CN113202808A - 具有润滑剂供应系统的涡轮分子泵 - Google Patents

Abstract

本发明涉及具有润滑剂供应系统的涡轮分子泵。一种涡轮分子泵具有：壳体（120）；转子轴（24），其由多个轴承（32、34）支撑以便围绕旋转轴线（26）相对于壳体旋转；偏转器（40）；润滑剂供应系统（36）；以及润滑剂传递装置（38），其设置在转子轴上。轴承包括滚动轴承（32），该滚动轴承经由润滑剂传递装置从润滑剂供应系统接收润滑剂。滚动轴承安置在润滑剂传递装置和偏转器中间，并且偏转器被构造成使穿过所述滚动轴承的润滑剂相对于转子轴向外偏转。

Description

具有润滑剂供应系统的涡轮分子泵

技术领域

本发明是申请号为201780061904.7的中国专利申请的分案申请。本发明涉及涡轮分子泵润滑剂供应系统。

背景技术

涡轮分子泵包括转子，转子包括多个盘，所述盘安装在转子轴上以便相对于以与转子盘成交错关系安置的多个定子盘旋转。转子轴由轴承布置支撑，该轴承布置可包括位于轴的相应端部处或相应端部中间的两个轴承。上轴承可以呈磁轴承的形式，并且下轴承通常是滚动轴承。

通常的滚动轴承包括：内座圈，其相对于转子轴固定；外座圈；以及多个滚动元件，其位于这些座圈之间以便允许内座圈和外座圈的相对旋转。为了防止滚动元件之间的相互接触，它们常常由保持架引导并均匀地间隔开。充分的润滑对于确保滚动轴承的准确且可靠的操作而言至关重要。润滑剂的主要目的是建立负荷承载膜以在滚动和滑动接触中分离轴承部件，以便使摩擦和磨损最小化。其他目的包括防止轴承部件的氧化或腐蚀、形成对污染物的屏障以及将热传递远离轴承部件。润滑剂通常呈油或油脂（油和增稠剂的混合物）中的任一者的形式。

使用油润滑轴承的涡轮分子泵需要给油系统以在轴承的接触区域之间馈给油。这使得油能够执行冷却以及润滑，并由此准许轴承以更快的速度运转。涡轮分子真空泵传统上使用芯吸系统以便向滚动轴承供应油。在此类系统中，由油储存器供应的毡芯向安装在轴上的圆锥形“给油”螺母馈给油。当轴旋转时，油沿螺母的圆锥形表面行进到轴承。然后，油穿过轴承并在重力的影响下返回储存器。

从中供应毡芯的油储存器可包括两个堆叠，这两个堆叠包括毡层，这些毡层抵靠毡芯的相应主表面安置使得毡芯夹在这两个堆叠之间。

向轴承馈给油的馈给速率可受到许多因素的影响，包括圆锥形螺母的锥角、油从芯到螺母的传递速率、螺母的圆锥形表面的表面光洁度、温度和轴的旋转速度。

发明内容

本发明提供一种润滑剂供应系统，其包括：

润滑剂储存器主体；

指状物，其从所述润滑剂储存器主体向内突出；

润滑剂返回构件；以及

保持器，其具有用以保持所述润滑剂储存器主体的主要保持器主体和返回构件保持器主体，所述返回构件保持器主体从所述主要保持器主体延伸以保持所述润滑剂返回构件，所述润滑剂返回构件延伸穿过设置在所述主要保持器主体中的孔口。

本发明提供一种涡轮分子泵，其包括：

壳体；

安置在所述壳体中的泵送机构，所述泵送机构包括具有旋转轴线的转子轴；

多个轴承，其支撑所述转子轴以便围绕所述旋转轴线相对于所述壳体旋转，所述多个轴承包括滚动轴承；

偏转器；

润滑剂供应系统；

润滑剂传递装置，其设在所述转子轴上以将润滑剂从所述润滑剂供应系统传递到所述滚动轴承；以及

收集通道，

其中，所述滚动轴承安置在所述润滑剂传递装置和所述偏转器中间，并且所述偏转器被构造成使穿过所述滚动轴承的润滑剂相对于所述转子轴向外偏转，所述偏转器被构造成使所述润滑剂偏转到所述收集通道中，

其中，所述润滑剂供应系统包括：润滑剂储存器主体；指状物，其从所述储存器主体向内突出以接合所述润滑剂传递装置；以及润滑剂返回构件，其从所述润滑剂储存器主体延伸到所述收集通道以将润滑剂从所述收集通道传递到所述润滑剂储存器主体，并且

其中，所述涡轮分子泵还包括保持器，所述保持器具有：主要保持器主体，其用以保持所述润滑剂储存器主体；以及返回构件保持器主体，其从所述主要保持器主体延伸以保持所述润滑剂返回构件，所述润滑剂返回构件延伸穿过设置在所述主要保持器主体中的孔口。

附图说明

在以下公开内容中，将参考附图，附图中：

图1是涡轮分子真空泵的示例的示意性表示；

图2是穿过图1的涡轮分子真空泵的轴承和润滑剂供应系统的剖视图；

图3是图2的一部分的放大图；

图4是图2的润滑剂供应系统中的润滑剂循环路径的示意性图示；

图5是图示针对润滑剂供应系统的改型的平面图；

图6是示出针对润滑剂供应系统的另一种改型的平面图；

图7是穿过用于润滑剂供应系统的替代性偏转器的示例的剖视图；以及

图8是对应于图2的视图，其中涡轮分子泵处于倒置状态。

具体实施方式

参考图1，涡轮分子泵10包括壳体12、安置在壳体中的泵送机构14、入口16和出口18。泵送机构14包括涡轮分子泵送机构，该涡轮分子泵送机构包括以与多个定子盘22成交错关系安置的多个转子叶片20。转子叶片20安装在转子轴24上或与转子轴24一体化，该转子轴24具有纵向轴线（旋转轴线）26。转子轴24由马达28驱动以围绕旋转轴线26旋转。泵送机构14可额外地包括分子拖曳泵送机构30，该分子拖曳泵送机构可以是Gaede机构、Holweck机构或Siegbahn机构。在分子拖曳泵送机构的下游可存在额外的或替代性机构，诸如包括再生机构的空气动力泵送机构。

转子轴24由多个轴承32、34支撑。所述多个轴承可包括如图所示的定位成在转子轴24的相应端部处或邻近相应端部处或者替代性地在端部中间的两个轴承32、34。在由图1所图示的示例中，滚动轴承32支撑转子轴24的第一端部部分，并且磁轴承34支撑转子轴24的第二端部部分。第二滚动轴承可用作磁轴承34的替代方案。当使用磁轴承34时，可以任选地设置备用滚动轴承（未示出）。

涡轮分子泵10额外地包括：润滑剂供应系统36；以及润滑剂传递装置38，其设置在转子轴24上以将润滑剂从润滑剂供应系统传递到滚动轴承32。润滑剂供应系统36可包括安装在转子轴24上的偏转器40。

参考图2和图3，滚动轴承32设置在转子轴24的第一端部部分和真空泵10的轴承壳体42之间。轴承壳体42可与壳体12或配合于壳体的部件一体化，如图2中所示。滚动轴承32包括：内座圈44，其相对于转子轴24固定；外座圈46，其相对于轴承壳体42固定；多个滚动元件48，其安置在内座圈和外座圈之间；以及保持架50，其被构造成在滚动元件之间提供期望的间距。滚动轴承32被构造成允许内座圈44和外座圈46的相对旋转，使得它能够在转子轴24相对于壳体12的旋转期间支撑该转子轴24。从润滑剂供应系统36向滚动轴承32供应润滑剂以建立负荷承载膜，该负荷承载膜将滚动元件48与内座圈44和外座圈46分离以使摩擦和磨损最小化。润滑剂是液体，并且可以是油。

润滑剂供应系统36包括：润滑剂储存器主体54(1)、54(2)；指状物56，其从润滑剂储存器主体向内突出以接合润滑剂传递装置38，从而将润滑剂从润滑剂储存器主体传递到润滑剂传递装置；以及润滑剂返回构件58。在图示的示例中，指状物56由与润滑剂储存器主体54(1)、54(2)接合的一体式主体构件60与润滑剂返回构件58连接。可能有利的是，将指状物56、润滑剂返回构件58和主体构件60形成为一件式以既促进组装又避免在元件之间具有可能损害润滑剂流动的界面。指状物56和润滑剂返回构件58可安置成行（in line）。使指状物56和润滑剂返回构件58对齐可改进从润滑剂返回构件到指状物的润滑剂递送。

主体构件60可以是大致平面的构件，其具有第一主面62和安置成与第一主面相对的第二主面64，并且润滑剂储存器主体可包括分别接合主体构件60的第一主面62和第二主面64的相应的单独主体部分54(1)、54(2)。主体构件60可以是大致环形的构件，并且指状物56可从环形主体构件的内周边66大致径向向内突出，以接合润滑剂传递装置38。在配合于涡轮分子泵10之前，指状物56可大致在主体构件60的平面中延伸。为了确保与润滑剂传递装置38的接合，指状物56的尺寸适合于使得其在接合润滑剂传递装置时偏转。例如，指状物56的尺寸可以适合于并且指状物56可布置成使得其偏转离开主体构件60的平面，如图4中所示。

润滑剂返回构件58可具有矩形横截面，并且可从主体构件60的外周边67延伸。如指状物56的情况那样，在配合之前，润滑剂返回构件58可在主体构件60的平面中延伸。这促进通过冲裁/冲压工艺来生产指状物56、润滑剂返回构件58和一体式主体构件60。在使用中，润滑剂返回构件58可弯曲离开主体构件60的平面。尽管不是必需的，但在一些示例中，润滑剂返回构件58可弯曲，使得其大致垂直于主体构件60延伸，并且可大致平行于转子轴24的旋转轴线26延伸。

润滑剂储存器主体54(1)、54(2)、指状物56、润滑剂返回构件58和主体构件60可由稳定的纤维材料或能够通过毛细作用或芯吸作用传导润滑剂的材料制成。纤维材料可以是天然的或合成的，并且在一些示例中可以是毛毡材料。润滑剂储存器主体54(1)、54(2)、指状物56、润滑剂返回构件58和主体构件60可由相同的纤维材料制成，不过在一些示例中，可使用不同的纤维材料。尽管不是必需的，但润滑剂储存器主体的一个或两个主体部分54(1)、54(2)可包括一个堆叠在另一个上的多个相对薄的纤维材料层，如图2、图3和图8中所示。

润滑剂供应系统36还可包括收集通道68，该收集通道被构造成经由润滑剂传递装置38接收已被供应到滚动轴承32且然后穿过轴承的润滑剂。收集通道68具有下游端部70和上游端部72，该上游端部72安置成相对地更靠近转子轴24以接收已穿过滚动轴承32的润滑剂。收集通道68可相对于转子轴24径向向外延伸，以将收集的润滑剂引导远离转子轴。润滑剂返回构件58的上游端部74可安置成在收集通道68的下游端部70处或邻近下游端部70，以接收来自收集通道68的润滑剂并将其返回至润滑剂储存器主体54(1)、54(2)。尽管不是必需的，但在一些示例中，吸收收集器主体76可安置在收集通道68中。收集器主体76可由纤维材料制成，该纤维材料通过毛细作用或芯吸作用将润滑剂从收集通道68的上游端部72传递到下游端部70。收集器主体76可由与润滑剂储存器主体54(1)、54(2)、指状物56、润滑剂返回构件58和主体构件60中的一个或多个相同的纤维材料制成。收集器主体76可具有端部部分，该端部部分从收集通道66的下游端部70向外突出以确保与润滑剂返回构件58的上游端部74接合。

润滑剂传递装置38可以是固定到转子轴24的圆锥形套筒。润滑剂传递装置38具有外表面，该外表面在其接近滚动轴承32时径向向外逐渐成锥形。转子轴24和润滑剂传递装置38可分别设有阳型螺纹和阴型螺纹，以使得润滑剂传递装置能够以螺母的方式旋拧于转子轴上。替代性地，润滑剂传递装置38可简单地滑动到转子轴24上并借助于螺母、螺栓、螺钉或其他合适的固定器件固定到转子轴。

偏转器40安装在转子轴24上，使得滚动轴承32安置在偏转器和润滑剂传递装置38之间。偏转器40的定位使得从润滑剂传递装置38传递到滚动轴承32并穿过该滚动轴承32的润滑剂可撞击在偏转器上。偏转器40被构造成使穿过滚动轴承32的润滑剂偏转到收集通道68中。

仍然参考图2和图3，偏转器40可以是环形主体，其具有面向滚动轴承32的第一主表面80，以及指向相对方向的主表面82，其抵接由转子轴24的直径减小的部段限定的肩部84。肩部84安置成邻近孔86，该孔86设置在将泵送机构14与滚动轴承82分离的分隔件88中。分隔件88可以是壳体12的一体部分，或者是配合于壳体12内并固定到壳体12的元件。孔86由孔壁限定，该孔壁相对于旋转轴线26安置在围绕所述旋转轴线周向延伸的偏转器的至少一部分的径向向内处。因此，偏转器40被构造成使得其外周边90安置在孔86的径向向外处，使得孔被偏转器覆盖。参考图2，能够看出的是，孔86的壁安置成与旋转轴线26相距第一径向距离，偏转器40的外周边90安置成与旋转轴线相距第二径向距离，该第二径向距离大于第一径向距离，收集通道68的上游端部72安置成与旋转轴线相距第三径向距离，并且第二径向距离等于或大于第三径向距离。因此，偏转器40被构造成遮蔽孔86以防已穿过滚动轴承32的润滑剂的进入并使润滑剂偏转或转向到收集通道68中。

第一主表面80可包括相对于转子轴24的旋转轴线26倾斜的表面。倾斜可使得倾斜表面在其接近孔86和壁88时径向向外逐渐成锥形。倾斜表面可包括整个第一主表面82或者仅形成第一主表面的倾斜的环形带部分。

参考图2，润滑剂供应系统36可包括保持器90，以保持润滑剂储存器主体54(1)、54(2)、润滑剂构件58和主体构件60。保持器90可包括主要保持器主体92，该主要保持器主体在每个端部处敞开并且被构造成接收储存器主体54(1)、54(2)和主体构件60。主要保持器主体92的内端部可包括横向延伸的环形唇部93，该环形唇部93与返回构件保持器主体94连接。返回构件保持器主体94可与主要保持器主体92一体化、固定到主要保持器主体、或者安置在涡轮分子真空泵10中，使得其抵接主要保持器主体的内端部。返回构件保持器主体94可以是细长主体，其限定被构造成接收润滑剂返回构件58的纵长延伸通道96。返回构件保持器主体94可安置成邻近主要保持器主体92的外周边。主要保持器主体92的内端部可设有孔口，该孔口被构造成允许润滑剂返回构件58从主要保持器主体延伸穿过唇部93并进入通道96中。返回构件保持器94和通道96中的一个或两个可至少大致平行于旋转轴线26延伸。通道96的尺寸可适合于使得对于润滑剂返回构件58而言是滑动配合，以使得其能够保持和支撑润滑剂返回构件。在润滑剂返回构件58和限定通道96的壁之间设置相对紧密的配合可促进润滑剂通过壁和润滑剂返回构件之间的毛细作用沿润滑剂构件的传递。返回构件保持器主体94的安置成远离主要保持器主体92并邻近收集通道68的下游端部70的端部可设有凹部或凹口98，该凹部或凹口98被构造成允许收集器主体76突出到通道96中以促进润滑剂返回构件58和收集器主体之间的接合。尽管不是必需的，但保持器90可包括一个或多个塑料模制件。

参考图2，保持器90可被接收在设置在壳体12的端部处的凹部100中。凹部100的内端部可至少部分地由壁88限定。滚动轴承32被装纳在凹部100中。保持器90可由端帽102在凹部100中保持在恰当位置，该端帽102可通过螺栓104、夹具、螺钉或任何其他合适的固定机构固定到壳体12。通过保持器90的合适尺寸使得其与润滑剂返回构件58和润滑剂储存器主体54(1)、54(2)的外周边67成紧密配合，润滑剂储存器主体54(1)、54(2)、指状物56和润滑剂构件58能够通过首先将这些零件配合在保持器中然后将保持器插入壳体12内来快速且准确地安装在壳体12中。

参考图4，当转子轴24围绕旋转轴线26旋转时，经由指状物56传递到润滑剂传递装置38的润滑剂沿润滑剂传递装置的锥形外表面移动并进入滚动轴承32中。穿过滚动轴承32的润滑剂撞击在偏转器40的第一主表面80上，该第一主表面使润滑剂朝向收集通道68偏转或抛掷，在收集通道68处，润滑剂被收集器主体76吸收。收集在收集器主体76中的润滑剂通过毛细作用或芯吸作用迁移到收集通道68的下游端部70，并传入润滑剂返回构件58内，收集在收集器主体76中的润滑剂经由该润滑剂返回构件58返回润滑剂储存器主体54(1)、54(2)。因此，供应到滚动轴承32的润滑剂能够有效地返回到润滑剂储存器主体54(1)、54(2)以便再循环。

收集通道68可以是环绕转子轴的环形通道或通路，使得收集通道的上游端部72由环形通道的内圆周限定并且下游端部70由环形收集通道的外圆周限定。在一些示例中，环形收集器主体76可配合在收集通道68中，在这种情况下，润滑剂返回构件58的上游端部可在收集器主体的外周边处或邻近收集器主体的外周边抵接收集器主体。在一些示例中，可省略吸收收集器主体76，在这种情况下，润滑剂返回构件58的上游端部74可安置在收集通道68中，使得在使用中，它与淤积（pool）在收集通道中的润滑剂直接接触。如下文参考图6更详细地描述的那样，在一些示例中，收集通道68可包括具有径向向外延伸到润滑剂返回构件58的通道的环形部分，并且可存在安置在收集通道中的吸收收集器主体76，其包括环形主体部分和径向延伸的突出部（tab）。

在图1和图2中，润滑剂供应系统36被示为包括一个指状物56和一个润滑剂返回构件58。然而，在一些示例中，可存在多个指状物56或润滑剂返回构件58。例如，如图5中所示，可存在围绕主体构件60的内周边66以等间隔关系安置的三个指状物56和围绕主体构件的外周边67以等间隔关系安置的三个润滑剂返回构件58。尽管不是必需的，但指状物56和润滑剂返回构件58的布置可使得每个指状物与相应的润滑剂返回构件对齐。在使用保持器（诸如，保持器90）的示例中，保持器可设有用于返回构件58的相应的返回构件保持器主体94。如果存在多个润滑剂返回构件58，则保持器（诸如，保持器90）可证明是特别有用的，因为它提供了在壳体12外侧将润滑剂返回构件58定位在返回构件保持器主体94内且然后简单地将组件插塞入壳体中的可能性，而不是必须单独地操纵润滑剂返回构件进入壳体内的适当位置。

图6示出可用在润滑剂供应系统36中的收集器主体76，该润滑剂供应系统36包括三个润滑剂返回构件，如图5中通过示例所示。收集器主体76具有环形主体部分，该环形主体部分被构造成被接收在由壁88限定的收集通道的环形部分中。收集通道的侧壁110、112中的至少一个可设有延伸到收集通道内的突起114，并且收集器主体76可设有接收这些突起的匹配的凹部或凹口116。收集通道包括径向向外延伸的通道118，所述通道118延伸到返回构件保持器主体94以接收从收集器主体76的环形主体部分的外周边突出的相应突出部120。突出部120在收集器主体76和润滑剂返回构件58之间提供连续的润滑剂传导纤维路径。

由返回构件保持器主体94限定的通道96可仅在相对的端部处敞开，使得它们沿润滑剂返回构件的长度完全封闭润滑剂返回构件58。然而，如图6中所示，返回构件保持器主体94可具有至少一个纵长延伸槽122，该纵长延伸槽122在返回构件保持器主体94的长度的至少一部分上在其端部中间提供对润滑剂返回构件58的通达。槽122可辅助在组装期间使润滑剂返回构件58沿返回构件保持器主体94穿过。

图7示出偏转器40的另一个示例。偏转器40具有孔124，该孔124的尺寸适合于允许使偏转器滑动到转子轴24上以使第二主表面82与肩部84抵接。偏转器40可由回弹性材料制成，并且设有邻近孔124的一个或多个切口126以围绕孔提供增加的挠曲。这可允许具有孔的偏转器40的配合，其中该孔的尺寸适合于与转子轴24略微过盈配合以在不使用螺母或其他形式的固定器件的情况下提供对偏转器的保持。切口126可采取偏转器内的凹部或中空部的形式，如图7中所示。在其他示例中，可存在切口126，其可采取可沿孔124的轴向方向延伸的锯齿或者安置在孔124的径向向外处但邻近孔124的孔口的形式。例如，切口可包括围绕孔124安置的一系列通孔。偏转器40可由塑料材料制成，例如作为塑料模制件。

任选地，偏转器40可包括液滴形成部130，该液滴形成部130被构造成防止润滑剂从第一主表面80越过第二主表面82流至转子轴24。在图示的示例中，液滴形成部130包括周向延伸的裙部。裙部可安置在偏转器140的外周边90处。在偏转器40的径向方向上，裙部优选地是相对薄的，以便提供不至少相对于转子轴24陡峭地倾斜的相对小的表面区域。尽管裙部被示为安置在偏转器40的外周边90处，但这不是必需的，并且在一些示例中，裙部可安置在第二主表面82上在外周边的径向向内的位置处，只要其布置成使得从裙部滴落的任何润滑剂将远离转子轴24落下并且优选地直接落入收集通道内。

在图示的示例中，液滴形成部130被示为裙部。在其他示例中，液滴形成部可包括周向延伸的沟槽或（一个或多个）其他成型部，所述成型部破坏第二主表面82以引起流至第二主表面82上的润滑剂形成液滴，使得至少大致防止润滑剂越过第二主表面流至转子轴24。

偏转器的第一主表面80可设有成型部132，所述成型部132被构造成引起撞击在第一主表面上的润滑剂从偏转器40径向向外地被抛掷以收集在收集通道68中。成型部132可包括从第一主表面130突出的翅片。

图8是对应于图2的视图，其示出在倒置状态中被使用并与图7中所示的偏转器40配合的涡轮分子真空泵10。润滑剂返回构件58的设置允许涡轮分子真空泵10以任何取向被使用，包括图8中所示的倒置位置以及图2和图8中所示的位置之间的整个范围的倾斜位置。即使在倾斜位置和图8中所示的倒置位置中，液体润滑剂也能够被供应到滚动轴承32并返回润滑剂储存器主体54(1)、54(2)，以便再次供应到滚动轴承。因此，提供了润滑剂再循环回路。

偏转器40可起作用以防止润滑剂沿转子轴24迁移到泵送机构14内。当涡轮分子泵10在倒置或倾斜位置中被使用并且静止时，润滑剂迁移到泵送机构内可能是特别的问题。这是因为当泵停止时存在于滚动轴承32中和润滑剂传递装置38上的润滑剂将倾向于沿转子轴24排入泵送机构中。在图示的示例以及具体地图8中图示的示例中，偏转器40将使任何此类润滑剂偏转到收集通道68中。

在图示的示例中，偏转器安装在转子轴上。在一些示例中，偏转器可设置在滚动轴承上，例如在内座圈上。

图示的涡轮分子真空泵具有转子承载轴，该转子承载轴仅支撑在两个轴承（或者机械的或者磁的）之间。其他涡轮分子泵可具有由轴承支撑的转子轴，使得转子被悬臂支撑。如先前所描述的那样，轴承可以是滚动轴承或者滚动轴承和磁轴承的组合。将理解的是，上文描述的润滑供应系统和偏转器可被应用于此类涡轮分子泵。

Claims (17)

1.一种润滑剂供应系统，其包括：

润滑剂储存器主体；

指状物，其从所述润滑剂储存器主体向内突出；

润滑剂返回构件；以及

保持器，其具有用以保持所述润滑剂储存器主体的主要保持器主体和返回构件保持器主体，所述返回构件保持器主体从所述主要保持器主体延伸以保持所述润滑剂返回构件，所述润滑剂返回构件延伸穿过设置在所述主要保持器主体中的孔口。

2.根据权利要求1所述的润滑剂供应系统，其中，所述系统还包括收集通道，所述润滑剂返回构件从所述润滑剂储存器主体延伸至所述收集通道以将润滑剂从所述收集通道传递至所述润滑剂储存器主体。

3.一种涡轮分子泵，其包括：

壳体；

安置在所述壳体中的泵送机构，所述泵送机构包括具有旋转轴线的转子轴；

多个轴承，其支撑所述转子轴以便围绕所述旋转轴线相对于所述壳体旋转，所述多个轴承包括滚动轴承；

偏转器；

润滑剂供应系统；

润滑剂传递装置，其设置在所述转子轴上以将润滑剂从所述润滑剂供应系统传递到所述滚动轴承；以及

收集通道，

其中，所述滚动轴承安置在所述润滑剂传递装置和所述偏转器中间，并且所述偏转器被构造成使穿过所述滚动轴承的润滑剂相对于所述转子轴向外偏转，所述偏转器被构造成使所述润滑剂偏转到所述收集通道中，

其中，所述润滑剂供应系统包括：润滑剂储存器主体；指状物，其从所述储存器主体向内突出以接合所述润滑剂传递装置；以及润滑剂返回构件，其从所述润滑剂储存器主体延伸到所述收集通道以将润滑剂从所述收集通道传递到所述润滑剂储存器主体，并且

其中，所述涡轮分子泵还包括保持器，所述保持器具有：主要保持器主体，其用以保持所述润滑剂储存器主体；以及返回构件保持器主体，其从所述主要保持器主体延伸以保持所述润滑剂返回构件，所述润滑剂返回构件延伸穿过设置在所述主要保持器主体中的孔口。

4.根据权利要求3所述的涡轮分子泵，其中，所述壳体设有凹部，所述保持器被接收在所述凹部中。

5.根据权利要求4所述的涡轮分子泵，其中，所述保持器由固定到所述壳体的端帽在所述凹部中被保持在恰当位置。

6.根据权利要求3-5中的任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述保持器被构造成使得所述润滑剂储存器主体、所述指状物和所述润滑剂返回构件能够定位在所述保持器中并且所述保持器能够被插入所述壳体中。

7.根据权利要求3-6中的任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述偏转器包括面向所述滚动轴承的上游主表面，所述上游主表面包括相对于所述旋转轴线倾斜的表面。

8.根据权利要求3-7中的任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述偏转器包括：下游主表面，其背向所述滚动轴承；以及液滴形成部，其被构造成引起流动越过所述下游主表面的润滑剂形成小滴，所述小滴从所述偏转器滴注以防止润滑剂越过所述下游主表面流至所述转子轴。

9.根据权利要求8所述的涡轮分子泵，其中，所述液滴形成部包括安置在所述下游主表面上的周向延伸的裙部。

10.根据权利要求3-9中的任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述偏转器由聚合物制成。

11.根据权利要求3-10中的任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述偏转器安装在所述转子轴上。

12.根据权利要求11所述的涡轮分子泵，其中，所述偏转器具有接收所述转子轴的匹配部分的孔，并且设有至少一个切口以提供邻近所述孔的挠曲。

13.根据权利要求3-12中的任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述收集通道具有安置成与所述旋转轴线相距第一径向距离的上游端部，所述偏转器具有安置成与所述旋转轴线相距第二径向距离的外周边，并且所述第二径向距离至少等于所述第一径向距离。

14.根据权利要求3-13中的任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述润滑剂供应系统还包括吸收收集器主体，所述吸收收集器主体安置在所述收集通道中并与所述润滑剂返回构件接合。

15.根据权利要求3-14中的任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述指状物和所述润滑剂返回构件通过一体式主体构件连接。

16.根据权利要求15所述的涡轮分子泵，其中，所述主体构件是具有第一主面和第二主面的平面主体，并且所述储存器主体接合至少一个所述主面。

17.根据权利要求3-16中的任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述转子轴延伸穿过设置在安置于所述壳体中的分隔件中的孔，并且所述孔安置在所述偏转器和所述泵送机构之间并由孔壁限定，所述孔壁相对于所述旋转轴线安置在围绕所述旋转轴线周向延伸的所述偏转器的至少一部分的径向向内处。

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