JPH02222586A - レーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 - Google Patents
レーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置Info
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- JPH02222586A JPH02222586A JP1044223A JP4422389A JPH02222586A JP H02222586 A JPH02222586 A JP H02222586A JP 1044223 A JP1044223 A JP 1044223A JP 4422389 A JP4422389 A JP 4422389A JP H02222586 A JPH02222586 A JP H02222586A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/059—Roller bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/06—Lubrication
- F04D29/063—Lubrication specially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2380/00—Electrical apparatus
- F16C2380/26—Dynamo-electric machines or combinations therewith, e.g. electro-motors and generators
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は加工用ガスレーザ装置等のレーザガスを強制的
に循環させるレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置
に係り、特に軸受の長寿命化を実現させ、信頬性、保守
性を改良したレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置
に関する。
に循環させるレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置
に係り、特に軸受の長寿命化を実現させ、信頬性、保守
性を改良したレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置
に関する。
最近の炭酸（ＣＯ２）ガスレーザ発振装置は高出力が得
られ、レーザビームの質もよく、金属又は非金属材料等
の切断及び金属材料等の溶接等といったレーザ加工に広
く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ（数
値制御装置）と結合したＣＮＣレーザ加工機として、複
雑な形状を高速かつ高精度で切断する分野において急速
に発展しつつある。
られ、レーザビームの質もよく、金属又は非金属材料等
の切断及び金属材料等の溶接等といったレーザ加工に広
く利用されるようになってきている。特に、ＣＮＣ（数
値制御装置）と結合したＣＮＣレーザ加工機として、複
雑な形状を高速かつ高精度で切断する分野において急速
に発展しつつある。
以下図面を用いて従来の炭酸（Ｃｏ、）ガスレーザ発振
装置を説明する。
装置を説明する。
第４図は従来技術による炭酸（Ｃｏｔ）ガスレーザ装置
の全体構成を示す図である。放電管１の両端には出力結
合鏡２と全反射鏡３とからなる光共振器が設置されてい
る。放電管工の外周上には金属電極４および５が取り付
けられている。金属電極４は接地され、金属電極５は高
周波電源６に接続されている。金属電極５及び６の間に
は高周波電源６から高周波電圧が印加される。これによ
って、放電管１内に高周波グロー放電が発生し、レーザ
励起が行われる。放電管１内のレーザビーム光軸を１３
で、また出力結合鏡２から外部に取り出されるレーザビ
ーム光軸を１４でそれぞれ示す。
の全体構成を示す図である。放電管１の両端には出力結
合鏡２と全反射鏡３とからなる光共振器が設置されてい
る。放電管工の外周上には金属電極４および５が取り付
けられている。金属電極４は接地され、金属電極５は高
周波電源６に接続されている。金属電極５及び６の間に
は高周波電源６から高周波電圧が印加される。これによ
って、放電管１内に高周波グロー放電が発生し、レーザ
励起が行われる。放電管１内のレーザビーム光軸を１３
で、また出力結合鏡２から外部に取り出されるレーザビ
ーム光軸を１４でそれぞれ示す。
このようなガスレーザ発振装置を起動する時には先ず最
初に真空ポンプ１２によって装置内部全体の気体が排気
される。ついでパルプ１１が開放になり所定流量のレー
ザガスがガスボンベ１０から導かれ装置内のガス圧は規
定値に達する。その後は真空ポンプ１２による排気とバ
ルブ１１による補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規
定値に保たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮
ガスに置換される。これによって装置内のガス汚染は防
止される。
初に真空ポンプ１２によって装置内部全体の気体が排気
される。ついでパルプ１１が開放になり所定流量のレー
ザガスがガスボンベ１０から導かれ装置内のガス圧は規
定値に達する。その後は真空ポンプ１２による排気とバ
ルブ１１による補給ガス導入が続き、装置内ガス圧は規
定値に保たれたまま、レーザガスの一部は継続して新鮮
ガスに置換される。これによって装置内のガス汚染は防
止される。
さらに第４図では送風機９によってレーザガスを装置内
で循環している。この目的はレーザガスの冷却にある。
で循環している。この目的はレーザガスの冷却にある。
炭酸（ＣＣｈ ）ガスレーザでは注入電気エネルギーの
約２０％がレーザ光に変換され、他はガス加熱に消費さ
れる。ところが理論によればレーザ発振利得は絶対温度
Ｔの−（３／２）乗に比例するので発振効率を上昇させ
るためにはレーザガスを強制的に冷却してやる必要があ
る０本装置ではレーザガスは約１００ｍ／ｓｅｃの流速
で放電管１内を通過し矢印で示す方向に流れ、冷却器８
に導かれる。冷却器８は主として放電による加熱エネル
ギーをレーザガスから除去する。そして、送風機９は冷
却されたレーザガスを圧縮する。圧縮されたレーザガス
は冷却器７を介して放電管１に導かれる。これは、送風
機９で発生した圧縮熱を放電管ｌに再度導かれる前に冷
却器７で除去するためである。これらの冷却器７及び８
は周知であるので詳細な説明は省略する。
約２０％がレーザ光に変換され、他はガス加熱に消費さ
れる。ところが理論によればレーザ発振利得は絶対温度
Ｔの−（３／２）乗に比例するので発振効率を上昇させ
るためにはレーザガスを強制的に冷却してやる必要があ
る０本装置ではレーザガスは約１００ｍ／ｓｅｃの流速
で放電管１内を通過し矢印で示す方向に流れ、冷却器８
に導かれる。冷却器８は主として放電による加熱エネル
ギーをレーザガスから除去する。そして、送風機９は冷
却されたレーザガスを圧縮する。圧縮されたレーザガス
は冷却器７を介して放電管１に導かれる。これは、送風
機９で発生した圧縮熱を放電管ｌに再度導かれる前に冷
却器７で除去するためである。これらの冷却器７及び８
は周知であるので詳細な説明は省略する。
第５図に送風機９として採用されるターボブロアの構造
を示す、ターボ翼１６とシャフト２６とは機械的に結合
されている。シャフト２６にはロータ１７が取り付けら
れており、ロータ１７とステータ１８とでモーターを構
成している。ターボ翼１６はこのモータによって、回転
数約１０万ＲＰＭの高速で回転される。そのため低速回
転のルーツブロワに比較して回転数に逆比例して体積が
小さくなっている。さらに、シャフト２６の支持にころ
がり軸受１９及び２０が使用されている。
を示す、ターボ翼１６とシャフト２６とは機械的に結合
されている。シャフト２６にはロータ１７が取り付けら
れており、ロータ１７とステータ１８とでモーターを構
成している。ターボ翼１６はこのモータによって、回転
数約１０万ＲＰＭの高速で回転される。そのため低速回
転のルーツブロワに比較して回転数に逆比例して体積が
小さくなっている。さらに、シャフト２６の支持にころ
がり軸受１９及び２０が使用されている。
このようにターボブロアは高速回転であるため、ころが
り軸受Ｉ９及び２０の潤滑にはオイルを定期的に軸受に
供給するオイルジェットやオイルエア潤滑が使用されて
いる。第４図ではオイル供給ユニット２１はガスを利用
してオイルを霧化し、通路２２又は２３を介してころが
り軸受１９及び２０に供給している。
り軸受Ｉ９及び２０の潤滑にはオイルを定期的に軸受に
供給するオイルジェットやオイルエア潤滑が使用されて
いる。第４図ではオイル供給ユニット２１はガスを利用
してオイルを霧化し、通路２２又は２３を介してころが
り軸受１９及び２０に供給している。
このような構成によって、レーザガスは矢印８１のよう
に冷却器８からレーザ用ターボブロアへ吸入され、矢印
７１のようにレーザ用ターボブロアから冷却器７へ吐出
される。
に冷却器８からレーザ用ターボブロアへ吸入され、矢印
７１のようにレーザ用ターボブロアから冷却器７へ吐出
される。
第４図及び第５図に示す従来のレーザ発振装置では以下
のような課題がある。
のような課題がある。
第一は潤滑油にオイルを使用しているので油成分がレー
ザガス中に混入して光学部品を汚染し、出力低下やモー
ド変形をもたらすことである。このため高出力の炭酸（
ＣＯ２）ガスレーザでは常時レーザガスの置換をおこな
っており運転経費のかなりの部分を占める。それを行っ
ても定期的に光学部品を交換したりクリーニングしたり
する必要があり、メンテナンスに多大な労力を必要とし
ている。
ザガス中に混入して光学部品を汚染し、出力低下やモー
ド変形をもたらすことである。このため高出力の炭酸（
ＣＯ２）ガスレーザでは常時レーザガスの置換をおこな
っており運転経費のかなりの部分を占める。それを行っ
ても定期的に光学部品を交換したりクリーニングしたり
する必要があり、メンテナンスに多大な労力を必要とし
ている。
第二はオイルを多（供給しすぎると軸受内部のオイルの
攪拌作用によって軸受損失が増大するおそれがあり、ま
た、温度にも影響を受ける。そのため、オイル供給ユニ
ットが高度の制御を必要としコストが非常に大きくなっ
てしまう。
攪拌作用によって軸受損失が増大するおそれがあり、ま
た、温度にも影響を受ける。そのため、オイル供給ユニ
ットが高度の制御を必要としコストが非常に大きくなっ
てしまう。
第三はオイル通路の穴径が小さいためよ（目づまりを発
生しオイルが供給不能となり、軸受の焼き付けの原因と
なる。
生しオイルが供給不能となり、軸受の焼き付けの原因と
なる。
そこで、本願発明者等はオイルミストによるレーザガス
の汚染を防止するためにグリース潤滑を採用したものを
先に出願している（特願昭６３−１４８９１８号）、こ
のグリース潤滑の採用によって、オイルが最小必要分し
かしみだしてこないためオイルによる光学部品等の汚染
がなくなり、レーザ出力及びビーム特性の劣化が無くな
り、しかも組立時に所定量のグリースを封入してやるだ
けであとの供給の必要がなくなり注油等のメンテナンス
が不要となるといった効果がある。
の汚染を防止するためにグリース潤滑を採用したものを
先に出願している（特願昭６３−１４８９１８号）、こ
のグリース潤滑の採用によって、オイルが最小必要分し
かしみだしてこないためオイルによる光学部品等の汚染
がなくなり、レーザ出力及びビーム特性の劣化が無くな
り、しかも組立時に所定量のグリースを封入してやるだ
けであとの供給の必要がなくなり注油等のメンテナンス
が不要となるといった効果がある。
しかしながら、グリース封入量は軸受内部の空間容積の
３０〜５０％であるため、ターボプロアを高速回転（例
えばＤｍＮ値８０万以上）で使用した場合に、内輪、保
持器及び転進体の回転遠心力によってグリースがはじき
とばされ軸受外部に押し出される。このため、内輪又は
外輪の転道面と、転進体との間のグリースが減少し、長
時間の運転に耐えられなくなり、グリースの交換又は補
充を定期的に行う必要があった。この交換又は補充時に
、はレーザ発振装置を停止し、ターボプロアを取り外し
、さらにターボプロアの分解等をしなければならなかっ
た。
３０〜５０％であるため、ターボプロアを高速回転（例
えばＤｍＮ値８０万以上）で使用した場合に、内輪、保
持器及び転進体の回転遠心力によってグリースがはじき
とばされ軸受外部に押し出される。このため、内輪又は
外輪の転道面と、転進体との間のグリースが減少し、長
時間の運転に耐えられなくなり、グリースの交換又は補
充を定期的に行う必要があった。この交換又は補充時に
、はレーザ発振装置を停止し、ターボプロアを取り外し
、さらにターボプロアの分解等をしなければならなかっ
た。
また、グリースの封入量が極端に少ないと、潤滑不足に
よる転勤面の摩擦増大から軸受疲れ寿命の低下、摩擦に
よる発熱等が発生し、軸受自身を交換しなければならな
いといった問題もあった。
よる転勤面の摩擦増大から軸受疲れ寿命の低下、摩擦に
よる発熱等が発生し、軸受自身を交換しなければならな
いといった問題もあった。
従って、グリース潤滑に際してはグリースの封入量を厳
しく管理してやらなければならず、これを間違えるとグ
リース潤滑による効果が生じないばかりか、かえって上
述のような問題を生じさせる結果となる。
しく管理してやらなければならず、これを間違えるとグ
リース潤滑による効果が生じないばかりか、かえって上
述のような問題を生じさせる結果となる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、グ
リース潤滑における内輪又は外輪の転道面と、転進体と
の間のグリースの減少を防止し、グリースを定期的に補
充及び交換することなく軸受の長寿命化を達成すること
のできるレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置を提
供することを目的とする。
リース潤滑における内輪又は外輪の転道面と、転進体と
の間のグリースの減少を防止し、グリースを定期的に補
充及び交換することなく軸受の長寿命化を達成すること
のできるレーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置を提
供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、先端にターボ翼
を有するシャフトと、前記シャフトを支持する一対の軸
受と、前記シャフトを回転させるためのモータとから構
成されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記軸受の両
側にグリース保持用の空間を形成し、前記空間内の前記
グリースの流出を防止するための非接触シール部を設け
、前記空間及び前記軸受内部の空間容積中に前記グリー
スを充填したことを特徴とするレーザ用ターボブロアが
、提供される。
を有するシャフトと、前記シャフトを支持する一対の軸
受と、前記シャフトを回転させるためのモータとから構
成されるレーザ用ターボブロアにおいて、前記軸受の両
側にグリース保持用の空間を形成し、前記空間内の前記
グリースの流出を防止するための非接触シール部を設け
、前記空間及び前記軸受内部の空間容積中に前記グリー
スを充填したことを特徴とするレーザ用ターボブロアが
、提供される。
さらに、本発明では上記レーザ用ターボブロアを用いた
レーザ発振装置が、提供される。
レーザ発振装置が、提供される。
レーザ用ターボブロアの軸受の両側にグリース保持用の
空間を形成し、この空間内のグリースの流出を防止する
ための非接触シール部を設ける。
空間を形成し、この空間内のグリースの流出を防止する
ための非接触シール部を設ける。
そして、この空間及び軸受内部の空間容積にグリースを
充填する。このときグリースの量は空間容積中に約１０
０パーセント満たされるように充填する。シャフトの回
転によって内輪、保持器、転動体等が回転する。この回
転の遠心力によって軸受内のグリースは軸受から飛散し
ようとする。しかし、軸受の両側に設けられた非接触シ
ール部によって、グリースはこの空間容積中から外へ流
出することはない、従って、常に内輪及び外輪の転道面
と、転道体との間のグリースは減少することはない。
充填する。このときグリースの量は空間容積中に約１０
０パーセント満たされるように充填する。シャフトの回
転によって内輪、保持器、転動体等が回転する。この回
転の遠心力によって軸受内のグリースは軸受から飛散し
ようとする。しかし、軸受の両側に設けられた非接触シ
ール部によって、グリースはこの空間容積中から外へ流
出することはない、従って、常に内輪及び外輪の転道面
と、転道体との間のグリースは減少することはない。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例であるレーザ出力ＩＫＷ程度
のレーザ用ターボブロアの構造を示す図であり、第５図
と同一の構成要素には同一の符合が付しであるので、そ
の説明は省略する。ここで、ターボ翼１６は遠心翼を示
しているが斜流翼であっても軸流翼であってもよい。
のレーザ用ターボブロアの構造を示す図であり、第５図
と同一の構成要素には同一の符合が付しであるので、そ
の説明は省略する。ここで、ターボ翼１６は遠心翼を示
しているが斜流翼であっても軸流翼であってもよい。
本実施例が従来のものと本質的に異なる部分は、ころが
り軸受１９及び２０の両側にグリースの流出防止用の非
接触シール部３５．３６．３７及び３８が設けられ、こ
の非接触シール部によってグリース保持用の空間３１．
３２．３３及び３４が形成されている点である。そして
、その空間及び軸受内部の空間容積中にグリースを約１
００パーセント充填する。この非接触シール部３５．３
６．３７及び３８はシャフト２６が高速で回転すること
を利用しており、非接触の０．２ｍｍ程度の間隙で機能
するものである。グリースにはリチウムグリース、ナト
リウムグリース等を使用する。このような構成によって
、軸受の空間容積中にグリースを常に充填することがで
きる。さらに、本実施例ではシャフト２６の回転軸が地
面に対して平行になるように設置しである。即ち、ター
ボブロアを横方向に設置している。これによって、グリ
ースは空間３１．３２．３３及び３４に効率よく溜まる
ようになる。
り軸受１９及び２０の両側にグリースの流出防止用の非
接触シール部３５．３６．３７及び３８が設けられ、こ
の非接触シール部によってグリース保持用の空間３１．
３２．３３及び３４が形成されている点である。そして
、その空間及び軸受内部の空間容積中にグリースを約１
００パーセント充填する。この非接触シール部３５．３
６．３７及び３８はシャフト２６が高速で回転すること
を利用しており、非接触の０．２ｍｍ程度の間隙で機能
するものである。グリースにはリチウムグリース、ナト
リウムグリース等を使用する。このような構成によって
、軸受の空間容積中にグリースを常に充填することがで
きる。さらに、本実施例ではシャフト２６の回転軸が地
面に対して平行になるように設置しである。即ち、ター
ボブロアを横方向に設置している。これによって、グリ
ースは空間３１．３２．３３及び３４に効率よく溜まる
ようになる。
従来構造のターボブロアの寿命は５００〜１０００時間
であったが、本実施例のターボブロアによれば、５００
０〜１５０００時間という寿命を達成することができる
。これによって従来、定期的に行っていたグリースの補
充又は交換が不要になり、ターボブロアの信頼性及び保
守性が飛躍的に向上する。
であったが、本実施例のターボブロアによれば、５００
０〜１５０００時間という寿命を達成することができる
。これによって従来、定期的に行っていたグリースの補
充又は交換が不要になり、ターボブロアの信頼性及び保
守性が飛躍的に向上する。
第１図のターボブロアは出力ＩＫＷ程度のレーザ発振装
置に適用されるが、さらに高出力化のためには大型のタ
ーボ翼を使用してもよい、しかし、コスト的には同−翼
を使用することが望ましい。
置に適用されるが、さらに高出力化のためには大型のタ
ーボ翼を使用してもよい、しかし、コスト的には同−翼
を使用することが望ましい。
第２図にレーザ出力２ＫＷ程度のターボブロワの構造を
示す０図においてターボブロワの軸受は第１図と同じで
あるので省略しである。なお、図中の矢印８２及び８３
は冷却器８からレーザ用ターボブロアへのレーザガスの
流れる方向を示す。シャフトの左右にターボ翼１６ａ及
び１６ｂが２個取り付けられている。この構成で軸受け
と駆動モータが１セツトでターボ翼２個を回転できるの
でコスト上有利である。ロータ１７とステーダ１８とで
モーターを構成する。ここでは、ターボ翼を同一シャフ
トに取り付けることにより、スラスト方向の荷重変動を
打ち消しあい、スラスト荷重が非常に小さくなり、安定
性が向上し、寿命も非常に長（なる。
示す０図においてターボブロワの軸受は第１図と同じで
あるので省略しである。なお、図中の矢印８２及び８３
は冷却器８からレーザ用ターボブロアへのレーザガスの
流れる方向を示す。シャフトの左右にターボ翼１６ａ及
び１６ｂが２個取り付けられている。この構成で軸受け
と駆動モータが１セツトでターボ翼２個を回転できるの
でコスト上有利である。ロータ１７とステーダ１８とで
モーターを構成する。ここでは、ターボ翼を同一シャフ
トに取り付けることにより、スラスト方向の荷重変動を
打ち消しあい、スラスト荷重が非常に小さくなり、安定
性が向上し、寿命も非常に長（なる。
本発明の他の実施例を第３図を用いて説明する。
本実施例はレーザ用ターボブロアの軸受の周囲にオイル
フィルムダンパーを取り付け、軸受の振動を吸収したも
のである。オイルフィルムダンパーはスリーブ３９及び
４０と、このスリーブ３９及び４０とハウジング４２と
の間に充填されたオイルと、０リング４３．４４．４５
及び４６とによって構成される。ころがり軸受１９及び
２０の内輪はシャフト２６に固定され、外輪はスリーブ
３９及び４０に固定されている。ハウジング４２とスリ
ーブ３９及び４０との間には１０〜１００μｍのすきま
が設けられ、そこにグリース又はオイルが充填される。
フィルムダンパーを取り付け、軸受の振動を吸収したも
のである。オイルフィルムダンパーはスリーブ３９及び
４０と、このスリーブ３９及び４０とハウジング４２と
の間に充填されたオイルと、０リング４３．４４．４５
及び４６とによって構成される。ころがり軸受１９及び
２０の内輪はシャフト２６に固定され、外輪はスリーブ
３９及び４０に固定されている。ハウジング４２とスリ
ーブ３９及び４０との間には１０〜１００μｍのすきま
が設けられ、そこにグリース又はオイルが充填される。
そして、０リング４３．４４．４５及び４６はすきまに
充填されたグリース又はオイルとレーザガスとを遮断す
るためのものである。スリーブ３９及び４０には第１図
と同様の非接触シール部４７及び４８が設けられ、さら
に、ハウジング４２の一部に非接触シール部４９及び５
０が設けられている。このような構成にすることによっ
て、ターボ翼１６及びシャフト２６が回転したときの振
動はオイルフィルムダンパーの流体力学的な減衰効果に
よって減衰し、軸受両側の空間内のグリースは非接触シ
ール部４７．４８．４９及び５０によって流出が防止さ
れる。この非接触シール部はスリーブ３９及び４０の両
側に設けてもよい。
充填されたグリース又はオイルとレーザガスとを遮断す
るためのものである。スリーブ３９及び４０には第１図
と同様の非接触シール部４７及び４８が設けられ、さら
に、ハウジング４２の一部に非接触シール部４９及び５
０が設けられている。このような構成にすることによっ
て、ターボ翼１６及びシャフト２６が回転したときの振
動はオイルフィルムダンパーの流体力学的な減衰効果に
よって減衰し、軸受両側の空間内のグリースは非接触シ
ール部４７．４８．４９及び５０によって流出が防止さ
れる。この非接触シール部はスリーブ３９及び４０の両
側に設けてもよい。
以上の実施例ではころがり軸受について説明したが、玉
軸受又はコロ軸受でもよい、さらに、軸受の材料として
セラミックを用いたセラミック軸受を用いてもよい。
軸受又はコロ軸受でもよい、さらに、軸受の材料として
セラミックを用いたセラミック軸受を用いてもよい。
尚、本実施例の非接触シール部をラビリンスシールで構
成してもよい。このラビリンスシールは構造が複雑であ
るが、グリース封入の点では望ましいものである。
成してもよい。このラビリンスシールは構造が複雑であ
るが、グリース封入の点では望ましいものである。
以上説明したように本発明では、送風機の軸受をグリー
ス潤滑とし、軸受の両側に設けた空間内にグリースを充
填させであるので、グリースの定期的な点検及び交換が
不要になり、さらに軸受の交換も不要となる。また、グ
リース充填時の封入量の管理も不要になる。これらの効
果によってより信頬性及び保守性の向上したレーザ用タ
ーボブロアを実現することが可能になる。
ス潤滑とし、軸受の両側に設けた空間内にグリースを充
填させであるので、グリースの定期的な点検及び交換が
不要になり、さらに軸受の交換も不要となる。また、グ
リース充填時の封入量の管理も不要になる。これらの効
果によってより信頬性及び保守性の向上したレーザ用タ
ーボブロアを実現することが可能になる。
また、当然供給ユニットも必要がないのでコストが低減
される。
される。
第１図は本発明の一実施例であるレーザ出力１ＫＷ程度
のレーザ用ターボブロアの構造を示す図、第２図は本発
明の他の実施例であるレーザ出力２ＫＷ程度のレーザ用
ターボブロアの構造を示す図、 第３図は本発明の他の実施例であるレーザ用ターボブロ
アの構造を示す図、 第４図は従来の炭酸（ＣＯ，）ガスレーザ発振装置の全
体構成を示す図、 第５図は従来のレーザ用ターボブロアの構成を示す図で
ある。 ｌ 放電管 ２− 出力結合鏡 ３−・−−−−−−−−−−−−・全反射鏡４．５
−電極 ６−・−・高周波電源 ７．８−−−−−−−−−−−−−−−・冷却器９
送風機 １０ ガスボンベ １２−・・・・・・−・−−−−−一真空ポンプ１３
−共振器内レーザビーム光軸１４ 共振器外
レーザビーム光軸１６．１６ａ、１６ｂ ターボ翼 １７−・−・−・−・−・・ロータ １ Ｂ−−−−−−・−・・−・・・ステータ１９．２
０・−・−一−−−−・−一一一一軸受２６ シ
ャフト ３１．３２．３３．３４ 空間 ３５．３６．３７．３８ 非接触シール部 ３９．４０ スリーブ ４２ ハウジング ４３．４４．４５．４６ ０リング ４７．４８．４９．５０ 非接触シール部 特許出願人 ファナック株式会社 第２図 ０ゝ８１ 第５図
のレーザ用ターボブロアの構造を示す図、第２図は本発
明の他の実施例であるレーザ出力２ＫＷ程度のレーザ用
ターボブロアの構造を示す図、 第３図は本発明の他の実施例であるレーザ用ターボブロ
アの構造を示す図、 第４図は従来の炭酸（ＣＯ，）ガスレーザ発振装置の全
体構成を示す図、 第５図は従来のレーザ用ターボブロアの構成を示す図で
ある。 ｌ 放電管 ２− 出力結合鏡 ３−・−−−−−−−−−−−−・全反射鏡４．５
−電極 ６−・−・高周波電源 ７．８−−−−−−−−−−−−−−−・冷却器９
送風機 １０ ガスボンベ １２−・・・・・・−・−−−−−一真空ポンプ１３
−共振器内レーザビーム光軸１４ 共振器外
レーザビーム光軸１６．１６ａ、１６ｂ ターボ翼 １７−・−・−・−・−・・ロータ １ Ｂ−−−−−−・−・・−・・・ステータ１９．２
０・−・−一−−−−・−一一一一軸受２６ シ
ャフト ３１．３２．３３．３４ 空間 ３５．３６．３７．３８ 非接触シール部 ３９．４０ スリーブ ４２ ハウジング ４３．４４．４５．４６ ０リング ４７．４８．４９．５０ 非接触シール部 特許出願人 ファナック株式会社 第２図 ０ゝ８１ 第５図
Claims (9)
- （１）先端にターボ翼を有するシャフトと、前記シャフ
トを支持する一対の軸受と、前記シャフトを回転させる
ためのモータとから構成されるレーザ用ターボブロアに
おいて、 前記軸受の両側にグリース保持用の空間を形成し、前記
空間内の前記グリースの流出を防止するための非接触シ
ール部を設け、 前記空間及び前記軸受内部の空間容積中に前記グリース
を充填したことを特徴とするレーザ用ターボブロア。 - （２）前記シャフトの回転軸方向が地面に対して平行で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレー
ザ用ターボブロア。 - （３）前記シャフトに逆方向のスラスト荷重がかかるよ
うに２個のターボ翼を設けたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のレーザ用ターボブロア。 - （４）前記軸受にオイルフィルムダンパーを設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ用ター
ボブロア。 - （５）前記軸受が玉軸受であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のレーザ用ターボブロア。 - （６）前記軸受がころ軸受であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のレーザ用ターボブロア。 - （７）前記軸受がセラミック軸受であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のレーザ用ターボブロア。 - （８）気体放電によってレーザ励起をする放電管と、レ
ーザ発振を行わせる光共振器と、送風機及び冷却器によ
ってレーザガスを強制冷却させるガス循環装置とから構
成されるレーザ発振装置において、 前記送風機が特許請求の範囲第１項から第７項までのい
ずれかに記載のレーザ用ターボブロアで構成されること
を特徴とするレーザ発振装置。 - （９）レーザ励起が高周波気体放電によって行われるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第８項記載のレーザ発振
装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1044223A JPH02222586A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | レーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 |
| DE69008967T DE69008967T2 (de) | 1989-02-23 | 1990-02-09 | Turbogebläse für laser und laseroszillatoren. |
| PCT/JP1990/000170 WO1990010328A1 (en) | 1989-02-23 | 1990-02-09 | Turboblower for lasers and laser oscillator |
| US07/582,206 US5124997A (en) | 1989-02-23 | 1990-02-09 | Turbo blower for a laser device and a laser oscillator device |
| EP90902835A EP0412165B1 (en) | 1989-02-23 | 1990-02-09 | Turboblower for lasers and laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1044223A JPH02222586A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | レーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02222586A true JPH02222586A (ja) | 1990-09-05 |
Family
ID=12685542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1044223A Pending JPH02222586A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | レーザ用ターボブロア及びレーザ発振装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5124997A (ja) |
| EP (1) | EP0412165B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02222586A (ja) |
| DE (1) | DE69008967T2 (ja) |
| WO (1) | WO1990010328A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003524730A (ja) * | 2000-01-26 | 2003-08-19 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ターボラジアル送風機 |
| JP2009221987A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Kawamoto Pump Mfg Co Ltd | 軸受部材及び立型ポンプ装置 |
| WO2010098031A1 (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
| JP2012002147A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Ihi Corp | ターボ機械 |
| JP2012240595A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Nsk Ltd | ステアリング装置 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02169899A (ja) * | 1988-12-21 | 1990-06-29 | Fanuc Ltd | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
| DE9102855U1 (de) * | 1991-03-09 | 1991-06-20 | Leybold AG, 6450 Hanau | Radialgebläse |
| JP2617048B2 (ja) * | 1991-04-23 | 1997-06-04 | ファナック株式会社 | レーザ加工装置 |
| JPH0590661A (ja) * | 1991-04-26 | 1993-04-09 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式 |
| DE4118786C2 (de) * | 1991-06-07 | 1998-04-09 | Becker Kg Gebr | Gaslaser, insbesondere Axialstromgaslaser |
| US5317579A (en) * | 1992-08-07 | 1994-05-31 | Litton Systems, Inc. | Laser pump |
| JP3044983B2 (ja) * | 1993-08-25 | 2000-05-22 | 株式会社日立製作所 | Ａｔｍスイッチングシステムのセル制御方法 |
| US5461636A (en) * | 1994-01-24 | 1995-10-24 | Fanuc Ltd. | Turbo blower for lasers |
| JP3427571B2 (ja) * | 1995-06-14 | 2003-07-22 | 松下電器産業株式会社 | 高速軸流型ガスレーザ発振器 |
| JP2005123448A (ja) * | 2003-10-17 | 2005-05-12 | Fanuc Ltd | レーザ発振器用ターボブロワ |
| JP4249723B2 (ja) * | 2005-04-14 | 2009-04-08 | ファナック株式会社 | レーザ発振器用ブロワ |
| EP2400603B1 (en) * | 2009-05-21 | 2016-10-26 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Gas laser oscillator apparatus and gas laser machining apparatus |
| JP6079052B2 (ja) * | 2012-08-24 | 2017-02-15 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
| JP5659208B2 (ja) * | 2012-10-22 | 2015-01-28 | シナノケンシ株式会社 | 送風機 |
| JP6189890B2 (ja) * | 2015-03-25 | 2017-08-30 | ファナック株式会社 | 軸シールの損傷を抑制する構造を備えた送風機 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5879786A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-13 | Hitachi Ltd | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
| JPS62159795A (ja) * | 1986-01-04 | 1987-07-15 | フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− | 送風機 |
| JPS63186034A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-08-01 | Toshiba Corp | 軸受装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58160627A (ja) * | 1982-03-18 | 1983-09-24 | Nippon Seiko Kk | 転がり軸受の潤滑装置 |
| JPS6230387A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-02-09 | Anretsuto:Kk | 炭酸ガスレ−ザ光線発振器用ル−ツブロワ− |
| JPS62137396U (ja) * | 1986-02-24 | 1987-08-29 | ||
| JPH0714089B2 (ja) * | 1987-05-18 | 1995-02-15 | ファナック株式会社 | レ−ザ発振装置及びレ−ザ発振装置のレ−ザガスの封入方法 |
| DE68916941T2 (de) * | 1988-10-13 | 1994-12-08 | Fanuc Ltd | Gas-laser-oszillator. |
| JP2533735B2 (ja) * | 1993-08-17 | 1996-09-11 | 株式会社日立製作所 | 映像信号の再生装置 |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP1044223A patent/JPH02222586A/ja active Pending
-
1990
- 1990-02-09 US US07/582,206 patent/US5124997A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-09 WO PCT/JP1990/000170 patent/WO1990010328A1/ja active IP Right Grant
- 1990-02-09 EP EP90902835A patent/EP0412165B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-02-09 DE DE69008967T patent/DE69008967T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5879786A (ja) * | 1981-11-06 | 1983-05-13 | Hitachi Ltd | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
| JPS62159795A (ja) * | 1986-01-04 | 1987-07-15 | フオルツナ−ベルケ・マシ−ネン フアブリ−ク・ゲ−エムベ−ハ− | 送風機 |
| JPS63186034A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-08-01 | Toshiba Corp | 軸受装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003524730A (ja) * | 2000-01-26 | 2003-08-19 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ターボラジアル送風機 |
| JP2009221987A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Kawamoto Pump Mfg Co Ltd | 軸受部材及び立型ポンプ装置 |
| WO2010098031A1 (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-02 | パナソニック株式会社 | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
| JP5218637B2 (ja) * | 2009-02-24 | 2013-06-26 | パナソニック株式会社 | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
| US8792529B2 (en) | 2009-02-24 | 2014-07-29 | Panasonic Corporation | Gas laser oscillation device and gas laser processing machine |
| JP2012002147A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Ihi Corp | ターボ機械 |
| JP2012240595A (ja) * | 2011-05-23 | 2012-12-10 | Nsk Ltd | ステアリング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0412165B1 (en) | 1994-05-18 |
| EP0412165A4 (en) | 1991-04-03 |
| WO1990010328A1 (en) | 1990-09-07 |
| DE69008967D1 (de) | 1994-06-23 |
| US5124997A (en) | 1992-06-23 |
| EP0412165A1 (en) | 1991-02-13 |
| DE69008967T2 (de) | 1994-09-01 |
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