JP2005240690A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】 真空ポンプを分解することなくグリス潤滑の軸受にグリスを供給すること。
【解決手段】 ロータ軸貫通孔（３１ａ）が形成された軸受支持部材（３１）を有する固定部材（１１，２１，３１）と、前記ロータ軸貫通孔（３１ａ）を貫通するロータ軸（１）の一端部に連結され且つ前記軸受支持部材（３１）の外側を囲むように配置された気体移送部（６ｂ＋８）とを有するロータ（６）と、前記気体移送部（６ｂ＋８）に連結された前記ロータ軸（１）の前記一端部近傍を回転可能に支持し、グリスにより潤滑される軸受（３６）と、グリスが補給されるグリス補給口（Ｇ２ｂ）と、前記軸受（３６）にグリスを供給するグリス排出口（Ｇ２ａ）とを有するグリス供給路（Ｇ２）と、前記グリス補給口（Ｇ２ｂ）にグリスを供給するグリス供給装置（ＧＰ）とを備えた真空ポンプ。
【選択図】 図２

Description

本発明は、ロータ及びステータとを有し、ロータの回転駆動により気体を移送して排気する真空ポンプに関し、特に、ロータの回転軸の軸受をグリスにより潤滑する真空ポンプに関する。なお、本発明の真空ポンプは、複数の真空ポンプが組み合わされた複合型真空ポンプにも適用可能である。

従来の真空ポンプでは、ロータ（回転子）の軸受として、転がり軸受や磁気軸受が使用されている。
転がり軸受等を使用した場合、軸受に潤滑剤を供給する必要がある。前記潤滑剤として、油を使用する場合と、グリスを使用する場合とがある。

油による潤滑を行う場合、用途に応じて油の種類を変更することが容易であるが、油を供給するためのオイルポンプや、軸受から流れ落ちる油を受け止めるオイル貯めを設置する必要がある。また、前記オイル貯めは、軸受の鉛直方向下方に配置しなければならないため、装置を横向きや逆さ向き（倒立した姿勢）に設置することができず、設置する方向が限定されるという問題もある。さらに、真空ポンプで油潤滑を使用した場合、軸受近傍の圧力が低下すると、液状の油が気体状（霧状）となり、真空側に拡散してしまう可能性がある。気体状の油が拡散すると、到達真空度が低下したり、ポンプが接続された真空室や排気流路が油で汚染されてしまう問題が発生してしまう。したがって、油の拡散を防止するためのシール部材を設置する必要があるという問題がある。

グリスによる潤滑を行う場合、グリスは油のように流れ落ちないので真空ポンプを設置する方向を自由に設定することができ、真空ポンプの設計を変更しなくても横向きや倒立した状態で設置することが可能である。しかし、グリスによる潤滑は、油による潤滑と比較すると、潤滑性能が劣り、一定の期間で定期的にグリスを補給する必要があるという問題がある。また、従来のグリス潤滑の軸受を備えた真空ポンプでは、転がり軸受へのグリスの補給は、作業者が注射器等のグリス注入部材を使用して、グリスを直接軸受に注入して行っている。したがって、半年〜１年に一度、定期的に真空ポンプを分解してグリスの補給を行わなければならないという問題もあった。

一方、磁気軸受は、磁力によりロータ側とステータ側との間に微小な隙間を保つように、回転軸を浮上させて回転させているため、部材どうしの接触が無く、潤滑の必要も無く、メンテナンスフリーという特徴がある。また、潤滑剤を使用しないので、真空ポンプを設置する方向を自由に設定することも可能である。したがって、現在では、設置方向が自由に設定でき且つグリスを補給するために定期的に分解する必要のない磁気軸受が広く採用され、現在ターボ型真空ポンプの軸受として磁気軸受が主流となっている。

したがって、現在の真空ポンプの技術分野では、高速回転で排気量の小さな（毎秒１００リットル程度以下）小型の真空ポンプの一部を除き、メンテナンスフリーな磁気軸受が使用されている。なお、グリス潤滑の軸受を備えた一部の小型の真空ポンプでは、小型のため分解が比較的容易なので、半年〜１年毎に真空ポンプを分解してグリスを補給しているものもある。このような経緯から、従来、真空ポンプの技術分野において、真空ポンプを分解することなくグリスを供給することは行われておらず、グリスを自動的に供給しようとする試みも行われていなかった（必要性がなかった）。

軸受支持部材外壁の軸受近傍に支持されて、軸受に対してグリスを自動的に供給する装置は従来公知である（例えば、特許文献１、非特許文献１〜３等）。しかしながら、このようなグリス自動供給装置を、真空ポンプに使用することは試みられたことが無いことは前述の通りである。仮に、軸受が真空ポンプの外壁付近にある場合には前記従来のグリス供給装置を容易に適用可能であるものと考えられるが、例えば、ネジ溝式ポンプのような回転軸の一端部を支持する軸受が外壁から遠い位置（ネジ溝式ポンプのロータの内側の位置）に配置された軸受では、軸受のグリスの状態が分からないので、グリスの補給時期を自動的に判別することは困難であると考えられていた。したがって、軸受が外壁から遠い位置に配置された真空ポンプでは、グリスを自動的に供給することは考えられたこともなかった。

特開２００３−８３４９８号公報（図１、図３） ＨＫＳ ＪＡＰＡＮ ＬＴＤ、"オートマチックグリースフィーダー"、［ｏｎｌｉｎｅ］、［平成１５年１０月６日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.hksjapan.co.jp/lubesite/automatic/automatic#top.html＞ ＬｕｂｅＳｉｔｅ ＳＹＳＴＥＭＳ，ＩＮＣ．、"Ｃｅｎｔｒａｌｉｚｅｄ Ｌｕｂｒｉｃａｔｉｏｎ Ｓｏｌｕｔｉｏｎ"、［ｏｎｌｉｎｅ］、［平成１５年１０月６日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.lubesite.com/pdf/LSGreaseFlyer.pdf＞ 日本シイベルヘグナー株式会社、"自動給油器"、株式会社山善、［ｏｎｌｉｎｅ］、［平成１５年１０月６日検索］、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.yamazen.co.jp/yz/pdf/1612.pdf＞

前述のように、真空ポンプの軸受として磁気軸受が広く使用されているが、磁気軸受を使用した場合には、電磁石等の制御手段（制御回路等）まで含めたシステムとしてのコストが高いという問題がある。さらに、部品点数が多くなるため、真空ポンプ全体として小型化が困難であるという問題もある。
また、回転軸が浮いているので、ロータとステータとの距離を０．５ｍｍ程度よりも狭くすると、回転駆動中に外乱や制御回路等の故障が発生した場合に、ロータとステータとが接触し、ポンプが破損してしまう問題もある。特に、渦流を発生させて気体を圧縮して排気する渦流ポンプでは、ステータとロータとの間の距離（クリアランス）を狭くして、０．３ｍｍ以下程度にする必要が出てきており、磁気軸受を使用することが困難となっている。

これに対し、転がり軸受は、磁気軸受に比べてコストが安く、部品点数も少ないため、真空ポンプを小型化できる。さらに、前記ロータとステータとの距離（クリアランス）を狭くしても、外乱等によりロータとステータが接触し難く、ポンプが破損する危険も少なくすることができる。

しかし、前述のように、転がり軸受の場合、潤滑剤を使用する必要があり、設置方向を自由に設定可能にするためには、グリス潤滑の軸受を使用する必要があった。そして、グリスによる潤滑を行う場合、グリスを補給するためだけに、真空ポンプの作動を停止して分解する必要があるという問題があった。特に、磁気軸受が採用される以前では、グリスまたは油による潤滑を行う必要があったので、グリスの補給や油の交換のために真空ポンプを停止したり分解したりすること（メンテナンス作業）について作業者に抵抗感はほとんど無かった。しかし、メンテナンスフリーの磁気軸受が広く採用されている現在では、グリスを補給するために真空ポンプを分解する作業は、作業者にとっては非常に面倒であり、抵抗感が大きい。

また、グリス補給のために真空ポンプを分解するためには、真空ポンプを停止させ、真空ポンプが接続されていた真空チャンバ内の圧力を大気圧まで戻す必要がある。したがって、グリスの補給のためだけに真空チャンバを大気圧まで戻すと、元の真空状態まで再排気して、真空チャンバ内で作業を再開するのに長時間かかり、その間真空チャンバ内で作業ができないという問題もある。
さらに、作業者が注射器等のグリス注入部材を使用してグリスを補給すると、グリス注入部材の取り扱いを誤って、グリスを多く補給しすぎたり、補給量が不足することがある。グリスの補給量が適切でないと、軸受の焼き付きや異常過熱を引き起こす可能性がある。特に、高速回転で排気量の大きな大型の真空ポンプでは、軸受に対する負荷が大きくなるため、グリスが適切な時期に適切な量補給されないと、軸受の寿命が短くなるという問題もある。

これらの事情に鑑み、本発明者は、グリス潤滑の軸受を使用し且つ、グリス供給作業を容易にする真空ポンプの研究を行った。この研究により、本発明者は、同じ機種の真空ポンプでは、真空ポンプの累積使用時間に基づいて同様な時期に、同様な量のグリスを補給することにより、グリス潤滑の軸受を長期間メンテナンスフリーで使用できることが分かった。

本発明は、前述の事情に鑑み、次の記載内容（Ｏ01）〜（Ｏ03）を技術的課題とする。
（Ｏ01）真空ポンプを分解することなくグリス潤滑の軸受にグリスを供給すること。
（Ｏ02）真空ポンプを停止することなく軸受にグリスを供給すること。
（Ｏ03）グリス潤滑の軸受にグリスを精度良く供給すること。

次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施の形態の具体例（実施例）の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。

（本発明）
（第１発明）
前記技術的課題を解決するための第１発明の真空ポンプは、下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）真空ポンプ（Ｐ）の外壁を構成するハウジング（２）に固定支持され且つロータ軸貫通孔（３１ａ）が形成された軸受支持部材（３１）を有する固定部材（１１，２１，３１）、
（Ａ02）前記ロータ軸貫通孔（３１ａ）を貫通し、一端部が前記ハウジング（２）内部に突出して配置されたロータ軸（１）と、前記ロータ軸（１）の前記一端部に固着された回転部材（６）、
（Ａ03）前記軸受支持部材（３１）に支持され且つ、前記ロータ軸（１）の前記一端部近傍を回転可能に支持し、グリスにより潤滑される軸受（３６）、
（Ａ04）固定部材（１１，２１，３１）の外側面に形成され且つグリスが補給されるグリス補給口（Ｇ２ｂ）と、前記軸受（３６）にグリスを供給するグリス排出口（Ｇ２ａ）とを有し、前記固定部材（１１，２１，３１）に形成されたグリス供給路（Ｇ２）、
（Ａ05）前記グリス補給口（Ｇ２ｂ）にグリスを供給するグリス供給装置（ＧＰ）。

（第１発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えた第１発明の真空ポンプ（Ｐ）では、真空ポンプ（Ｐ）の外壁を構成するハウジング（２）に固定支持された固定部材（１１，２１，３１）の軸受支持部材（３１）には、ロータ軸（１）が貫通するロータ軸貫通孔（３１ａ）が形成されている。前記ロータ軸（１）の一端部は前記ハウジング（２）内部に突出して配置されており、ハウジング（２）内部に突出して配置された一端部には、回転部材（６）が固着されている。前記軸受支持部材（３１）にはグリスにより潤滑される軸受（３６）が支持されている。前記軸受（３６）は、前記気体移送部（６ｂ＋８）に連結された前記ロータ軸（１）の前記一端部近傍を回転可能に支持する。

前記固定部材（１１，２１，３１）には、グリス供給路（Ｇ２）が形成されており、前記グリス供給路（Ｇ２）は、固定部材（１１，２１，３１）の外側面に形成され且つグリスが補給されるグリス補給口（Ｇ２ｂ）と、前記軸受（３６）にグリスを供給するグリス排出口（Ｇ２ａ）とを有する。そして、前記グリス補給口（Ｇ２ｂ）からグリス供給装置（ＧＰ）によってグリスが供給される。

したがって、グリス供給装置（ＧＰ）によって固定部材（１１，２１，３１）に支持された軸受（３６）にグリスを供給することができるので、グリスを供給する際に真空ポンプ（Ｐ）を分解する必要が無くなる。この結果、分解・組立作業等の面倒なメンテナンス作業が不要になり、作業者への負担を軽くすることができる。また、グリス供給のために分解・組立作業を行うと、組立精度に悪影響が出る可能性があるが、本発明は真空ポンプ（Ｐ）を分解することなくグリスを補給できるので、組立精度への悪影響が防止される。この結果、分解・組立により真空ポンプ（Ｐ）の排気性能等が低下することを防止できる。

さらに、真空ポンプ（Ｐ）のロータ（６）が回転駆動中でも、グリス供給装置（ＧＰ）によりグリスを供給することができるので、グリス補給のために真空ポンプを停止して、真空ポンプ（Ｐ）が接続された真空室（真空チャンバ）を大気圧に戻す必要が無くなる。この結果、再排気の必要もなくなるため、真空室内での作業効率を高めることができる。
また、高価で部品点数が多い磁気軸受を使用せず、低コストで部品点数の少ないグリス潤滑の軸受（３６）を使用するので、真空ポンプ（Ｐ）の設置方向を自由に設定でき、真空ポンプ（Ｐ）を低コスト化・小型化できる。

（第２発明）
前記技術的課題を解決するための第２発明の真空ポンプは、下記の構成要件（Ａ01），（Ａ02′），（Ａ03）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）真空ポンプ（Ｐ）の外壁を構成するハウジング（２）に固定支持され且つロータ軸貫通孔（３１ａ）が形成された軸受支持部材（３１）を有する固定部材（１１，２１，３１）、
（Ａ02′）前記ロータ軸貫通孔（３１ａ）を貫通するロータ軸（１）と、前記ロータ軸（１）の一端部に連結され且つ前記軸受支持部材（３１）の外側を囲むように配置された気体移送部（６ｂ＋８）とを有し、回転駆動時に気体を移送するロータ（６）、
（Ａ03）前記軸受支持部材（３１）に支持され且つ、前記ロータ軸（１）の前記一端部近傍を回転可能に支持し、グリスにより潤滑される軸受（３６）、
（Ａ04）固定部材（１１，２１，３１）の外側面に形成され且つグリスが補給されるグリス補給口（Ｇ２ｂ）と、前記軸受（３６）にグリスを供給するグリス排出口（Ｇ２ａ）とを有し、前記固定部材（１１，２１，３１）に形成されたグリス供給路（Ｇ２）、
（Ａ05）前記グリス補給口（Ｇ２ｂ）にグリスを供給するグリス供給装置（ＧＰ）。

（第２発明の作用）
前記構成要件（Ａ01），（Ａ02′），（Ａ03）〜（Ａ05）を備えた第２発明の真空ポンプ（Ｐ）では、真空ポンプ（Ｐ）の外壁を構成するハウジング（２）に固定支持された固定部材（１１，２１，３１）の軸受支持部材（３１）には、ロータ（６）のロータ軸（１）が貫通するロータ軸貫通孔（３１ａ）が形成されている。前記ロータ軸（１）の一端部に連結されたロータ（６）の気体移送部（６ｂ＋８）は、前記軸受支持部材（３１）の外側を囲むように配置されている。前記軸受支持部材（３１）にはグリスにより潤滑される軸受（３６）が支持されている。前記軸受（３６）は、前記気体移送部（６ｂ＋８）に連結された前記ロータ軸（１）の前記一端部近傍を回転可能に支持する。

前記固定部材（１１，２１，３１）には、グリス供給路（Ｇ２）が形成されており、前記グリス供給路（Ｇ２）は、固定部材（１１，２１，３１）の外側面に形成され且つグリスが補給されるグリス補給口（Ｇ２ｂ）と、前記軸受（３６）にグリスを供給するグリス排出口（Ｇ２ａ）とを有する。そして、前記グリス補給口（Ｇ２ｂ）からグリス供給装置（ＧＰ）によってグリスが供給される。

したがって、グリス供給装置（ＧＰ）によって固定部材（１１，２１，３１）に支持された軸受（３６）にグリスを供給することができるので、グリスを供給する際に真空ポンプ（Ｐ）を分解する必要が無くなる。この結果、分解・組立作業等の面倒なメンテナンス作業が不要になり、作業者への負担を軽くすることができる。また、グリス供給のために分解・組立作業を行うと、組立精度に悪影響が出る可能性があるが、本発明は真空ポンプ（Ｐ）を分解することなくグリスを補給できるので、組立精度への悪影響が防止される。この結果、分解・組立により真空ポンプ（Ｐ）の排気性能等が低下することを防止できる。

さらに、真空ポンプ（Ｐ）のロータ（６）が回転駆動中でも、グリス供給装置（ＧＰ）によりグリスを供給することができるので、グリス補給のために真空ポンプを停止して、真空ポンプ（Ｐ）が接続された真空室（真空チャンバ）を大気圧に戻す必要が無くなる。この結果、再排気の必要もなくなるため、真空室内での作業効率を高めることができる。
また、高価で部品点数が多い磁気軸受を使用せず、低コストで部品点数の少ないグリス潤滑の軸受（３６）を使用するので、真空ポンプ（Ｐ）の設置方向を自由に設定でき、真空ポンプ（Ｐ）を低コスト化・小型化できる。

（本発明の形態１）
本発明の形態１の真空ポンプ（Ｐ）は、前記本発明（第１発明または第２発明）の真空ポンプ（Ｐ）において、下記の構成要件（Ａ06），（Ａ07）を備えたことを特徴とする。
（Ａ06）前記ロータ軸（１）の前記一端部とは異なる他端部に固着され且つ前記ハウジング（２）に対して回転自在に支持された円板状のロータ本体（１０４）と、前記ロータ本体（１０４）の端面に半径の異なる複数の同心円に沿って所定の間隔で配置された複数の渦流翼（１１１，１１３）により構成された複数のリング状渦流翼列（１１２，１１６）と、を有する渦流ロータ（１０１，１０２）、
（Ａ07）前記固定部材（１１，２１，３１）に対して回転不能に支持されたステータ本体（７３）と、複数の前記リング状渦流翼列（１１２，１１６）に対応して前記ステータ本体（７３）に形成された複数のリング状流路（７６〜７９）とを有し、前記渦流ロータ（１０１，１０２）回転時に前記リング状流路（７６〜７９）内で渦流を発生させることにより気体を圧縮して排出する渦流ステータ（７１）。

（発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ06），（Ａ07）を備えた発明の形態１の真空ポンプ（Ｐ）では、前記ロータ軸（１）の他端側に複数のリング状渦流翼列（１１２，１１６）を有する渦流ロータ（１０１，１０２）が固着されている。そして、前記渦流ロータ（１０１，１０２）のリング状渦流翼列（１１２，１１６）に対応して形成された複数のリング状流路（７６〜７９）を有する渦流ステータ（７１）が前記固定部材（１１，２１，３１）に対して回転不能に支持されている。したがって、前記渦流ロータ（１０１、１０２）が回転駆動時に、前記リング状流路（７６〜７９）内で渦流が発生して気体が圧縮されて排出される。

（本発明の形態２）
本発明の形態２の真空ポンプ（Ｐ）は、前記本発明または本発明の形態１の真空ポンプ（Ｐ）において、下記の構成要件（Ａ08）を備えたことを特徴とする。
（Ａ08）前記軸受支持部材（３１）と、前記ロータ（６）の内側に配置され且つ前記軸受支持部材（３１）を囲むように配置されたステータ（１１）とを有する前記固定部材（１１，３１）。
（本発明の形態２の作用）
前記構成要件（Ａ08）を備えた本発明の形態２の真空ポンプ（Ｐ）では、前記固定部材（１１，３１）は、前記軸受支持部材（３１）と、前記ロータ（６）の内側に配置され且つ前記軸受支持部材（３１）を囲むように配置されたステータ（１１）とを有する。したがって、本発明の形態２の真空ポンプ（Ｐ）では、分解することが面倒な真空ポンプ（Ｐ）の内部の軸受支持部材（３１）に支持された軸受（３６）にグリスを供給することができる。

（本発明の形態３）
本発明の形態３の真空ポンプ（Ｐ）は、前記本発明または本発明の形態１、２の真空ポンプ（Ｐ）において、下記の構成要件（Ａ09）〜（Ａ012）を備えたことを特徴とする。
（Ａ09）軸受（３６）に供給するグリスを収容するグリス収容容器（１２１）と、
前記グリス収容容器（１２１）内の容積を小さくすることにより、前記グリス収容容器（１２１）内のグリスを前記グリス補給口（Ｇ２ｂ）に供給するグリス押出し部材（１３１，１３２）と、
前記グリス収容容器（１２１）内の容積が小さくなるように前記グリス押出し部材（１３１，１３２）を移動させるグリス自動供給部材（１３９）と、
を備えた前記グリス供給装置（ＧＰ）、
（Ａ010）真空ポンプ（Ｐ）の使用時間（ｔ１）を計測する真空ポンプ使用時間計測手段（ＴＭ１）、
（Ａ011）前記真空ポンプ（Ｐ）の使用時間（ｔ１）が、設定されたグリス供給開始判別時間（ｔａ）以上になったか否かを判別するグリス供給開始判別手段（Ｃ２Ｂ）、
（Ａ012）前記真空ポンプ（Ｐ）の使用時間（ｔ１）が、前記グリス供給開始判別時間（ｔａ）以上になった場合に、前記グリス自動供給部材（１３９）を作動させて所定量のグリスを供給するグリス自動供給部材制御手段（Ｃ２）。

（本発明の形態３の作用）
前記構成要件（Ａ09）〜（Ａ012）を備えた本発明の形態３の真空ポンプ（Ｐ）では、グリス供給装置（ＧＰ）のグリス収容容器（１２１）には、軸受（３６）に供給するグリスが収容されている。前記グリス供給装置（ＧＰ）のグリス押出し部材（１３１，１３２）は、前記グリス収容容器（１２１）内の容積を小さくすることにより、前記グリス収容容器（１２１）内のグリスを前記グリス補給口（Ｇ２ｂ）に供給する。そして、グリス自動供給部材（１３９）は、前記グリス収容容器（１２１）内の容積が小さくなるように前記グリス押出し部材（１３１，１３２）を移動させる。

真空ポンプ使用時間計測手段（ＴＭ１）は、真空ポンプ（Ｐ）の使用時間（ｔ１）を計測する。真空ポンプ（Ｐ）の使用時間（ｔ１）が、設定されたグリス供給開始判別時間（ｔａ）以上になったか否かがグリス供給開始判別手段（Ｃ２Ｂ）によって判別される。そして、前記真空ポンプ（Ｐ）の使用時間（ｔ１）が、前記グリス供給開始判別時間（ｔａ）以上になった場合、グリス自動供給部材制御手段（Ｃ２）は、前記グリス自動供給部材（１３９）を作動させて所定量のグリスを供給する。

したがって、本発明の形態３の真空ポンプ（Ｐ）は、前記グリス供給装置（ＧＰ）により、所定の時期に（所定のタイミングで）所定量のグリスが自動的に軸受（３６）に供給される。したがって、作業者が注射器等を使用して手作業でグリスの供給を行う場合と比較して、適切な時期に適切な量のグリスが自動的に供給される。この結果、グリス供給の精度を高めることができる。特に、大排気量で高速回転の大型の真空ポンプ（Ｐ）では、適切な時期に適切な量のグリスが精度良く供給されるので、軸受（３６）の破損を低減でき、軸受（３６）及び真空ポンプ（Ｐ）を長寿命化することもできる。

（本発明の形態４）
本発明の形態４の真空ポンプ（Ｐ）は、前記本発明の形態３の真空ポンプ（Ｐ）において、下記の構成要件（Ａ013）を備えたことを特徴とする。
（Ａ013）前記グリス押出し部材（１３１，１３２）の移動方向に沿って前記グリス収容容器（１２１）に形成されたネジ溝（１２４）と、
前記ネジ溝（１２４）に螺合し、回転時に前記ネジ溝（１２４）が形成された方向に移動するネジ山形成部材（１３８）と、
前記グリス押出し部材（１３１，１３２）に対して相対移動不能に支持されたグリス供給モータ（ＭＧ）であって、前記ネジ山形成部材（１３８）に連結されて前記ネジ山形成部材（１３８）を回転駆動するグリス供給モータ（ＭＧ）と、
を有する前記グリス自動供給部材（１３９）。

（本発明の形態４の作用）
前記構成要件（Ａ013）を備えた本発明の形態４の真空ポンプ（Ｐ）では、グリス供給装置（ＧＰ）の前記グリス収容容器（１２１）には、前記グリス押出し部材（１３１，１３２）の移動方向に沿ってネジ溝（１２４）が形成されている。前記ネジ溝（１２４）に螺合するネジ山形成部材（１３８）は、回転時に前記ネジ溝（１２４）が形成された方向に移動する。そして、前記グリス押出し部材（１３１，１３２）対して相対移動不能に支持されたグリス供給モータ（ＭＧ）は、ネジ山形成部材（１３８）に連結されており、前記ネジ山形成部材（１３８）を回転駆動する。

したがって、前記グリス供給モータ（ＭＧ）が回転駆動すると、ネジ山形成部材（１３８）が回転して、ネジ溝（１２４）が形成された方向、即ち、グリス押出し部材（１３１，１３２）の移動方向に沿って移動する。これに伴い、ネジ山形成部材（１３８）に連結されたグリス供給モータ（ＭＧ）も移動し、グリス供給モータ（ＭＧ）と相対移動不能なグリス押出し部材（１３１，１３２）も移動する。この結果、グリス供給モータ（ＭＧ）を駆動することにより、グリス押出し部材（１３１，１３２）が移動し、グリス収容容器（１２１）内のグリスがグリス補給口（Ｇ２ｂ）から供給される。したがって、容易且つ高精度に制御可能なネジ山形成部材（１３８）の回転角度（即ち、グリス供給モータ（ＭＧ）の回転量）に応じて、グリスの供給量が定まる。したがって、ネジ山形成部材（１３８）の回転角度を制御することによって、グリスを精度良く供給することができる。

（本発明の形態５）
本発明の形態５の真空ポンプ（Ｐ）は、前記本発明または本発明の形態１または２の真空ポンプ（Ｐ）において、下記の構成要件（Ａ014）を備えたことを特徴とする。
（Ａ014）軸受（３６）に供給するグリスを収容するグリス収容容器（１２１）と、
前記グリス収容容器（１２１）内の容積を小さくすることにより、前記グリス収容容器（１２１）内のグリスを前記グリス補給口（Ｇ２ｂ）に供給するグリス押出し部材（１３１，１３２）と、
前記グリス押出し部材（１３１，１３２）の移動方向に沿って前記グリス収容容器（１２１）に形成されたネジ溝（１２４）と、
前記グリス押出し部材（１３１，１３２）に対して相対移動不能に支持され且つ前記ネジ溝（１２４）に螺合する手動で回転可能なネジ山形成部材（１３８）であって、回転時に前記ネジ溝（１２４）が形成された方向に移動する前記ネジ山形成部材（１３８）と、
を備えた前記グリス供給装置（ＧＰ）、

（本発明の形態５の作用）
前記構成要件（Ａ014）を備えた本発明の形態５の真空ポンプ（Ｐ）では、ネジ山形成部材（１３８）が手動で回転可能に構成されている。従って、作業者が手動でグリスを供給する場合であっても、回転角度によりグリスの供給量を容易に制御することができ、グリスの供給精度を高めることができる。

（本発明の形態６）
本発明の形態６の真空ポンプ（Ｐ）は、前記本発明または本発明の形態１ないし５のいずれか記載の真空ポンプ（Ｐ）において、下記の構成要件（Ａ015）を備えたことを特徴とする。
（Ａ015）前記グリス供給路（Ｇ２）内に配置された逆止弁（１２８）。

（本発明の形態６の作用）
前記構成要件（Ａ015）を備えた本発明の形態７の真空ポンプ（Ｐ）では、グリス供給路（Ｇ２）内に逆止弁（１２８）が配置されている。したがって、グリス供給路（Ｇ２）内からグリス供給装置（ＧＰ）側にグリスが逆流することが防止されると共に、軸受（３６）側の圧力が低下してグリスが軸受（３６）側に吸引されそうになっても逆止弁（１２８）によりグリス供給装置（ＧＰ）からグリス供給路（Ｇ２）にグリスが吸引されることを防止できる。この結果、余分なグリスの供給や逆流が防止され、グリスの供給精度が高まり、グリスの消費スピードも精確にコントロールできる。なお、前記逆止弁（１２８）は、グリス供給路（Ｇ２）のグリス補給口（Ｇ１ｂ、Ｇ２ｂ）に配置することも可能であるし、補給口（Ｇ１ｂ、Ｇ２ｂ）からグリス排出口（Ｇ１ａ、Ｇ２ａ）の間の任意の位置に配置することが可能である。

（本発明の形態７）
本発明の形態７の真空ポンプ（Ｐ）は、前記本発明及び本発明の形態１〜６のいずれか記載の真空ポンプ（Ｐ）において、単位時間当たりに移送する気体の移送量が、毎秒１０００リットル以上に設定されたことを特徴とする。
（本発明の形態７の作用）
前記本発明の形態７の真空ポンプ（Ｐ）では、気体の移送量（即ち、排気量）が毎秒１０００リットル以上の大排気量に設定されている。したがって、分解が面倒な大排気量で大型の真空ポンプ（Ｐ）において、真空ポンプ（Ｐ）を分解することなくグリス潤滑の軸受（３６）にグリスを供給することができる。よって、作業者の負担を軽減できる。

（本発明の形態８）
本発明の形態８の真空ポンプ（Ｐ）は、前記本発明及び本発明の形態１ないし７のいずれか記載の真空ポンプ（Ｐ）において、下記の構成要件（Ａ016）を備えたことを特徴とする。
（Ａ016）単位時間当たりの回転数が、毎分１万回転以上に設定された前記ロータ（６）。
（本発明の形態８の作用）
前記構成要件（Ａ016）を備えた本発明の形態８の真空ポンプ（Ｐ）では、前記ロータ（６）の単位時間当たりの回転数が、毎分１万回転以上の高速回転に設定されている。したがって、ターボ分子ポンプ等の高速回転の真空ポンプ（Ｐ）において、真空ポンプ（Ｐ）を分解することなくグリス潤滑の軸受（３６）にグリスを供給することができる。よって、作業者の負担を軽減できる。

前述の本発明の真空ポンプは、下記の効果（Ｅ01）〜（Ｅ03）を奏する。
（Ｅ01）真空ポンプを分解することなくグリス潤滑の軸受にグリスを供給することができる。
（Ｅ02）真空ポンプを停止することなく軸受にグリスを供給することができる。
（Ｅ03）グリス潤滑の軸受にグリスを精度良く供給することができる。

次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、上方、下方、または、上側、下側とする。

図１は本発明の実施例１の複合型真空ポンプの断面説明図であり、複合型真空ポンプの気体流路及び冷却水路を説明する断面説明図である。
図２は本発明の実施例１の複合型真空ポンプの断面説明図であり、ベアリングへのグリス供給路及びパージ用ガス通路を説明する断面説明図である。
図１、図２において、本発明の実施例１のポンプとしての複合型真空ポンプＰは、上側（＋Ｚ側、気体移送方向上流側）の複合型ターボ分子ポンプ部Ｐ１と、複合型ターボ分子ポンプ部Ｐ１の下側（−Ｚ側、気体移送方向渦流側）にボルトで連結された渦流ポンプ部Ｐ２と、前記渦流ポンプＰ２の下側にボルトで連結された下部ベアリング支持部材（固定部材、軸受支持部材）Ｐ３とを有している。また、前記複合型真空ポンプＰは、前記下部ベアリング支持部材Ｐ３のベアリング（軸受）Ｐ４により下端部が回転可能に支持され且つ、前記複合型ターボ分子ポンプ部Ｐ１及び渦流ポンプ部Ｐ２を貫通する回転軸（ロータ軸）１を有している。

（複合型ターボ分子ポンプ部の説明）
図１、図２において、前記複合型ターボ分子ポンプ部Ｐ１は、上端にポンプ吸気口２ａが形成された円筒状のハウジング２を有している。前記ハウジング２の内側には円筒状のインナハウジング３が設けられている。前記インナハウジング３は、上部（＋Ｚ側部分、気体移送方向上流側部分）に配置された静翼支持部材３ａと、下部（−Ｚ側部分、気体移送方向下流側部分）に配置されたネジ溝式ポンプインナハウジング３ｂとを有している。そして、前記静翼支持部材３ａには、内側に突出する複数の静翼４が支持されている。

前記インナハウジング３の内部には、回転軸１の上端部にボルトにより固定され（固着され）、回転軸１と一体的に回転駆動する複合型ターボ分子ポンプロータ（回転部材）６が配置されている。前記複合型ターボ分子ポンプロータ６は、前記インナハウジング３の静翼支持部材３ａ及びネジ溝式ポンプインナハウジング３ｂに対応して、上部の動翼支持部６ａとネジ溝式ポンプロータ部６ｂとを有している。前記動翼支持部（ターボ分子ポンプロータ部）６ａには、前記静翼４の間に入り込むように配置された複数の動翼７が支持されている。前記動翼支持部６ａと複数の動翼７により、ターボ分子ポンプロータ気体移送部（６ａ＋７）が構成されている。

前記ネジ溝式ポンプロータ部６ｂの外周面には、螺旋状のネジ山８が複数条形成されている。実施例１の真空ポンプＰでは、前記ネジ山８の厚さは、通常のネジ溝式ポンプとは異なり、特開２００１−２４８５８７号公報記載のネジ溝式ポンプと同様に、気体移送方向上流側（＋Ｚ方向）は薄く、気体移送方向下流側に行くに連れて厚くなるように構成されている。また、気体移送方向上流側でネジ溝式ポンプロータ部６ｂの半径が急激に小さくなるように構成されている。なお、前記ネジ山８の厚さや半径は、通常のネジ溝式ポンプと同様に形成することも可能である。前記ネジ溝式ポンプロータ部６ｂ及びネジ山８により、ネジ溝式ポンプロータ気体移送部（６ｂ＋８）が構成されている。

前記複合型ターボ分子ポンプロータ６の内側（回転軸１側）には、ネジ溝式ポンプステータ（固定部材）１１が配置されている。前記ネジ溝式ポンプステータ１１は、円板状のネジ溝式ポンプステータフランジ部１１ａと、上下方向に貫通する連結流路１２が形成されたステータ本体１１ｂとを有しており、前記ネジ溝式ポンプステータフランジ部１１ａは複合型ターボ分子ベース部材（後述）にボルト１３により固定支持されている。そして、前記ネジ溝式ポンプステータ１１の外周面には、前記複合型ターボ分子ポンプロータ６の内周面側に突出する螺旋状のネジ山１４が複数条形成されている。

前記静翼支持部材３ａ、静翼４、動翼支持部（ターボ分子ポンプロータ部）６ａ及び動翼７等によりターボ分子ポンプＴＭＰが構成されている。また、前記ネジ溝式ポンプインナハウジング３ｂ、ネジ溝式ポンプロータ部６ｂ、ネジ山８、前記複合型ターボ分子ポンプロータ６、ネジ溝式ポンプステータ１１、ネジ山１４等によってネジ溝式ポンプＳＰが構成されている。そして、前記ターボ分子ポンプＴＭＰ、ネジ溝式ポンプＳＰにより複合型ターボ分子ポンプＦＰが構成されている。また、実施例１の複合型真空ポンプＰは、回転数が毎分１万回転、排気量が毎秒１０００リットルに設定されている。なお、前記回転数及び排気量は適宜変更可能である。

したがって、複合型ターボ分子ポンプロータ６が回転すると、前記ターボ分子ポンプＴＭＰの動翼７及び静翼４により、ポンプ吸気口２ａから吸気された気体は圧縮されながら上方から下方に移送（搬送）されて、ネジ溝式ポンプＳＰの気体移送方向上流端に移送される。そして、ネジ溝式ポンプＳＰネジ山８により、気体はさらに圧縮されながら上方から下方に移送される。そして、ネジ溝式ポンプインナハウジング３ｂの下端部まで搬送された気体は、前記ネジ溝式ポンプＳＰのネジ山１４により、複合型ターボ分子ポンプロータ６の内周面とネジ溝式ポンプステータ１１の外周面との間を圧縮されながら上方に搬送され、前記連結流路１２を通って下方に搬送される。

図３は、複合型ターボ分子ポンプ部のベース部材の冷却水路及びガス通路を説明する斜視図である。
図４は、複合型ターボ分子ポンプ部のベース部材の冷却水路及びパージ用ガス通路を説明する平面図である。なお、図３、図４において、グリス供給路の図示は省略している。また、図４において冷却水路及びガス通路以外の部材形状等の図示は省略している。

図１において、前記ハウジング２の下端部には、複合型ターボ分子ポンプベース部材（固定部材）２１が複数の連結ボルト２２により連結されている。図１〜図４において、前記複合型ターボ分子ベース部材２１は、ベース部材本体２３を有している。前記ベース部材本体２３は、円板状の円板部２４と、前記円板部２４の中心部に一体に形成された円筒部２６とを有している。図１〜図４において、前記円板部２４の上面には、前記連結流路１２に連結する気体流路溝２７が形成されており、気体流路溝２７の外端部には、下方に貫通する複合型ターボ分子ポンプ排気口２８が形成されている。図１、図３において、前記円板部２４の外周部には前記ハウジング２の位置決めをする位置決め部２４ａが形成されており、前記円筒部２６の上面には上部ベアリング支持部材位置決め部２６ａが形成されている。図１において、前記円筒部２６の内部には、回転軸１を回転駆動する排気モータ（メインモータ）Ｍ（図１参照）がモータ支持部材２９により固定支持されている。

前記ベース部材本体２３の円筒部２６の上面には、円筒状の上部ベアリング支持部材（固定部材、軸受支持部材）３１が固定支持されている。前記上部ベアリング支持部材３１には、前記回転軸１が貫通する回転軸貫通孔（ロータ軸貫通孔）３１ａが形成されている。そして、前記上部ベアリング支持部材３１は、前記ベース部材本体２３にボルト３２により固定されるフランジ部３３と、前記フランジ部３３と一体的に形成された上部ベアリング支持部材本体３４とを有している。図１において、前記上部ベアリング支持部材本体３４の内周面上端部には、回転軸１の上端部を回転可能に支持するベアリング（軸受）３６が支持されている。なお、前記ベアリングＰ４，３６はグリスにより潤滑される転がり軸受により構成されている。

また、図１において、前記上部ベアリング支持部材本体３４の内周面には、リング状の溝により構成されたラビリンスシール３７が複数形成されている。前記ラビリンスシール３７により、回転軸１と上部ベアリング支持部材本体３４の内周面との間の隙間を通って軸方向に（高圧側から低圧側に）気体が逆流しないようにシールされる。前記ラビリンスシール３７は、ベース部材本体２３と回転軸１との間や、前記ベース部材本体２３とモータ支持部材２９との間、ベース部材本体２３と渦流ポンプＰ２のロータ（後述）との間の回転部材（ロータ等）と固定部材（ステータ等）との間でシールする必要がある部分に形成されている。

図１、図２において、前記上部ベアリング支持部材３１の上面にはカバー４１がボルト４２により固定支持されている。前記カバー４１には、ガス排出口４３（図２、図３参照）が形成されている。また、図１において、前記カバー４１の内周側下面には、ベアリング３６の潤滑に使用されて劣化した廃グリスを収容する廃グリス収容室４１ａが形成されている。前記カバー４１と複合型ターボ分子ポンプロータ６との間には、回転軸１に固着されたロータ位置決め部材４４が配置されている。したがって、実施例１の真空ポンプＰでは、回転軸（ロータ軸）１の上端部に複合型ターボ分子ポンプロータ６が連結されている。

図３、図４において、前記ベース部材本体２３の円板部２４には、外周から内側に向かって延びる冷却水供給路５１、冷却水排出路５２及びガス供給路５３が形成されており、冷却水供給路５１、冷却水排出路５２及びガス供給路５３の外周端部には外部配管接続用継手が設置されている（図１、図４参照）。

前記円筒部２６には、上下方向に貫通して形成され、排気モータＭで発生した熱や気体圧縮時に発生する熱により加熱したネジ溝式ポンプステータ１１の熱等を除去するための冷却水が流れるモータ冷却水路５４が円周方向に等間隔に８本形成されている。前記８本のモータ冷却水路５４のうち、１本のモータ冷却水路５４ａが前記冷却水供給路５１に連結しており、前記冷却水供給路５１に接続するモータ冷却水路５４ａに隣接するモータ冷却水路５４ｂが冷却水排出路５２に連結している。その他のモータ冷却水路５４ｃの下端部には、円周方向に隣接するモータ冷却水路５４ｃとの間を連結する円弧状連結水路５６が形成されている。そして、前記モータ冷却水路５４（５４ａ、５４ｂ及び５４ｃ）の上端は、外側から内側に向かって放射状に形成された放射状水路５７に連結されている。なお、前記放射状水路５７は、上部ベアリング支持部材３１の下面により上方が閉塞される。

図３、図４において、前記上部ベアリング支持部材３１の上部ベアリング支持部材本体３４には、上下方向に貫通する８本の上下貫通水路５８が形成されている。前記各上下貫通水路５８の下端（−Ｚ端）は、各放射状水路５７の内端に連結している。そして、前記上下貫通水路５８の上端（＋Ｚ端）は、円周方向に隣接する上下貫通水路５８どうしを連結し且つベアリング３６で発生する熱等を除去する冷却水が流れる円弧状のベアリング冷却水路５９が形成されている。

したがって、図示しない冷却水供給装置によって供給された冷却水は、図４に示すように、前記冷却水供給路５１から内部に供給され、モータ冷却水路５４ａにおいて排気モータＭ等で発生した熱を除去しつつ、放射状冷却水路５７、上下貫通水路５８を介してベアリング冷却水路５９に流れ、ベアリング３６等で発生した熱を除去する。熱を吸収したベアリング冷却水路５９の冷却水は、円周方向に隣接する上下貫通水路５８、放射状冷却水路５７を介して下方のモータ冷却水路５４ｃに流れ再び排気モータＭの熱を除去する。これらを繰り返し、冷却水は、排気モータＭやベアリング３６等で発生した熱を除去しながら、円周方向にほぼ１周して冷却水排出路５２から排出される。
前記符号５１、５２、５４〜５９が付された水路により複合型ターボ分子ポンプ冷却水路Ｗ（図１、図４参照）が構成されている。

図２〜図４において、前記円筒部２６には、下端で前記ガス供給路５３に連結し且つ、上端で円筒部２６上面に放射状に形成された放射状ガス通路６１に連結する連結ガス通路６２が形成されている。前記上部ベアリング支持部材本体３４には、下端で放射状ガス通路６１に連結するガス排出路６３が形成されている。前記ガス排出路６３は、ベアリング３６の下方にガスを供給する下方排出路６３ａと、前記カバー４１のガス排出口４２にガスを供給する上方排出路６３ｂとを有している。

図２において、前記ガス供給路５３から下方に延び、渦流ステータ（後述）及び前記下部ベアリング支持部材Ｐ３内部を貫通してベアリングＰ４の上部近傍にガスを供給する下側ガス供給路６４も設けられている。
前記ガス供給路５３、連結ガス通路６２、放射状ガス通路６１及びガス排出路６３、下側ガス供給路６４等によりパージ用ガス通路ＧＳが構成されている。

したがって、図示しないガス供給装置により供給されたガスは、前記ガス供給路５３から内部に供給され、前記各ガス通路６１〜６３を介してベアリング３６の上下近傍（図２参照）に排出される。同様に、下側ガス供給路６４を介してベアリングＰ４の上部近傍にもガスが排出される。前記複合型ターボ分子ポンプＦＰにより排気が行われ、吸気口２ａ側や渦流ポンプの外周側のリング状流路（後述）の真空度が高くなると、ベアリング３６で潤滑のために使用されるグリスの油分が、回転部材と固定部材との間の隙間を通って真空側に吸引されてしまう。

したがって、実施例１のポンプＰでは、ベアリングＰ４，３６の近傍にガスを供給し、グリスの雰囲気圧力（グリスの周辺の圧力）を高く保つことにより、グリスの油分の蒸発・吸引を防止している。なお、実施例１では、前記ガスとして窒素ガスを使用しているが、供給されるガスは、窒素ガスに限定されず適宜変更可能である。
なお、図１、図２において、前記複合型ターボ分子ポンプ冷却水路Ｗやパージ用ガス通路ＧＳ等を工具により形成する際に必要な通路であって、複合型ターボ分子ポンプ冷却水路Ｗやパージ用ガス通路ＧＳを構成しない通路には、封止栓６６が装着されている。

（渦流ポンプ部の説明）
（渦流ステータ）
図５は実施例１の複合型真空ポンプの渦流ポンプ部の説明であり、図５Ａは図５ＢのＶＡ−ＶＡ線断面図、図５Ｂは渦流ポンプ部の縦断面説明図である。
図６は渦流ポンプの渦流ステータの説明図であり、図６Ａは平面図、図６Ｂは図６ＡのＶＩＢ−ＶＩＢ線断面図である。

図１、図５、図６において、前記渦流ポンプ部Ｐ２は、前記下部ベアリング支持部材Ｐ３に固定支持された円板状の渦流ステータ（固定部材）７１を有している。前記渦流ステータ７１は、外周側の渦流ハウジング部７２と、前記渦流ハウジング部７２と一体的に形成された内周側の渦流ステータ本体７３とを有している。前記渦流ハウジング部７２の上端面には、前記ベース部材本体２３の複合型ターボ分子ポンプ排気口２８に連通する渦流ポンプ吸気口７４が形成されている。

図１、図５、図６において、渦流ステータ本体７３の上端面には外周側から順に上側第１リング状流路７６ａ、上側第２リング状流路７７ａ、上側第３リング状流路７８ａ及び上側第４リング状流路７９ａが半径の異なる同心円状に形成されている。そして、渦流ハウジング部７２の下端面には、前記上側リング状流路７６ａ〜７９ａと上下対称に形成された下側第１リング状流路７６ｂ、下側第２リング状流路７７ｂ、下側第３リング状流路７８ｂ及び下側第４リング状流路７９ｂ（図１、図５Ｂ、図６参照）が形成されている。

図６Ａにおいて、各リング状流路７６〜７９には、円弧状の流路寸断部７６ｃ〜７９ｃが形成されており、各リング状流路７６〜７９は無端リング状ではない。したがって、図６Ａにおいて時計方向に移送される気体に対して、前記流路寸断部７６ｃ〜７９ｃの円周方向両端部で気体移送方向上流端及び下流端が設定される。なお、最外周の流路寸断部７６ｃには、後述する突出渦流翼が通過するための渦流翼通過溝７６ｄが形成されている。

前記第１リング状流路７６ａ，７６ｂと第２リング状流路７７ａ，７７ｂとの間は、第１流路仕切部８１ａ，８１ｂにより仕切られている。第２リング状流路７７ａ，７７ｂと第３リング状流路７８ａ，７８ｂとの間及び第３リング状流路７８ａ，７８ｂと第４リング状流路７９ａ，７９ｂとの間も同様に、第２流路仕切部８２ａ，８２ｂ及び第３流路仕切部８３ａ，８３ｂにより仕切られている。各流路仕切部材８１〜８３の先端面（上端面または下端面）には、前記ラビリンスシール３７が形成されている（図６Ｂ参照、図６Ａは図示省略）。前記各ラビリンスシール３７により、高圧の内周側のリング状流路から低圧の外周側のリング状流路へ、気体が逆流することが防止される。

上側第１リング状流路７６ａの気体移送方向上流端と、前記渦流ポンプ吸気口７４との間は、渦流ロータ（後述）の回転方向に沿って傾斜して形成された吸気路８６により接続されており、前記吸気路８６の外端部はシール部材（封止栓）８７（図１参照）により密閉（シール）されている。上側第１リング状流路７６ａの気体移送方向下流端と、下側第１リング状流路７６ｂとの間は、ロータ回転方向に沿って傾斜し且つ渦流ステータ本体７３を上下方向に貫通する第１連絡流路８８ａにより接続されている。図７において、下側第１リング状流路７６ｂの気体移送方向下流端と下側第２リング状流路７７ｂの上流端との間は、下側第１流路仕切部材８１ｂを貫通して形成された第１内側移行流路８９ａにより接続されている。そして、前記下側第２リング状流路７７ｂの下流端と、上側第２リング状流路７７ａとの間は、ロータ回転方向に沿って傾斜し且つ渦流ステータ本体７３を上下方向に貫通する第２連絡流路８８ｂにより接続されている。

同様にして、上側第２リング状流路７７ａの気体移送方向下流端と上側第３リング状流路７８ａの気体移送方向上流端との間は上側第２流路仕切部材８２ａを貫通する第２内側移行流路８９ｂにより接続され、上側第３リング状流路７８ａの気体移送方向下流端と、下側第３リング状流路７８ｂの気体移送方向上流端との間は第３連絡流路８８ｃにより接続されている。そして、下側第３リング状流路７８ｂの気体移送方向下流端と、下側第４リング状流路７９ｂの気体移送方向上流端との間が第３内側移行流路８９ｃにより接続され、下側第４リング状流路７９ｂの気体移送方向下流端と、上側第４リング状流路７９ａの気体移送方向上流端との間は第４連絡流路８８ｄにより接続されている。前記第４上側リング状流路７９ａの気体移送方向下流端は、渦流ステータ本体７３及び渦流ハウジング部７２内部を内側から外側に向かって貫通する排気路９１に連結しており、前記排気路９１の下流端には、排気口９２が形成されている。

図７は、渦流ステータの各気体流路を気体が流れる順序の説明図である。
したがって、渦流ロータ回転時に前記渦流ポンプ吸気口７４から流入した気体は、図７の（１）〜（８）に示す順に、各流路７６〜８９を流れ、排気口９２に排気される。
前記符号７６〜９１に示す各流路により実施例１の渦流ステータの渦流流路（７６〜９１）が構成されている。

また、図１において、前記渦流ステータ７１の内部には、圧縮された気体から発生する熱やロータ駆動時の摩擦熱等を除去するステータ冷却水路９３（渦流ポンプ冷却機構）が設けられている。前記ステータ冷却水路９３は、渦流ステータ７１の半径方向（放射方向）に延びるステータ冷却水供給パイプ９３ａと、前記ステータ冷却水供給パイプ９３ａの内端から延びる図示しない円弧状のパイプと、前記円弧状のパイプに接続するステータ冷却水排出パイプ（図示せず）とを有している。前記各パイプ９３ａには、外部から冷却水が供給される。

前記下部ベアリング支持部材Ｐ３にも、冷却水を供給する下部ベアリング支持部材冷却水供給路９４ａと、前記下部ベアリング支持部材冷却水供給路９４ａに接続し、ロータ駆動時の摩擦熱等を除去するための円弧状の複数の下部ベアリング支持部材冷却水路９４ｂとを有する下部ベアリング支持部材冷却水路９４（下部ベアリング支持部材冷却機構）が配置されている。
なお、前記渦流ステータ７１等を冷却する構成は、前記各冷却水路（冷却機構）９３、９４と冷却水による構成に限定されず、従来公知の種々の冷却装置を使用可能であり、各パイプの形状も変更可能である。

（渦流ロータ）
図１において前記渦流ステータ本体７３の上下両端面に対向して上下一対の渦流ロータ１０１、１０２が配置されている。前記渦流ロータ１０１、１０２は、回転軸１に固着されており、上側渦流ロータ１０１及び下側渦流ロータ１０２の上下方向の位置は、上側渦流ロータ１０１及び下側渦流ロータ１０２間に挿入され、回転軸１に固着された位置決め用スペーサ１０３により位置決めされている。

図８は渦流ポンプのロータの説明図であり、図８Ａは縦断面説明図、図８Ｂは図８ＡのＶIIIＢ−ＶIIIＢから見た図、図８Ｃは図８ＡのＶIIIＣ−ＶIIIＣから見た図である。
図１、図５、図８において、前記渦流ロータ１０１、１０２は、円板状のロータ本体１０４と、前記ロータ本体１０４の一端面（下面または上面）から前記第１リング状流路７６側に突出して形成されたリング状の翼支持部１０６と、翼支持部１０６の内周側に同心円状に各リング状流路７７〜７９側に突出して形成された第１リング状段差部１０７、第２リング状段差部１０８及び第３リング状段差部１０９とを有している。

図９は突出渦流翼の説明図であり、図９Ａは要部平面図、図９Ｂは要部斜視図である。
図８、図９において、前記翼支持部１０６には、前記第１リング状流路７６ａ、７６ｂ内に突出する突出渦流翼（渦流翼）１１１が支持されている。図８に示すように前記突出渦流翼１１１は、リング状の翼支持部１０６上にリング状に複数枚支持されており、前記リング状に配置された複数の突出渦流翼１１１により突出渦流翼列（リング状渦流翼列）１１２が構成されている。図９Ａに示すように、各突出渦流翼１１１は、断面弧状の弧状凹面１１１ａを有しており、渦流ロータ１０１、１０２の回転方向下流側に前記周凹面１１１ａが面するように配置されている。前記突出渦流翼１１１による渦流の発生及び気体の圧縮・移送の原理は、従来公知（例えば、特開平１０−８９２８５号公報等参照）なので、詳細な説明は省略する。

なお、本発明者の実験・研究により、突出渦流翼１１１の形状（流路に対する断面積及び翼厚）や、突出渦流翼１１１を配置する間隔、突出渦流翼１１１の数や、突出渦流翼１１１を配置する位置が最適となる条件が分かった。即ち、（第１リング状流路７６の流路断面積／各突出渦流翼断面積）＝１０〜１１に設定し、翼支持部１０６に沿って隣接して配置された突出渦流翼１１１どうしの間隔（翼間隔）ｔ１＝２．７ｍｍ〜３ｍｍに設定することが望ましい。また、１つの突出渦流翼１１１の翼厚をｔ２とした時に、（翼間隔ｔ１／翼厚ｔ２）＝１．８〜２、（翼外径（回転中心から渦流翼の外周端までの距離）／渦流翼数）＝１．３３〜１．４４に設定することが望ましい。

図１０は段差部渦流翼の説明図であり、図１０Ａは要部平面図、図１０Ｂは要部斜視図である。
図８、図１０において、前記第１リング状段差部１０７、第２リング状段差部１０８及び第３リング状段差部１０９には、段差部の放射方向に沿って段差部渦流翼（渦流翼）１１３が複数形成されている。そして、図１０Ｂに示すように、前記各段差部渦流翼１１３どうしの間に断面弧状の渦流溝１１４が形成されている。前記リング状に配置された複数の段差部渦流翼１１３により段差部渦流翼列（リング状渦流翼列）１１６が構成されている。前記段差部渦流翼１１３及び渦流溝１１４による渦流の発生及び気体の圧縮・移送の原理は、従来公知（例えば、特許第３０４５４１８号明細書や特許第２５５７４９５号明細書等参照）なので、詳細な説明は省略する。

なお、本発明者の実験・研究により、前記段差部渦流翼１１３及び渦流溝１１４のサイズ（流路に対する断面積及び翼厚）や、段差部渦流翼１１３を配置する間隔、段差部渦流翼１１３の数や、段差部渦流翼１１３を配置する位置が最適となる条件が分かった。即ち、（各リング状流路７７〜７９の流路断面積／各渦流溝断面積）＝１．５〜２とし、リング状段差部１０７〜１０９の円周方向に沿って隣接して配置された段差部渦流翼１１３どうしの間隔（翼間隔）ｔ１′＝６．８ｍｍ〜７．８ｍｍに設定することが望ましい。また、各段差部渦流翼１１３の翼厚をｔ２′とした時に、（翼間隔ｔ１′／翼厚ｔ２′）＝４．６〜５．２、（渦流溝外径（回転中心から渦流溝１１４（段差部渦流翼１１３）の外周端までの距離）／渦流翼数）＝２．６〜３に設定することが望ましい。

前記渦流ステータ本体７３及び渦流ロータ１０１、１０２等により渦流ポンプＫＰが構成されている。そして、前記渦流ポンプＫＰ及び複合型ターボ分子ポンプＦＰ等により、実施例１の複合型真空ポンプＰが構成されている。

（グリス供給装置の説明）
図２において、前記渦流ステータ７１及び下部ベアリング支持部材Ｐ３には、渦流ステータ７１及び下部ベアリング支持部材Ｐ３の内部を貫通して下側のベアリングＰ４まで延びる下側グリス供給路Ｇ１が形成されている。前記下側グリス供給路Ｇ１は、下側のベアリングＰ４にグリスを供給するグリス排出口Ｇ１ａと、グリス供給路Ｇ１内にグリスを供給するためのグリス補給口Ｇ１ｂとを有する。同様に、前記渦流ステータ７１、ベース部材本体２３及び上部ベアリング支持部材本体３４には、各部材（７１、２３、３４）の内部を貫通して上側のベアリング３６まで延びる上側グリス供給路Ｇ２が形成されている。前記上側グリス供給路Ｇ２も、グリス排出口Ｇ２ａと、グリス補給口Ｇ２ｂ（後述の図１１参照）とを有している。

図１１はグリス供給装置の断面説明図である。
図２、図１１において、前記渦流ステータ７１の側部には、前記ベアリングＰ４，３６にグリスを供給するグリス供給装置ＧＰが配置されている。前記グリス供給装置ＧＰは、渦流ステータ７１にボルト（図示せず）により固定支持するためのフランジ部１２１ａが形成されたグリス収容容器１２１を有している。前記グリス収容容器１２１は、下側のベアリングＰ４潤滑用のグリスを収容する第１グリス収容部１２２と、上側のベアリング３６潤滑用のグリスを収容する第２グリス収容部１２３と、前記第１グリス収容部１２２及び第２グリス収容部１２３の間に上下方向（Ｚ軸方向）に貫通して形成されたネジ溝１２４とを有している。

前記各グリス収容部１２２、１２３の上端部（＋Ｚ端部）には、それぞれ下側グリス供給路Ｇ１、上側グリス供給路Ｇ２のグリス補給口Ｇ１ｂ，Ｇ２ｂに連通する第１グリス供給口１２６及び第２グリス供給口１２７が形成されている。図１１に示すように、前記各グリス供給口１２６、１２７には逆止弁１２８、１２８が配置されており、グリスがグリス収容部１２２、１２３側に逆流することを防止すると共に、ベアリングＰ４、３６側の真空度が高くなった場合にグリス収容部１２２、１２３内のグリスがグリス供給路Ｇ１，Ｇ２側に吸引されることを防止する。また、前記各グリス供給口１２６、１２７の外周部には、グリスが漏れ出すことを防止するためのＯリング１２９が配置されている。

図１１において、前記各グリス収容部１２２、１２３にはピストン（グリス押出し部材）１３１、１３２が嵌合している。前記各ピストン１３１、１３２の上端部にはグリスを上方に押し出すキャップ１３３、１３３がネジにより固着されている。そして、ピストン１３１、１３２の外周面にはグリス収容部１２２、１２３とピストン１３１、１３２との間からグリスが漏れ出すことを防止するためのＯリング１３４、１３４が配置されている。なお、前記グリス収容部１２２、１２３内周面の下端部には、ピストン１３１，１３２が移動する際の摩擦を低減するための潤滑部材１３５が設けられている。

前記ピストン１３１、１３２の下端部（−Ｚ端部）には、連結部材１３６が配置されている。前記連結部材１３６は、各ピストン１３１、１３２の下端部にネジ止めされている。連結部材１３６には、下方に湾曲して形成されたモータ支持ブラケット１３６ａが取り付けられている。モータ支持ブラケット１３６ａの下面には、グリス供給モータＭＧが固定支持されている。前記グリス供給モータＭＧは回転軸１３７を有しており、前記回転軸１３７は円筒の一部が切り欠かれた略半月状の断面を有している。

図１１において、前記グリス収容容器１２１のネジ溝１２４には、ネジ（ネジ山形成部材）１３８が螺合しており、前記グリス供給モータＭＧの回転軸１３７は、ネジ１３８のネジ頭１３８ａに連結されている。前記ネジ頭１３８ａには回転止め装着孔１３８ｂが形成されており、回転止め装着孔１３８ｂには回転止め１３８ｃが装着されている。前記回転止め１３８ｃは、回転軸１３７の切り欠き部分に係合しており、回転軸１３７とネジ１３８は、一体的に回転可能となっている。前記ネジ頭１３８ａの上端面（＋Ｚ端面）は前記連結部材１３６に当接しており、前記連結部材１３６の当接部分には、ネジ１３８回転時の摩擦を低減するための低摩擦部材１３６ｂが配置されている。

したがって、前記グリス供給モータＭＧを駆動すると、回転軸１３７とネジ１３８とが回転し、ネジ１３８が螺合するネジ溝１２４に沿って上方に移動する。前記ネジ１３８及び回転軸１３７の移動に伴い、一体的に前記ピストン１３１、１３２が上方に移動し、グリス収容部１２２、１２３に収容されたグリスがグリス供給口１２６、１２７からグリス供給路Ｇ１，Ｇ２に供給される。
前記ネジ溝１２４、ネジ１３８及びグリス供給モータＭＧ等によってグリス自動供給部材１３９が構成されている。
したがって、作業者が注射器等を使用してグリスを手作業で補給する場合と比較して、容易にグリスを補給することができると共に、グリス供給モータＭＧの回転量を制御することにより補給量を容易且つ精度良く調節することができる。

（実施例１の複合型真空ポンプＰの制御部の説明）
図１２は実施例１の複合型真空ポンプの制御部が備えている各機能をブロック図（機能ブロック図）で示した図である。
図１２において、複合型真空ポンプＰのコントロータＣは、外部との信号の入出力および入出力信号レベルの調節等を行うＩ／Ｏ（入出力インターフェース）、必要な処理を行うためのプログラムおよびデータ等が記憶されたＲＯＭ（リードオンリーメモリ）、必要なデータを一時的に記憶するためのＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、前記ＲＯＭに記憶されたプログラムに応じた処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）、ならびにクロック発振器等を有するマイクロコンピュータ等により構成されており、前記ＲＯＭ等に記憶されたプログラムを実行することにより種々の機能を実現することができる。

（前記コントロータＣに接続された信号入力要素）
前記コントロータＣは、制御パネル（コンソールパネル）ＣＰやその他の信号入力要素からの信号が入力されている。
前記制御パネルＣＰは、複合型真空ポンプＰの主電源である電源スイッチＳＷ１と、複合型真空ポンプＰの排気開始・排気停止用の排気スイッチＳＷ２等を備えており、それらが入力されたことを検出して、その検出信号をコントロータＣに入力する。

（前記コントロータＣに接続された制御要素）
また、コントロータＣは、排気モータ駆動回路Ｄ１、グリス供給モータ駆動回路Ｄ２、冷却水供給装置駆動回路Ｄ３、ガス供給装置駆動回路Ｄ４や図示しない電源回路、その他の制御要素に接続されており、それらの作動制御信号を出力している。
前記排気モータ駆動回路Ｄ１は、排気モータＭを介して回転軸１を所定の回転速度（毎分１万回転）で回転駆動する。

前記グリス供給モータ駆動回路Ｄ２は、グリス供給モータＭＧを介してピストン１３１、１３２を移動させる。
前記冷却水供給装置駆動回路Ｄ３は、前記複合型ターボ分子ポンプ冷却水路Ｗ用の冷却水供給装置（図示せず）や、ステータ冷却水路９３（渦流ポンプ冷却機構）、下部ベアリング支持部材冷却水路９４（下部ベアリング支持部材冷却機構）に冷却水を供給する冷却水供給装置等を作動させる。
前記ガス供給装置駆動回路Ｄ４は、ガス供給装置（図示せず）を作動させる。

（前記コントロータＣの機能）
前記コントロータＣは、前記各信号出力要素からの出力信号に応じた処理を実行して、前記各制御要素に制御信号を出力する機能（制御手段）を有している。前記コントロータＣの機能（制御手段）を次に説明する。
Ｃ１：排気モータ回転制御手段
排気モータ回転制御手段Ｃ１は、前記排気モータ駆動回路を介して、排気モータＭの回転駆動を制御する。

Ｃ２：グリス供給モータ制御手段（グリス自動供給部材制御手段）
グリス供給モータ制御手段Ｃ２は、排気モータ駆動時間カウントタイマＴＭ１と、グリス供給開始判別時間記憶手段Ｃ２Ａと、グリス供給開始判別手段Ｃ２Ｂと、グリス供給モータ回転量記憶手段Ｃ２Ｃとを有する。そして、前記グリス供給モータ制御手段Ｃ２は、前記グリス供給モータ駆動回路Ｄ２を介して前記グリス供給モータＭＧの駆動を制御する。
ＴＭ１：排気モータ駆動時間カウントタイマ（真空ポンプ使用時間計測手段）
排気モータ駆動時間カウントタイマＴＭ１は、前記排気スイッチＳＷ１のオン・オフに応じて、排気モータＭが回転駆動した時間（即ち、ロータ６、１０１、１０２が回転駆動した時間）のカウント値（積算値）を回転駆動時間ｔ１としてカウントする。なお、前記カウント値（回転駆動時間）ｔ１は、不揮発性メモリに記憶され、リセット（初期化）されない限り、複合型真空ポンプＰの電源スイッチＳＷ１がオフになっても記憶されている。

Ｃ２Ａ：グリス供給開始判別時間記憶手段
グリス供給開始判別時間記憶手段Ｃ２Ａは、グリス供給を開始する時期になったか否かを判別するための閾値であるグリス供給開始判別時間ｔａを記憶する。なお、前記グリス供給開始判別時間ｔａは、実験結果から真空ポンプの機種毎に設定されている。
Ｃ２Ｂ：グリス供給開始判別手段
グリス供給開始判別手段Ｃ２Ｂは、前記排気モータ駆動時間カウントタイマＴＭ１のカウント値ｔ１と、前記グリス供給開始判別時間ｔａとに基づいて、グリス供給を開始する時期になったか否かを判別する。

Ｃ２Ｃ：グリス供給モータ回転量記憶手段
グリス供給モータ回転量記憶手段Ｃ２Ｃは、グリス供給を行う際に前記グリス供給モータＭＧが回転駆動する回転量（グリス供給モータ回転量）を記憶する。前記回転量には、１度に供給される設定されたグリスの供給量に対応するグリス供給モータＭＧの回転量が設定されている。なお、実施例１では、前記グリスの供給量は、実験結果から真空ポンプの機種毎に設定されている。前記グリス供給モータＭＧの回転量（グリスの供給量）は、作業者が設定変更可能に構成することも可能であり、一度に供給するグリスの供給量やグリス収容部１２２、１２３内のグリスを使い切るまでの期間を変更可能に構成することも可能である。
Ｃ３：冷却水供給装置制御手段
冷却水供給装置制御手段Ｃ３は、前記冷却水供給装置駆動回路Ｄ３を介して前記冷却水路Ｗ，９３、９４に冷却水を供給する冷却水供給装置（図示せず）等の作動を制御する。なお、実施例１の冷却水供給装置制御手段Ｃ３は、排気スイッチＳＷ２がオンになると冷却水供給装置のバルブを開放して給水を行い、排気スイッチＳＷ２がオフになるとバルブを閉じるように制御する。なお、実施例１では、ポンプＰによる排気が開始されると自動的に冷却水の供給が開始されるが、例えば、冷却水路Ｗ，９３、９４を水道の蛇口に接続し、作業者が栓をあけることにより手動で給水を開始するように構成することも可能である。

Ｃ４：ガス供給装置制御手段
ガス供給装置制御手段Ｃ４は、前記ガス供給装置駆動回路Ｄ４を介して前記ガス供給装置（図示せず）の作動を制御する。なお、実施例１のガス供給装置制御手段Ｃ４は、排気スイッチＳＷ２がオンになるとガス供給装置のバルブを開放して所定量のガスの供給を行い、排気スイッチＳＷ２がオフになるとバルブを閉じるように制御する。なお、実施例１では、排気開始時に自動的にガスの供給が実行されるが、作業者がバルブの開閉を行って手動でガスの供給を行うように構成することも可能である。また、実施例１では所定量のガスの供給を行ったが、例えば、グリスの雰囲気圧力が低下するのに応じて、ガスの供給量を増やすように制御することも可能である。

（フローチャートの説明）
（メインフローチャートの説明）
図１３は本発明の実施例１の複合型真空ポンプのグリス供給処理のフローチャートである。
図１３のフローチャートの各ＳＴ（ステップ）の処理は、前記コントロータＣのＲＯＭやハードディスクに記憶されたプログラムに従って行われる。また、この処理は複合型真空ポンプＰの他の各種処理（排気モータ回転制御処理や冷却水供給装置制御処理、ガス供給装置制御処理等）と並行して実行される。
図１３に示すフローチャートは複合型真空ポンプＰの電源スイッチＳＷ１がオンにより開始される。

図１３のＳＴ１において、制御パネルＣＰの排気スイッチＳＷ２がオンになったか否かを判別する。イエス（Ｙ）の場合はＳＴ２に移り、ノー（Ｎ）の場合はＳＴ１を繰り返す。
ＳＴ２において、排気モータ駆動時間カウントタイマＴＭ１による計時（時間のカウント）を開始する（再開する）。そして、ＳＴ３に移る。
ＳＴ３において、排気スイッチＳＷ２がオフになったか否かを判別する。イエス（Ｙ）の場合はＳＴ４に移り、ノー（Ｎ）の場合はＳＴ５に移る。
ＳＴ４において、排気が終了したので排気モータ駆動時間カウントタイマＴＭ１による計時を終了する（中断する）。そして、ＳＴ１に戻る。

ＳＴ５において、排気モータ駆動時間カウントタイマＴＭ１のカウント値ｔ１が、グリス供給開始判別時間ｔａ以上であるか否かを判別する。イエス（Ｙ）の場合はＳＴ６に移り、ノー（Ｎ）の場合はＳＴ３に戻る。
ＳＴ６において、次の処理（１）、（２）を実行して、ＳＴ３に戻る。
（１）排気モータ駆動時間カウントタイマＴＭ１のカウント値ｔ１をリセットする。
（２）グリス供給モータＭＧをグリス供給モータ回転量だけ回転駆動する。

（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１の複合型真空ポンプＰでは、排気モータＭにより回転軸１が回転駆動すると、ターボ分子ポンプロータ部６ａ、ネジ溝式ポンプロータ部６ｂ及び渦流ロータ１０１、１０２等が回転駆動する。そして、ポンプ吸気口２ａが連通する真空室内部の気体が、ターボ分子ポンプＴＭＰの部分で動翼７及び静翼４により圧縮されながら下方に移送され、ネジ溝式ポンプＳＰのネジ山８によりさらに下方に圧縮・移送される。そして、ネジ溝式ポンプＳＰのネジ山１４により、前記複合型ターボ分子ポンプロータ６とネジ溝式ポンプステータ１１との間を圧縮されながら上方に移送され、最終的に複合型ターボ分子ポンプ排気口２８に移送される。前記複合型ターボ分子ポンプ排気口２８まで移送された気体は、渦流ポンプ吸気口７４から流入し、渦流流路（７６〜９１）を順次圧縮されながら移送され、排気口９２から排気される。

そして、実施例１の複合型真空ポンプＰでは、排気モータＭの回転中に回転しない固定部材（１１，２１，３１）に形成されたグリス供給路Ｇ１，Ｇ２を介して、ベアリングＰ４，３６に潤滑用のグリスが供給される。そして、前記グリスは、前記排気モータＭの回転駆動時間ｔ１（即ち、ロータ６、１０１、１０２の回転駆動時間）がグリス供給開始判別時間以上になると、前記グリス供給モータＭＧが駆動してピストン１３１、１３２が移動し自動的にグリスが供給される。このとき、グリス供給モータＭＧは、設定されたグリス供給モータ回転量だけ回転するので、適切な量のグリスが精度良く補給される。

したがって、グリス供給装置ＧＰによって、ベアリング支持部材Ｐ３，３１に支持されたベアリングＰ４，３６に自動的にグリスが供給される。この結果、グリスを供給する際に複合型真空ポンプＰを分解する必要が無くなる。特に、上側のベアリング３６に関しては、複合型ターボ分子ポンプロータ６の内側のネジ溝式ポンプステータ１１のさらに内側に配置された上部ベアリング支持部材３１の内側に支持されているために、仮に分解してグリスを供給しようとすると、分解・組立が非常に面倒である。しかし、実施例１の真空ポンプＰでは、真空ポンプＰを分解することなく、上側のベアリング３６にもグリス供給装置ＧＰによりグリスを供給することができる。

この結果、分解・組立作業等のメンテナンス作業が省略されるので、作業者への負担を軽くすることができる。特に、実施例１の複合型真空ポンプは、分解・組立が面倒な高速回転・大排気量の真空ポンプであるため、負担軽減の効果は特に大きい。また、分解・組立作業による組立精度への悪影響が防止され、分解・組立によりシールが不完全となり複合型真空ポンプＰの排気性能等が低下することを防止できる。また、高価で部品点数の多い磁気軸受を使用せず、低コストで部品点数の少ないグリス潤滑のベアリング（転がり軸受）Ｐ４，３６を使用するので、真空ポンプＰの設置方向を自由に設定でき、真空ポンプＰを低コスト化・小型化できる。

さらに、実施例１の複合型真空ポンプＰでは、回転軸１が回転駆動中でも、前記グリス供給装置ＧＰによりグリスが自動的に供給される。したがって、グリス補給のために、回転軸１の回転駆動を停止して、排気を中断して、吸気口２ａが接続された真空室（真空チャンバ）内の気圧を大気圧に戻す必要が無くなる。この結果、回転軸１の駆動を停止し、真空ポンプを分解してグリスを補給する場合と比較して、真空室内を再排気するために長時間待つ必要が無くなり、真空室内での作業を継続しつつグリスを補給できるので、作業者の作業効率を高めることができる。

また、実施例１の複合型真空ポンプＰは、渦流ポンプＫＰを有するため、渦流ロータ１０１、１０２と渦流ステータ７１との隙間が狭く設定されており、磁気軸受を使用した場合、外乱等が発生すると渦流ロータ１０１、１０２と渦流ステータ７１とが接触する可能性があった。しかし、実施例１の真空ポンプＰは、グリス潤滑の転がり軸受Ｐ４，３６を使用しているので、外乱等が発生しても、渦流ロータ１０１、１０２と渦流ステータ７１とが接触する可能性を低減できる。

また、実施例１の複合型真空ポンプＰは、前記グリス供給装置ＧＰにより、所定の時期に所定量のグリスが自動的にベアリング（軸受）Ｐ４，３６に供給される。したがって、作業者が注射器等を使用して手作業でグリスの供給を行う場合と比較して、適切な時期に適切な量のグリスが自動的に供給される。また、自動的に供給されるので、作業者がグリス供給を忘れたり、供給しすぎたり、供給量が不足したりすることを防止でき、グリス供給の精度（時期的な精度及び供給量の精度）を高めることができる。特に、実施例１の複合型真空ポンプＰは、高速回転・大排気量なので、グリスが適切な時期に適切な量、精度良く供給されるので、ベアリングＰ４，３６の破損を低減でき、ベアリングＰ４，３６及び複合型真空ポンプＰを長寿命化することもできる。

さらに、実施例１のグリス供給装置ＧＰのグリス自動供給部材１３９は、ネジ溝１２４とネジ１３８とグリス供給モータＭＧとを有しているため、グリス供給モータの回転量（即ち、ネジ１３８の回転量（回転角度））を設定することにより容易にグリス供給量を設定できる。したがって、グリスの供給量の精度が高く、設定も容易である。

さらに、グリス補給口Ｇ１ｂ、Ｇ２ｂに配置された逆止弁１２８により、グリス供給路Ｇ１，Ｇ２からグリス供給装置ＧＰ側にグリスが逆流することが防止されると共に、ベアリングＰ４，３６側の気圧が低下してグリスがベアリングＰ４，３６側に吸引されそうになっても逆止弁１２８によりグリス供給装置ＧＰからグリス供給路Ｇ１，Ｇ２内にグリスが吸引されることを防止できる。この結果、余分なグリスの供給や逆流が防止され、グリスの供給精度が高まり、グリスの消費スピードも精確にコントロールできる。

図１４は実施例２のグリス供給装置の断面説明図であり、実施例１の図１１に対応する図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
実施例２のグリス供給装置ＧＰでは、フランジ部１２１ａの形成位置が異なっている。

（実施例２の作用）
前記構成を備えた実施例２のグリス供給装置ＧＰでは、グリス供給装置ＧＰが固定支持される固定部材（Ｐ３等）の取り付け可能な位置との関係に応じて適切な位置に変更できる。その他、実施例２の真空ポンプＰは、実施例１と同様の作用効果を奏する。

図１５は実施例３のグリス供給装置の断面説明図であり、実施例１の図１１に対応する図である。
なお、この実施例３の説明において、前記実施例１、２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例３は、下記の点で前記実施例１、２と相違しているが、他の点では前記実施例１、２と同様に構成されている。
実施例２のグリス供給装置ＧＰでは、グリス供給モータＭＧが省略され、ネジ頭１３８ａを作業者が手動で回転可能に構成されている。また、フランジ部１２１ａが実施例２と同様の位置に形成されている。

（実施例３の作用）
前記構成を備えた実施例３のグリス供給装置ＧＰでは、作業者が手動でネジ頭１３８ａを回転させてグリスを供給できる。したがって、グリス供給モータＭＧ及びその制御系を省略できるので、コストを抑えることができる。
なお、実施例３において、実施例１と同様に排気モータＭの作動時間ｔ１をカウントし、作動時間のカウント値（累積作動時間）ｔ１を制御パネルＣＰに表示して、作業者に前回グリスを供給してからの累積作動時間ｔ１を告知することも可能である。そして、作業者は、制御パネルＣＰに表示された累積作動時間ｔ１を確認してネジ１３８を回転してグリスを供給するように構成することも可能である。

また、グリスを補給する時期になったことを作業者に告知するための告知手段（告知ランプや告知ブザー等）を設け、前記作動時間のカウント値ｔ１がグリス供給開始判別時間ｔａ以上になった時に、ランプを点灯させたりブザーを鳴らして作業者にグリス補給時期を告知することも可能である。あるいは、前記グリス供給開始判別時間ｔａが近づいた時に、黄色のランプを点灯させ、グリス供給開始判別時間ｔａを経過した時に赤色のランプを点灯させるように構成することも可能である。

さらに、作業者が手動でネジ１３８を回転させる際の補助として、例えば、前記ネジ頭１３８ａと、連結部材１３６に目印（目盛り）を付しておき、作業者が目印に応じてネジ１３８を回転させることにより、精度良くグリスを供給することができる。その他、実施例３のグリス供給装置ＧＰ及びグリス供給装置ＧＰを備えた真空ポンプＰは、実施例１と同様の作用効果を奏する。

図１６は本発明の実施例４の複合型真空ポンプの説明図であり、実施例１の図１に対応する図である。
なお、この実施例４の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例４は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
実施例４のポンプＰ″では、実施例４のターボ分子ポンプＴＭＰ（静翼４、動翼７等）及びネジ溝式ポンプＳＰ（ネジ山８、１４等）が省略されている。

（実施例４の作用）
前記構成を備えた実施例４のポンプＰ″では、ターボ分子ポンプＴＭＰ及びネジ溝式ポンプＳＰが省略されているので、実施例１の複合型真空ポンプＰに比べ、高真空領域及び中真空領域における圧縮・排気性能が低下している。即ち、ユーザのニーズ等により、低真空領域程度まで排気できれば良い場合や、大気圧よりも低圧に排気したい場合（即ち、真空ポンプではなく、通常の排気ポンプとして使用する場合）には、ターボ分子ポンプＴＭＰ及びネジ溝式ポンプＳＰを省略することにより、製造コストやメンテナンスコストを抑えることができる。その他の渦流ポンプＫＰ部分に関しては、実施例４のポンプＰ″は、実施例１の複合型真空ポンプＰと同様の作用効果を奏する。即ち、グリス供給装置ＧＰにより、真空ポンプＰ″を分解せずにグリスを精度良く供給できる。

以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例（Ｈ01）〜（Ｈ08）を下記に例示する。
（Ｈ01）前記各実施例において、渦流ステータ本体７３には、４段のリング状流路７６〜７９が形成されているが、段数は適宜変更可能である。

（Ｈ02）前記各実施例において、第１リング状流路７６に対応する部分だけ突出渦流翼１１１の渦流翼列１１２で構成したが、最外周だけでなく、外周側の数段分、例えば、第１リング状流路７６及び第２リング状流路７７に対応する部分に突出渦流翼１１１の渦流翼列１１２を設けることも可能である。
（Ｈ03）前記各実施例において、ネジ溝式ポンプＳＰのステータ内部のベアリング（軸受）３６にグリスを供給したが、ネジ溝式ポンプＳＰに限定されず、グリス潤滑のベアリングがハウジング２内部に突出して配置された真空ポンプに適用可能である。

（Ｈ04）前記各実施例において、前記グリス供給路の口径等を調節することにより、グリス供給装置として、従来公知のグリス供給装置を使用することも可能である。例えば、前記特許文献１記載のグリス供給装置や、バネ圧を使用するグリス供給装置（例えば、前記非特許文献１、２等参照）あるいは、ガスの膨張圧力を利用したグリス供給装置（例えば、前記非特許文献３参照）を使用することも可能である。

（Ｈ05）前記各実施例において、グリスを供給する時期（タイミング）を判別する際に、排気モータの駆動時間に基づいて処理を行ったが、真空ポンプの使用時間に連動する他のパラメータに基づいて処理を行うことも可能である。例えば、ロータの回転数の積算値に基づいて処理することも可能である。あるいは、ベアリングの使用頻度を判別可能な他のパラメータ（例えば、グリスの状態を検出するセンサの出力等）に基づいて処理を行うことも可能である。
（Ｈ06）前記各実施例において、グリスを供給する時期になった時に、所定量のグリスを供給したが、回転軸が回転駆動中に断続的にグリスを所定量供給するように構成することも可能である。

（Ｈ07）本発明は、ターボ分子ポンプとネジ溝式ポンプと渦流ポンプの複合型真空ポンプＰ以外の真空ポンプにも適用可能である。即ち、上側ベアリング支持部材（軸受支持部材）３１の外側を囲むように構成されたネジ溝式ポンプロータ部６ｂに限定されず、ベアリング（軸受）を支持する軸受支持部材の外側を囲むように構成されたロータを有する他の回転式真空ポンプに適用可能である。
（Ｈ08）前記各実施例において、逆止弁１２８をグリス供給口１２６，１２７の近傍に配置したが、これに限定されず、グリス供給路Ｇ１，Ｇ２内の適切な位置に配置することができる。

図１は本発明の実施例１の複合型真空ポンプの断面説明図であり、複合型真空ポンプの気体流路及び冷却水路を説明する断面説明図である。 図２は本発明の実施例１の複合型真空ポンプの断面説明図であり、ベアリングへのグリス供給路及びパージ用ガス通路を説明する断面説明図である。 図３は、複合型ターボ分子ポンプ部のベース部材の冷却水路及びガス通路を説明する斜視図である。 図４は、複合型ターボ分子ポンプ部のベース部材の冷却水路及びパージ用ガス通路を説明する平面図である。 図５は実施例１の複合型真空ポンプの渦流ポンプ部の説明であり、図５Ａは図５ＢのＶＡ−ＶＡ線断面図、図５Ｂは渦流ポンプ部の縦断面説明図である。 図６は渦流ポンプの渦流ステータの説明図であり、図６Ａは平面図、図６Ｂは図６ＡのＶＩＢ−ＶＩＢ線断面図である。 図７は、渦流ステータの各気体流路を気体が流れる順序の説明図である。 図８は渦流ポンプのロータの説明図であり、図８Ａは縦断面説明図、図８Ｂは図８ＡのＶIIIＢ−ＶIIIＢから見た図、図８Ｃは図８ＡのＶIIIＣ−ＶIIIＣから見た図である。 図９は突出渦流翼の説明図であり、図９Ａは要部平面図、図９Ｂは要部斜視図である。 図１０は段差部渦流翼の説明図であり、図１０Ａは要部平面図、図１０Ｂは要部斜視図である。 図１１はグリス供給装置の断面説明図である。 図１２は実施例１の複合型真空ポンプの制御部が備えている各機能をブロック図（機能ブロック図）で示した図である。 図１３は本発明の実施例１の複合型真空ポンプのグリス供給処理のフローチャートである。 図１４は実施例２のグリス供給装置の断面説明図であり、実施例１の図１１に対応する図である。 図１５は実施例３のグリス供給装置の断面説明図であり、実施例１の図１１に対応する図である。 図１６は本発明の実施例４の複合型真空ポンプの説明図であり、実施例１の図１に対応する図である。

符号の説明

Ｃ２…グリス自動供給部材制御手段、
Ｃ２Ｂ…グリス供給開始判別手段、
Ｇ２…グリス供給路、
Ｇ２ａ…グリス排出口、
Ｇ２ｂ…グリス補給口、
ＧＰ…グリス供給装置、
ＭＧ…グリス供給モータ、
Ｐ…真空ポンプ、
ｔ１…使用時間、
ｔａ…グリス供給開始判別時間、
ＴＭ１…真空ポンプ使用時間計測手段、
１…ロータ軸、
２…ハウジング、
６…ロータ、
６ｂ＋８…気体移送部、
１１…ステータ、
１１，２１，３１…固定部材、
３１ａ…ロータ軸貫通孔、
３１…軸受支持部材、
３６…軸受、
７１…渦流ステータ、
７３…ステータ本体、
７６〜７９…リング状流路、
１０１，１０２…渦流ロータ、
１０４…ロータ本体、
１１１，１１３…渦流翼、
１１２，１１６…リング状渦流翼列、
１２１…グリス収容容器、
１２４…ネジ溝、
１２８…逆止弁、
１３１，１３２…グリス押出し部材、
１３８…ネジ山形成部材、
１３９…グリス自動供給部材。

Claims (5)

1. 下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする真空ポンプ、
   （Ａ01）真空ポンプの外壁を構成するハウジングに固定支持され且つロータ軸貫通孔が形成された軸受支持部材を有する固定部材、
   （Ａ02）前記ロータ軸貫通孔を貫通し、一端部が前記ハウジング内部に突出して配置されたロータ軸と、前記ロータ軸の前記一端部に固着された回転部材、
   （Ａ03）前記軸受支持部材に支持され且つ、前記ロータ軸の前記一端部近傍を回転可能に支持し、グリスにより潤滑される軸受、
   （Ａ04）固定部材の外側面に形成され且つグリスが補給されるグリス補給口と、前記軸受にグリスを供給するグリス排出口とを有し、前記固定部材に形成されたグリス供給路、
   （Ａ05）前記グリス補給口にグリスを供給するグリス供給装置。
2. 下記の構成要件（Ａ01），（Ａ02′），（Ａ03）〜（Ａ05）を備えたことを特徴とする真空ポンプ、
   （Ａ01）真空ポンプの外壁を構成するハウジングに固定支持され且つロータ軸貫通孔が形成された軸受支持部材を有する固定部材、
   （Ａ02′）前記ロータ軸貫通孔を貫通するロータ軸と、前記ロータ軸の一端部に連結され且つ前記軸受支持部材の外側を囲むように配置された気体移送部とを有し、回転駆動時に気体を移送するロータ、
   （Ａ03）前記軸受支持部材に支持され且つ、前記ロータ軸の前記一端部近傍を回転可能に支持し、グリスにより潤滑される軸受、
   （Ａ04）固定部材の外側面に形成され且つグリスが補給されるグリス補給口と、前記軸受にグリスを供給するグリス排出口とを有し、前記固定部材に形成されたグリス供給路、
   （Ａ05）前記グリス補給口にグリスを供給するグリス供給装置。
3. 下記の構成要件（Ａ06），（Ａ07）を備えたことを特徴とする請求項１または２記載の真空ポンプ、
   （Ａ06）前記ロータ軸の前記一端部とは異なる他端部に固着され且つ前記ハウジングに対して回転自在に支持された円板状のロータ本体と、前記ロータ本体の端面に半径の異なる複数の同心円に沿って所定の間隔で配置された複数の渦流翼により構成された複数のリング状渦流翼列と、を有する渦流ロータ、
   （Ａ07）前記固定部材に対して回転不能に支持されたステータ本体と、複数の前記リング状渦流翼列に対応して前記ステータ本体に形成された複数のリング状流路とを有し、前記渦流ロータ回転時に前記リング状流路内で渦流を発生させることにより気体を圧縮して排出する渦流ステータ。
4. 下記の構成要件（Ａ08）を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか記載の真空ポンプ、
   （Ａ08）前記軸受支持部材と、前記ロータの内側に配置され且つ前記軸受支持部材を囲むように配置されたステータとを有する前記固定部材。
5. 下記の構成要件（Ａ09）〜（Ａ012）を備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか記載の真空ポンプ、
   （Ａ09）軸受に供給するグリスを収容するグリス収容容器と、
   前記グリス収容容器内の容積を小さくすることにより、前記グリス収容容器内のグリスを前記グリス補給口に供給するグリス押出し部材と、
   前記グリス収容容器内の容積が小さくなるように前記グリス押出し部材を移動させるグリス自動供給部材と、
   を備えた前記グリス供給装置、
   （Ａ010）真空ポンプの使用時間を計測する真空ポンプ使用時間計測手段、
   （Ａ011）前記真空ポンプの使用時間が、設定されたグリス供給開始判別時間以上になったか否かを判別するグリス供給開始判別手段、
   （Ａ012）前記真空ポンプの使用時間が、前記グリス供給開始判別時間以上になった場合に、前記グリス自動供給部材を作動させて所定量のグリスを供給するグリス自動供給部材制御手段。
   
   

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