に形成され、前記一方の凹凸と嵌り合う他方の凹凸が、前記ベアリングホルダの前記バランス調整用部材と対向する面に形成されている。
好ましくは、前記真空ポンプは、前記モータステータが配置された空間にパージガスを導入するためのパージガス流路をさらに備える。
好ましくは、前記真空ポンプは、前記モータステータが配置された空間とポンプ排気口との間に設けられた第２ラビリンスシールをさらに備える。
好ましくは、前記真空ポンプは、前記モータステータに密着して配置され、前記潤滑ボールベアリングに用いられるグリースまたは該グリースの基油が設けられた油溜りをさらに備える。
好ましくは、前記真空ポンプは、前記第２ラビリンスシールのシール隙間にパージガスを導入するためのパージガス流路をさらに備える。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、回転側排気機能部および回転軸を有する回転体と、固定側排気機能部と、前記回転軸を支持する潤滑ボールベアリングと、前記回転体を回転駆動するモータと、前記モータのモータステータが配置された空間と前記潤滑ボールベアリングが配置された空間との間に設けられた第１ラビリンスシールと、を備え、前記第１ラビリンスシールを構成する一方の凹凸が、固定部に対向する回転部の表面に径方向に並ぶように形成され、前記一方の凹凸と嵌り合う他方の凹凸が、前記固定部の表面に径方向に並ぶように形成されており、前記第１ラビリンスシールの凹凸の隙間は、前記潤滑ボールベアリングが配置された空間内の油蒸気を封止する程度に小さく設定されている。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、回転側排気機能部および回転軸を有する回転体と、固定側排気機能部と、前記回転軸を支持する潤滑ボールベアリングと、前記回転体を回転駆動するモータと、前記モータのモータステータが配置されると共にポンプ排気口と連通する空間と前記潤滑ボールベアリングが配置された空間との間に設けられた第１ラビリンスシールと、を備え、前記潤滑ボールベアリングが配置された空間は、前記第１ラビリンスシールを介して前記モータステータが配置された空間のみと連通している。

本発明によれば、潤滑ボールベアリングの高寿命化を図ることができる。

図１は、本発明に係る真空ポンプの第１の実施の形態を示す図である。図２は、ラビリンスシール１８の構造を説明する図である。図３は、本発明に係る真空ポンプの第２の実施の形態を示す図である。図４は、本発明に係る真空ポンプの第３の実施の形態を示す図である。図５は、アキシャルタイプのラビリンスシール１８を示す図である。

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１は本発明に係る真空ポンプの第１の実施の形態を示す図であり、ターボ分子ポンプ１の断面図である。なお、ターボ分子ポンプ１には電力を供給する電源ユニットが接続されるが、図１では図示を省略した。

図１に示すターボ分子ポンプ１は、排気機能部として、タービン翼を備えたターボポンプ部と、螺旋型の溝を備えたHolweckポンプ部とを備えている。もちろん、本発明は、排気機能部にターボポンプ部およびHolweckポンプ部を備えた真空ポンプに限らず、タービン翼のみを備えた真空ポンプや、ジーグバーンポンプやHolweckポンプなどのドラッグポンプのみを備えた真空ポンプや、それらを組み合わせた真空ポンプにも適用することができる。

ターボポンプ部は、ポンプロータ３に形成された複数段の回転翼３０と、回転翼３０に対して交互に配置された複数段の固定翼２０とで構成される。一方、ターボポンプ部の下流側に設けられたHolweckポンプ部は、ポンプロータ３に形成された一対の円筒部３１ａ，３１ｂと、ベース２側に配置された一対のステータ２１ａ，２１ｂとで構成されている。

ポンプロータ３はモータ４によって回転駆動される。モータ４のモータロータ４ａは、ポンプロータ３の下側のシャフト部１０ａに設けられている。モータステータ４ｂは、ベース２のモータハウジング部２ａに固定されている。モータステータ４ｂに電力を供給するための配線４ｃは、ベース２に取り付けられたコネクタ２６に接続されている。ポンプロータ３は、複数の永久磁石６ａ，６ｂで構成される永久磁石磁気軸受６とメカニカルなベアリング８とにより、回転自在に支持されている。

永久磁石６ａ，６ｂは、軸方向に磁化されたリング状の永久磁石である。回転するポンプロータ３側に設けられた複数の永久磁石６ａは、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。一方、固定側の複数の永久磁石６ｂは、ポンプケーシング１２に固定された磁石ホルダ１１に装着されている。これらの永久磁石６ｂも、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。

ポンプロータ３に設けられた永久磁石６ａの軸方向位置は、その内周側に配置された永久磁石６ｂの位置よりも若干上側となるように設定されている。すなわち、回転側の永久磁石の磁極は、固定側の永久磁石の磁極に対して軸方向吸気口側に所定量だけずれている。この所定量の大きさによって、永久磁石磁気軸受６の支持力が異なる。図１に示す例では、永久磁石６ａの方が図示上側に配置されているので、永久磁石６ａと永久磁石６ｂとの反発力により、ラジアル方向の支持力と軸方向上向きの（ポンプ吸気口方向）力とがポンプロータ３に働いている。

磁石ホルダ１１の内周側には、ベアリング９が保持されている。ベアリング９は、シャフト上部のラジアル方向の振れを制限するタッチダウンベアリングとして機能するものである。ポンプロータ３が定常回転している状態では、ポンプロータ３の上側のシャフト部１０ｂとベアリング９とが接触することはなく、大外乱が加わった場合や、回転の加速時または減速時にポンプロータ３の振れ回りが大きくなった場合に、シャフト部１０ｂがベアリング９の内輪に接触する。ベアリング８，９には、例えば深溝玉軸受が用いられる。下側のベアリング８にはグリースが封入されている。

ベアリング８はベアリングホルダ１４によって保持されており、そのベアリングホルダ１４がベース２にボルト固定されている。ベアリング８はダンパー等を介してベアリングホルダ１４に保持され、ベアリングホルダ１４に螺合しているナット１５を締め付けることによって、ベアリング８の外輪がベアリングホルダ１４に保持される。ベアリング８の内輪はシャフト部１０ａ側に固定されている。

ベアリングホルダ１４の図示下側には、ベアリング配置空間Ｒ１の下側の部分を封止するための下蓋１６がベース２に固定されている。下蓋１６の内周面側には凸部１６ａが形成されており、この凸部１６ａが、ベアリングホルダ１４の内側領域に入り込むことによってベアリング配置空間Ｒ１の隙間領域が、可能な限り小さく抑えられるようにしている。

モータロータ４ａの下側のシャフト部１０ａには、バランス調整用部材１７が取り付けられている。バランス調整用部材１７は、ポンプロータ３のバランス調整を行う際に用いられる部材であって、例えば、符号Ｖのように側周面を削り取ったり、側周面に設けられたネジ穴（不図示）に止めネジを装着したりして、ポンプロータ３のアンバランスを低減するようにしている。このバランス調整用部材１７の下面と、その下面と対向するベアリングホルダ１４の上面とには、ラビリンスシール１８を構成するリング状の凹凸が形成されている。

図２はラビリンスシール１８の構造を説明する図であり、図１のラビリンスシール１８の部分の拡大図である。ラビリンスシールは非接触シールであって、回転軸と固定部との間に凹凸の隙間を何段にも組み合わせることによって、漏れを少なくしている。バランス調整用部材１７の下面側には、同心リング状の凹部１７ａおよび凸部１７ｂが複数形成されている。同様に、ベアリングホルダ１４の上面にも、同心リング状の凹部１４ａおよび凸部１４ｂが複数形成されている。バランス調整用部材１７の凸部１７ｂはベアリングホルダ１４の凹部１４ａに入り込み、逆に、ベアリングホルダ１４の凸部１４ｂがバランス調整用部材１７の凹部１７ａに入り込んでいる。凹部と凸部との間には、僅かな隙間が形成されている。半径方向隙間ｓは、シャフト部１０ａの振れ回り半径をｒ、モータロータ４ａとモータステータ４ｂとの隙間をｇとした場合、ｒ＜ｓ＜ｇのように設定されている。

このように、凹凸部の隙間は小さく設定されているので、ラビリンスシール１８のコンダクタンスは小さくなっている。例えば、ｒ＝０．２mm，ｇ＝０．５mm，ｓ＝０．３５mmとした場合、多重円筒で構成されるラビリンスシールのコンダクタンスは、窒素ガスに対して約０．０６Ｌ／ｓとなる。油蒸気などの分子量の大きいガスに対しては、さらにコンダクタンスが小さくなる。これは、通常ターボ分子ポンプの補助ポンプとして用いられるポンプの排気速度よりも十分小さく、油蒸気を封止するシールとして十分機能する。

ベアリング８のベアリング配置空間Ｒ１は、シャフト部１０ａとベアリングホルダ１４との隙間およびラビリンスシール１８の隙間を介して、モータ配置空間Ｒ２と繋がっている。さらに、モータ配置空間Ｒ２は、モータハウジング部２ａの外周とポンプロータ３の円筒部３１ｂとの隙間Ｒ３を介して、ポンプ排気口側空間Ｒ４と連通している。なお、モータ配置空間Ｒ２は、配線４ｃおよびコネクタ２６が配置されている空間と繋がっている。

ベアリング８は、油もしくはグリース等の潤滑剤で潤滑される。本実施の形態では、ベアリング８の潤滑剤としてグリースが用いられる。真空ポンプに用いられるベアリングは、真空中で使用されるため、油やグリースの基油が蒸発しやすい。そのため、基油が蒸発して無くなった時が潤滑寿命となる。ポンプ運転時にはベアリング８は高温となるので、基油の蒸発が促進され、その蒸気はベアリング８が配置されているベアリング配置空間Ｒ１の隙間領域全体に拡散する。そして、ベアリング配置空間Ｒ１における基油の分圧は、基油の蒸発と再凝縮とが均衡するまで上昇することになる。上述したように、ラビリンスシール１８は、油蒸気に対しては十分小さなコンダクタンスを有しているので、ラビリンスシールを介して空気の出入りが無い限り、蒸発による潤滑剤の基油の減少は平衡状態となった時点で極めて小さくなる。

しかしながら、ポンプ排気に伴ってポンプ排気口側空間Ｒ４の圧力が変動すると、隙間Ｒ３を介してポンプ排気口側空間Ｒ４とモータ配置空間Ｒ２との間で空気の出入りが発生し、さらに、ラビリンスシール１８を介して、モータ配置空間Ｒ２とベアリング配置空間Ｒ１との間で空気の出入りが発生する。例えば、ポンプが装着されているチャンバーにガスの流入、停止動作が行われた場合、ポンプ排気口側空間Ｒ４の圧力はガス流入時は上昇し、ガス停止時には低下する。そのため、ガス流入後のガス停止時には、ベアリング配置空間Ｒ１の油蒸気がモータ配置空間Ｒ２に流出する。特に、ポンプ排気口側空間Ｒ４の圧力が粘性流まで上昇した場合には、ベアリング配置空間Ｒ１に充満した油蒸気は、排気気体との分子衝突によって排気口側に押し流される。

また、ガス停止時にポンプ排気口側空間Ｒ４の圧力がモータ配置空間Ｒ２よりも低くなった場合には、モータ配置空間Ｒ２の気体がベアリング配置空間Ｒ１の隙間領域に流入することになる。この気体流入によりモータ配置空間Ｒ２の基油の蒸気圧が低下すると、平衡状態となるまで基油が再び蒸発する。

このような気体の出入りによるベアリング配置空間Ｒ１からの油蒸気の流出量は、ベアリング配置空間Ｒ１の内容積（ベアリング配置空間Ｒ１の隙間領域の体積）と圧力変動の頻度との積にほぼ比例する。そのため、本実施の形態では、ラビリンスシール１８を設けてベアリング配置空間Ｒ１とモータ配置空間Ｒ２とを実質的に分離するとともに、その分離されたベアリング配置空間Ｒ１の隙間空間を極力小さくすることで、潤滑剤の基油の蒸発を減少させ、潤滑寿命の延長を図るようにしている。

図１に示すように、モータ配置空間Ｒ２とベアリング配置空間Ｒ１との間にラビリンスシール１８を設けることで、モータ配置空間Ｒ２とベアリング配置空間Ｒ１との実質的な分離を図っている。ここで、実質的な分離とは、ポンプ排気口側空間Ｒ４に圧力変動がない限り、モータ配置空間Ｒ２とベアリング配置空間Ｒ１との間はラビリンスシール１８でシールされているということを意味している。その結果、ベアリング配置空間Ｒ１は、（ベアリング配置空間Ｒ１）−（ラビリンスシール１８）−（モータ配置空間Ｒ２）−（隙間Ｒ３）−（ポンプ排気口側空間Ｒ４）のような接続構造で、モータ配置空間Ｒ２およびポンプ排気口側空間Ｒ４に接続している。そのため、油蒸気が充満する領域をベアリング配置空間Ｒ１に限定することができ、油蒸気の流出に関しては、隙間容積の小さなベアリング配置空間Ｒ１からモータ配置空間Ｒ２への流出を考えれば良いことになる。油蒸気が充満した空間の容積を小さくしたことにより、油蒸気の流出量を小さく抑えることができる。

また、図１に示すように、下蓋１６の凸部１６ａがベアリングホルダ１４の内側領域（すなわちベアリング配置空間）に入り込んでいるので、ベアリング配置空間Ｒ１の隙間領域を可能な限り小さくしている。なお、この凸部１６ａが入り込んでいる領域は、ナット１５を着脱する際の作業空間として必要な空間である。

このように、ベアリング配置空間Ｒ１の隙間領域を可能な限り小さくすることで、油蒸気で満たされている空間が小さくなる。そのため、圧力変動によってベアリング配置空間Ｒ１とモータ配置空間Ｒ２との間で気体の流出・流入があった場合の気体の移動量を、極力小さく抑えることができる。その結果、ベアリング８の潤滑剤の基油の減少を抑えることができ、潤滑寿命の延長を図ることができる。

一方、前述した特許文献１に記載のポンプでは、モータ配置空間とベアリング配置空間とが繋がっているので、油蒸気はそれら両方の空間に蒸発することになり、さらに、圧力変動時の気体移動量もより多くなる。そのため、より多くの油蒸気が排気口側に流出し、潤滑寿命が低下してしまう。

さらに、図１に示すように、従来から設けられている部品（ベアリングホルダ１４、バランス調整用部材１７）にラビリンスシール１８を構成する凹凸を形成するような構成としているので、部品点数の増加が抑えられるとともに、ポンプ軸方向寸法の増加も抑えることができる。

なお、図１に示すポンプでは、モータ４およびシャフト部１０ａの冷却対策、腐食性ガスを排気した場合の耐腐食対策として、モータ配置空間Ｒ２にパージガスを導入するためのパージガス流路２２がベース２に形成されている。このように、ラビリンスシール１８で隔てられたモータ配置空間Ｒ２にパージガスを導入することにより、ガスパージ時に、油蒸気がポンプ排気口側空間Ｒ４に流出するのを防止することができる。

−第２の実施の形態−
図３は、本発明による真空ポンプの第２の実施の形態を示す図である。本実施の形態は、図１に示した第１の実施の形態の構成に、モータカバー２３およびラビリンスシール１９をさらに設けたものである。モータカバー２３およびラビリンスシール１９以外の構成は、図１に示した真空ポンプと同一であり、以下では、モータカバー２３およびラビリンスシール１９の部分を中心に説明する。

モータカバー２３は、隙間Ｒ３を介してモータ配置空間Ｒ２にポンプ排気口側空間Ｒ４の気体が流入するのを防止するために設けられたものである。本実施の形態では、このモータカバー２３の上面にリング状の凹凸を複数形成し、ロータ３の対向面にもリング状の凹凸を複数形成することで、ラビリンスシール１９を構成している。モータカバー２３の凹凸とロータ３の凹凸とは、互いに凹部に凸部が入り込んでいる。このような構造を採用することで、隙間Ｒ３とモータ配置空間Ｒ２との間にラビリンスシール１９が設けられている。

第２の実施の形態の真空ポンプでは、ラビリンスシール１９を設けたことにより、ポンプ排気口側空間Ｒ４の圧力が変動した場合に、ポンプ排気口側空間Ｒ４とモータ配置空間Ｒ２との間の気体移動量を小さく抑えることができる。その結果、モータ配置空間Ｒ２とベアリング配置空間Ｒ１との間の気体移動量も、図１に示す真空ポンプの場合よりもさらに減少する。よって、ベアリング８の潤滑剤の基油の減少をさらに抑えることができ、潤滑寿命のさらなる延長を図ることができる。この構成の場合も、モータカバー２３とロータ３の下面とを利用してラビリンスシール１９を形成しているので、真空ポンプの軸方向高さを抑えることができるとともに、部品点数増加によるコスト上昇を抑えることができる。

また、ラビリンスシール１９を設けたことにより、腐食性ガス排気時の、腐食性ガスのモータ配置空間Ｒ２への流入量を低減することができる。腐食性ガス排気時には、パージガス流路２２からモータ配置空間Ｒ２へパージガスが導入される。

−第３の実施の形態−
図４は、本発明の第３の実施の形態を示す図である。本実施の形態では、図３に示した真空ポンプに対して、さらに油溜り２５を設けたものである。また、油溜り２５の追加に加えて、パージガスをラビリンスシール１９の部分（シールの隙間）に導入するような構成とした。この場合、ベース２に形成されたパージガス流路２４はモータカバー２３に形成されたパージガス流路２４に接続され、ラビリンスシール１９の部分に流出口が形成されている。

図４に示した油溜り２５は、断面形状がＣ形状をしたリング状の部材であり、モータステータ４ｂのコア上面に固着されている。油溜り２５のＣ形状した部分の内側には、ベアリング８に用いられているグリースまたはそのグリースの基油が保持されている。モータ４を駆動するとモータ発熱によりモータステータ４ｂの温度が上昇し、油溜り２５の基油が蒸発して、モータ配置空間Ｒ２の油蒸気はコア温度に対応する蒸気圧となる。なお、油溜り２５の形状は、上述のような蒸発機能を有していれば、上述の形状に限定されない。

モータステータ４ｂのステータコアの温度は、ヒステリシス損やコイル電流によるジュール熱により、ベアリング８と同等またはそれ以上に上昇する。そのため、モータ配置空間Ｒ２の油蒸気圧の方が、ベアリング配置空間Ｒ１の油蒸気圧よりも高くなる。そのため、モータ配置空間Ｒ２とベアリング配置空間Ｒ１との間で気体の移動があったとしても、モータ配置空間Ｒ２の油蒸気圧の方が高いので、気体移動によるベアリング潤滑剤（グリース）の基油が減少するのを防止することができる。よって、ベアリング８の潤滑剤の長寿命化を図ることができる。

また、パージガスをラビリンスシール１９の部分（シールの隙間）に導入するようにしたので、ガスパージ時にモータ配置空間Ｒ２の油蒸気が、パージガスによって隙間Ｒ３へ流出するのを防止することができる。

なお、上述した実施の形態では、ラジアルタイプのラビリンスシール１８を設けたが、図５に示すようなアキシャルタイプのラビリンスシール１８を設けても良い。また、上述した実施の形態では、潤滑ボールベアリングと対で使われる軸受として、永久磁石を使った受動磁気軸受を例にとったが、能動制御磁気軸受を用いても良い。

上述した各実施形態はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施形態での効果を単独あるいは相乗して奏することができるからである。また、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。

１：ターボ分子ポンプ、２：ベース、２ａ：モータハウジング部、３：ポンプロータ、４：モータ、４ａ：モータロータ、４ｂ：モータステータ、６：永久磁石磁気軸受、８，９：ベアリング、１０ａ，１０ｂ：シャフト部、１４：ベアリングホルダ、１４ａ，１７ａ：凹部、１４ｂ，１７ｂ：凸部、１７：バランス調整用部材、１８，１９：ラビリンスシール、２０：固定翼、２１ａ，２１ｂ：ステータ、２２，２４：パージガス流路、２３：モータカバー、２５：油溜り、３０：回転翼、３１ａ，３１ｂ：円筒部、Ｒ１：ベアリング配置空間、Ｒ２：モータ配置空間、Ｒ４：ポンプ排気口側空間

Claims

回転側排気機能部および回転軸を有する回転体と、
固定側排気機能部と、
前記回転軸を支持する潤滑ボールベアリングと、
前記回転体を回転駆動するモータと、
前記モータのモータステータが配置された空間と前記潤滑ボールベアリングが配置された空間との間に設けられた第１ラビリンスシールと、
前記潤滑ボールベアリングを保持するベアリングホルダと、
前記回転軸の前記ベアリングホルダと対向する位置に装着され、前記回転体のバランス調整に用いられるバランス調整用部材と、を備え、
前記第１ラビリンスシールを構成する一方の凹凸が、前記バランス調整用部材の前記ベアリングホルダと対向する面に形成され、前記一方の凹凸と嵌り合う他方の凹凸が、前記ベアリングホルダの前記バランス調整用部材と対向する面に形成されている、真空ポンプ。
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記モータステータが配置された空間にパージガスを導入するためのパージガス流路をさらに備える、真空ポンプ。
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記モータステータが配置された空間とポンプ排気口との間に設けられた第２ラビリンスシールをさらに備える、真空ポンプ。
請求項３に記載の真空ポンプにおいて、
前記モータステータに密着して配置され、前記潤滑ボールベアリングに用いられるグリースまたは該グリースの基油が設けられた油溜りをさらに備える、真空ポンプ。
請求項３又は４に記載の真空ポンプにおいて、
前記第２ラビリンスシールのシール隙間にパージガスを導入するためのパージガス流路をさらに備える、真空ポンプ。
回転側排気機能部および回転軸を有する回転体と、
固定側排気機能部と、
前記回転軸を支持する潤滑ボールベアリングと、
前記回転体を回転駆動するモータと、
前記モータのモータステータが配置された空間と前記潤滑ボールベアリングが配置された空間との間に設けられた第１ラビリンスシールと、を備え、
前記第１ラビリンスシールを構成する一方の凹凸が、固定部に対向する回転部の表面に径方向に並ぶように形成され、前記一方の凹凸と嵌り合う他方の凹凸が、前記固定部の表面に径方向に並ぶように形成されており、前記第１ラビリンスシールの凹凸の隙間は、前記潤滑ボールベアリングが配置された空間内の油蒸気を封止する程度に小さく設定されている、真空ポンプ。
回転側排気機能部および回転軸を有する回転体と、
固定側排気機能部と、
前記回転軸を支持する潤滑ボールベアリングと、
前記回転体を回転駆動するモータと、
前記モータのモータステータが配置されると共にポンプ排気口と連通する空間と前記潤滑ボールベアリングが配置された空間との間に設けられた第１ラビリンスシールと、を備え、
前記潤滑ボールベアリングが配置された空間は、前記第１ラビリンスシールを介して前記モータステータが配置された空間のみと連通している、真空ポンプ。