JP7036793B2 - 潤滑剤供給システムを有するターボ分子ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、ターボ分子ポンプ潤滑剤供給システムに関する。

ターボ分子ポンプは、複数の固定子ディスクに対する回転のために回転子シャフト上に装着された複数のディスクを含む回転子を含み、複数の固定子ディスクは、回転子ディスクとの交互配置関係に配置される。回転子シャフトは、シャフトのそれぞれの端部に又はその中間に位置付けられた２つの軸受を含むことができる軸受配置によって支持される。上側軸受は、磁気軸受の形態にある場合があり、下側軸受は、典型的には転がり軸受である。

典型的な転がり軸受は、回転子シャフトに対して固定された内輪と、外輪と、内輪と外輪の相対回転を可能にするために両輪間に位置付けられた複数の転がり要素とを含む。転がり要素間の相互接触を防止するために、それらは、多くの場合にケージによって案内されて均等に離間される。転がり軸受の正確かつ確実な作動を保証するために適度な潤滑が不可欠である。潤滑剤の主な目的は、摩擦及び摩耗を最小にするために荷重担持フィルムを確立して転がり及び滑り接触状態にある軸受構成要素を分離することである。他の目的は、軸受構成要素の酸化又は腐食の防止、汚染物に対する障壁の形成、及び軸受構成要素から離れる熱の伝達を含む。潤滑剤は、一般的に、オイル又はグリース（オイル及び増粘剤の混合物）のいずれかの形態にある。

オイル潤滑式軸受を用いるターボ分子ポンプは、軸受の接触区域間にオイルを給送するオイル給送システムを必要とする。これは、オイルが冷却、並びに潤滑を行うことを可能にし、それによって軸受がより高速で稼働することを可能にする。ターボ分子真空ポンプは、転がり軸受にオイルを供給するためのウィッキングシステム（wicking system）を従来から使用している。このようなシステムでは、オイルリザーバによって供給されるフェルト芯（felt wick）が、シャフト上に装着された円錐「オイル給送」ナットにオイルを給送する。シャフトが回転すると、オイルは、ナットの円錐面に沿って軸受に移動する。オイルは、次に、軸受を通過して重力の影響の下でリザーバに戻される。

フェルト芯に供給するオイルリザーバは、フェルト芯が２つのスタックの間に挟まれるようにフェルト芯のそれぞれの主面に当接して置かれたフェルトの層を含むことができる２つのスタックを含む。

軸受へのオイルの給送速度は、円錐ナットの先細角度、芯からナットへのオイルの移送速度、ナットの円錐面の面仕上げ、シャフトの温度及びその回転速度を含むいくつかのファクタによって影響を受ける場合がある。

本発明は、ハウジングと、ハウジングに配置され、回転軸を有する回転子シャフトを含むポンピング機構と、回転軸の周りのハウジングに対する回転のために回転子シャフトを支持し、転がり軸受を含む複数の軸受と、デフレクターと、潤滑剤供給システムと、潤滑剤を潤滑剤供給システムから転がり軸受に移送するために回転子シャフト上に設けられた潤滑剤移送デバイスとを含むターボ分子ポンプを提供し、転がり軸受は、潤滑剤移送デバイスとデフレクターの中間に配置され、デフレクターは、転がり軸受を通過する潤滑剤を回転子シャフトに対して外向きに偏向させるように構成される。

以下の開示では、図面を参照する。

ターボ分子真空ポンプの実施例の概略図である。 図１のターボ分子真空ポンプの軸受及び潤滑剤供給システムを通した断面図である。 図２の一部分の拡大図である。 図２の潤滑剤供給システム内の潤滑剤循環経路の概略図である。 潤滑剤供給システムに対する修正を示す平面図である。 潤滑剤供給システムに対する別の修正を示す平面図である。 潤滑剤供給システムのための代替デフレクターの実施例を通した断面図である。 ターボ分子ポンプが反転条件にある図２に対応する図である。

図１を参照すると、ターボ分子ポンプ１０は、ハウジング１２、ハウジングに配置されたポンピング機構１４、入口１６、及び出口１８を含む。ポンピング機構１４は、複数の固定子ディスク２２との相互配置関係に配置された複数の回転子ブレード２０を含むターボ分子ポンピング機構を含む。回転子ブレード２０は、長手軸（回転軸）２６を有する回転子シャフト２４上に又はこれと一体的に装着される。回転子シャフト２４は、モータ２８によって回転軸２６の周りに回転するように駆動される。ポンピング機構１４は、これに加えて、Ｇａｅｄｅ機構、Ｈｏｌｗｅｃｋ機構、又はＳｉｅｇｂａｈｎ機構である場合がある分子抵抗ポンピング機構３０を含むことができる。再生機構を含む空気力学的ポンピング機構のような追加又は代替機構が分子抵抗ポンピング機構の下流にある場合がある。

回転子シャフト２４は、複数の軸受３２、３４によって支持される。複数の軸受は、図示のように回転子シャフト２４のそれぞれの端部に又はそれに隣接して位置決めされた又はこれに代えて端部の中間に位置決めされた２つの軸受３２、３４を含むことができる。図１に示す例では、転がり軸受３２が、回転子シャフト２４の第１の末端部分を支持し、磁気軸受３４が、回転子シャフト２４の第２の末端部分を支持する。磁気軸受３４の代わりに、第２の転がり軸受を使用することができる。磁気軸受３４が使用された時に、予備転がり軸受（図示しない）を任意的に設けることができる。

ターボ分子ポンプ１０は、これに加えて、潤滑剤供給システム３６と、潤滑剤を潤滑剤供給システムから転がり軸受３２に移送するために回転子シャフト２４上に設けられた潤滑剤移送デバイス３８とを含む。潤滑剤供給システム３６は、回転子シャフト２４上に装着されたデフレクター４０を含むことができる。

図２及び図３を参照すると、転がり軸受３２は、回転子シャフト２４の第１の末端部分と真空ポンプ１０の軸受ハウジング４２との間に設けられる。軸受ハウジング４２は、ハウジング１２又は図２に示すようにハウジングに取り付けられた構成要素と一体である場合がある。転がり軸受３２は、回転子シャフト２４に対して固定された内輪４４と、軸受ハウジング４２に対して固定された外輪４６と、内輪と外輪の間に配置された複数の転がり要素４８と、転がり要素間に望ましい間隔を与えるように構成されたケージ５０とを含む。転がり軸受３２は、それがハウジング１２に対する回転子シャフトの回転中に回転子シャフト２４を支持することができるように、内輪４４と外輪４６の相対回転を可能にするように構成される。転がり軸受３２には、潤滑剤供給システム３６から潤滑剤が供給され、摩擦及び磨耗を最小にするために転がり要素４８を内輪４４及び外輪４６から分離する荷重担持フィルムを確立する。潤滑剤は、液体であり、かつオイルである場合がある。

潤滑剤供給システム３６は、潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）と、潤滑剤リザーバ本体の内向きに突出して潤滑剤移送デバイス３８と係合して潤滑剤を潤滑剤リザーバ本体から潤滑剤移送デバイスに移送するフィンガ５６と、潤滑剤戻り部材５８とを含む。図示の例では、フィンガ５６は、潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）によって係合された一体的本体部材６０によって潤滑剤戻り部材５８に接続される。フィンガ５６、潤滑剤戻り部材５８、及び本体部材６０をワンピース（一部品）に形成して組立を容易にし、かつ潤滑剤流れを損なう可能性がある要素間のインタフェースを有することを回避することが有利である場合がある。フィンガ５６と潤滑剤戻り部材５８は、一線に配置することができる。フィンガ５６と潤滑剤戻り部材５８を位置合わせさせることは、潤滑剤戻り部材からフィンガへの潤滑剤送出を改善することができる。

本体部材６０は、第１の主面６２と第１の主面の反対側に配置された第２の主面６４とを有するほぼ平面部材である場合があり、潤滑剤リザーバ本体は、本体部材６０の第１及び第２の主面６２、６４にそれぞれ係合するそれぞれ別々の本体部分５４（１）、５４（２）を含むことができる。本体部材６０は、概略環状部材である場合があり、フィンガ５６は、環状本体部材の内周６６からほぼ半径方向内向きに突出して潤滑剤移送デバイス３８と係合することができる。ターボ分子ポンプ１０に取り付ける前に、フィンガ５６は、ほぼ本体部材６０の平面内で延びることができる。潤滑剤移送デバイス３８との係合を保証するために、フィンガ５６は、それが潤滑剤移送デバイスに係合する時に偏向するようなサイズにすることができる。フィンガ５６は、例えば、それが図４に示すように本体部材６０の平面外に偏向するようなサイズにされ、かつそのように配置することができる。

潤滑剤戻り部材５８は、矩形断面を有することができ、かつ本体部材６０の外周６７から延びることができる。フィンガ５６と同様に、取り付ける前に、潤滑剤戻り部材５８は、本体部材６０の平面の中に延びることができる。これは、ブランキング／スタンピング工程によるフィンガ５６、潤滑剤戻り部材５８、及び一体的本体部材６０の生成を容易にする。使用時に、潤滑剤戻り部材５８は、本体部材６０の平面外に曲げることができる。必須ではないが、一部の例では、潤滑剤戻り部材５８は、それが本体部材６０に対してほぼ垂直に延び、かつ回転子シャフト２４の回転軸２６とほぼ平行に延びることができるように曲げることができる。

潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）、フィンガ５６、潤滑剤戻り部材５８、及び本体部材６０は、潤滑剤を毛管又はウィッキング作用によって誘導することができる１又は複数の安定繊維材料で作ることができる。繊維材料は、天然又は合成である場合があり、かつ一部の例ではフェルト材料である場合がある。潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）、フィンガ５６、潤滑剤戻り部材５８、及び本体部材６０は、同じ繊維材料で作ることができるが、一部の例では、異なる繊維材料を使用することができる。必須ではないが、潤滑剤リザーバ本体の一方又は両方の本体部分５４（１）、５４（２）は、図２、図３、及び図８に示すように互いの上に積み重ねた繊維材料の複数の比較的薄い層を含むことができる。

潤滑剤供給システム３６は、潤滑剤移送デバイス３８を通じて転がり軸受３２に供給された後で次に軸受を通過した潤滑剤を受け入れるように構成され収集チャネル６８を更に含むことができる。収集チャネル６８は、下流端７０及び転がり軸受３２を通過した潤滑剤を受け入れるために回転子シャフト２４に比較的より近く配置された上流端７２を有する。収集チャネル６８は、収集した潤滑剤を回転子シャフトから離れるように誘導するために回転子シャフト２４に対して半径方向外向きに延びることができる。潤滑剤戻り部材５８の上流端７４は、収集チャネル６８から潤滑剤を受け入れて潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）に戻すために収集チャネル６８の下流端７０に又はこれに隣接して配置することができる。必須ではないが、一部の例では、収集チャネル６８に吸収性収集器本体７６を配置することができる。収集器本体７６は、毛管又はウィッキング作用によって潤滑剤を収集チャネル６８の上流端７２から下流端７０に移送する繊維材料で作ることができる。収集器本体７６は、潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）、フィンガ５６、潤滑剤戻り部材５８、及び本体部材６０のうちの１又は２以上と同じ繊維材料で作ることができる。収集器本体７６は、潤滑剤戻り部材５８の上流端７４との係合を保証するために収集チャネル６６の下流端７０から外向きに突出する末端部分を有することができる。

潤滑剤移送デバイス３８は、回転子シャフト２４に固定された円錐スリーブである場合がある。潤滑剤移送デバイス３８は、それが転がり軸受３２に近づくにつれて半径方向外向きに先細になる外面を有する。回転子シャフト２４及び潤滑剤移送デバイス３８には、潤滑剤移送デバイスがナットの方式で回転子シャフトの上に螺入されることを可能にするようにそれぞれ雄及び雌ネジ山が設けられる。これに代えて、潤滑剤移送デバイス３８は、単に回転子シャフト２４の上に摺動し、ナット、ボルト、スクリュー、又は他の適切な固定手段によって回転子シャフトに固定することができる。

デフレクター４０は、転がり軸受３２がデフレクターと潤滑剤移送デバイス３８の間に配置されるように回転子シャフト２４上に装着される。デフレクター４０の位置決めは、転がり軸受を通過する潤滑剤移送デバイス３８から転がり軸受３２に移送された潤滑剤がデフレクター上に衝突することができるようなものである。デフレクター４０は、転がり軸受３２を通過する潤滑剤を収集チャネル６８の中に偏向させるように構成される。

引き続き図２及び図３を参照すると、デフレクター４０は、転がり軸受３２に面する第１の主面８０と、回転子シャフト２４の減径セクションによって定められる肩部８４に当接する反対方向に向いた主面８２とを有する環状本体である場合がある。肩部８４は、ポンピング機構１４を転がり軸受８２から分離する仕切り８８に設けられたボア８６に隣接して配置される。仕切り８８は、ハウジング１２の一体部品であるか、又はハウジング１２に嵌合されてこれに固定された要素である場合がある。ボア８６は、回転軸２６に関して回転軸の周りに周方向に延びるデフレクターの少なくとも一部分の半径方向内向きに配置されたボア壁によって定められる。すなわち、デフレクター４０は、その外周９０が、ボアがデフレクターによって覆われるように、ボア８６の半径方向外向きに配置されるように構成される。図２を参照すると、ボア８６の壁が、回転軸２６から第１の半径方向距離に配置され、デフレクター４０の外周９０が、第１の半径方向距離よりも大きい回転軸からの第２の半径方向距離に配置され、収集チャネル６８の上流端７２が、回転軸から第３の半径方向距離に配置され、第２の半径方向距離が、第３の半径方向距離に等しいか又はそれよりも大きいことを見ることができる。すなわち、デフレクター４０は、転がり軸受３２を通過した潤滑剤の進入に対してボア８６を遮蔽し、かつ潤滑剤を収集チャネル６８の中に偏向させる又は迂回させるように構成される。

第１の主面８０は、回転子シャフト２４の回転軸２６に対して傾斜した面を含むことができる。傾斜は、傾斜面が、それがボア８６及び壁８８に近づくにつれて半径方向外向きに先細になるようなものである場合がある。傾斜面は、第１の主面８２の全体を含むか、又は単に第１の主面の傾斜した環状帯部分を形成することができる。

図２を参照すると、潤滑剤供給システム３６は、潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）と、潤滑剤部材５８と、本体部材６０とを保持するためのホルダ９０を含むことができる。ホルダ９０は、各端で開いてリザーバ本体５４（１）、５４（２）及び本体部材６０を受け入れるように構成された主ホルダ本体９２を含むことができる。主ホルダ本体９２の内端は、戻り部材ホルダ本体９４に接続された横断方向に延びる環状リップ９３を含むことができる。戻り部材ホルダ本体９４は、主ホルダ本体９２と一体であるか、主ホルダ本体に固定されるか、又はそれが主ホルダ本体の内端に当接するようにターボ分子真空ポンプ１０に配置することができる。戻り部材ホルダ本体９４は、潤滑剤戻り部材５８を受け入れるように構成された長さ方向に延びるチャネル９６を定める細長本体である場合がある。戻り部材ホルダ本体９４は、主ホルダ本体９２の外周に隣接して配置することができる。主ホルダ本体９２の内端には、潤滑剤戻り部材５８が主ホルダ本体からリップ９３を通ってチャネル９６の中に延びることを可能にするように構成された開口を設けることができる。戻り部材ホルダ９４及びチャネル９６の一方又は両方は、少なくとも実質的に回転軸２６と平行に延びることができる。チャネル９６は、それが、それが潤滑剤戻り部材５８を保持して支持することを可能にする潤滑剤戻り部材５８に対する滑り嵌めであるような寸法にすることができる。潤滑剤戻り部材５８とチャネル９６を定める壁との間の比較的密接な嵌め合いを設けることは、壁と潤滑剤戻り部材間の毛管作用を通して潤滑剤部材に沿って潤滑剤の移送を容易することができる。主ホルダ本体９２から遠隔にかつ収集チャネル６８の下流端７０に隣接して配置された戻り部材ホルダ本体９４の端部には、収集器本体７６がチャネル９６の中に突出して潤滑剤戻り部材５８と収集器本体間の係合を容易にすることを可能にするように構成された凹部又は切り欠き９８を設けることができる。必須ではないが、ホルダ９０は、１又は２以上のプラスチック成形品を含むことができる。

図２を参照すると、ホルダ９０は、ハウジング１２の端部に設けられた凹部１００に受け入れることができる。凹部１００の内端は、少なくとも部分的に壁８８によって定めることができる。転がり軸受３２は、凹部１００内に収容される。ホルダ９０は、ボルト１０４、クランプ、スクリュー、又は他の適切な固定機構によってハウジング１２に固定することができる末端キャップ１０２によって凹部１００内の所定位置に保持することができる。ホルダ９０をそれが潤滑剤戻り部材５８と潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）の外周６７とに密接に適合するように適切な寸法にすることにより、潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）、フィンガ５６、及び潤滑剤部材５８は、最初に各部品をホルダに嵌め込み、次にホルダをハウジングに挿入することにより、ハウジング１２に迅速かつ正確に設置することができる。

図４を参照すると、回転子シャフト２４が回転軸２６の周りに回転すると、フィンガ５６を通じて潤滑剤移送デバイス３８に移送された潤滑剤は、潤滑剤移送デバイスの先細外面に沿って転がり軸受３２内に移動される。転がり軸受３２を通過する潤滑剤は、デフレクター４０の第１の主面８０上に衝突し、これは、潤滑剤をそれが収集器本体７６によって吸収される収集チャネル６８に向けて偏向させる又は放り出す。収集器本体７６に収集された潤滑剤は、毛管又はウィッキング作用によって収集チャネル６８の下流端７０に移動し、かつ潤滑剤戻り部材５８の中に通され、これを通じてそれは、潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）に戻される。すなわち、転がり軸受３２に供給された潤滑油は、再循環のために潤滑オイルリザーバ本体５４（１）、５４（２）に効果的に戻すことができる。

収集チャネル６８は、収集チャネルの上流端７２が環状チャネルの内周によって定められ、かつ下流端７０が環状収集チャネルの外周によって定められるように回転子シャフトを取り囲む環状チャネル又は通路である場合がある。一部の例では、環状収集器本体７６は、収集チャネル６８内に嵌め込むことができ、その場合に、潤滑剤戻り部材５８の上流端は、収集器本体の外周で又はそれに隣接して収集器本体に当接することができる。一部の例では、吸収性収集器本体７６は、省略することができ、その場合に、潤滑剤戻り部材５８の上流端７４は、使用時にそれが収集チャネル内の潤滑剤貯留部と直接に接触するように収集チャネル６８に配置することができる。以下で図６を参照して詳細に説明するように、一部の例では、収集チャネル６８は、潤滑剤戻り部材５８まで半径方向外向きに延びるチャネルを有する環状部分を含むことができ、環状本体部分と半径方向に延びるタブとを含む収集チャネルに配置された吸収性収集器本体７６が存在する場合がある。

図１及び図２では、潤滑剤供給システム３６は、１つのフィンガ５６と１つの潤滑剤戻り部材５８とを含んで示されている。しかし、一部の例では、複数のフィンガ５６又は潤滑剤戻り部材５８が存在する場合がある。例えば、図５に示すように、本体部材６０の内周６６の周りに等間隔関係で配置された３つのフィンガ５６と、本体部材の外周６７の周りに等間隔関係で配置された３つの潤滑剤戻り部材５８とが存在する場合がある。必須ではないが、フィンガ５６及び潤滑剤戻り部材５８の配置は、各フィンガがそれぞれの潤滑剤戻り部材と位置合わせするようなものである場合がある。ホルダ９０のようなホルダが使用される例では、ホルダには、戻り部材５８のためのそれぞれの戻り部材ホルダ本体９４を設けることができる。ホルダ９０のようなホルダは、それが、潤滑剤戻り部材をハウジング内の所定位置に入れるように個々に操作しなければならないのではなく、ハウジング１２の外側で潤滑剤戻り部材５８を戻り部材ホルダ本体９４内に位置付け、次にアセンブリをハウジング内に単に差し込む可能性を提供するので、複数の潤滑剤戻り部材５８が存在する場合に特に有用であることを証明することができる。

図６は、図５に例示的に示した３つの潤滑剤戻り部材を含む潤滑剤供給システム３６に使用することができる収集器本体７６を示している。収集器本体７６は、壁８８によって定められた収集チャネルの環状部分に受け入れられるように構成された環状本体部分を有する。収集チャネルの側壁１１０、１１２の少なくとも一方には、収集チャネルの中に延びる突起１１４を設けることができ、収集器本体７６には、突起を受け入れる嵌合凹部又は切り欠き１１６を設けることができる。収集チャネルは、収集器本体７６の環状本体部分の外周から突出するそれぞれのタブ１２０を受け入れるために戻り部材ホルダ本体９４まで延びる半径方向外向きに延びるチャネル１１８を含む。タブ１２０は、収集器本体７６と潤滑剤戻り部材５８の間の連続潤滑剤誘導繊維経路を提供する。

戻り部材ホルダ本体９４によって定められたチャネル９６は、それらが潤滑剤戻り部材５８を潤滑剤戻り部材の長さに沿って完全に包み込むことができるように両端でのみ開口することができる。しかし、図６に示すように、戻り部材ホルダ本体９４は、戻り部材ホルダ本体９４の長さの少なくとも一部にわたってその両端の中間で潤滑剤戻り部材５８へのアクセスを提供する少なくとも１つの長さ方向に延びるスロット１２２を有することができる。スロット１２２は、組立中に潤滑剤戻り部材５８を戻り部材ホルダ本体９４に沿って螺入するのを支援することができる。

図７は、デフレクター４０の別の例を示している。デフレクター４０は、デフレクターを回転子シャフト２４の上に摺動させて第２の主面８２を肩部８４との当接状態にもたらす寸法にされたボア１２４を有する。デフレクター４０は、弾力性材料から作られ、ボアの周りの撓みを増すためにボア１２４に隣接して１又は２以上の切り抜き１２６を設けることができる。これは、デフレクターをナット又は他の形態の固定手段を用いることなく保持するために、回転子シャフト２４との僅かな締まり嵌めになる寸法にされたボアとのデフレクター４０の嵌合を可能にすることができる。切り欠き１２６は、図７に示すように、デフレクター内の凹部又は中空部の形態を取ることができる。他の例では、ボア１２４の軸線方向に延びる鋸歯又はボア１２４の半径方向外向きではあるがそれに隣接して配置された開口の形態を取ることができる切り欠き１２６がある場合がある。例えば、切り欠きは、ボア１２４の周りに配置された一連の貫通孔を含むことができる。デフレクター４０は、例えばプラスチック成形品としてプラスチック材料で作ることができる。

任意的に、デフレクター４０は、潤滑剤が第１の主面８０から第２の主面８２を超えて回転子シャフト２４まで流れることを防ぐように構成された液滴形成器１３０を含むことができる。図示の例では、液滴形成器１３０は、周方向に延びるスカートを含む。スカートは、デフレクター１４０の外周９０に配置される場合がある。デフレクター４０の半径方向には、スカートは、回転子シャフト２４に対して少なくとも急勾配で傾斜しない比較的小さい表面積を与えるように比較的薄いことが好ましい。スカートをデフレクター４０の外周９０に配置して示しているが、これは必須ではなく、一部の例では、スカートは、それが、スカートから滴り落ちるいずれの潤滑剤も回転子シャフト２４から遠くにかつ好ましくは直接に収集チャネルに入るよう、落下するように配置されることを条件として、外周の半径方向内向きの位置で第２の主面８２上に配置することができる。

図示の例では、液滴形成器１３０は、スカートとして示されている。他の例では、液滴形成器は、潤滑剤が第２の主面を超えて回転子シャフト２４まで流れることが少なくとも実質的に防止されるように、潤滑剤を第２の主面８２の上に流して液滴を形成するために第２の主面８２を分解する周方向に延びる溝又は他の形態を含むことができる。

デフレクターの第１の主面８０には、収集チャネル６８に収集されるようにデフレクター４０の半径方向外向きに放り出されるよう、潤滑剤を第１の主面上に衝突させるように構成された構造１３２を設けることができる。構造１３２は、第１の主面１３０から突出するフィンを含む場合がある

図８は、反転条件で使用されて図７に示すデフレクター４０を装着したターボ分子真空ポンプ１０を示す図２に対応する図である。潤滑剤戻り部材５８の具備は、ターボ分子真空ポンプ１０が図８に示す反転位置と図２及び図８に示す位置の間の傾斜位置の全範囲とを含むあらゆる向きに使用されることを可能にする。傾斜位置及び図８に示す反転位置でさえも、液体潤滑剤は、転がり軸受３２に供給され、かつ転がり軸受への再供給のために潤滑剤リザーバ本体５４（１）、５４（２）に戻すことができる。すなわち、潤滑剤再循環回路が与えられる。

デフレクター４０は、潤滑剤が回転子シャフト２４に沿ってポンピング機構１４内に移動することを防ぐように機能することができる。ポンピング機構内への潤滑剤の移動は、ターボ分子ポンプ１０が反転又は傾斜位置で使用されて静止している時に特に問題である場合がある。その理由は、ポンプが停止した時に転がり軸受３２内に及び潤滑剤移送デバイス３８上に存在する潤滑剤は、回転子シャフト２４に沿ってポンピング機構内に排出される傾向があることになるからである。図示の例及び特に図８に示す例では、デフレクター４０は、いずれのそのような潤滑剤も収集チャネル６８の中に偏向させることになる。

図示の例では、デフレクターは、回転子シャフト上に装着される。一部の例では、デフレクターは、転がり軸受上、例えば、内輪上に設けることができる。

図示のターボ分子真空ポンプは、２つの軸受（機械的又は磁気的のいずれか）間に単純に支持された回転子担持シャフトを有する。他のターボ分子ポンプは、回転子がカンチレバー式に支持されるように軸受によって支持された回転子シャフトを有することができる。軸受は、転がり軸受又は上述のように転がり軸受と磁気軸受の組合せである場合がある。上述の潤滑剤供給システム及びデフレクターが、そのようなターボ分子ポンプに適用されることができることは理解されよう。

Claims (10)

1. ターボ分子ポンプであって、
   ハウジングと、
   前記ハウジングに配置されたポンピング機構であって、回転軸を有する回転子シャフトを含むポンピング機構と、
   前記回転軸の周りの前記ハウジングに対する回転のために前記回転子シャフトを支持し、転がり軸受を含む複数の軸受と、
   デフレクターと、
   潤滑剤供給システムと、
   潤滑剤を前記潤滑剤供給システムから前記転がり軸受まで移送するために前記回転子シャフト上に設けられた潤滑剤移送デバイスと、を備え、
   前記転がり軸受は、前記潤滑剤移送デバイスと前記デフレクターの中間に配置され、前記デフレクターは、前記転がり軸受を通過する潤滑剤を前記回転子シャフトに対して外向きに偏向させるように構成され、
   前記デフレクターは、前記転がり軸受に面する上流主面を含み、前記上流主面は、前記回転軸に対して傾斜した面を有し、
   前記デフレクターは、前記転がり軸受から離れる向きに面する下流主面と、潤滑剤に前記デフレクターから滴下する液滴を形成させ潤滑剤が前記下流主面を前記回転子シャフトまで流れることを防止するように構成された液滴形成器と、を有し、
   前記液滴形成器は、前記下流主面に配置された周方向に延びるスカートを有し、
   収集チャネルを更に備え、
   前記デフレクターは、前記潤滑剤を前記収集チャネルの中に偏向させるように構成され、
   前記収集チャネルは、前記回転軸から第１の半径方向距離に配置された上流端を有し、
   前記デフレクターは、前記回転軸から第２の半径方向距離に配置された外周を有し、
   前記第２の半径方向距離は、少なくとも前記第１の半径方向距離に等しい、
   ことを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. 前記デフレクターは、ポリマーで作られる、
   請求項１に記載のターボ分子ポンプ。
3. 前記デフレクターは、前記回転子シャフトに装着される、
   請求項１または２に記載のターボ分子ポンプ。
4. 前記デフレクターは、前記回転子シャフトの嵌合部分を受け入れるボアを有し、かつ前記ボアに隣接して撓みを与えるために少なくとも１つの切り抜きが設けられる、
   請求項３に記載のターボ分子ポンプ。
5. 前記潤滑剤供給システムは、潤滑剤リザーバ本体と、前記潤滑剤移送デバイスと係合するように前記リザーバ本体から内向きに突出するフィンガと、潤滑剤を前記収集チャネルから前記潤滑剤リザーバ本体まで移送するために前記潤滑剤リザーバ本体から前記収集チャネルまで延びる潤滑剤戻り部材とを有している、
   請求項１に記載のターボ分子ポンプ。
6. 前記潤滑剤供給システムは、前記収集チャネルに配置されて前記潤滑剤戻り部材と係合している吸収性収集器本体を更に有している、
   請求項５に記載のターボ分子ポンプ。
7. 前記フィンガ及び前記潤滑剤戻り部材は、一体的本体部材によって接続されている、
   請求項５又は６に記載のターボ分子ポンプ。
8. 前記本体部材は、第１の主面と第２の主面とを有する平面本体であり、前記リザーバ本体は、少なくとも一方の前記主面に係合する、
   請求項７に記載のターボ分子ポンプ。
9. 前記潤滑剤リザーバ本体を保持する主ホルダ本体と、前記主ホルダ本体から延びて、前記主ホルダ本体に設けられた開口を通って延びる前記潤滑剤戻り部材を保持する戻り部材ホルダ本体とを有するホルダを更に有している、
   請求項５から８のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプ。
10. 前記回転子シャフトは、前記ハウジングに配置された仕切りに設けられたボアを通って延び、前記ボアは、前記デフレクターと前記ポンピング機構の間に配置され、かつ前記回転軸に関して前記回転軸の周りに周方向に延びる前記デフレクターの少なくとも一部分の半径方向内向きに配置されたボア壁によって定められている、
    請求項１から９のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプ。

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